專(zhuān)利名稱(chēng)：一種在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路及其制造領(lǐng)域，尤其涉及一種在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法。
背景技術(shù)：
制造執(zhí)行系統(tǒng)(ManufacturingExecution System，簡(jiǎn)稱(chēng) MES)是由美國(guó) AMR 公司 (Advanced Manufacturing Research, Inc.)在90年代初提出的，旨在加強(qiáng)MRP計(jì)劃的執(zhí)行功能，把MRP計(jì)劃同車(chē)間作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)控制，通過(guò)執(zhí)行系統(tǒng)聯(lián)系起來(lái)；其中，現(xiàn)場(chǎng)控制包括PLC 程控器、數(shù)據(jù)采集器、條型碼、各種計(jì)量及檢測(cè)儀器、機(jī)械手等。制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)系統(tǒng)中還設(shè)置了必要的接口，與提供生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)控制設(shè)施的廠商建立合作關(guān)系。但是，現(xiàn)有的制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)缺乏智能尋找安全站點(diǎn)的功能，這對(duì)于工廠在處置大規(guī)模事件(比如年度維修)時(shí)需要花大量的人力來(lái)對(duì)每個(gè)硅片批(lot)進(jìn)行人工干預(yù)處置，很不便利，很容易出錯(cuò)，也不利于出具詳細(xì)的執(zhí)行狀態(tài)報(bào)告。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開(kāi)了一種在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其中，包括以下步驟
步驟Sl 在一設(shè)置有預(yù)停止模塊的制造執(zhí)行系統(tǒng)中，根據(jù)工藝需求設(shè)置每個(gè)站點(diǎn)的安全等級(jí)；
步驟S2 于制造執(zhí)行系統(tǒng)的操作模塊上設(shè)置篩選項(xiàng)，以控制產(chǎn)品批的預(yù)停止； 步驟S3 制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)所定義的產(chǎn)品批通過(guò)篩選項(xiàng)為每個(gè)產(chǎn)品批設(shè)置對(duì)應(yīng)的預(yù)
停止站點(diǎn)；
步驟S4:當(dāng)需要進(jìn)行預(yù)停止時(shí)，工藝人員通過(guò)操作模塊的填寫(xiě)項(xiàng)設(shè)置預(yù)停止信息，制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)操作模塊的設(shè)置執(zhí)行進(jìn)行預(yù)停止。其中，制造執(zhí)行系統(tǒng)還設(shè)置有步驟計(jì)算模塊。上述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其中安全等級(jí)設(shè)置可根據(jù)工藝類(lèi)別設(shè)置為至少兩個(gè)級(jí)別。上述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其中篩選項(xiàng)包含有產(chǎn)品名、批次代號(hào)、等級(jí)、工程或產(chǎn)品片、安全等級(jí)數(shù)。上述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其中篩選項(xiàng)還包含有填寫(xiě)項(xiàng)，以實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)的停止。上述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，包括利用報(bào)表對(duì)預(yù)停止的信息進(jìn)行追蹤與管理。上述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其中報(bào)表是對(duì)已經(jīng)執(zhí)行的產(chǎn)品、產(chǎn)品批信息進(jìn)行匯總，該信息包括產(chǎn)品、批次、優(yōu)先等級(jí)、現(xiàn)有站點(diǎn)、預(yù)停止站點(diǎn)、尚余步數(shù)、停止站點(diǎn)的安全等級(jí)。
上述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其中步驟S4中預(yù)停止信息包含有預(yù)停止的安全等級(jí)、安全站點(diǎn)搜索步驟。上述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其中預(yù)停止工藝包括一般預(yù)停止、分級(jí)預(yù)停止。上述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其中一般預(yù)停止為通過(guò)統(tǒng)一填寫(xiě)項(xiàng)輸入的篩選條件，根據(jù)所定義的產(chǎn)品批并通過(guò)篩選項(xiàng)，制造執(zhí)行系統(tǒng)為每個(gè)產(chǎn)品批尋找一個(gè)最近的符合需求的安全站點(diǎn)，并設(shè)置預(yù)停止；分級(jí)預(yù)停止為進(jìn)行分批操作，每次均通過(guò)填寫(xiě)項(xiàng)輸入的篩選條件僅為安全等級(jí)選項(xiàng)，然后根據(jù)所定義的產(chǎn)品批并通過(guò)篩選項(xiàng)，制造執(zhí)行系統(tǒng)為每個(gè)產(chǎn)品批尋找一個(gè)最近的符合需求的安全站點(diǎn)，并設(shè)置預(yù)停止。上述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其中預(yù)停止工藝還包括高級(jí)預(yù)停止，即在一般預(yù)停止的基礎(chǔ)上，增加最近安全站點(diǎn)搜索步驟限制模塊，并通過(guò)統(tǒng)一填寫(xiě)項(xiàng)輸入的篩選條件，根據(jù)所定義的產(chǎn)品批并通過(guò)篩選項(xiàng)，制造執(zhí)行系統(tǒng)為每個(gè)產(chǎn)品批尋找一個(gè)最近的符合需求的安全站點(diǎn)，并設(shè)置預(yù)停止。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明提出一種在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，通過(guò)在制造執(zhí)行系統(tǒng)中集成一種針對(duì)大批量產(chǎn)品批(lot)的自動(dòng)尋找并設(shè)置最佳安全站點(diǎn)的模塊，從而解決了現(xiàn)有制造執(zhí)行系統(tǒng)中在處置大規(guī)模事件(比如年度維修)時(shí)需要花大量的人力來(lái)對(duì)每個(gè)硅片批(lot)進(jìn)行人工干預(yù)處置、不便利、易出錯(cuò)及不能出具詳細(xì)的執(zhí)行狀態(tài)報(bào)告等問(wèn)題。


圖1是本發(fā)明在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明
圖1是本發(fā)明在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法的流程示意圖。如圖1所示，本發(fā)明一種在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，包括以下步驟
首先，在一設(shè)置有預(yù)停止模塊的制造執(zhí)行系統(tǒng)中，根據(jù)工藝需求設(shè)置每個(gè)站點(diǎn)的安全等級(jí)；其中，安全等級(jí)可設(shè)為多個(gè)級(jí)別。比如將安全等級(jí)設(shè)置為三級(jí)或九級(jí)，其中，三級(jí)安全等級(jí)為設(shè)置0-2三個(gè)等級(jí)，0表示不安全，1表示比較安全，2表示安全；九級(jí)安全等級(jí)為設(shè)置0-8九個(gè)等級(jí)，從0-8依次代表從不安全到最安全的級(jí)別，如0表示不安全，8表示最安全。其次，于制造執(zhí)行系統(tǒng)的操作模塊上設(shè)置篩選項(xiàng)，以控制產(chǎn)品批的預(yù)停止；其中， 篩選項(xiàng)的包含有產(chǎn)品名(product ID)、批次代號(hào)(lot ID)、等級(jí)(Lot priority)、工程或產(chǎn)品片(lot type)和安全等級(jí)數(shù)值等信息，且設(shè)置填寫(xiě)項(xiàng)以方便工藝人員輸入需要停止的安全等級(jí)、最近安全站點(diǎn)搜索步驟限制等預(yù)停止信息，以執(zhí)行安全站點(diǎn)的停止工藝。然后，制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)所定義的產(chǎn)品批并通過(guò)篩選項(xiàng)為每個(gè)產(chǎn)品批設(shè)置對(duì)應(yīng)的預(yù)停止站點(diǎn)。最后，當(dāng)需要進(jìn)行預(yù)停止工藝時(shí)，如進(jìn)行年度維修等，工藝人員通過(guò)操作模塊的填
4寫(xiě)項(xiàng)設(shè)置包含有預(yù)停止的安全等級(jí)、安全站點(diǎn)搜索步驟等預(yù)停止信息，制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)操作模塊的設(shè)置執(zhí)行預(yù)停止，同時(shí)工藝人員通過(guò)報(bào)表系統(tǒng)追蹤查看。其中，報(bào)表是可根據(jù)篩選項(xiàng)目查看產(chǎn)品批次的預(yù)停止信息，包括所有已執(zhí)行或未執(zhí)行產(chǎn)品、產(chǎn)品批信息，該信息包括產(chǎn)品、批次、優(yōu)先等級(jí)、現(xiàn)有站點(diǎn)、是否設(shè)置預(yù)停止，預(yù)停止站點(diǎn)、尚余步數(shù)、停止站點(diǎn)的安全等級(jí)等信息。進(jìn)一步的，制造執(zhí)行系統(tǒng)還設(shè)置有步驟計(jì)算模塊。其中，預(yù)停止工藝包括一般預(yù)停止、分級(jí)預(yù)停止和高級(jí)預(yù)停止；一般預(yù)停止為通過(guò)統(tǒng)一填寫(xiě)項(xiàng)輸入的篩選條件，如安全站點(diǎn)等級(jí)等，根據(jù)所定義的產(chǎn)品批并通過(guò)篩選項(xiàng)， 制造執(zhí)行系統(tǒng)為每個(gè)產(chǎn)品批尋找一個(gè)最近的符合需求的安全站點(diǎn)，并設(shè)置預(yù)停止(future hold);由于不同產(chǎn)品、批次需要執(zhí)行不同的安全等級(jí)，就需要執(zhí)行分級(jí)預(yù)停止，即進(jìn)行分批操作，每次均通過(guò)填寫(xiě)項(xiàng)輸入的篩選條件僅為安全等級(jí)選項(xiàng)，然后根據(jù)所定義的產(chǎn)品批并通過(guò)篩選項(xiàng)，制造執(zhí)行系統(tǒng)為每個(gè)產(chǎn)品批尋找一個(gè)最近的符合需求的安全站點(diǎn)，并設(shè)置預(yù)停止；由于上述一般預(yù)停止和分級(jí)預(yù)停止只能在最近的安全站點(diǎn)執(zhí)行預(yù)停止，對(duì)于跑貨等級(jí)較高的產(chǎn)品、批次不適用，就需要執(zhí)行高級(jí)預(yù)停止，即在一般預(yù)停止的基礎(chǔ)上，增加最近安全站點(diǎn)搜索步驟限制模塊(默認(rèn)為0)，如設(shè)置最近安全站點(diǎn)搜索步驟數(shù)值為30，則表示從本站點(diǎn)開(kāi)始至以后的30個(gè)站點(diǎn)之后開(kāi)始搜索一個(gè)滿(mǎn)足工藝需求的安全站點(diǎn)并進(jìn)行預(yù)停止操作；若設(shè)置最近安全站點(diǎn)搜索步驟數(shù)值為30-50，則表示搜索從本站點(diǎn)開(kāi)始30站以后至50站以?xún)?nèi)的一個(gè)滿(mǎn)足工藝需求的安全站點(diǎn)并進(jìn)行預(yù)停止操作，如果沒(méi)發(fā)現(xiàn)滿(mǎn)足條件的安全站點(diǎn)就報(bào)錯(cuò)。其中，還可以對(duì)安全站點(diǎn)和產(chǎn)品批的選擇設(shè)置一定的過(guò)濾條件，如安全等級(jí)等。綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本發(fā)明提出一種在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，通過(guò)在制造執(zhí)行系統(tǒng)中集成一種針對(duì)大批量產(chǎn)品批(lot)的自動(dòng)尋找并設(shè)置最佳安全站點(diǎn)的模塊，從而解決了現(xiàn)有制造執(zhí)行系統(tǒng)中在處置大規(guī)模事件(比如年度維修)時(shí)需要花大量的人力來(lái)對(duì)每個(gè)硅片批(lot)進(jìn)行人工干預(yù)處置、不便利、易出錯(cuò)及不能出具詳細(xì)的執(zhí)行狀態(tài)報(bào)告等問(wèn)題。通過(guò)說(shuō)明和附圖，給出了具體實(shí)施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實(shí)施例，基于本發(fā)明精神，還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實(shí)施例，然而，這些內(nèi)容并不作為局限。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，閱讀上述說(shuō)明后，各種變化和修正無(wú)疑將顯而易見(jiàn)。 因此，所附的權(quán)利要求書(shū)應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實(shí)意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書(shū)范圍內(nèi)任何和所有等價(jià)的范圍與內(nèi)容，都應(yīng)認(rèn)為仍屬本發(fā)明的意圖和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，包括以下步驟 步驟Sl 在一設(shè)置有預(yù)停止模塊的制造執(zhí)行系統(tǒng)中，根據(jù)工藝需求設(shè)置每個(gè)站點(diǎn)的安全等級(jí)；步驟S2 于制造執(zhí)行系統(tǒng)的操作模塊上設(shè)置篩選項(xiàng)，以控制產(chǎn)品批的預(yù)停止； 步驟S3 制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)所定義的產(chǎn)品批通過(guò)篩選項(xiàng)為每個(gè)產(chǎn)品批設(shè)置對(duì)應(yīng)的預(yù)停止站點(diǎn)；步驟S4:當(dāng)需要進(jìn)行預(yù)停止時(shí)，工藝人員通過(guò)操作模塊的填寫(xiě)項(xiàng)設(shè)置預(yù)停止信息，制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)操作模塊的設(shè)置執(zhí)行預(yù)停止； 其中，制造執(zhí)行系統(tǒng)還設(shè)置有步驟計(jì)算模塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，安全等級(jí)設(shè)置可根據(jù)工藝類(lèi)別設(shè)置為至少兩個(gè)級(jí)別。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，篩選項(xiàng)包含有產(chǎn)品名、批次代號(hào)、等級(jí)、工程或產(chǎn)品片、安全等級(jí)數(shù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，篩選項(xiàng)還包含有填寫(xiě)項(xiàng)，以實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)的停止。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，利用報(bào)表對(duì)預(yù)停止的信息進(jìn)行追蹤與管理。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，報(bào)表是對(duì)已經(jīng)執(zhí)行的產(chǎn)品、產(chǎn)品批信息進(jìn)行匯總，該信息包括產(chǎn)品、批次、優(yōu)先等級(jí)、現(xiàn)有站點(diǎn)、預(yù)停止站點(diǎn)、尚余步數(shù)、停止站點(diǎn)的安全等級(jí)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，步驟S4中預(yù)停止信息包含有預(yù)停止的安全等級(jí)、安全站點(diǎn)搜索步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，預(yù)停止工藝包括一般預(yù)停止、分級(jí)預(yù)停止。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，一般預(yù)停止為通過(guò)統(tǒng)一填寫(xiě)項(xiàng)輸入的篩選條件，根據(jù)所定義的產(chǎn)品批并通過(guò)篩選項(xiàng)，制造執(zhí)行系統(tǒng)為每個(gè)產(chǎn)品批尋找一個(gè)最近的符合需求的安全站點(diǎn)，并設(shè)置預(yù)停止；分級(jí)預(yù)停止為進(jìn)行分批操作，每次均通過(guò)填寫(xiě)項(xiàng)輸入的篩選條件僅為安全等級(jí)選項(xiàng)，然后根據(jù)所定義的產(chǎn)品批并通過(guò)篩選項(xiàng)，制造執(zhí)行系統(tǒng)為每個(gè)產(chǎn)品批尋找一個(gè)最近的符合需求的安全站點(diǎn)，并設(shè)置預(yù)停止。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法，其特征在于，預(yù)停止工藝還包括高級(jí)預(yù)停止，即在一般預(yù)停止的基礎(chǔ)上，增加最近安全站點(diǎn)搜索步驟限制模塊，并通過(guò)統(tǒng)一填寫(xiě)項(xiàng)輸入的篩選條件，根據(jù)所定義的產(chǎn)品批并通過(guò)篩選項(xiàng)，制造執(zhí)行系統(tǒng)為每個(gè)產(chǎn)品批尋找一個(gè)最近的符合需求的安全站點(diǎn)，并設(shè)置預(yù)停止。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法。本發(fā)明一種在制造執(zhí)行系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)安全站點(diǎn)預(yù)停止的方法通過(guò)在制造執(zhí)行系統(tǒng)中集成一種針對(duì)大批量產(chǎn)品批的自動(dòng)尋找并設(shè)置最佳安全站點(diǎn)的模塊，從而解決了現(xiàn)有制造執(zhí)行系統(tǒng)中在處置大規(guī)模事件(比如年度維修)時(shí)需要花大量的人力來(lái)對(duì)每個(gè)硅片批進(jìn)行人工干預(yù)處置、不便利、易出錯(cuò)及不能出具詳細(xì)的執(zhí)行狀態(tài)報(bào)告等問(wèn)題。
文檔編號(hào)G06Q50/04GK102567842SQ20111038678
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月29日
發(fā)明者張海芳, 魏崢?lè)f 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司