專利名稱：：包括力測量的定位觸摸傳感器的制作方法包括力測量的定位觸摸傳感器
技術(shù)領(lǐng)域：
提供了可測量施加的力并且可用于電子顯示器上的觸摸傳感器。
背景技術(shù)：
：定位觸摸屏傳感器檢測施加到觸摸屏顯示器表面的物體(例如手指或觸筆)的位置或位于觸摸屏顯示器表面附近的物體的位置。這些傳感器沿著顯示器表面(即在平坦的矩形顯示器的平面內(nèi))檢測物體的位置。定位觸摸屏傳感器的實(shí)例包括電容式傳感器、電阻式傳感器和投射電容式傳感器。這種傳感器包括覆蓋顯示器的透明導(dǎo)電元件。導(dǎo)電元件可以與使用電信號(hào)探測導(dǎo)電元件的電子元件結(jié)合使用，以便確定靠近或接觸顯示器的物體的位置。除定位感測之外，對于諸如觸摸屏顯示器的用戶輸入裝置(例如，計(jì)算機(jī)用戶輸入裝置)來說，測量與觸摸事件相關(guān)的力的大小通常是有用的。已在此前描述了包括力測量的觸摸屏顯示器傳感器的多種設(shè)計(jì)和構(gòu)造。包括力測量的觸摸屏顯示器傳感器的設(shè)計(jì)和構(gòu)造包括基于應(yīng)變儀的實(shí)例，諸如在美國專利No.5，541，371(Baller等人)中的公開；基于導(dǎo)電跡線或電極之間的電容變化的實(shí)例，所述導(dǎo)電跡線或電極存在于傳感器中的通過電介質(zhì)材料或包括材料和空氣的電介質(zhì)結(jié)構(gòu)分離的不同層上，諸如在美國專利No.7，148，882(Kamrath等人)和No.7，538，760(Hotelling等人)中所公開的；基于導(dǎo)電跡線之間的電阻變化的實(shí)例，所述導(dǎo)電跡線存在于傳感器中的通過壓敏電阻復(fù)合材料分離的不同層上，所述實(shí)例諸如在美國專利公開No.2009/0237374(Li等人)中的公開；以及，基于導(dǎo)電跡線之間的偏振發(fā)展的實(shí)例，所述導(dǎo)電跡線存在于傳感器中的通過壓電材料分離的不同層上，所述實(shí)例諸如在美國專利公開No.2009/0309616(Klinghult等人)中的公開。多數(shù)這種測量觸摸力的觸摸屏顯示器傳感器受一些缺點(diǎn)的限制。這些缺點(diǎn)包括透明導(dǎo)電元件(例如，基于銦錫氧化物的元件)當(dāng)發(fā)生應(yīng)變時(shí)傾向于斷裂；顯眼的感測元件，因?yàn)樗鼈兛墒癸@示器的可視度基本模糊所以不適于介于裝置用戶與信息顯示器之間；以及龐大的力測量組件，其可導(dǎo)致不期望的裝置或框厚度或其它大的裝置尺寸。
發(fā)明內(nèi)容因此，在本領(lǐng)域中存在對這樣的觸摸顯示器傳感器系統(tǒng)的需求，其可測量觸摸的位置和力，同時(shí)不使導(dǎo)電材料斷裂，不使信息顯示器的可視度變模糊，并且不使用導(dǎo)致不良產(chǎn)品設(shè)計(jì)的龐大的組件。提供的傳感器克服了這些缺點(diǎn)的一些或全部。在一個(gè)方面，提供的制品包括具有可視區(qū)域的電子顯示器；具有一表面的透明絕緣基底；以及力感測元件，所述力感測元件包括設(shè)置在所述基底的所述表面上的至少一個(gè)金屬跡線微圖案，其中所述透明絕緣基底設(shè)置在所述電子顯示器上，并且其中所述力感測元件覆蓋所述電子顯示器的所述可視區(qū)域的至少一部分而基本不使所述顯示器的可視區(qū)域模糊。所述制品可還包括設(shè)置在所述電子顯示器上的透明的位置觸摸感測元件。另外，通過將金屬涂層設(shè)置在所述基底的所述表面上以及至少部分地蝕刻金屬以形成設(shè)置在所述基底上的導(dǎo)電金屬跡線微圖案來提供一種制備提供的觸摸屏顯示器的方法。所述方法可還包括提供具有凸起特征的油墨壓模；以及在至少部分地蝕刻金屬之前將所述油墨壓模的所述凸起特征與所述金屬涂層接觸。所述方法可還包括提供具有凸起特征的油墨壓模，其中所述油墨壓模通過自組裝單層形成分子(monolayer-formingmolecules)著墨；以及在部分地蝕刻金屬之前將所述油墨壓模的所述凸起特征與所述金屬涂層接觸。在另一方面，提供的制品包括具有可視區(qū)域的電子顯示器；透明絕緣基底，所述透明絕緣基底設(shè)置在所述電子顯示器的所述可視區(qū)域的至少一部分上；以及觸摸傳感器，所述觸摸傳感器設(shè)置在覆蓋所述電子顯示器的所述可視區(qū)域的至少一部分的所述基底的表面上；其中所述觸摸傳感器包括力感測元件，其中所述力感測元件包括第一組微網(wǎng)片帶和第二組微網(wǎng)片帶，其中所述微網(wǎng)片帶各自包括金屬導(dǎo)體跡線，其中所述第一和第二組微網(wǎng)片帶占據(jù)沿著與所述平面垂直的方向間隔開的基本平行的平面，并且其中所述第一組微網(wǎng)片帶的至少一個(gè)帶與所述第二組微網(wǎng)片帶的至少一個(gè)帶交叉。提供的制品可還包括具有可視區(qū)域的電子顯示器，其中所述力感測元件覆蓋顯示器的可視區(qū)域的至少一部分而基本不使顯示器的可視區(qū)域模糊。在本公開中“導(dǎo)電跡線”意指在導(dǎo)電材料的圖案中的窄的、線性圖案元件；例如寬度為2微米，長度為100微米的導(dǎo)電線；“導(dǎo)電的”是指體電阻率介于約10_6至I歐姆-cm之間的材料；“力感測元件”意指傳感器或裝置的受觸摸事件的力的影響的那部分，所述影響方式為影響程度與觸摸事件的力的大小相關(guān)，以及所述大小可至少通過利用附著到力感測元件的電子器件大約測量到；在此所用的力感測元件可直接測量力或者可測量相關(guān)的性倉泛;“將集成”或“集成”指將無源電路元件、力感測元件或電容感測元件直接放置或設(shè)置在基底的表面上；集成無源電路元件與分立無源電路元件大不相同，所述分立無源電路元件是例如必須接合至基底并電連接到基底(例如，焊料接合或引線鍵合)的片狀電阻器或片狀電容器；“網(wǎng)片”指導(dǎo)電跡線的二維網(wǎng)，例如，彼此正交伸展以產(chǎn)生矩形(如方形)網(wǎng)格的跡線.“金屬”或“金屬化”是指對于預(yù)期目的適合導(dǎo)電的導(dǎo)電材料，諸如元素性金屬或合金?！胺菍?dǎo)電的”和“絕緣的”可互換地使用，并且所述術(shù)語是指大體上不導(dǎo)電的材料，例如，體電阻率為至少IO6Ω-Cm,優(yōu)選地至少IO8Ω-cm,更優(yōu)選地至少IO12Ω-cm的材料；導(dǎo)體微圖案、或?qū)w微圖案的區(qū)域、或包括力感測導(dǎo)體微圖案的至少一部分和觸摸感測微圖案的至少一部分的傳感器的區(qū)域的“開放區(qū)域比率”(或開放區(qū)域或開放區(qū)域的百分比)是未被導(dǎo)體遮蔽的一個(gè)或多個(gè)微圖案的比率；開放區(qū)域比率(或開放區(qū)域或開放區(qū)域的百分比)可用小數(shù)、分?jǐn)?shù)或百分比表示；“位置觸摸感測元件”意指可檢測在所述元件的表面上或沿著覆蓋位置觸摸感測元件的其它元件的表面上的一個(gè)或多個(gè)觸摸或近觸摸事件的位置的元件；“基本平行”意指在一些方面大約沿著相同方向取向的圖案元件；基本平行的圖案元件的實(shí)例是微網(wǎng)片帶(細(xì)長條紋或條帶)，它們沿著相同方向取向并且在平面上鄰近但間隔開；一些基本平行的圖案元件相對于筆直或平行可具有偏離；“自組裝單層”或“SAM”通常是指附著(如，通過化學(xué)鍵附著)在一表面上并且相對于該表面以及甚至相對于彼此采用優(yōu)選取向的單分子層的分子?！坝|摸傳感器或感測”或“觸摸屏”意指這樣的傳感器元件，所述傳感器元件可用一個(gè)或多個(gè)身體部分(即，一個(gè)或多個(gè)手指)通過接觸的方式觸摸或靠近的方式觸摸(間接地一擾動(dòng)電場)而被激活，并且可檢測觸摸事件的力、觸摸事件的位置，或二者；和“對可見光透明”是指對可見光的透射水平為至少60%的透射率，其中透射百分比被歸一化為入射光的強(qiáng)度。包括提供的觸摸傳感器的提供的制品和方法克服了此前可測量力的觸摸屏顯示器傳感器的缺點(diǎn)。提供的制品包括透明的觸摸傳感器，并且包括導(dǎo)電微網(wǎng)片帶，所述導(dǎo)電微網(wǎng)片帶當(dāng)應(yīng)變時(shí)抵抗斷裂并且最低限度地模糊它們設(shè)置于其上的顯示器的可視度。另外，提供的制品和方法避免了使用龐大的組件。以上內(nèi)容并非意圖描述本發(fā)明每種實(shí)施方式的每一個(gè)公開實(shí)施例。和隨后的具體實(shí)施方式更具體地對示例性實(shí)施例進(jìn)行了舉例說明。圖1a是基底的透視圖，所述基底包括設(shè)置在基底的表面上的四個(gè)力感測元件。圖1b是示出在圖1a中示出的基底上包括的一個(gè)力感測元件的分解示圖。圖2是提供的觸摸屏顯示器傳感器的實(shí)施例的一部分的透視圖。圖2A是圖2的提供的觸摸屏顯示器傳感器的部分(220)的分解圖。圖3a和圖3b是提供的觸摸屏顯示器傳感器的側(cè)視圖。圖3a是原生傳感器的示圖，而圖3b是隨著當(dāng)例如用手指觸摸和按壓時(shí)發(fā)生的當(dāng)被局部力壓縮時(shí)的傳感器的示圖。圖4、圖4a和圖4b是提供的制品的實(shí)施例的示意圖。圖5、圖5a和圖5b是提供的制品的實(shí)施例的示意圖。圖6是可用于提供的觸摸屏顯示器中的觸摸傳感器的示意圖。具體實(shí)施方式在下面的描述中，參考形成本說明的一部分的附圖，并且其中以圖示方式示出了若干具體實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解，在不脫離本發(fā)明的范圍或精神的前提下，可以設(shè)想出其他實(shí)施例并進(jìn)行實(shí)施。因此，以下的具體實(shí)施方式不具有限制性意義。除非另外指明，否則本說明書和權(quán)利要求書中使用的表示特征尺寸、數(shù)量和物理特性的所有數(shù)字均應(yīng)該理解為在所有情況下由術(shù)語“約”來修飾。因此，除非有相反的指示，否則在上述說明書和所附權(quán)利要求書中列出的數(shù)值參數(shù)均為近似值，這些近似值可變化，具體取決于本領(lǐng)域的技術(shù)人員利用本文所公開的教導(dǎo)內(nèi)容獲得的所需特性。通過端值表示的數(shù)值范圍包括該范圍內(nèi)的所有數(shù)字(如，I到5包括1、1.5、2、2.75、3、3.80、4和5)以及該范圍內(nèi)的任何范圍。提供了一種包括具有可視區(qū)域的電子顯示器的制品。電子顯示器可為信息的任何可見的顯示器，所述顯示器是電子裝置的一部分或與電子裝置電氣連通。電子顯示器的實(shí)例包括含有產(chǎn)生可見光福射的電致發(fā)光(EL)燈、發(fā)光二極管(LED)、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)或等離子體組件的平板顯示器，它們通常采用矩陣顯示方式。電子顯示器的其它實(shí)例包括反射或背光液晶顯示器(LCD)。電子顯示器的其它實(shí)例包括反射顯示器，諸如電泳(EP)顯示器或電潤濕顯示器。所述顯示器具有可視區(qū)域，其可包括例如通過殼體中的開口或通過框架可被觀看到的顯示器的整個(gè)區(qū)域或顯示器的一些部分。一般來講，電子顯示器的可視區(qū)域是包括用于呈現(xiàn)圖像、數(shù)字或文本形式的可變化信息的裝置的區(qū)域。提供的傳感器包括基底，所述基底被設(shè)置在電子顯示器上。所述基底可以是透明絕緣基底，例如玻璃、聚合物、陶瓷或?qū)梢姽馔该鞯娜魏纹渌住Ｓ糜谕该鹘^緣基底的示例性可用聚合物包括聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯萘(PEN)、聚酰亞胺(PI)和三醋酸酯纖維素(TAC)。如本文所用，“對可見光透明”是指對可見光的至少一種偏振態(tài)的透射水平為至少60%的透射率，其中透射百分比被歸一化為入射光(任選為偏振光)的強(qiáng)度。在“可見光透明”含義范圍之內(nèi)的是，透射至少60%入射光的制品包括在其內(nèi)或其上含有的不透明材料的圖案，所述圖案帶有微觀形貌(如點(diǎn)、方形或線條，該微觀形貌的最小維度(如寬度)在O.5微米至10微米之間，或在I微米至5微米之間)，所述圖案局部地阻止光線使其透射率低于80%(如0%);然而，在這種情況下，對于包括微觀形貌并且寬度為微觀形貌最小維度1000倍的大致各向等大的區(qū)域,平均透射率為大于60%。作為另外一種選擇，針對一些應(yīng)用，基底在可見光光譜的一些區(qū)域中可為不透明的，但是仍然具有透明的可視區(qū)域。所述基底可具有能夠支承力感測元件的表面。因此，基底自身可以是非導(dǎo)電的，并且其可具有導(dǎo)電跡線可以位于其上的表面。在一些實(shí)施例中，可以將額外層(例如，一至三個(gè)額外層)施加于基底和導(dǎo)電跡線圖案之間。例如，平滑基底表面的鈍化層可以存在于基底和導(dǎo)電跡線圖案之間。在這些情況下，所述基底可以導(dǎo)電或可以不導(dǎo)電，但其上直接設(shè)置有導(dǎo)電跡線圖案的層需要是非導(dǎo)電性的。在一些實(shí)施例中，提供的制品包括力感測元件，所述力感測元件包括金屬導(dǎo)體微圖案(本文中可與“金屬跡線微圖案”互換使用)，所述金屬導(dǎo)體微圖案帶有最小尺寸在0.5微米和20微米之間的特征。在其它實(shí)施例中，力感測元件的金屬導(dǎo)體微圖案的特征的最小尺寸在I微米和5微米之間。在其它實(shí)施例中，力感測元件的金屬導(dǎo)體微圖案的特征的最小尺寸在1.5微米和4微米之間。最小尺寸意指可針對導(dǎo)體微圖案測量的最小尺寸。例如，針對由線性導(dǎo)電跡線組成的微圖案，所述最小尺寸是跡線的寬度(或者最窄的一個(gè)或多個(gè)跡線的寬度)。在一些實(shí)施例中，力感測元件的金屬導(dǎo)體微圖案的開放區(qū)域比率可在80%和99.75%之間。在一些其它實(shí)施例中，力感測元件的金屬導(dǎo)體微圖案的開放區(qū)域比率可在90%和99.5%之間。在其它實(shí)施例中，力感測元件的金屬導(dǎo)體微圖案的開放區(qū)域比率可在95%和99%之間。在一些實(shí)施例中，金屬導(dǎo)體微圖案具有約[X+0.5](單位為微米)的導(dǎo)體跡線；以及約[95-X]%和99.5%之間的開放區(qū)域比率，其中O彡X彡4.5。在一些其它實(shí)施例中，金屬導(dǎo)體微圖案具有約[98.5-(2.5X+3.5)]%和[99.5-(X+3.5)]%之間的開放區(qū)域比率，其中O彡X彡3.5。在一些實(shí)施例中，例如通過在金屬導(dǎo)體上沉積深色材料，或者通過在金屬導(dǎo)體的表面上形成深色反應(yīng)產(chǎn)物，使得金屬導(dǎo)體微圖案(例如，跡線)顏色變深，如本領(lǐng)域所公知的那樣。所述深色材料或深色反應(yīng)產(chǎn)物的實(shí)例包括基于碳的材料、金屬硫化物或金屬氧化物。在一些實(shí)施例中，金屬導(dǎo)體微圖案包括規(guī)則網(wǎng)片。在一些實(shí)施例中，規(guī)則網(wǎng)片形成有相對于底層顯示器的規(guī)則像素圖案的偏角，如本領(lǐng)域所公知的那樣。在一些實(shí)施例中，金屬導(dǎo)體微圖案包括無規(guī)或偽無規(guī)網(wǎng)片。在一些實(shí)施例中，微圖案的金屬導(dǎo)體(例如，導(dǎo)電金屬跡線微圖案)是在可不為金屬的基質(zhì)中包括金屬粒子的復(fù)合材料，例如，在衍生自可印刷導(dǎo)電性油墨的聚合物基質(zhì)中包括金屬粒子的復(fù)合材料，如本領(lǐng)域所公知的那樣。在一些實(shí)施例中，力感測元件的至少一部分包括覆蓋(B卩，設(shè)置在上方)電子顯示器的可視區(qū)域的至少一部分而基本不使顯示器的可視區(qū)域模糊的導(dǎo)電金屬跡線的至少一個(gè)微圖案(即，“力感測元件金屬導(dǎo)體微圖案”)。“基本不使顯示器的可視區(qū)域模糊”意指提供的透明絕緣基底具有這樣的力感測元件，所述力感測元件具有不將電子顯示器的可見光透射率減少得比以上描述的更多的金屬導(dǎo)體微圖案，并且透射穿過電子顯示器的光足夠清楚以使得電子裝置顯示的信息基本不失真并且可被正常觀察者(沒有任何明顯視覺障礙的人)讀取。顯示器的可視度可受可見光透射率和具有帶有金屬導(dǎo)體微圖案的力感測元件的透明絕緣基底的霧度二者的影響。上面已經(jīng)描述了可見光透射率?？赏ㄟ^本領(lǐng)域普通技術(shù)人員之一容易測量到霧度或光散射。為了清楚起見，包括力感測元件的提供的基底的霧度可小于約50%，小于約40%，小于約30%，小于約20%，或甚至小于約10%。當(dāng)具有帶金屬導(dǎo)體微圖案的力感測元件的透明絕緣基底介于觀察者與顯示器元件之間時(shí)，顯示器的可視度也可受相對于底層顯示器元件的像素大小和幾何形狀的特征大小和微圖案幾何形狀的影響。針對具有帶金屬導(dǎo)體微圖案的力感測元件的提供的透明絕緣基底，微圖案優(yōu)選包括金屬跡線，其中微圖案的最小特征大小(例如，微圖案的跡線寬度)小于底層像素寬度的一半(沿著跡線的寬度方向)，更優(yōu)選地小于底層像素寬度的10%，最優(yōu)選地小于底層像素寬度的5%。用于形成導(dǎo)電跡線的至少一個(gè)微圖案的可用的金屬的實(shí)例包括金、銀、鈀、鉬、鋁、銅、鎳、鑰、鎢、錫、合金，或它們的組合。導(dǎo)體的厚度可在例如5納米(nm)和5nm之間，或IOnm和500nm之間，或15nm和250nm之間。在多個(gè)實(shí)施例中，導(dǎo)體的厚度小于I微米。如本領(lǐng)域已知的那樣，導(dǎo)體的理想厚度可以從所需薄層電阻開始計(jì)算，并考慮感測圖案的幾何形狀(進(jìn)而考慮其對平面內(nèi)的載流橫截面的影響)以及導(dǎo)體的體電阻。對于具有復(fù)雜幾何形狀的感測圖案，本領(lǐng)域存在可用于計(jì)算薄層電阻的計(jì)算方法，如有限差分法或有限元法，本文稱為對感測圖案屬性進(jìn)行建模。可使用多種技術(shù)測量薄層電阻，其中包括本領(lǐng)域已知的四點(diǎn)探針技術(shù)和非接觸渦電流法。導(dǎo)電金屬跡線的微圖案可通過任何適當(dāng)?shù)膱D案化方法生成，例如包括利用蝕刻的照相平版印刷法或利用電鍍的照相平版印刷法的方法(見，例如，美國專利No.5,126,007(Smulovich)；No.5，492，611(Sugama等人);Νο·5，512，131(Kumar等人);和No.6，775，907(Boyko等人))。另外，導(dǎo)電金屬跡線的微圖案可利用其它示例性方法創(chuàng)建，所述方法諸如激光固化掩蔽法(固化金屬膜上的掩模層，然后蝕刻)；噴墨印刷(掩蔽材料或種子材料的噴墨印刷，以用于后續(xù)的金屬電鍍)；凹版印刷(種子材料的凹版印刷，以用于后續(xù)的金屬電鍍);微復(fù)制(在基底內(nèi)形成微凹槽，然后填充導(dǎo)電材料或種子材料，以用于后續(xù)的金屬電鍍)；或者，微接觸印刷(在基底表面壓印或旋轉(zhuǎn)印刷自組裝單層(SAM)圖案)。利用大量的、高分辨率印刷方法通常允許精確設(shè)置導(dǎo)電元件，還允許按適合市售顯示器像素的比例(偽隨機(jī)地)改變導(dǎo)電跡線，以限制原本會(huì)出現(xiàn)的光學(xué)異常(例如，莫爾條紋圖案)。本文所述某些實(shí)施例可以采用比利用透明導(dǎo)體的現(xiàn)有傳感器透光率更高的平側(cè)“線狀”導(dǎo)體。在一些實(shí)施例中，這些平側(cè)“線狀”導(dǎo)體提供了比現(xiàn)有圓形導(dǎo)線解決方案更大的可量測性，并且更容易控制導(dǎo)體的布置方式。本文所述微導(dǎo)體包括最大橫截面尺寸為10μm或更小的導(dǎo)體。對于許多傳感器應(yīng)用而言，典型的是小于3μm。利用掩蔽和蝕刻的方法通常產(chǎn)生低縱橫比(O.05至O.5μπι厚ΧΙμ至ΙΟμ寬)的微導(dǎo)體。微復(fù)制槽可產(chǎn)生高達(dá)大于1:1的較高縱橫比的微導(dǎo)體。激光固化掩蔽法可以用于通過用紫外線激光選擇性地固化圖案來生成導(dǎo)電跡線的圖案。該方法通常適用于基于薄膜(例如PET)或玻璃的基底。激光固化掩蔽法的例子為用金屬電鍍基底(例如，將銀或銅濺鍍到玻璃或PET薄膜上)；將UV固化性掩蔽油墨均勻涂布(例如，旋涂和浸涂)到電鍍的基底上；用激光器固化印刷油墨的一部分，以在觸摸傳感器的活動(dòng)區(qū)域內(nèi)形成導(dǎo)電跡線，并且也可以固化連接電極與連接墊的(較寬)線條(可以通過光掩模減小激光器的光束寬度)；去除未固化的油墨；以及通過蝕刻從基底上去除除掩蔽油墨下的圖案以外的鍍覆金屬。可采用噴墨印刷和種子油墨電鍍，使用相對寬的種子油墨(催化劑油墨)線來印刷所需圖案，然后用UV激光器(類似于上述激光固化掩蔽法)選擇性地固化，以形成微導(dǎo)電跡線的圖案。該方法的基底可以為薄膜(例如PET)或玻璃。噴墨印刷法使所用的油墨量最少，因此當(dāng)油墨(例如，種子油墨)昂貴時(shí)是可用的。如果油墨成本相對低，則可用均勻涂布整個(gè)基底的另一種方法(例如，旋涂或浸涂)代替噴墨印刷。凹版印刷需要將有待印刷的圖像“蝕刻”到在筒上旋轉(zhuǎn)的金屬板內(nèi)。當(dāng)筒旋轉(zhuǎn)時(shí)，蝕刻表面被油墨所填充，然后當(dāng)填充油墨的蝕刻板和被印刷的薄膜彼此接觸時(shí)，油墨就會(huì)在薄膜表面上沉積。種子油墨(或催化劑油墨)可以通過上述方法中的任何一種印刷。印刷和固化后，可將油墨與金屬(例如銅)化學(xué)鍍到一起，從而導(dǎo)致高導(dǎo)電率。種子油墨制造商包括英國劍橋的導(dǎo)電噴墨技術(shù)公司(ConductiveInkjetTechnology)(卡柯洛公司(Carclo)的分公司)和英格蘭法恩伯勒的奎奈蒂克公司(QinetiQCompany)。新墨西哥州阿爾伯克的卡伯可印刷電子器件和顯不器公司(CabotPrintableElectronicsandDisplays)制造可噴墨印刷的銀導(dǎo)電油墨。微復(fù)制是可以用于形成導(dǎo)電金屬跡線的微圖案的另一種方法。微復(fù)制的溝槽可以被種子油墨填充并隨后被電鍍以使得它們導(dǎo)電?；蛘撸捎帽旧韺?dǎo)電的油墨填充溝槽，從而無需電鍍工藝。第三種替代形式是用金屬涂布基底，然后掩蔽在凹槽(底部)中的金屬的一部分，然后蝕刻掉未掩蔽的金屬(參見，例如PCT專利公布No.W02010/002679(Stay等人)和No.W02010/002519(Moran等人))?？梢愿淖儨喜鄣膶?shí)際形狀，以優(yōu)化提供最低光學(xué)干擾水平的橫截面形狀和尺寸，同時(shí)仍確保高導(dǎo)電率和高生產(chǎn)產(chǎn)量。填充后的微復(fù)制溝槽會(huì)形成(相對于掩蔽金屬薄膜)具有高縱橫比橫截面的導(dǎo)體。這樣可以在光學(xué)可見度最低的情況下實(shí)現(xiàn)最高的導(dǎo)電率(觀察方向狹窄的橫截面)。填充微復(fù)制溝槽的方法和具有高縱橫比的溝槽的理想形狀在共同授讓的美國專利公布No.2007/0160811(Gaides等人)中有所描述。微接觸印刷是可以用于形成導(dǎo)電跡線的圖案的又一種方法。微接觸印刷是將自組裝單層(SAM)圖案壓印或旋轉(zhuǎn)印刷到基底表面上。該方法具有若干技術(shù)上重要的特征，包括形成非常微小比例的圖案(如十分之一微米大小的特征尺寸)以及圖案化單層向金屬、陶瓷和聚合物的圖案化擴(kuò)展的能力。在示例性微接觸印刷法中，基底被涂布金屬(例如，將銀或銅濺射涂布或電鍍到玻璃或PET膜上);將自組裝單層掩模壓印到電鍍基底上；并且，通過蝕刻去除除在掩模下的圖案之外的涂布在基底上的金屬(即，部分蝕刻)。如本領(lǐng)域已知的，微接觸印刷可與金屬沉積法結(jié)合使用，以產(chǎn)生添加的圖案化方法(例如，包括化學(xué)鍍)。通常，力感測元件(金屬跡線的微圖案)可利用印刷方法進(jìn)行加工?？梢允褂梦⒔佑|印刷方法來制造它們。微接觸印刷是用凸紋圖案化的彈性體壓模將自組裝單層(SAM)圖案化轉(zhuǎn)印至基底。SAM可以按照壓模的高凸紋圖案被轉(zhuǎn)印至基底。在薄膜金屬上的微接觸印刷SAM可以用作抗蝕刻層。例如在特征結(jié)構(gòu)尺寸(如跡線寬度)為一微米或更小的情況下，薄膜金屬導(dǎo)體的高分辨率微圖案化會(huì)是可能的。通過微接觸印刷然后蝕刻來對薄膜金屬進(jìn)行減成微圖案化在美國專利No.5，512，131(Kumar等人)中有所描述。形成用于透明觸摸屏顯示器上的感測裝置的集成無源電路元件的微接觸印刷法公布于例如美國序列號(hào)12/767,884(Weaver等人)(2010年4月27日提交)中。在一個(gè)實(shí)施例中，提供的制品中包括的力感測元件可為側(cè)向電阻式應(yīng)變儀。圖1a是基底的透視圖，所述基底包括設(shè)置在基底的表面上的四個(gè)力感測元件。圖1b是示出在圖1a中所示的基底上包括的一個(gè)力感測元件的分解示圖。在圖1a中，具體制品100的一部分(除去具有可視區(qū)域的電子顯示器，其未示出)被示出。制品部分100包括具有一表面的透明絕緣基底102，在圖示實(shí)施例中，所述表面是玻璃或透明絕緣聚合物的厚的透明塊。制品100具有設(shè)置在基底102的表面上的四個(gè)力感測元件104。在圖示實(shí)施例中，基底是基本剛性的，但可通過觸摸事件的力而偏轉(zhuǎn)。力感測元件位于制品的一個(gè)區(qū)域內(nèi)，當(dāng)該區(qū)域覆蓋在(即，布置在)電子顯示裝置上時(shí)，其覆蓋電子顯示器的可視區(qū)域的至少一部分，但是基本不使顯示器的可視區(qū)域模糊。在圖示實(shí)施例中，力感測元件104被布置在顯示器的可視部分的角落，并且如圖1b所示和描述，它們由微網(wǎng)片的金屬導(dǎo)電跡線構(gòu)成，所述金屬導(dǎo)電跡線具有如上所述的高開放區(qū)域比率，提高了所述金屬導(dǎo)電跡線設(shè)置于其上的電子顯示裝置的可視度。在一些實(shí)施例中，當(dāng)與合適的電子器件結(jié)合時(shí)，觸摸傳感器包括力感測元件，所述力感測元件還用作位置觸摸感測元件。例如，在圖1a中，當(dāng)多個(gè)力感測元件104與基底102集成時(shí)，響應(yīng)于單獨(dú)的力感測元件的差可用于確定除觸摸事件的力的大小之外的觸摸事件的位置。在一些實(shí)施例中，當(dāng)與合適的電子器件結(jié)合時(shí)，觸摸傳感器包括與位置觸摸感測元件分離的力感測元件。例如，力感測元件104還可與位置觸摸感測元件(例如電阻式位置觸摸感測元件)結(jié)合，所述電阻式位置觸摸感測元件在本領(lǐng)域中是熟知的(見，例如，美國專利公開No.2005/0076824(Cross等人))。在一個(gè)這種方法中，力感測元件104可集成在基底102上，同時(shí)基底102構(gòu)成電阻式位置觸摸感測元件的一部分。在該方法中，力感測元件104可集成在作為基底102(例如，聚碳酸酯、聚(甲基丙烯酸甲酯)或玻璃)的半剛性基片的一側(cè)，并且導(dǎo)電聚合物涂層可設(shè)置在相對側(cè)上，所述導(dǎo)電聚合物涂層構(gòu)成氣隙分離的電阻式位置觸摸感測元件的底部(例如)導(dǎo)電層，如本領(lǐng)域公知的那樣。另外，例如，力感測元件104還可與表面電容式位置觸摸感測元件結(jié)合，所述表面電容式位置觸摸感測元件在本領(lǐng)域中是熟知的(見，例如，美國專利No.6，549，193(Huang等人))。最后，例如，力感測元件104還可與投射電容式位置觸摸感測元件結(jié)合，所述投射電容式位置觸摸感測元件在本領(lǐng)域中是熟知的(見，例如，美國專利公開No.2005/0083307(Aufderheide等人))。圖1b是圖1a中所示的力感測元件之一的分解圖。力感測元件104是側(cè)向電阻式應(yīng)變儀感測元件，并且包括金屬跡線微圖案(本文中稱作“微網(wǎng)片”)106(包括U形網(wǎng)格)或?qū)щ娊饘氽E線的微網(wǎng)片。微圖案106的末端與電阻測量裝置108電氣連通。力感測元件104的電阻隨著微圖案的應(yīng)變而變化。例如，力感測元件104的電阻隨元件沿著其長軸方向被拉伸而增大(因此用作應(yīng)變儀)，元件的所述拉伸將這樣實(shí)現(xiàn)使基底彎曲(或偏轉(zhuǎn))使得沿著元件的長軸方向出現(xiàn)弧(此時(shí)元件位于偏轉(zhuǎn)的基底的外(凸)表面上)。當(dāng)力感測元件104相對于面對用戶觸摸表面位于剛性基底的下側(cè)時(shí)，可產(chǎn)生這種效果。在圖1a的具體制品中，位于基本矩形基底102的角落的四個(gè)力感測元件的組合可檢測例如通過觸摸事件導(dǎo)致的基底的偏轉(zhuǎn)，以及來自觸摸事件的力的量和力的位置。觸摸事件的力的位置和量可這樣確定測量所有四個(gè)元件的電阻變化，并將測量到的變化與已在校正工序中記錄的已知觸摸力的位置和大小相關(guān)的電阻變化進(jìn)行比較。電阻的測量對于本領(lǐng)域的那些普通技術(shù)人員是公知的。使用校正工序建立觸摸事件的位置與多個(gè)感測元件的響應(yīng)之間的關(guān)系對于觸摸顯示器領(lǐng)域的那些普通技術(shù)人員是公知的，所述觸摸顯示器領(lǐng)域例如表面電容觸摸顯示器領(lǐng)域、聲脈沖識(shí)別觸摸顯示器領(lǐng)域或基于力的觸摸顯示器領(lǐng)域。在另一方面，提供了一種觸摸傳感器，其包括具有一表面的透明絕緣基底和透明力感測元件(例如，當(dāng)傳感器與電子顯示器結(jié)合以形成觸摸屏電子顯示器時(shí)設(shè)置在電子顯示器的可視區(qū)中的力感測元件)，其中力感測元件包括設(shè)置在基底的所述表面上的金屬跡線主微圖案；對電極，所述對電極透明并且與金屬跡線主微圖案間隔開；以及介于金屬跡線微圖案與對電極之間(并且在一些實(shí)施例中，與金屬跡線微圖案和對電極直接毗鄰)的壓力響應(yīng)材料(所述觸摸傳感器在本文中稱作“兩層力感測觸摸傳感器”)。金屬跡線主微圖案具有網(wǎng)片的幾何形狀，并且具有80%和99.75%之間的開放區(qū)域比率。在一些其它實(shí)施例中，力感測元件的金屬跡線主微圖案的開放區(qū)域比率可在90%和99.5%之間。在其它實(shí)施例中，力感測元件的金屬跡線主微圖案的開放區(qū)域比率可在95%和99%之間。在一些實(shí)施例中，金屬跡線主微圖案具有約[X+0.5](以微米(μm)為單位)的導(dǎo)體跡線；和約[95-X]%和99.5%之間的開放區(qū)域比率，其中O彡X彡4.5。在一些其它實(shí)施例中，金屬跡線主微圖案具有約[98.5-(2.5X+3.5)]%和[99.5-(X+3.5)]%之間的開放區(qū)域比率，其中O^3.5ο金屬跡線主微圖案包括最小尺寸在0.5μm和20μm之間的特征。在其它實(shí)施例中，力感測元件的金屬跡線主微圖案的特征的最小尺寸在Iμm和5μm之間。在一些實(shí)施例中，力感測元件的金屬跡線主微圖案的特征的最小尺寸在1.5μπι和4μπι之間。特征的最小尺寸意指金屬跡線主微圖案的特征的可測量的最小尺寸。例如，對于由線性導(dǎo)電跡線組成的微圖案，最小尺寸是跡線的寬度(或者最窄的一個(gè)或多個(gè)跡線的寬度)。根據(jù)導(dǎo)電跡線主微圖案的整個(gè)先前描述，對電極可為導(dǎo)電跡線的次級(jí)微圖案。作為另外一種選擇，對電極可包括透明導(dǎo)電氧化物(例如，銦錫氧化物)，或其可包括導(dǎo)電聚合物(例如，聚(3，4-乙烯二氧噻吩)_聚苯乙烯磺酸鹽(PED0T-PSS))。壓力響應(yīng)材料可為例如，壓電材料，響應(yīng)于施加的壓力產(chǎn)生偏振；壓敏電阻材料，體電導(dǎo)率響應(yīng)于施加的壓力發(fā)生變化；或者低彈性模量絕緣材料或甚至可壓縮的絕緣材料，在例如施加局部單軸壓力時(shí)容易變形。當(dāng)置于金屬跡線主微圖案與對電極之間時(shí)，后面的低模量或可壓縮材料在本文中被稱作可變形電介質(zhì)形式的壓力響應(yīng)材料?？勺冃坞娊橘|(zhì)的實(shí)例包括開孔泡沫、凝膠和非交聯(lián)或輕度交聯(lián)聚合物(例如聚氨酯或硅樹脂)形式的材料。這種材料可具有小于lOMPa、小于5MPa、小于2MPa或甚至小于IMPa的彈性模量。在一些實(shí)施例中，可變形電介質(zhì)材料具有O.05MPa和5MPa之間的彈性模量。在一些實(shí)施例中，可變形電介質(zhì)材料具有O.1MPa和IMPa之間的彈性模量。可變形電介質(zhì)形式的壓力響應(yīng)材料的其它實(shí)例包括通過空氣分離的圖案化絕緣材料(例如，噴墨印刷的點(diǎn)狀圖案)或帶有氣阱的結(jié)構(gòu)化絕緣材料(例如，波狀的)(例如，通過壓印形成的波狀的聚合物膜)。對電極優(yōu)選設(shè)置在第二透明絕緣基底的表面上。通常，相對于對電極和第二透明絕緣基底的位置，具有金屬跡線主微圖案的透明絕緣基底可被取向?yàn)槌|摸傳感器(或觸摸顯示器)用戶。在這個(gè)方面，觸摸傳感器設(shè)有帶有兩個(gè)主表面的平面狀的柔性透明絕緣基底，第一表面被取向?yàn)槌鴤鞲衅饔脩?本文中稱作構(gòu)造的頂部)，而第二表面具有設(shè)于其上的導(dǎo)電跡線主微圖案、位于網(wǎng)片形式的導(dǎo)電跡線主微圖案下方的一層壓力響應(yīng)材料、平面狀對電極(例如，網(wǎng)片形式的導(dǎo)電跡線的次級(jí)微圖案或透明導(dǎo)電氧化物材料的涂層)和優(yōu)選比上述柔性透明絕緣基底更剛性的第二透明絕緣基底。優(yōu)選地，柔性透明絕緣基底比第二透明絕緣基底更薄。通常，柔性透明絕緣基底的厚度小于150μm,更通常地,厚度小于100μmo第二透明絕緣基底的厚度可大于150μm,厚度至少為250μm，或甚至厚度至少為500μm(例如，1mm、1.5mm、2mm)。柔性透明絕緣基底可為聚合物膜，所述聚合物膜諸如(例如)包括聚(對苯二甲酸乙二醇酯)(PET)、聚(萘二甲酸乙二醇酯)(PEN)、聚(甲基丙烯酸甲酯)(PMMA)或聚碳酸酯的膜。柔性透明絕緣基底可為薄玻璃片(例如，IOOym厚或更小)。第二透明絕緣基底可為聚合物片或玻璃片，例如，聚(對苯二甲酸乙二醇酯)(PET)、聚(萘二甲酸乙二醇酯)(PEN)、聚(甲基丙烯酸甲酯)(PMMA)、聚碳酸酯或鈉鈣硅玻璃。在兩層力感測觸摸傳感器的一些方面，提供觸摸屏顯示器傳感器(觸摸傳感器)以用于與具有可視區(qū)域的電子顯示器組合，所述傳感器包括透明絕緣基底，所述透明絕緣基底具有一表面和設(shè)置在所述表面上的力感測元件。力感測元件可包括兩組微網(wǎng)片的微圖案帶，并且每個(gè)微網(wǎng)片帶可包括金屬導(dǎo)體的跡線。力感測元件和觸摸感測元件可覆蓋顯示器的可視區(qū)域的至少一部分而基本不使顯示器的可視區(qū)域模糊。每個(gè)微網(wǎng)片帶可為透明的。力感測元件可為透明的。力感測元件當(dāng)與合適的電子器件結(jié)合時(shí)也可用作位置觸摸感測元件，作為另外一種選擇，力感測元件可與分離的位置觸摸感測元件(例如，已描述的電阻式位置觸摸感測元件、表面電容式位置觸摸感測元件或投射電容式位置觸摸感測元件)結(jié)合。提供的觸摸屏顯示器傳感器中的力感測元件可包括壓力響應(yīng)材料元件，諸如壓敏電阻式、壓電式或電容式感測元件。壓電式感測元件測量由于施加的機(jī)械應(yīng)力導(dǎo)致的材料的電阻變化。壓敏電阻式感測元件可包括壓敏電阻材料。壓敏電阻材料的實(shí)例包括諸如鍺、多晶硅、非晶硅、碳化硅和單晶硅的半導(dǎo)體材料。在一些實(shí)施例中，壓敏電阻材料可包括在例如絕緣基質(zhì)的基質(zhì)中的導(dǎo)電粒子。導(dǎo)電粒子可包括透明的導(dǎo)體或半導(dǎo)體。在一個(gè)實(shí)施例中，壓敏電阻材料包括分散在絕緣、透明、可變形的基質(zhì)中的銦錫氧化物(ΙΤ0)、摻銻的氧化錫(ΑΤ0)、摻鋁的氧化鋅(AZO)或其它透明導(dǎo)電氧化物的粒子。在一些實(shí)施例中，所述基質(zhì)可包括聚合物材料，所述聚合物材料諸如丙烯酸粘合劑、硅樹脂、聚氨酯或氟彈性體(諸如聚偏二氟乙烯或其與例如六氟丙烯(HFP)或四氟乙烯(TFE)的共聚物或三元共聚物的任一種)。作為在兩層力感測元件中的壓力響應(yīng)材料的可用的壓敏電阻材料的其它實(shí)例包括復(fù)合物，所述復(fù)合物包括絕緣基質(zhì)和導(dǎo)電細(xì)絲，例如，碳納米管或金屬納米線(例如，銀、金)。由此制造的可用的金屬納米線和復(fù)合物在美國專利公開No.2008/0259262(Jones等人)中有所描述。這種復(fù)合物可為透明的，并且這種細(xì)絲可為肉眼不可見的。提供的觸摸屏顯示器中的力感測元件和觸摸感測元件可具有以上針對具有帶可視區(qū)域的電子顯示器的制品描述的任何特征。壓電式感測元件可包括壓電材料。壓電式感測材料使用“壓電效應(yīng)”將機(jī)械沖擊或機(jī)械或聲學(xué)振動(dòng)轉(zhuǎn)化為電偏振或電信號(hào)。在一些實(shí)施例中，壓電材料包括可將自身與電場(即，鐵電式)對齊并使得所述材料改變尺寸的極化分子或域。壓電材料的實(shí)例包括石英、鈦酸鋇或鋯鈦酸鉛(PZT)。壓電材料的其它實(shí)例包括聚偏二氟乙烯和相關(guān)組合物。在一些實(shí)施例中，用于力感測元件的壓電材料可包括聚合物，所述聚合物諸如(例如)聚偏二氟乙烯(PVDF)或其衍生物，例如輻射PVDF或PVDF與其它單體(HFP或TFE)的共聚物。在本申請中，壓電聚合物由于其容易加工、柔性和光學(xué)特性(折射率、透明度、霧度)而比壓電陶瓷更優(yōu)選。兩層力感測觸摸傳感器可包括置于金屬跡線主微圖案與壓力響應(yīng)材料之間或?qū)﹄姌O與壓力響應(yīng)材料之間的額外材料。在金屬跡線主微圖案之間添加額外材料對于減輕金屬跡線微圖案與壓力響應(yīng)材料之間的任何不利的相互作用可以是可取的。不利的相互作用的實(shí)例可為金屬跡線微圖案被硬導(dǎo)電填料粒子(例如ΙΤ0)機(jī)械損壞?？芍糜诮饘氽E線主微圖案與壓力響應(yīng)材料之間或?qū)﹄姌O與壓力響應(yīng)材料之間的可用的額外材料的實(shí)例是導(dǎo)電聚合物(例如，PED0T-PSS、聚苯胺或聚對苯乙炔)。圖2是提供的觸摸屏顯示器傳感器(觸摸傳感器)的實(shí)施例的一部分的透視圖。圖2示出了觸摸屏顯示器傳感器200。觸摸屏顯示器傳感器200包括透明基底202。透明基底202可為剛性的，并且在一些實(shí)施例中，可為電子顯示裝置的一部分。通常，透明基底202可為玻璃或透光聚合物塊，所述透光聚合物塊諸如(例如)聚(甲基丙烯酸甲酯)、聚苯乙烯或聚碳酸酯。設(shè)置在透明剛性基底202上的是一組基本平行的微網(wǎng)片帶204。每個(gè)微網(wǎng)片帶附著到分離的電極206。第二組基本平行的微網(wǎng)片帶208排列為基本垂直于第一組基本平行的微網(wǎng)片帶204中的帶，并且這些帶的每個(gè)附著到分離的電極210。每個(gè)微網(wǎng)片帶包括金屬跡線的陣列(在分解圖示為222)，其具有大比率的寬闊開放的空間。所述兩組帶通過壓力響應(yīng)材料212沿著Z-方向分離，所述壓力響應(yīng)材料包括壓敏電阻材料、壓電材料、電阻材料或電容絕緣材料(壓力響應(yīng)材料)的至少一個(gè)。圖2中所示的總體構(gòu)造可包括所列材料的任一種。用于分離所述兩組帶的可用的材料可包括，例如，那些本領(lǐng)域普通技術(shù)人員熟知的各向異性粘合劑。圖3a和圖3b是提供的觸摸屏顯示器傳感器300的側(cè)視圖。圖3a是原生傳感器(不施加力)的示圖。傳感器300包括可為電子裝置的顯示器的頂層的剛性透明基底302。第一組基本平行的微網(wǎng)片帶304被設(shè)置在剛性基底302上。每個(gè)帶附著到單獨(dú)的電極(未示出)。一層壓敏電阻、壓電、電阻或電容材料312被設(shè)置在所述第一組基本平行的微網(wǎng)片帶304上。第二組基本平行的微網(wǎng)片帶308通過層312與第一組基本平行的微網(wǎng)片帶304分離并且被取向?yàn)榕c第一組基本平行的微網(wǎng)片帶304垂直但位于與第一組基本平行的微網(wǎng)片帶304的平面基本平行的平面內(nèi)。在一些實(shí)施例中，第一組的每個(gè)微網(wǎng)片帶與第二組帶的微網(wǎng)片帶交叉，沿著Z-方向間隔開，從而形成二維的力感測元件的陣列。柔性透明絕緣基底310位于第二組基本平行的微網(wǎng)片帶上方。圖3b顯示出在圖3a中所示的同一傳感器，不同之處在于力(諸如，觸摸力)已施加到柔性絕緣基底310上，從而在所述兩組帶中的一個(gè)或多個(gè)交叉位置處壓縮所述材料。如可在圖3b中看出的，在壓縮部分下方的區(qū)域中，直接位于所述壓縮部位下方的第一微網(wǎng)片帶304和第二微網(wǎng)片帶308的電阻式、電容式或其它壓力響應(yīng)式感測材料變形。通過電力監(jiān)視在所述陣列中的每個(gè)力感測元件，可測量力的力量和所述力量的力在通過微網(wǎng)片帶覆蓋的整個(gè)區(qū)域上的位置。因此，本說明書的傳感器(壓敏電阻、壓電或可變形電介質(zhì)材料或結(jié)構(gòu)置于光透射微網(wǎng)片的帶的正交組之間)可針對局部施加的力的多個(gè)觸摸(例如，兩個(gè)觸摸、三個(gè)觸摸、四個(gè)觸摸或甚至多達(dá)5個(gè)、10個(gè)或20個(gè)觸摸)測量力的力量和所述力量的力的位置。也就是說，本說明書的傳感器是定位多觸摸傳感器。其還可被描述為全點(diǎn)可尋址或成像傳感器。在一些實(shí)施例中，在某一時(shí)刻可用作位置觸摸感測元件的至少一部分的金屬導(dǎo)體微圖案的至少一部分在另一時(shí)刻可用作力感測元件的至少一部分。在所述實(shí)施例中，使用這樣的電子器件，所述電子器件可按次序針對定位觸摸感測利用微圖案帶進(jìn)行必要的一個(gè)或多個(gè)測量，并且可針對力感測進(jìn)行必要的一個(gè)或多個(gè)測量。在其它實(shí)施例中，可用作位置觸摸感測元件的一部分的金屬導(dǎo)體微圖案的至少一部分可同時(shí)用作力感測元件的至少一部分。在所述實(shí)施例中，使用這樣的電子器件，所述電子器件可針對定位觸摸感測進(jìn)行必要的一個(gè)或多個(gè)測量，并且同時(shí)針對力感測進(jìn)行必要的一個(gè)或多個(gè)測量。為了進(jìn)一步描述力感測元件金屬導(dǎo)體微圖案與定位觸摸感測金屬導(dǎo)體微圖案之間的定位關(guān)系，描述所述微圖案在顯示器的平面中的相對位置(或者當(dāng)所述微圖案投射到顯示器的平面中時(shí)；或換句話說，當(dāng)通過觀看顯示器的顯示器用戶以相對于顯示器的平面的垂直角度或近垂直角度觀看時(shí))有時(shí)是可用的。所述后一方面的力感測微圖案與定位觸摸感測微圖案之間的相對位置在本文中被稱作平面內(nèi)相對位置。在一些實(shí)施例中，力感測元件金屬導(dǎo)體微圖案的至少一部分與定位觸摸感測金屬導(dǎo)體微圖案的至少一部分之間的平面內(nèi)相對位置為使得包括力感測元件金屬導(dǎo)體微圖案的所述部分和定位觸摸感測金屬導(dǎo)體微圖案的所述部分的區(qū)域(例如，4mm2區(qū)域、IOmm2區(qū)域或IOOmm2區(qū)域)的開放區(qū)域具有O.80和O.9975之間(即，80%和99.75%之間)的開放區(qū)域。在一些優(yōu)選實(shí)施例中，力感測元件的金屬導(dǎo)體微圖案的開放區(qū)域比率在O.90和O.995之間。在一些更優(yōu)選的實(shí)施例中，力感測元件的金屬導(dǎo)體微圖案的開放區(qū)域比率在O.95和O.99之間。利用導(dǎo)電金屬微圖案進(jìn)行定位觸摸感測的測量在本文引用的公開中有所描述。利用導(dǎo)體微圖案進(jìn)行力感測的測量包括，例如i)導(dǎo)體微圖案的電阻變化；ii)鄰近或置于一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)體微圖案的一個(gè)或多個(gè)部分之間的材料的電阻變化；iii)一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)體微圖案的一個(gè)或多個(gè)部分之間的電容變化對它們的環(huán)境(“固有電容”對對電極(即，互電容))；和iv)—個(gè)或多個(gè)導(dǎo)體微圖案的一個(gè)或多個(gè)部分之間的偏振態(tài)(電荷)變化對對電極(置于一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)體微圖案的一個(gè)或多個(gè)部分與對電極之間的壓電材料產(chǎn)生)。響應(yīng)于施加到所述傳感器的力的導(dǎo)體微圖案的電阻的變化以及包括微圖案的應(yīng)變響應(yīng)的測量(即，其中施加的力引起導(dǎo)體微圖案的變形)使得微圖案被用作電阻式應(yīng)變儀。在優(yōu)選實(shí)施例中，力感測金屬導(dǎo)體微圖案集成到傳感器的透明基底上或中以作為在透明基底上或中的導(dǎo)體材料的圖案。“集成”意指導(dǎo)體材料的圖案直接位于基底表面上或與之鄰近(即，不是例如用焊料或?qū)щ娬澈蟿┌惭b的分立的應(yīng)變儀組件的一部分)。合適的金屬跡線微圖案的其它實(shí)例包括用于單個(gè)微跡線或用于微網(wǎng)片的螺線型導(dǎo)電路徑。可用作電阻式應(yīng)變儀元件的導(dǎo)電材料的螺線型路徑在本領(lǐng)域中是已知的(見，例如，PCT專利公開No.W094/02921(Young)。提供的制品可還包括適于覆蓋電子顯示器顯示的透明的位置觸摸感測元件。所述觸摸感測元件可包括用于定位一個(gè)或多個(gè)觸摸或近觸摸(“接近”)事件的一個(gè)或多個(gè)位置的裝置。用于定位一個(gè)或多個(gè)觸摸或近觸摸事件的一個(gè)或多個(gè)位置的裝置可基于光學(xué)、視覺或電檢測。光學(xué)檢測裝置可包括例如邊裝式(edge-mounted)紅外線相機(jī)(一維)系統(tǒng)，如美國專利公開No.2010/0045629(Newton)中的描述。視覺檢測裝置可包括二維成像相機(jī)和圖像分析，例如在美國專利公開No.2009/0278799(Wilson)中的描述。電檢測裝置可包括電阻式觸摸傳感器，例如在美國專利No.3，662，105(Hurst等人)中的描述。電檢測裝置可包括表面電容式觸摸傳感器，例如在美國專利No.6，549，193和No.6，781，579(二者均授予Huang等人)中的描述。通常，電檢測裝置包括投射電容式觸摸傳感器，例如在美國專利公開No.2009/0219257(Frey等人)中的描述。根據(jù)本發(fā)明的觸摸屏顯示器傳感器通常利用微接觸印刷工藝加工。微接觸印刷法包括功能化分子從彈性體壓模至被選為按照例如自組裝單層(SAM)形式捆綁功能化分子的基底的接觸轉(zhuǎn)移。微接觸印刷工藝總體在美國專利No.5，512，131(Kumar等人)中有所描述。微接觸印刷的自組裝單層可用作圖案化的蝕刻掩模。當(dāng)蝕刻掩模應(yīng)用到薄金屬膜上，例如絕緣基底(例如，聚合物膜、玻璃或陶瓷基底)上時(shí)，所述自組裝單層允許根據(jù)SAM的圖案將金屬膜蝕刻圖案化。雖然本文所述的傳感器的制造有利地包括微接觸印刷步驟，但本文所述的傳感器不以任何方式限于所述制造方法?？墒褂媚軌虍a(chǎn)生所描述的圖案、微圖案、組件、力感測元件或感測區(qū)域的任何制造方法。根據(jù)本發(fā)明的可用的導(dǎo)體圖案還可利用基于照相平版印刷法的方法加工。雖然不一定容易實(shí)現(xiàn)，但也可利用柔性版印刷、照相凹版印刷或基于通過鑲嵌到微結(jié)構(gòu)基底中來圖案化導(dǎo)電材料的其它方法加工根據(jù)本發(fā)明的可用導(dǎo)體圖案，例如在PCT專利公開No.W02010/002519(Moran等人)或No.W02010/002679(Stay等人)中的描述。提供的力傳感器和包括所述力傳感器的顯示器可用于形成具有優(yōu)于現(xiàn)有的觸摸顯示器的那些特性的改善的特性的觸摸用戶界面。具體地講，提供的力傳感器和包括所述力傳感器的顯示器具有針對一個(gè)或多個(gè)觸摸記錄力的值以及觸摸位置(即，多觸摸力測量傳感器和多觸摸力測量觸摸顯不器)的能力。相對于傳統(tǒng)的電阻式或表面電容式觸摸傳感器或顯示器(常常是單觸摸)，提供的傳感器和顯示器可解決多個(gè)觸摸位置的問題，并且還提供觸摸力的測量。相對于先前的在剛性蓋片(例如，玻璃或聚碳酸酯)下組裝的矩陣式互電容式傳感器，提供的傳感器和顯示器提供對多個(gè)觸摸的力的測量而非僅位置的測量。相對于先前的基于透明導(dǎo)電氧化物(例如，銦錫氧化物、ΙΤ0)電極的矩陣式互電容式、壓敏電阻式或壓電式力測量觸摸傳感器或顯示器，提供的傳感器和顯示器提供隨著被使用不太傾于斷裂和性能退化的更加穩(wěn)固的材料構(gòu)造。相對于先前的記錄觸摸事件的位置的力測量觸摸面板，提供的傳感器和顯示器包括的微圖案化金屬導(dǎo)體是可被顯示器的可視區(qū)覆蓋的感測元件的一部分，從而避免了在可視區(qū)外布置龐大的力傳感器的需求，所述龐大的力傳感器不期望地增大包括觸摸顯示器的裝置的總體尺寸。穩(wěn)固的、耐用的、不使顯示器模糊的、顯示器覆蓋的、多觸摸、力測量的一個(gè)傳感器元件或多個(gè)傳感器元件的生成允許設(shè)計(jì)和制造具有更寬范圍的輸入數(shù)據(jù)的電子裝置。例如，當(dāng)包括上述能力和特征時(shí)，游戲裝置、工業(yè)設(shè)備控制機(jī)構(gòu)或者計(jì)算機(jī)圖形用戶界面可被制為更加容易使用和強(qiáng)大。通過以下實(shí)例進(jìn)一步說明了本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)，但是這些實(shí)例中敘述的特定材料及其用量、以及其他條件和細(xì)節(jié)不應(yīng)理解為對本發(fā)明進(jìn)行不當(dāng)限制。實(shí)例(都是預(yù)示的)第一圖案化基底使用熱蒸鍍機(jī)在由聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)制成的厚度125微米(μm)的第一可見光透明基底上涂覆IOOnm的銀薄膜，以生成第一銀金屬化膜。PET可以產(chǎn)品號(hào)ST504購自特拉華州威明頓的杜邦公司(E.1.duPontdeNemours)。銀可以99.99%純度的3mm銀丸的形式購自威斯康辛州密爾沃基的斯愛克公司(CeracInc.)。對著之前已用標(biāo)準(zhǔn)照相平版印刷技術(shù)進(jìn)行圖案化的IOcm直徑的硅片(業(yè)內(nèi)有時(shí)稱之為“母模”)，模制出厚度為3mm的第一聚(二甲基硅氧烷)壓模，該材料稱為PDMS，可以SYLGARD184購自密歇根州米德蘭的陶氏化學(xué)公司(DowChemicalCo.)。在65°C下，將PDMS在硅片上固化2小時(shí)。然后從硅片上剝離PDMS，以生成具有兩種不同低密度區(qū)域的第一壓模，這兩種不同的低密度區(qū)域具有凸起特征圖案第一連續(xù)六邊形網(wǎng)孔圖案(網(wǎng)片帶)和第二不連續(xù)六邊形網(wǎng)孔圖案。凸起特征限定了共享邊緣的六邊形的邊緣。不連續(xù)六邊形是在線段中包含選擇性中斷的六邊形。選擇性中斷的長度小于10μm。中斷被設(shè)計(jì)為大約5μm。為了降低它們的可見性，優(yōu)選地，中斷應(yīng)該小于10μm,或甚至5μm或更小，或者在Iμm和5μm之間。每一個(gè)凸起的六邊形輪廓圖案的高度均為2μπι并且面積覆蓋率均為1%至3%(對應(yīng)于97%至99%的開放區(qū)域)，并且線段的寬度為2μm至3μm。第一壓模還包括限定500μm寬的互連跡線的凸起特征。第一壓模具有第一結(jié)構(gòu)化的側(cè)面和相對的第二基本平坦的側(cè)面，第一結(jié)構(gòu)化的側(cè)面具有六邊形網(wǎng)孔圖案區(qū)域和互連跡線特征。通過微接觸印刷制備第一圖案化基底，如下所述。將壓模放入包含直徑為2mm的玻璃小珠的玻璃培養(yǎng)皿中，使其結(jié)構(gòu)化側(cè)面向上。這樣，第二基本平坦側(cè)面就直接接觸玻璃珠。玻璃小珠起到將壓模托離培養(yǎng)皿底部的作用，從而讓隨后的油墨溶液基本上與壓模的整個(gè)平坦側(cè)面接觸。將溶于乙醇的IOmM的1-十八硫醇(可購自俄勒R州波特蘭的梯希愛美國公司(TCIAmerica))油墨溶液用吸移管移入壓模下方的培養(yǎng)皿中。油墨溶液與壓模的第二基本平坦的側(cè)面直接接觸。經(jīng)過充分的著墨時(shí)間(如3小時(shí))使油墨擴(kuò)散到壓模中之后，從培養(yǎng)皿中取出第一壓模。將著墨的壓模設(shè)置到工作面上，使其結(jié)構(gòu)化側(cè)向上。使用手持輥將第一銀金屬化膜施加到壓模的已著墨的結(jié)構(gòu)化表面上，使得銀薄膜直接接觸結(jié)構(gòu)化表面。金屬化膜在著墨的壓模上保留15秒。然后從著墨的壓模上移除第一金屬化膜。將移除的膜放入銀蝕刻劑溶液中三分鐘，該溶液包含(i)O.030摩爾硫脲(密蘇里州圣路易斯的西格瑪奧德里奇公司(Sigma-Aldrich))和(ii)O.020摩爾硝酸鐵(西格瑪奧德里奇公司)的去離子水溶液。蝕刻步驟后，將所得第一基底用去離子水漂洗并用氮?dú)飧稍?，以生成第一圖案化表面。在著墨的壓模與第一金屬化基底的銀接觸的地方，蝕刻后仍然保留有銀。因此，著墨的壓模和銀薄膜之間未接觸的地方的銀被移除。圖4、圖4a和圖4b表示第一圖案化基底400，其具有在基底的第一側(cè)面上在多個(gè)第一連續(xù)區(qū)域404之間交替布置的多個(gè)第一網(wǎng)片帶402，所述第一側(cè)面即包含已被蝕刻并圖案化的銀金屬化膜的側(cè)面(從薄膜基底的正面觀看)；即，從布置蝕刻和圖案化的銀金屬的側(cè)面觀看)。第一圖案化基底包括導(dǎo)電跡線微圖案，所述導(dǎo)電跡線微圖案包括網(wǎng)片帶和不連續(xù)區(qū)域。網(wǎng)片帶經(jīng)測量寬度為3mm并且間隔開3mm。該基底的相對的第二面為基本上裸露的PET膜。每個(gè)第一網(wǎng)片帶402具有設(shè)置在一端的對應(yīng)的500μm寬的導(dǎo)電互連跡線406。圖4a示出了第一網(wǎng)片帶402的分解圖，其具有形成六邊形格柵結(jié)構(gòu)的多條連續(xù)線條。圖4b示出了第一不連續(xù)區(qū)域404的分解圖，其具有形成不連續(xù)的六邊形網(wǎng)片結(jié)構(gòu)的多條不連續(xù)線條(在每一個(gè)六邊形中示為選擇性中斷)。網(wǎng)片帶402和不連續(xù)區(qū)域404的每個(gè)網(wǎng)片結(jié)構(gòu)具有97%至99%的開放區(qū)域。每個(gè)線段的寬度為2至3μm。第二圖案化基底與第一圖案化基底相似，通過微接觸印刷制造第二圖案化基底，利用第二可見光基底生產(chǎn)第二銀金屬化膜。制備第二壓模，該壓模具有插入第二不連續(xù)六邊形網(wǎng)孔圖案的第二連續(xù)六邊形網(wǎng)孔圖案(網(wǎng)片帶)。圖5、圖5a和圖5b示出了第二圖案化基底520，其具有在第二基底的第一側(cè)上在多個(gè)第二不連續(xù)區(qū)域524之間交替布置的多個(gè)第二網(wǎng)片帶522(從背側(cè)穿過膜基底觀看；即，從與布置蝕刻和圖案化的銀金屬的相對的側(cè)面觀看)。第二圖案化基底包括導(dǎo)電跡線微圖案，所述導(dǎo)電跡線微圖案包括網(wǎng)片帶和不連續(xù)區(qū)域。網(wǎng)片帶經(jīng)測量具有5.5_的寬度，并且它們隔開O.5mm。每個(gè)第二網(wǎng)片帶522具有設(shè)置在一端的對應(yīng)的500μm寬的第二導(dǎo)電互連跡線526。圖5a示出了一個(gè)第二網(wǎng)片帶522的分解圖，其具有形成六邊形網(wǎng)片結(jié)構(gòu)的多條連續(xù)線條。圖5b示出了一個(gè)第二不連續(xù)區(qū)域524的分解圖，其具有形成不連續(xù)的六邊形網(wǎng)片結(jié)構(gòu)的多條不連續(xù)線條(在每一個(gè)六邊形中示為選擇性中斷)。選擇性中斷的長度小于ΙΟμπι。中斷被設(shè)計(jì)為大約5μπι。為了降低它們的可見性，優(yōu)選地，所述中斷應(yīng)該小于1(^111、541]1或更小,或者在Ιμπι和5μm之間。網(wǎng)片帶522的每個(gè)網(wǎng)片結(jié)構(gòu)和每個(gè)不連續(xù)區(qū)域524具有97%至99%的開放區(qū)域。每個(gè)線段的寬度為2μm至3μm。實(shí)例1-帶有具有壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料的觸摸傳感器的顯示器的形成以上制備的第一和第二圖案化基底被用于生產(chǎn)如下兩層力感測觸摸傳感器，所述兩層力感測觸摸傳感器包括壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料。壓力響應(yīng)材料置于第一和第二圖案化基底之間，其中每個(gè)基底的圖案化表面(具有導(dǎo)電跡線微圖案)面對壓力響應(yīng)材料。壓力響應(yīng)材料是分散在基質(zhì)中的透明導(dǎo)電粒子的復(fù)合物。在美國專利No.5，763，091(Kawata等人)的實(shí)例I中的衍生自導(dǎo)電ITO油墨的膜被用作壓力響應(yīng)材料。所述膜可涂布到第一圖案化基底的導(dǎo)電跡線微圖案上。所述膜被選擇性地涂布到所述基底表面上，以覆蓋第一帶和第一不連續(xù)區(qū)域，但不覆蓋圖4中的互連跡線406的接線端。接著，第二圖案化基底通過施加的壓力層合到壓力響應(yīng)材料的表面上，從而產(chǎn)生根據(jù)圖6的觸摸傳感器(大約40mmX60mm的感測區(qū)域)。第二圖案化基底的取向?yàn)槭沟闷鋵?dǎo)電跡線微圖案面對壓力響應(yīng)材料。按照以下方式執(zhí)行利用導(dǎo)電ITO油墨的膜的涂布和所述層合，所述方式即互連跡線606和626的接線端不被膜覆蓋，從而允許與互連跡線的接線端的電接觸。描述的兩層力感測觸摸傳感器可(在互連跡線606和626的接線端)連接到被設(shè)計(jì)為在每個(gè)交叉區(qū)域630連續(xù)地探測第一圖案化基底和第二圖案化基底之間的電阻的電子器件。圖6示出了觸摸屏傳感器元件640的俯視平面圖，其中第一圖案化基底和第二圖案化基底已經(jīng)層合。區(qū)域630表示第一網(wǎng)片帶和第二網(wǎng)片帶的重疊部分。區(qū)域632表示第一網(wǎng)片帶和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。區(qū)域634表示第二網(wǎng)片帶和第一不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。并且，區(qū)域636表示第一不連續(xù)區(qū)域和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。雖然存在多個(gè)這樣的重疊區(qū)域，但為了便于說明，圖中每一種只示出一個(gè)區(qū)域?？赏ㄟ^本領(lǐng)域中任何合適的方法執(zhí)行用電子器件測量電阻。針對每個(gè)重疊部分的區(qū)域630測量電阻允許檢測和標(biāo)測由施加到壓敏電阻材料形式的壓力響應(yīng)材料上的局部壓力(即，觸摸壓力)導(dǎo)致的整個(gè)傳感器上的電阻變化。因此，上述觸摸傳感器可用作定位觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及置于其間的壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料代表位置觸摸感測元件。隨著施加的壓力增大，由于導(dǎo)電粒子之間的接觸增加，在整個(gè)壓力響應(yīng)壓敏電阻材料上的電阻逐漸減小。因此，上述觸摸傳感器可與電子器件結(jié)合以產(chǎn)生力感測觸摸傳感器系統(tǒng)。上述觸摸傳感器可用作力觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及置于其間的壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料代表力感測元件。上述觸摸傳感器還層合到Imm厚的聚碳酸酯基片上。傳感器的層合狀態(tài)是，其第二圖案化基底的背側(cè)(即，其上未設(shè)置導(dǎo)電跡線微圖案的主表面)面對所述基片。其它合適的基片有聚(甲基丙烯酸甲酯)或玻璃(例如，Imm厚)。傳感器利用購自明尼蘇達(dá)州圣保羅的3M公司的光學(xué)透明層合粘合劑8172層合到基片上，以產(chǎn)生多層構(gòu)造。層合到基片上的上述觸摸傳感器被前方的帶有30mmX41mm的可視區(qū)域的液晶顯示器(LCD)(BP,以ANDpSi025TD-LED-KIT可購自加利福尼亞州森尼韋爾的普迪電子公司(PurdyElectronicsCorporation)的電子顯示器)覆蓋并安裝到所述LCD。觸摸傳感器被安裝為使其基片面對顯示器。觸摸傳感器的交叉部分的區(qū)域630覆蓋電子顯示器的可視區(qū)域(即，交叉部分的區(qū)域630設(shè)置在電子顯示器的可視區(qū)域內(nèi))。實(shí)例2-帶有具有壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料的觸摸傳感器的顯示器的形成。以上制備的第一和第二圖案化基底可被用于生產(chǎn)如下兩層力感測觸摸傳感器，所述兩層力感測觸摸傳感器包括壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料。壓力響應(yīng)材料可置于第一和第二圖案化基底之間，其中每個(gè)基底的圖案化表面(具有導(dǎo)電跡線微圖案)面對壓力響應(yīng)材料。所述壓力響應(yīng)材料是以下材料組分依次形成的多層i)第一導(dǎo)電聚合物層；ii)分散在基質(zhì)中的透明導(dǎo)電粒子的復(fù)合物層；以及iii)第二導(dǎo)電聚合物層。所述第一導(dǎo)電聚合物層和第二導(dǎo)電聚合物層具有相同的組成和厚度。在美國專利No.5，763，091(Kawata等人)的實(shí)例I中的衍生自導(dǎo)電ITO油墨的膜被用作分散在基質(zhì)中的透明導(dǎo)電粒子的復(fù)合物。PED0T-PSS涂層(可購自馬薩諸塞州牛頓的世泰科公司(H.C.Starck)的CLEVIOPH1000)被用作第一和第二導(dǎo)電聚合物層。第一導(dǎo)電聚合物層被涂布到第一圖案化基底的導(dǎo)電跡線微圖案上。第一導(dǎo)電聚合物根據(jù)聚合物制造商的說明書被涂布到第一圖案化基底上，以覆蓋第一帶和第一不連續(xù)區(qū)域，但不覆蓋圖4中的互連跡線406的接線端。接著，第二導(dǎo)電聚合物層根據(jù)聚合物制造商的說明書被涂布到第二圖案化基底上，以覆蓋第二帶和第二不連續(xù)區(qū)域，但不覆蓋圖5中的互連跡線526的接線端。接著，在美國專利No.5，763，091(Kawata等人)的實(shí)例I中的衍生自導(dǎo)電ITO油墨的膜被涂布到第一導(dǎo)電聚合物層上，以覆蓋第一帶和第一不連續(xù)區(qū)域，但不覆蓋圖4中的互連跡線406的接線端。最后，第二圖案化基底通過施加的壓力層合到第一圖案化基底上。第二導(dǎo)電聚合物表面的外露表面(在涂布之后)鄰近第一圖案化基底上的衍生自導(dǎo)電ITO油墨的膜的表面，以產(chǎn)生根據(jù)圖6的觸摸傳感器(大約40mmX60mm的感測區(qū)域)。第二圖案化基底的取向?yàn)槭沟闷鋵?dǎo)電跡線微圖案面對壓力響應(yīng)材料。按照互連跡線606和626的接線端不被覆蓋的方式執(zhí)行導(dǎo)電聚合物涂布、利用導(dǎo)電ITO油墨的膜的涂布以及所述層合。描述的兩層力感測觸摸傳感器可(在互連跡線606和626的接線端)連接到被設(shè)計(jì)為在每個(gè)交叉區(qū)域630連續(xù)地探測第一圖案化基底和第二圖案化基底之間的電阻的電子器件。圖6示出了觸摸屏傳感器元件640的俯視平面圖，其中第一圖案化基底和第二圖案化基底已經(jīng)層合。區(qū)域630表示第一網(wǎng)片帶和第二網(wǎng)片帶的重疊部分。區(qū)域632表示第一網(wǎng)片帶和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。區(qū)域634表示第二網(wǎng)片帶和第一不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。并且，區(qū)域636表示第一不連續(xù)區(qū)域和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。雖然存在多個(gè)這樣的重疊區(qū)域，但為了便于說明，圖中每一種只示出一個(gè)區(qū)域。可通過本領(lǐng)域中任何合適的方法執(zhí)行用電子器件測量電阻。針對每個(gè)重疊部分的區(qū)域630測量電阻允許檢測和標(biāo)測由施加到壓敏電阻材料形式的壓力響應(yīng)材料上的局部壓力(即，觸摸壓力)導(dǎo)致的整個(gè)傳感器上的電阻變化。因此，上述觸摸傳感器可用作定位觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料代表位置觸摸感測元件。隨著施加增大的壓力，由于導(dǎo)電粒子之間的接觸增加，在整個(gè)壓力響應(yīng)壓敏電阻材料上的電阻逐漸減小。因此，上述觸摸傳感器可與電子器件結(jié)合以產(chǎn)生力感測觸摸傳感器系統(tǒng)。上述觸摸傳感器可用作力觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料代表力感測元件。上述觸摸傳感器還層合到I毫米厚的聚碳酸酯基片上。傳感器的層合狀態(tài)是，其第二圖案化基底的背側(cè)(即，其上未設(shè)置導(dǎo)電跡線微圖案的主表面)面對所述基片。其它合適的基片有聚(甲基丙烯酸甲酯)或玻璃(例如，I毫米厚)。傳感器利用購自明尼蘇達(dá)州圣保羅的3M公司的光學(xué)透明層合粘合劑8172層合到基片上，以產(chǎn)生多層構(gòu)造。層合到基片上的上述觸摸傳感器被前方的帶有30mmX41mm的可視區(qū)域的液晶顯示器(IXD)(B卩，以ANDpSi025TD-LED-KIT可購自加利福尼亞州森尼韋爾的普迪電子公司的電子顯示器)覆蓋并安裝到所述LCD。觸摸傳感器被安裝為使其基片面對顯示器。觸摸傳感器的交叉部分的區(qū)域630覆蓋電子顯示器的可視區(qū)域(即，交叉部分的區(qū)域630設(shè)置在電子顯示器的可視區(qū)域內(nèi))。實(shí)例3-帶有具有壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料的觸摸傳感器的顯示器的形成。以上制備的第一和第二圖案化基底可被用于生產(chǎn)如下兩層力感測觸摸傳感器，所述兩層力感測觸摸傳感器包括壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料。所述壓力響應(yīng)材料被包括在以下材料組分依次形成的多層中i)第一透明導(dǎo)電粘合劑層；ii)壓敏電阻層；以及iii)第二透明導(dǎo)電粘合劑層。第一和第二圖案化基底的帶區(qū)域被透明導(dǎo)電粘合劑材料首先印刷以形成第一和第二透明導(dǎo)電粘合劑層。透明導(dǎo)電粘合劑材料根據(jù)美國專利公開No.2003/0114560(Yang等人)的實(shí)例24制備。利用噴墨印刷來印刷所述透明導(dǎo)電粘合劑材料，如本領(lǐng)域所公知的那樣。接著在第一和第二圖案化基底的除互連跡線606和626的接線端之外的所有互補(bǔ)區(qū)域(與帶區(qū)域互補(bǔ))印刷非導(dǎo)電壓敏粘合劑材料。非導(dǎo)電透明導(dǎo)電粘合劑材料根據(jù)美國專利公開No2003/0114560(Yang等人)的實(shí)例24制備，但不添加抗靜電劑C。所述壓力響應(yīng)材料可置于第一和第二圖案化基底之間，并且每個(gè)基底的圖案化表面(具有導(dǎo)電跡線微圖案)面對壓力響應(yīng)材料。接著，在美國專利No.5，763，091(Kawata等人)的實(shí)例I中的衍生自導(dǎo)電ITO油墨的膜被涂布到第一透明導(dǎo)電粘合劑層上，以覆蓋第一帶和第一不連續(xù)區(qū)域，但不覆蓋圖4中的互連跡線406的接線端。最后，帶有第二透明導(dǎo)電粘合劑的第二圖案化基底通過輥層合到第一圖案化基底上。第二透明導(dǎo)電粘合劑表面的外露表面(在涂布之后)鄰近第一圖案化基底上的衍生自導(dǎo)電ITO油墨的膜的表面，以產(chǎn)生根據(jù)圖6的觸摸傳感器(大約40_X60_的感測區(qū)域)。第二圖案化基底的取向?yàn)槭沟闷鋵?dǎo)電跡線微圖案面對壓力響應(yīng)材料。按照互連跡線606和626的接線端不被覆蓋的方式執(zhí)行粘合劑印刷、利用導(dǎo)電ITO油墨的膜的涂布以及所述層合。描述的兩層力感測觸摸傳感器可(在互連跡線606和626的接線端)連接到被設(shè)計(jì)為在每個(gè)交叉區(qū)域630連續(xù)地探測第一圖案化基底和第二圖案化基底之間的電阻的電子器件。圖6示出了觸摸屏傳感器元件640的俯視平面圖，其中第一圖案化基底和第二圖案化基底已經(jīng)層合。區(qū)域630表示第一網(wǎng)片帶和第二網(wǎng)片帶的重疊部分。區(qū)域632表示第一網(wǎng)片帶和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。區(qū)域634表示第二網(wǎng)片帶和第一不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。并且，區(qū)域636表示第一不連續(xù)區(qū)域和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。雖然存在多個(gè)這樣的重疊區(qū)域，但為了便于說明，圖中每一種只示出一個(gè)區(qū)域。可通過本領(lǐng)域中任何合適的方法執(zhí)行用電子器件測量電阻。針對每個(gè)重疊部分的區(qū)域630測量電阻允許檢測和標(biāo)測由施加到壓敏電阻材料形式的壓力響應(yīng)材料上的局部壓力(即，觸摸壓力)導(dǎo)致的整個(gè)傳感器上的電阻變化。因此，上述觸摸傳感器可用作定位觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料代表位置觸摸感測元件。隨著施加增大的壓力，由于導(dǎo)電粒子之間的接觸增加，在整個(gè)壓力響應(yīng)壓敏電阻材料上的電阻逐漸減小。因此，上述觸摸傳感器可與電子器件結(jié)合以產(chǎn)生力感測觸摸傳感器系統(tǒng)。上述觸摸傳感器可用作力觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及壓敏電阻式壓力響應(yīng)材料代表力感測元件。上述觸摸傳感器還層合到I毫米厚的聚碳酸酯基片上。傳感器的層合狀態(tài)是，其第二圖案化基底的背側(cè)(即，其上未設(shè)置導(dǎo)電跡線微圖案的主表面)面對所述基片。其它合適的基片有聚(甲基丙烯酸甲酯)或玻璃(例如，I毫米厚)。傳感器利用購自明尼蘇達(dá)州圣保羅的3M公司的光學(xué)透明層合粘合劑8172層合到基片上，以產(chǎn)生多層構(gòu)造。層合到基片上的上述觸摸傳感器被前方的帶有30mmX41mm的可視區(qū)域的液晶顯示器(IXD)(B卩，以ANDpSi025TD-LED-KIT可購自加利福尼亞州森尼韋爾的普迪電子公司的電子顯示器)覆蓋并安裝到所述LCD。觸摸傳感器被安裝為使其基片面對顯示器。觸摸傳感器的交叉部分的區(qū)域630覆蓋電子顯示器的可視區(qū)域(S卩，交叉部分的區(qū)域630設(shè)置在電子顯示器的可視區(qū)域內(nèi))。實(shí)例4-帶有具有壓電式壓力響應(yīng)材料的觸摸傳感器的顯示器的形成。以上制備的第一和第二圖案化基底被用于生產(chǎn)如下兩層力感測觸摸傳感器，所述兩層力感測觸摸傳感器包括壓電式壓力響應(yīng)材料。所述壓力響應(yīng)材料被包括在以下材料組分依次形成的多層中i)第一透明導(dǎo)電粘合劑層；ii)壓電層；和iii)第二透明導(dǎo)電粘合劑層。第一和第二圖案化基底的帶區(qū)域被透明導(dǎo)電粘合劑材料首先印刷以形成第一和第二透明導(dǎo)電粘合劑層。透明導(dǎo)電粘合劑材料根據(jù)美國專利公開No.2003/0114560(Yang等人)的實(shí)例24制備。利用噴墨印刷來印刷所述透明導(dǎo)電粘合劑材料，如本領(lǐng)域所公知的那樣。接著在第一和第二圖案化基底的除互連跡線606和626的接線端之外的所有互補(bǔ)區(qū)域(與帶區(qū)域互補(bǔ))印刷非導(dǎo)電壓敏粘合劑材料。非導(dǎo)電透明導(dǎo)電粘合劑材料根據(jù)美國專利公開No.2003/0114560(Yang等人)的實(shí)例24制備，但不添加抗靜電劑C。所述壓力響應(yīng)式壓電材料可置于第一和第二圖案化基底之間，并且每個(gè)基底的圖案化表面(具有導(dǎo)電跡線微圖案)面對壓力響應(yīng)材料。壓電層是根據(jù)美國專利公開No.2010/0068460(Moriyama等人)中的比較例I制備的PVDF膜。通過根據(jù)美國專利No.6，080,487中的實(shí)例4處理粘合劑層的每個(gè)主表面，壓電層被制造為適于附著到所述粘合劑層。通過利用輥將第一和第二圖案化基底層合到壓電材料來使壓電材料置于它們之間，從而產(chǎn)生圖6所示的兩層觸摸傳感器(大約40mmX60mm的感測區(qū)域)。描述的兩層力感測觸摸傳感器可(在互連跡線606和626的接線端)連接到被設(shè)計(jì)為探測第一帶和第二帶的每個(gè)的電勢的電子器件。圖6示出了觸摸屏傳感器元件640的俯視平面圖，其中第一圖案化基底和第二圖案化基底已經(jīng)層合。區(qū)域630表示第一網(wǎng)片帶和第二網(wǎng)片帶的重疊部分。區(qū)域632表示第一網(wǎng)片帶和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。區(qū)域634表示第二網(wǎng)片帶和第一不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。并且，區(qū)域636表示第一不連續(xù)區(qū)域和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。雖然存在多個(gè)這些重疊區(qū)域，但為了便于說明，在圖中每一種只示出一個(gè)區(qū)域。可通過本領(lǐng)域中任何合適的方法執(zhí)行用電子器件進(jìn)行電壓的測量。針對每個(gè)帶測量電壓允許檢測和標(biāo)測由施加到壓電材料形式的壓力響應(yīng)材料上的局部壓力(即，觸摸壓力)導(dǎo)致的整個(gè)傳感器上的電壓變化。因此，上述觸摸傳感器可用作定位觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及壓電式壓力響應(yīng)材料代表位置觸摸感測元件。隨著施加增大的壓力，在整個(gè)壓力響應(yīng)式壓電材料上的電壓的大小逐漸增大，如通過壓力響應(yīng)式壓電材料的壓電特性的描述并且通過壓力響應(yīng)式壓電材料的壓電系數(shù)量化。因此，上述觸摸傳感器可與電子器件結(jié)合以產(chǎn)生力感測觸摸傳感器系統(tǒng)。上述觸摸傳感器可用作力觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及壓電式壓力響應(yīng)材料代表力感測元件。上述觸摸傳感器還層合到Imm厚的聚碳酸酯基片上。傳感器的層合狀態(tài)是，其第二圖案化基底的背側(cè)(即，其上未設(shè)置導(dǎo)電跡線微圖案的主表面)面對所述基片。其它合適的基片有聚(甲基丙烯酸甲酯)或玻璃(例如，Imm厚)。傳感器利用購自明尼蘇達(dá)州圣保羅的3M公司的光學(xué)透明層合粘合劑8172層合到基片上，以產(chǎn)生多層構(gòu)造。層合到基片上的上述觸摸傳感器被前方的帶有30mmX41mm的可視區(qū)域的液晶顯示器(IXD)(B卩，以ANDpSi025TD-LED-KIT可購自加利福尼亞州森尼韋爾的普迪電子公司的電子顯示器)覆蓋并安裝到所述LCD。觸摸傳感器被安裝為使其基片面對顯示器。觸摸傳感器的交叉部分的區(qū)域630覆蓋電子顯示器的可視區(qū)域(S卩，交叉部分的區(qū)域630設(shè)置在電子顯示器的可視區(qū)域內(nèi))。實(shí)例5-帶有具有可變形電介質(zhì)壓力響應(yīng)材料的觸摸傳感器的顯示器的形成。以上制備的第一和第二圖案化基底被用于生產(chǎn)如下兩層力感測觸摸傳感器，所述兩層力感測觸摸傳感器包括電介質(zhì)壓力響應(yīng)材料。壓力響應(yīng)材料置于第一和第二圖案化基底之間，其中每個(gè)基底的圖案化表面(具有導(dǎo)電跡線微圖案)面對壓力響應(yīng)材料。壓力響應(yīng)材料是電絕緣彈簧隔膜。美國專利No.7，538，760中的帶有觸摸墊1000的粘合劑層的PET彈簧隔膜被用作壓力響應(yīng)材料。一片壓力響應(yīng)材料被切割成第一和第二圖案化基底的帶的陣列的大小。壓力響應(yīng)材料通過輥層合到第一圖案化基底表面的導(dǎo)體圖案化表面上，以覆蓋第一帶和第一不連續(xù)區(qū)域，但不覆蓋圖4中的互連跡線606的接線端。接著，第二圖案化基底通過棍層合到壓力響應(yīng)材料的表面，以產(chǎn)生根據(jù)圖6的觸摸傳感器(大約40_X60_的感測區(qū)域)。第二圖案化基底的取向?yàn)槭沟闷鋵?dǎo)電跡線微圖案面對壓力響應(yīng)材料。按照以下方式執(zhí)行所述層合，所述方式即互連跡線606和626的接線端不被覆蓋，從而允許與互連跡線的接線端的電接觸。描述的兩層力感測觸摸傳感器可(在互連跡線606和626的接線端)連接到被設(shè)計(jì)為在每個(gè)交叉區(qū)域630連續(xù)地探測第一圖案化基底和第二圖案化基底之間的電容的電子器件。圖6示出了觸摸屏傳感器元件640的俯視平面圖，其中第一圖案化基底和第二圖案化基底已經(jīng)層合。區(qū)域630表示第一網(wǎng)片帶和第二網(wǎng)片帶的重疊部分。區(qū)域632表示第一網(wǎng)片帶和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。區(qū)域634表示第二網(wǎng)片帶和第一不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。并且，區(qū)域636表示第一不連續(xù)區(qū)域和第二不連續(xù)區(qū)域的重疊部分。雖然存在多個(gè)這樣的重疊區(qū)域，但為了便于說明，圖中每一種只示出一個(gè)區(qū)域。用于對透明傳感器元件(帶)進(jìn)行互電容測量的電子器件是PIC18F87J10(亞利桑那州錢德勒的微芯科技公司(MicrochipTechnology))、AD7142(馬薩諸塞州諾伍德的亞德諾器件公司(AnalogDevices))和MM74HC154WM(緬因州南波特蘭的仙童半導(dǎo)體公司(FairchildSemiconductor))。PIC18F87J10是該系統(tǒng)的微控制器。其控制MM74HC154WM驅(qū)動(dòng)的傳感器帶的選擇。它也配置AD7142以進(jìn)行適當(dāng)?shù)臏y量。如本領(lǐng)域所知的，該系統(tǒng)的用途包括設(shè)置多個(gè)校正值。這些校正值可因觸摸屏而異。該系統(tǒng)可驅(qū)動(dòng)16個(gè)不同的帶，AD7142可測量12個(gè)不同的帶。AD7142的配置包括選擇要轉(zhuǎn)換的信道的數(shù)量、測量的精度或速度、是否應(yīng)施加電容補(bǔ)償，以及模數(shù)轉(zhuǎn)換器的連接。AD7142的測量值為16位值，它表示透明傳感器元件矩陣內(nèi)的導(dǎo)電帶之間的交叉點(diǎn)的電容。AD7142完成測量后會(huì)通過中斷來發(fā)信號(hào)告知微控制器收集數(shù)據(jù)。微控制器隨后通過SPI端口收集數(shù)據(jù)。收到數(shù)據(jù)后，微控制器將麗74HC154WM遞增到下一驅(qū)動(dòng)行，并清除AD7142中的中斷，從而向其發(fā)送信號(hào)以收集下一組數(shù)據(jù)。在上述采樣過程不斷進(jìn)行的同時(shí)，微控制器還通過串行接口向具有監(jiān)視器的計(jì)算機(jī)發(fā)送數(shù)據(jù)。如本領(lǐng)域的技術(shù)人員所已知的，該串行接口允許進(jìn)行簡單的計(jì)算機(jī)編程，以提供來自AD7142的原始數(shù)據(jù)并查看觸摸和無觸摸之間的數(shù)值如何變化。計(jì)算機(jī)程序在整個(gè)顯示器上提供不同的顏色，具體取決于16位值的數(shù)值。根據(jù)校正，當(dāng)16位值低于某個(gè)值時(shí)，顯示區(qū)域會(huì)呈現(xiàn)白色。根據(jù)校正，當(dāng)高于該閾值時(shí)，顯示區(qū)域會(huì)呈現(xiàn)綠色。該數(shù)據(jù)以4字節(jié)標(biāo)頭(0XAAAAAAAA)、1字節(jié)信道(0X00-0X0F)、24字節(jié)數(shù)據(jù)(代表電容測量值)和回車(0X0D)的格式異步發(fā)送。針對每個(gè)重疊部分的區(qū)域630測量互電容允許檢測和標(biāo)測由施加到可變形電介質(zhì)材料形式的壓力響應(yīng)材料上的局部壓力(即，觸摸壓力)導(dǎo)致的整個(gè)傳感器上的電容變化。因此，上述觸摸傳感器可用作定位觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及置于其間的可變形電介質(zhì)壓力響應(yīng)材料代表位置觸摸感測元件。隨著施加增大的壓力，由于第一帶和第二帶之間的間距減小，在整個(gè)壓力響應(yīng)式壓敏電阻材料上的電容逐漸增大。因此，上述觸摸傳感器可與電子器件結(jié)合以產(chǎn)生力感測觸摸傳感器系統(tǒng)。上述觸摸傳感器可用作力觸摸傳感器，并且?guī)в袑?dǎo)電跡線微圖案的所述兩個(gè)圖案化基底以及置于其間的可變形電介質(zhì)壓力響應(yīng)材料代表力感測元件。上述觸摸傳感器還層合到I毫米厚的聚碳酸酯基片上。傳感器的層合狀態(tài)是，其第二圖案化基底的背側(cè)(即，其上未設(shè)置導(dǎo)電跡線微圖案的主表面)面對所述基片。其它合適的基片有聚(甲基丙烯酸甲酯)或玻璃(例如，Imm厚)。傳感器利用購自明尼蘇達(dá)州圣保羅的3M公司的光學(xué)透明層合粘合劑8172層合到基片上，以產(chǎn)生多層構(gòu)造。層合到基片上的上述觸摸傳感器被前方的帶有30mmX41mm的可視區(qū)域的液晶顯示器(LCD)(BP,以ANDpSi025TD-LED-KIT可購自加利福尼亞州森尼韋爾的普迪電子公司的電子顯示器)覆蓋并安裝到所述LCD。觸摸傳感器被安裝為使其基片面對顯示器。觸摸傳感器的交叉部分的區(qū)域630覆蓋電子顯示器的可視區(qū)域(即，交叉部分的區(qū)域630設(shè)置在電子顯示器的可視區(qū)域內(nèi))。實(shí)例6-帶有具有一體式應(yīng)變儀的觸摸傳感器的顯示器的形成。根據(jù)以下步驟加工帶有力感測元件的觸摸傳感器。提供了基片基底。包括金屬跡線微圖案的應(yīng)變儀元件(力感測元件)集成到基片的表面上。所述應(yīng)變儀連接到適于針對流過應(yīng)變儀的電流測量電阻的電子器件。通過微接觸印刷和蝕刻在基片上加工包括微圖案化的金屬導(dǎo)體跡線的應(yīng)變儀。利用熱蒸鍍機(jī)將經(jīng)測量厚度為2mm的聚碳酸酯基片蒸汽涂布IOOnm的銀薄膜，以產(chǎn)生第一銀金屬化膜。聚碳酸酯基片以LEXA可商購自沙特阿拉伯利雅德的沙伯基礎(chǔ)創(chuàng)新塑料公司(SABICInnovativePlastics),并且經(jīng)測量為168mmX220mm。銀可以99.99%純度的3mm銀丸形式購自威斯康辛州密爾沃基的斯愛克公司。對著之前已用標(biāo)準(zhǔn)照相平版印刷技術(shù)進(jìn)行圖案化的IOcm直徑的硅片(業(yè)內(nèi)有時(shí)稱之為“母?！?，模制出厚度為3mm的PDMS壓模。該P(yáng)DMS可以產(chǎn)品SYLGARD184購自密歇根州米德蘭的陶氏化學(xué)公司。在65°C下，將PDMS在硅片上固化2小時(shí)。然后從硅片上剝離PDMS，以生成具有凸起特征圖案的壓模。壓模的凸起特征包括具有連續(xù)方形網(wǎng)孔圖案(網(wǎng)片回路)的區(qū)域和具有不連續(xù)方形網(wǎng)孔圖案的區(qū)域。所述連續(xù)方形網(wǎng)孔圖案呈現(xiàn)圖1b的網(wǎng)片回路的形式。也就是說，凸起特征限定了共邊連接的方形(限定連續(xù)方形網(wǎng)片回路)的邊，所述連續(xù)方形網(wǎng)片回路為圖1b中所示的連續(xù)的、未中斷的網(wǎng)片回路。不連續(xù)方形網(wǎng)孔圖案是在線段中含有選擇性中斷的方形網(wǎng)孔圖案，這以另一方式限定了完整的方形網(wǎng)孔圖案。PDMS壓模包括在與圖1b的網(wǎng)片回路互補(bǔ)的區(qū)域中的不連續(xù)方形網(wǎng)孔圖案(未示出)。中斷被設(shè)計(jì)為大約5μm。為了降低它們的可見性，優(yōu)選地，所述中斷應(yīng)該小于10μm,更優(yōu)選地，小于5μπι或更小，例如，在1口!11和54111之間。每個(gè)凸起的方形輪廓圖案的高度為2μm，具有2%的面積覆蓋(對應(yīng)于98%的開放區(qū)域)，并且線段的寬度為2μm。方形網(wǎng)片的間距為200μm。壓模具有第一結(jié)構(gòu)化側(cè)面(其具有方形網(wǎng)孔圖案區(qū)域和互連跡線特征)以及相對的第二基本平坦的側(cè)面。帶有一體式應(yīng)變儀(力感測元件)的基片的制備如下。將壓模放入包含直徑為2mm的玻璃小珠的玻璃培養(yǎng)皿中，使其結(jié)構(gòu)化側(cè)面向上。這樣，第二基本平坦側(cè)面就直接接觸玻璃珠。玻璃小珠起到將壓模托離培養(yǎng)皿底部的作用，從而讓隨后的油墨溶液基本上與壓模的整個(gè)平坦側(cè)面接觸。將溶于乙醇的IOmM的1-十八硫醇(可購自俄勒岡州波特蘭的梯希愛美國公司)油墨溶液用吸移管移入壓模下面的培養(yǎng)皿中。油墨溶液與壓模的第二基本平坦的側(cè)面直接接觸。經(jīng)過充分的著墨時(shí)間(如3小時(shí))使油墨擴(kuò)散到壓模中之后，從培養(yǎng)皿中取出第一壓模。將基片放置到工作表面上，使其金屬化側(cè)面向上。所述壓模被布置在金屬化基片表面的角的Icm范圍內(nèi)，如圖1所示地取向，所述回路的末端朝向所述角。允許著墨的壓模接觸金屬化基底15秒，然后去除。對基片的其它三個(gè)角重復(fù)上述壓印工序。將所述基片放入銀蝕刻劑溶液中三分鐘，該溶液包含(i)O.030摩爾硫脲(密蘇里州圣路易斯的西格瑪奧德里奇公司)和(ii)O.020摩爾硝酸鐵(西格瑪奧德里奇公司)的去離子水溶液。蝕刻步驟后，將所得第一基片用去離子水漂洗并用氮?dú)飧稍铮陨傻谝粓D案化表面。在著墨的壓模與第一金屬化基片的銀接觸的地方，蝕刻后仍然保留有銀。因此，著墨的壓模和銀薄膜直接未接觸的地方的銀被移除。結(jié)果是四個(gè)網(wǎng)片回路透明應(yīng)變儀集成到聚碳酸酯基片上,一個(gè)應(yīng)變儀占一個(gè)角。圖1示出了具有透明網(wǎng)片回路應(yīng)變儀、在聚碳酸酯基片上集成的力感測元件104(每個(gè)包括金屬跡線微圖案)的所得觸摸傳感器，所述應(yīng)變儀采用導(dǎo)電網(wǎng)片回路(示于圖1b中)的形式。所述網(wǎng)片回路應(yīng)變儀的電阻響應(yīng)于基片的變形而變化。具體地講，對于被取向?yàn)槭蛊湟惑w式應(yīng)變儀相對于觸摸壓力位于背側(cè)并且通過它的角支承的基片，增加觸摸壓力使得應(yīng)變儀被拉伸并使得它們的電阻值升高。電阻的變化程度大約與施加到觸摸傳感器的力成比例。因此，包括導(dǎo)電跡線微圖案的每個(gè)網(wǎng)片回路應(yīng)變儀構(gòu)成力感測元件104。觸摸的位置可通過將四個(gè)應(yīng)變儀(力感測元件)的電阻的變化進(jìn)行比較以及隨后的校正工序來確定，如本領(lǐng)域所公知的(例如，美國專利公開No.2009/0243817(Son))。包括導(dǎo)電跡線微圖案的每個(gè)網(wǎng)片回路應(yīng)變儀構(gòu)成位置觸摸感測元件。上述觸摸傳感器被前方的帶有158mmX210mm的可視區(qū)域的液晶顯示器(LCD)(B卩，以ANDpSi104EA5S-HB-KIT可購自加利福尼亞州森尼韋爾的普迪電子公司的電子顯示器)覆蓋并安裝到所述LCD。觸摸傳感器被安裝為使其一體式應(yīng)變儀面對顯示器。觸摸傳感器的一體式應(yīng)變儀(力感測元件104)覆蓋電子顯示器的可視區(qū)域(即，力感測元件104設(shè)置在電子顯示器的可視區(qū)域內(nèi))。不偏離本發(fā)明的范圍和精神的前提下，對本發(fā)明的各種改進(jìn)和改變對于本領(lǐng)域技術(shù)人員將是顯而易見的。應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明不旨在不恰當(dāng)?shù)叵抻诒疚奶峁┑氖纠詫?shí)施例和實(shí)例，這些實(shí)例和實(shí)施例僅以舉例的方式提出，而且本發(fā)明的范圍旨在僅受所附權(quán)利要求書的限制。在本公開中引用的所有參考文獻(xiàn)都以引證的方式全文并入本申請。權(quán)利要求1.一種制品，包括具有可視區(qū)域的電子顯示器；具有表面的透明絕緣基底；和力感測元件，所述力感測元件包括設(shè)置在所述基底的所述表面上的至少一個(gè)金屬跡線微圖案，其中所述透明絕緣基底設(shè)置在所述電子顯示器上，并且其中所述力感測元件覆蓋所述電子顯示器的可視區(qū)域的至少一部分，而基本不使所述顯示器的可視區(qū)域模糊。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制品，還包括透明的位置觸摸感測元件。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制品，其中所述透明絕緣基底包括聚合物片或玻璃片。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制品，其中所述聚合物片包括聚(甲基丙烯酸甲酯)、聚碳酸酯或玻璃。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制品，其中所述金屬跡線包括銀、金、鈀、鉬、銅、鎳、鋁、鑰或鎢。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制品，其中所述力感測元件包括側(cè)向電阻式應(yīng)變儀感測元件。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制品，其中所述力感測元件的開放區(qū)域比率為至少80%。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制品，其中所述金屬跡線的寬度在0.5微米和20微米之間。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造觸摸屏顯示器的方法，其中所述力感測元件通過包括以下步驟的方法加工，所述步驟即將金屬涂層設(shè)置在所述基底的表面上；和蝕刻所述金屬以形成設(shè)置在所述基底上的導(dǎo)電金屬跡線微圖案。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制造觸摸屏顯示器的方法，還包括提供具有凸起特征的油墨壓模；以及在蝕刻所述金屬之前將所述油墨壓模的凸起特征與所述金屬涂層接觸。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的制造觸摸屏顯示器的方法，其中所述油墨壓模包括自組裝單層形成分子。12.一種制品，包括具有可視區(qū)域的電子顯示器；透明絕緣基底，所述透明絕緣基底設(shè)置在所述電子顯示器的可視區(qū)域的至少一部分上；和觸摸傳感器，所述觸摸傳感器設(shè)置在覆蓋所述電子顯示器的可視區(qū)域的至少一部分的所述基底的表面上；其中所述觸摸傳感器包括力感測元件，其中所述力感測元件包括第一組微網(wǎng)片帶和第二組微網(wǎng)片帶，其中所述微網(wǎng)片帶各自包括金屬導(dǎo)體跡線，其中所述第一和第二組微網(wǎng)片帶占據(jù)沿著與所述平面垂直的方向間隔開的基本平行的平面，以及其中所述第一組微網(wǎng)片帶的至少一個(gè)帶與所述第二組微網(wǎng)片帶的至少一個(gè)帶交叉。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制品，還包括覆蓋所述顯示器的可視區(qū)域的至少一部分而基本不使所述顯示器的可視區(qū)域模糊的位置觸摸感測元件。14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制品，其中所述力感測元件包括壓敏電阻材料、壓電材料或電容力感測元件。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制品，其中所述壓敏電阻材料包括分散在基質(zhì)中的透明導(dǎo)電粒子。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的制品，其中所述透明導(dǎo)電粒子包括銦錫氧化物。17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制品，其中所述壓電材料包括聚合物。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制品，其中所述壓電材料包括聚偏二氟乙烯或其衍生物。19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制品，其中所述力感測元件包括電阻式應(yīng)變儀元件。20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制品，其中該基本平行的微網(wǎng)片帶包括寬度為約O.5微米至約10微米的跡線。21.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制品，其中所述力感測元件的微網(wǎng)片的開放區(qū)域比率為至少80%ο22.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制品，其中所述第一組微網(wǎng)片帶被取向?yàn)槭沟迷摶酒叫械奈⒕W(wǎng)片帶基本垂直于所述第二組微網(wǎng)片帶中的基本平行的微網(wǎng)片帶。23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的制品，其中每個(gè)基本平行的微網(wǎng)片帶包括電極。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的制品，其中所述力感測元件包括來自每組平行的微網(wǎng)片帶的一個(gè)電極，并且其中所述力感測元件被布置在所述帶交叉的位置。25.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制造觸摸屏顯示器的方法，其中所述力感測元件通過包括以下步驟的方法加工，所述步驟即將金屬涂層布置在所述基底的表面上；和蝕刻所述金屬以形成設(shè)置在所述基底上的導(dǎo)電金屬跡線微圖案。26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的制造觸摸屏顯示器的方法，還包括提供具有凸起特征的油墨壓模；以及在蝕刻所述金屬之前將所述油墨壓模的凸起特征與所述金屬涂層接觸。27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的制造觸摸屏顯示器的方法，其中所述油墨壓模包括自組裝單層形成分子。全文摘要本發(fā)明提供了一種觸摸屏顯示器傳感器，其包括設(shè)置在透明基底的表面上的透明觸摸感測元件和設(shè)置在所述透明觸摸感測元件中的力感測元件。所述力感測元件包括兩組微網(wǎng)片帶，并且可包括所述微網(wǎng)片帶之間的壓力響應(yīng)材料。所述微網(wǎng)片帶包括金屬導(dǎo)體跡線。所述微網(wǎng)片帶組間隔開并占據(jù)基本平行的平面。文檔編號(hào)G06F3/041GK103069365SQ201180039447公開日2013年4月24日申請日期2011年6月8日優(yōu)先權(quán)日2010年6月11日發(fā)明者馬修·H·弗雷,羅伯特·R·基施克,比利·L·韋弗申請人:3M創(chuàng)新有限公司