半導(dǎo)體制造控制方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體制造控制方法，應(yīng)用于實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)中，該方法包括：預(yù)先在實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)中建立實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)，該數(shù)據(jù)庫(kù)包括：開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)參數(shù)；該方法還包括：A、一批在制品到達(dá)虛擬站點(diǎn)后，從制造執(zhí)行系統(tǒng)中獲取該虛擬站點(diǎn)中設(shè)定隊(duì)列時(shí)間的信息，確定虛擬站點(diǎn)中包含設(shè)定隊(duì)列時(shí)間信息；B、從制造執(zhí)行系統(tǒng)中獲取該批在制品的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)；C、與實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較，如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中包含與該批在制品對(duì)應(yīng)的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)值，則判斷該批在制品是否滿足跳站條件，如果滿足，則指示制造執(zhí)行系統(tǒng)跳過(guò)虛擬站點(diǎn)執(zhí)行后續(xù)站點(diǎn)工序。本發(fā)明能夠快速準(zhǔn)確地跳過(guò)Dummy站點(diǎn)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】半導(dǎo)體制造控制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)制造領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體制造控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有的晶圓制造中，為了制造出高質(zhì)量的產(chǎn)品，某些制造工序之間有嚴(yán)格的時(shí)間間隔要求，也就是當(dāng)某一工序完成后，一定要在特定時(shí)間內(nèi)完成另一工序。本領(lǐng)域技術(shù)人員將這個(gè)特定的設(shè)定時(shí)間稱(chēng)為設(shè)定隊(duì)列時(shí)間(Q-Time)。如圖1所示，圖1為制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)的顯示示意圖。站點(diǎn)2 (St印2)有源區(qū)光刻(AA PHOTO)完成后，一定要在72小時(shí)內(nèi)完成站點(diǎn)7 (Step7)有源區(qū)刻蝕(AA-ETCH)，這里72小時(shí)就是Q-Time的一種:最大允許等待時(shí)間。為了嚴(yán)格的滿足這種要求，操作員在處理站點(diǎn)I (Stepl)的時(shí)候，要了解站點(diǎn)7 (Step7)的產(chǎn)能和站點(diǎn)2 (Step2)到站點(diǎn)7 (Step7)的WIP狀況，在確信St印7的產(chǎn)能在72小時(shí)之內(nèi)能完成st印2到st印7之間的WIP后，操作員在MES中手工派工(Manualdispatch)跳過(guò)Stepl的虛擬(Dummy)站點(diǎn),執(zhí)行step2的工序。這里,在半導(dǎo)體生產(chǎn)線中，各設(shè)備確定未完成的晶圓產(chǎn)品，簡(jiǎn)稱(chēng)為在制品(Work in Process, WIP)。
[0003]上述舉例中，St印2為開(kāi)始站點(diǎn)，St印7為結(jié)束站點(diǎn)。St印7的產(chǎn)能、St印7上的WIP量以及從Step2到Step7的安全系數(shù)(Safe Ratio),由Step7的操作員通知Stepl的操作員。其他站點(diǎn)上的WIP量由各自站點(diǎn)的操作員通知St印I的操作員。因此，現(xiàn)有技術(shù)的派工方法為手工派工方法，具體可以為:
[0004]—批在制品到達(dá)Dummy站點(diǎn)后,操作員從MES中獲取Dummy站點(diǎn)中Q-Time的信息，根據(jù)結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能、Q-Time以及安全系數(shù)，計(jì)算安全存量，如果安全存量超過(guò)從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的WIP總量，則手工指示MES跳過(guò)Dummy站點(diǎn)執(zhí)行后續(xù)站點(diǎn)工序。如果安全存量未超過(guò)從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的WIP總量,則不會(huì)開(kāi)始執(zhí)行后續(xù)站點(diǎn)工序。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)中，并不是每個(gè)操作員都能及時(shí)地做出正確判斷，導(dǎo)致生產(chǎn)周期變長(zhǎng)；同時(shí)手工派工也帶來(lái)一定程度的誤操作風(fēng)險(xiǎn)，例如，操作員出現(xiàn)失誤，在安全存量未超過(guò)從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的WIP總量時(shí),仍然手工指示MES跳過(guò)Dummy站點(diǎn)執(zhí)行后續(xù)站點(diǎn)工序。通常在整個(gè)晶圓制造流程中，還有很多這樣的Drnnmy站點(diǎn)。因此,如何改進(jìn)Drnnmy站點(diǎn)機(jī)制，以改善個(gè)人判斷和手工派工所帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)，成為需要解決的重要問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是:如何快速準(zhǔn)確地跳過(guò)Dummy站點(diǎn)。
[0007]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案具體是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0008]一種半導(dǎo)體制造控制方法，應(yīng)用于實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)中，該方法包括:預(yù)先在實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)中建立實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)，該數(shù)據(jù)庫(kù)包括:開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)參數(shù)；該方法還包括:
[0009]A、一批在制品到達(dá)虛擬站點(diǎn)后，從制造執(zhí)行系統(tǒng)中獲取該虛擬站點(diǎn)中設(shè)定隊(duì)列時(shí)間的信息，確定虛擬站點(diǎn)中包含設(shè)定隊(duì)列時(shí)間信息；
[0010]B、從制造執(zhí)打系統(tǒng)中犾取該批在制品的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)；[0011]C、與實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較，如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中包含與該批在制品對(duì)應(yīng)的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)值，則判斷該批在制品是否滿足跳站條件，如果滿足，則指示制造執(zhí)行系統(tǒng)跳過(guò)虛擬站點(diǎn)執(zhí)行后續(xù)站點(diǎn)工序。
[0012]所述實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)還包括:結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能，以及從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)，當(dāng)虛擬站點(diǎn)中的設(shè)定隊(duì)列時(shí)間為最大允許等待時(shí)間時(shí)，則步驟C中判斷該批在制品是否滿足跳站條件的方法為:根據(jù)結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能、設(shè)定隊(duì)列時(shí)間以及從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)，計(jì)算安全存量，如果安全存量超過(guò)從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的在制品總量，則確認(rèn)該批在制品滿足跳站條件。
[0013]如果安全存量未超過(guò)從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的在制品總量，則確認(rèn)該批在制品不滿足跳站條件，流程結(jié)束。
[0014]所述安全存量為結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能*設(shè)定隊(duì)列時(shí)間*從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)；所述表示乘號(hào)。
[0015]所述從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的在制品總量的獲取方法為:從制造執(zhí)行系統(tǒng)上獲取從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)每個(gè)站點(diǎn)上的在制品量，并計(jì)算每個(gè)站點(diǎn)上的在制品量的和。
[0016]所述結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能為該站點(diǎn)所有機(jī)臺(tái)和的單位時(shí)間產(chǎn)能。
[0017]當(dāng)虛擬站點(diǎn)中的設(shè)定隊(duì)列時(shí)間為最小等待時(shí)間時(shí)，則步驟C中判斷該批在制品是否滿足跳站條件的方法為:判斷實(shí)際等待時(shí)間是否大于設(shè)定隊(duì)列時(shí)間，如果大于，則確認(rèn)該批在制品滿足跳站條件；所述實(shí)際等待時(shí)間為從制造執(zhí)行系統(tǒng)上獲取的開(kāi)始站點(diǎn)開(kāi)始工作的最小實(shí)際等待時(shí)間。
[0018]該方法進(jìn)一步包括:當(dāng)制造執(zhí)行系統(tǒng)的虛擬站點(diǎn)中不包含設(shè)定隊(duì)列時(shí)間的信息時(shí)，則流程結(jié)束。
[0019]所述實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)還包括產(chǎn)品型號(hào)，在步驟A和步驟B之間，該方法進(jìn)一步包括:從制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取該批在制品對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品型號(hào)，與實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較，如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中包含與該批在制品對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品型號(hào)，則執(zhí)行步驟B，否則流程結(jié)束。
[0020]該方法進(jìn)一步包括:如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中不包含與該批在制品對(duì)應(yīng)的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)，則流程結(jié)束。
[0021]由上述的技術(shù)方案可見(jiàn)，本發(fā)明實(shí)施例建立實(shí)時(shí)派工(Real Time Dispatch, RTD)系統(tǒng)，在實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)中建立實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)，預(yù)先存儲(chǔ)結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能，開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)，以及從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)。然后由實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)判斷到達(dá)Dummy站點(diǎn)的在制品是否滿足跳站條件，如果滿足，則指示MES跳過(guò)Dummy站點(diǎn)執(zhí)行后續(xù)站點(diǎn)工序。與現(xiàn)有技術(shù)技術(shù)相比，本發(fā)明通過(guò)實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)派工，不需要操作人員手工派工，能夠在一批在制品到達(dá)Drnnmy站點(diǎn)時(shí),快速準(zhǔn)確地跳過(guò)Drnnmy站點(diǎn)。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1為MES的顯示示意圖。
[0023]圖2為本發(fā)明半導(dǎo)體制造控制方法的流程示意圖。
[0024]圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例半導(dǎo)體制造控制方法的流程示意圖。
[0025]圖4為本發(fā)明第二實(shí)施例半導(dǎo)體制造控制方法的流程示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0026]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案、及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖并舉實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0027]本發(fā)明的核心思想是:建立實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)，在實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)中建立實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)，預(yù)先存儲(chǔ)結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能，開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)，以及從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)。然后由實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)判斷到達(dá)Dummy站點(diǎn)的在制品是否滿足跳站條件，如果滿足，則指示MES跳過(guò)Dummy站點(diǎn)執(zhí)行后續(xù)站點(diǎn)工序。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明通過(guò)實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)派工，不需要操作人員手工派工，能夠在一批在制品到達(dá)Du_y站點(diǎn)時(shí)，快速準(zhǔn)確地跳過(guò)Drnnmy站點(diǎn)。
[0028]本發(fā)明半導(dǎo)體制造控制方法的流程示意圖如圖2所示，其包括以下步驟:
[0029]步驟21、預(yù)先在實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)中建立實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)，該數(shù)據(jù)庫(kù)包括:開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)參數(shù)；
[0030]步驟22、一批在制品到達(dá)虛擬(Dmnmy)站點(diǎn)后，從MES中獲取該Drnnmy站點(diǎn)中Q-Time的信息,確定Dummy站點(diǎn)中包含Q-Time信息；
[0031]一批在制品包括多片未完成制造的晶圓，每批在制品的晶圓數(shù)量是一定的，而且相同，例如，一般一批晶圓的數(shù)量為25片。
[0032]步驟23、從MES中獲取該批在制品的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)；
[0033]步驟24、與實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較，如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中包含與該批在制品對(duì)應(yīng)的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)值，則判斷該批在制品是否滿足跳站條件，如果滿足，則指示MES跳過(guò)Dummy站點(diǎn)執(zhí)行后續(xù)站點(diǎn)工序。
[0034]其中，步驟22中確定Dummy站點(diǎn)中包含Q-Time信息,也就可以確定是哪種Q-Time模式。Q-Time分為兩種模式，一種為最大允許等待時(shí)間，即至少在多長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)完成一個(gè)站點(diǎn)到其他站點(diǎn)的工序。一種為最小等待時(shí)間，即要開(kāi)始一個(gè)站點(diǎn)的工序至少要等待多長(zhǎng)時(shí)間。因此，當(dāng)Dummy站點(diǎn)中的Q-Time為最大允許等待時(shí)間時(shí),所述實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)還包括:結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能，以及從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)，則步驟24中判斷該批在制品是否滿足跳站條件的方法為:根據(jù)結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能、Q-Time以及從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)，計(jì)算安全存量，如果安全存量超過(guò)從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的在制品總量，則確認(rèn)該批在制品滿足跳站條件。當(dāng)Dummy站點(diǎn)中的Q-Time為最小等待時(shí)間時(shí),貝U步驟24中判斷該批在制品是否滿足跳站條件的方法為:判斷實(shí)際等待時(shí)間是否大于Q-Time，如果大于，則確認(rèn)該批在制品滿足跳站條件；Q-Time在兩種模式下都是設(shè)定值，而實(shí)際等待時(shí)間為從MES上獲取的開(kāi)始站點(diǎn)開(kāi)始工作的最小實(shí)際等待時(shí)間。
[0035]以下結(jié)合具體站點(diǎn)工序?qū)Ρ景l(fā)明的方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。仍然以圖1為例。預(yù)先在實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)結(jié)束站點(diǎn)St印7的產(chǎn)能，開(kāi)始站點(diǎn)St印2，結(jié)束站點(diǎn)St印7，從St印2至St印7的安全系數(shù)為0-1中的某一數(shù)值。其中，一個(gè)站點(diǎn)可能存在多臺(tái)機(jī)臺(tái)，St印7的產(chǎn)能為該站點(diǎn)所有機(jī)臺(tái)和的單位時(shí)間產(chǎn)能，單位為晶圓片數(shù)每小時(shí)。從St印2至Step7的安全系數(shù)，可以根據(jù)操作員的經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行定義，如果站點(diǎn)機(jī)臺(tái)在Q-Time (72小時(shí))內(nèi)出現(xiàn)故障的幾率比較高，則安全系數(shù)較低，反之，安全系數(shù)較高。理想情況下，各個(gè)站點(diǎn)機(jī)臺(tái)在Q-Time內(nèi)都正常工作，沒(méi)有故障發(fā)生，這樣從St印2至Step7的安全系數(shù)等于I。本發(fā)明第一實(shí)施例半導(dǎo)體制造控制方法流程示意圖如圖3所示，其包括以下步驟:[0036]實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)建立完成后，接下來(lái)執(zhí)彳丁步驟31、在制品到達(dá)Dummy站點(diǎn)后，從MES中獲取該Dummy站點(diǎn)中Q-Time的信息，本實(shí)施例中Q-Time為最大允許等待時(shí)間。如果MES的Dummy站點(diǎn)中不包含Q-Time的信息時(shí)，則流程結(jié)束。確定該Dummy站點(diǎn)中包含Q-Time信息后，執(zhí)行步驟32 ；
[0037]步驟32、從MES中獲取該批在制品的開(kāi)始站點(diǎn)St印2和結(jié)束站點(diǎn)St印7 ；
[0038]步驟33、與已建立的實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較，找到對(duì)應(yīng)的開(kāi)始站點(diǎn)St印2和結(jié)束站點(diǎn)St印7后執(zhí)行步驟34 ;如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中沒(méi)有存儲(chǔ)開(kāi)始站點(diǎn)St印2和結(jié)束站點(diǎn)St印7，則流程結(jié)束。
[0039]步驟34、根據(jù)結(jié)束站點(diǎn)St印7的產(chǎn)能、Q-Time72小時(shí)以及從St印2到St印7的安全系數(shù)，計(jì)算安全存量，其中，安全存量為St印7的產(chǎn)能*72小時(shí)*從St印2到St印7的安全系數(shù)。
[0040]安全存量是一個(gè)計(jì)算出來(lái)的既定值，將實(shí)際站點(diǎn)上的在制品量與這個(gè)設(shè)定值相比較，如果超出這個(gè)設(shè)定值，說(shuō)明站點(diǎn)能力有限，不能完成任務(wù)。在該實(shí)施例中，如果安全存量超過(guò)從Step2到St印7上的在制品總量，說(shuō)明在72小時(shí)內(nèi)，St印7的產(chǎn)能完全能夠處理完從Step2到Step7上的 在制品量,從而確認(rèn)該批在制品滿足跳站條件，指示MES跳過(guò)Dummy站點(diǎn)執(zhí)行Step2的工序。如果安全存量未超過(guò)從St印2到St印7上的在制品總量，說(shuō)明該批在制品還不能開(kāi)始進(jìn)入開(kāi)始站點(diǎn)Step2，需要等待一定時(shí)間，從而確認(rèn)該批在制品不滿足跳站條件，流程結(jié)束。其中，從Step2到St印7上的在制品總量的獲取方法為:從MES上獲取從St印2到St印7每個(gè)站點(diǎn)上的在制品量，并計(jì)算每個(gè)站點(diǎn)上的在制品量的和。
[0041]至此，本發(fā)明第一實(shí)施例的半導(dǎo)體制造控制方法流程結(jié)束。上述各個(gè)步驟中流程結(jié)束指的是將該批在制品保留在Dummy站點(diǎn)中，不作任何處理，等待后續(xù)人工進(jìn)行另外操作處理。
[0042]另外，每批在制品都有對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品型號(hào)(Product-1D)，這一數(shù)據(jù)也會(huì)在實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中進(jìn)行相應(yīng)記錄，不同的產(chǎn)品型號(hào)對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)庫(kù)不同的內(nèi)容，因此在本發(fā)明第二實(shí)施例中，預(yù)先在實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中存儲(chǔ)結(jié)束站點(diǎn)Step7的產(chǎn)能，開(kāi)始站點(diǎn)Step2，結(jié)束站點(diǎn)Step7，從St印2至Step7的安全系數(shù)為0_1中的某一數(shù)值，以及對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品型號(hào)。本實(shí)施例中Q-Time為最小等待時(shí)間，所以實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中的結(jié)束站點(diǎn)Step7的產(chǎn)能，以及從Step2至Step7的安全系數(shù)在本實(shí)施例的實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中僅是保存，不會(huì)在下面步驟中應(yīng)用到。本發(fā)明第二實(shí)施例半導(dǎo)體制造控制方法流程示意圖如圖4所示，其包括以下步驟:
[0043]步驟41、在制品到達(dá)Dummy站點(diǎn)后,從MES中獲取該Dummy站點(diǎn)中Q-Time的信息，本實(shí)施例中Q-Time為最小等待時(shí)間，例如開(kāi)始Step2至少需要等待的時(shí)間I小時(shí)。如果MES的Dummy站點(diǎn)中不包含Q-Time的信息時(shí),則流程結(jié)束。確定該Dummy站點(diǎn)中包含Q-Time信息后，執(zhí)行步驟42 ；
[0044]步驟42、從MES獲取該批在制品對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品型號(hào)，與已建立的實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較，找到實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中包含與該批在制品對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品型號(hào)，則執(zhí)行步驟43，否則流程結(jié)束。
[0045]步驟43、從MES中獲取該批在制品的開(kāi)始站點(diǎn)St印2和結(jié)束站點(diǎn)St印7 ；
[0046]步驟44、與已建立的實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較，找到對(duì)應(yīng)的開(kāi)始站點(diǎn)St印2和結(jié)束站點(diǎn)St印7后執(zhí)行步驟45 ;如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中沒(méi)有存儲(chǔ)開(kāi)始站點(diǎn)St印2和結(jié)束站點(diǎn)St印7，則流程結(jié)束。
[0047]步驟45、判斷實(shí)際等待時(shí)間是否大于Q-Timel小時(shí)，如果大于，則確認(rèn)該批在制品滿足跳站條件，指示MES跳過(guò)Dummy站點(diǎn)執(zhí)行Step2的工序。如果實(shí)際等待時(shí)間小于Q-Timel小時(shí)，則確認(rèn)該批在制品不滿足跳站條件，流程結(jié)束。所述實(shí)際等待時(shí)間為從MES上獲取的開(kāi)始站點(diǎn)Step2開(kāi)始工作的等待時(shí)間。
[0048]至此，本發(fā)明第二實(shí)施例的半導(dǎo)體制造控制方法流程結(jié)束。
[0049]經(jīng)過(guò)本發(fā)明的半導(dǎo)體制造控制方法，由實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)獲取信息，進(jìn)行WIP狀況的計(jì)算，進(jìn)而判斷是否滿足跳站條件，使得Du_y站點(diǎn)不再需要操作人員判斷計(jì)算產(chǎn)能和WIP狀況，不再需要手工派工，從而實(shí)現(xiàn)了快速準(zhǔn)確地跳過(guò)Du_y站點(diǎn)。
[0050]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換以及改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體制造控制方法，應(yīng)用于實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)中，該方法包括:預(yù)先在實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)中建立實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)，該數(shù)據(jù)庫(kù)包括:開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)參數(shù)；該方法還包括: A、一批在制品到達(dá)虛擬站點(diǎn)后，從制造執(zhí)行系統(tǒng)中獲取該虛擬站點(diǎn)中設(shè)定隊(duì)列時(shí)間的信息，確定虛擬站點(diǎn)中包含設(shè)定隊(duì)列時(shí)間信息； B、從制造執(zhí)彳丁系統(tǒng)中猶取該批在制品的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)； C、與實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較，如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中包含與該批在制品對(duì)應(yīng)的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)值，則判斷該批在制品是否滿足跳站條件，如果滿足，則指示制造執(zhí)行系統(tǒng)跳過(guò)虛擬站點(diǎn)執(zhí)行后續(xù)站點(diǎn)工序。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)還包括:結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能，以及從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)，當(dāng)虛擬站點(diǎn)中的設(shè)定隊(duì)列時(shí)間為最大允許等待時(shí)間時(shí)，則步驟C中判斷該批在制品是否滿足跳站條件的方法為:根據(jù)結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能、設(shè)定隊(duì)列時(shí)間以及從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)，計(jì)算安全存量，如果安全存量超過(guò)從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的在制品總量，則確認(rèn)該批在制品滿足跳站條件。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，如果安全存量未超過(guò)從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的在制品總量，則確認(rèn)該批在制品不滿足跳站條件，流程結(jié)束。
4.如權(quán)利要求 3所述的方法，其特征在于，所述安全存量為結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能*設(shè)定隊(duì)列時(shí)間*從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)的安全系數(shù)；所述表示乘號(hào)。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)上的在制品總量的獲取方法為:從制造執(zhí)行系統(tǒng)上獲取從開(kāi)始站點(diǎn)到結(jié)束站點(diǎn)每個(gè)站點(diǎn)上的在制品量，并計(jì)算每個(gè)站點(diǎn)上的在制品量的和。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述結(jié)束站點(diǎn)的產(chǎn)能為該站點(diǎn)所有機(jī)臺(tái)和的單位時(shí)間產(chǎn)能。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，當(dāng)虛擬站點(diǎn)中的設(shè)定隊(duì)列時(shí)間為最小等待時(shí)間時(shí)，則步驟C中判斷該批在制品是否滿足跳站條件的方法為:判斷實(shí)際等待時(shí)間是否大于設(shè)定隊(duì)列時(shí)間，如果大于，則確認(rèn)該批在制品滿足跳站條件；所述實(shí)際等待時(shí)間為從制造執(zhí)行系統(tǒng)上獲取的開(kāi)始站點(diǎn)開(kāi)始工作的最小實(shí)際等待時(shí)間。
8.如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，該方法進(jìn)一步包括:當(dāng)制造執(zhí)行系統(tǒng)的虛擬站點(diǎn)中不包含設(shè)定隊(duì)列時(shí)間的信息時(shí)，則流程結(jié)束。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)還包括產(chǎn)品型號(hào)，在步驟A和步驟B之間，該方法進(jìn)一步包括:從制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取該批在制品對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品型號(hào)，與實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行比較，如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中包含與該批在制品對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品型號(hào)，則執(zhí)行步驟B，否則流程結(jié)束。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，該方法進(jìn)一步包括:如果實(shí)時(shí)派工數(shù)據(jù)庫(kù)中不包含與該批在制品對(duì)應(yīng)的開(kāi)始站點(diǎn)和結(jié)束站點(diǎn)，則流程結(jié)束。
【文檔編號(hào)】G06Q50/04GK104021499SQ201310065198
【公開(kāi)日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2013年3月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月1日
【發(fā)明者】譚小兵, 高磊, 李曄, 劉群燕, 趙晨 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司