專利名稱：使用工具運行數(shù)據(jù)管理制造環(huán)境的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般地涉及管理制造環(huán)境，具體地說，涉及使用制造環(huán)境中每種工具的諸如化學(xué)原料和/或動力消耗數(shù)據(jù)之類的運行數(shù)據(jù)管理制造環(huán)境。
背景技術(shù)：
在諸如集成電路制造廠之類的工廠中，一些在生產(chǎn)工藝中使用的工具包括諸如質(zhì)流控制器、流量計或光譜儀之類的檢測設(shè)備，用于在使用工具制造諸如集成電路之類的產(chǎn)品期間監(jiān)視工具處理室內(nèi)的化學(xué)原料消耗?？梢苑治龌瘜W(xué)原料消耗模式以指示何時進入生產(chǎn)工藝的下一步。備選地，工藝可以在一段預(yù)定時間之后進入下一步。此外，有關(guān)各種資源消耗的數(shù)據(jù)可以輸出到本地數(shù)據(jù)庫進行處理，例如針對工具運行進行的統(tǒng)計分析和故障檢測。對于在工廠范圍內(nèi)監(jiān)視資源消耗，例如，預(yù)測原料(如，化學(xué)原料)的使用和需求， 目前的方法是評估與以下項有關(guān)的信息原料庫中可用的原料量、用于執(zhí)行多個處方中的每個處方的原料量、以及根據(jù)工廠工藝進度預(yù)測的原料需求。可以根據(jù)模擬的工廠原料消耗生成預(yù)測的需求，并且可通過依據(jù)先前預(yù)測的消耗評估工廠的實際消耗并在必要時修改未來預(yù)測來隨時間而改進預(yù)測的需求。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明人認(rèn)識到在當(dāng)前的制造環(huán)境中，在工具級別考慮資源消耗(例如化學(xué)原料輸入和動力消耗)以及排放產(chǎn)生(例如化學(xué)品輸出和其他制造副產(chǎn)品)可以提供重要信息來增強在工廠或多個工廠級別的制造環(huán)境效用、環(huán)境合規(guī)性、處方管理、成本縮減、損益計算等。目前，沒有解決方案可以提供此類工具特定的詳細(xì)運行數(shù)據(jù)以在制造環(huán)境的配置運行中使用，更不必說實時提供此類數(shù)據(jù)。本發(fā)明的各方面提供了一種使用制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)管理所述制造環(huán)境的解決方案。所述運行數(shù)據(jù)可包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的實際資源消耗數(shù)據(jù)和/或?qū)嶋H排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)。所述制造環(huán)境的運行可以被配置為優(yōu)化以下方面中的一個或多個方面使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間的資源消耗和/或排放產(chǎn)生。例如，制造環(huán)境的運行可被配置為優(yōu)化所消耗資源的相關(guān)采購成本和/或所產(chǎn)生排放的相關(guān)廢物管理成本的總成本。本發(fā)明的第一方面提供了一種管理制造環(huán)境的計算機實現(xiàn)的方法，所述方法包括在計算機系統(tǒng)上獲取所述制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)，工具的運行數(shù)據(jù)包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的一組資源的實際資源消耗數(shù)據(jù)和一組排放物質(zhì)的實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及使用所述計算機系統(tǒng)配置所述制造環(huán)境的運行以優(yōu)化以下項中的至少一項使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。本發(fā)明的第二方面提供了一種計算機系統(tǒng)，包括一組計算設(shè)備，其配置為實現(xiàn)一種管理制造環(huán)境的方法，所述方法包括獲取所述制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)，工具的運行數(shù)據(jù)包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的一組資源的實際資源消耗數(shù)據(jù)和一組排放物質(zhì)的實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及配置所述制造環(huán)境的運行以優(yōu)化以下項中的至少一項使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。本發(fā)明的第三方面提供了一種計算機程序，所述計算機程序包括包含在至少一個計算機可讀存儲介質(zhì)中的程序代碼，當(dāng)執(zhí)行所述程序代碼時，使得計算機系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)一直管理制造環(huán)境的方法，所述方法包括獲取所述制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)，工具的運行數(shù)據(jù)包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的一組資源的實際資源消耗數(shù)據(jù)和一組排放物質(zhì)的實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及配置所述制造環(huán)境的運行以優(yōu)化以下項中的至少一項使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。本發(fā)明的第四方面提供了一種形成用于管理制造環(huán)境的計算機系統(tǒng)的方法，所述方法包括提供一種計算機系統(tǒng)，所述計算機系統(tǒng)可操作以實現(xiàn)包括以下步驟的方法獲取所述制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)，工具的運行數(shù)據(jù)包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的一組資源的實際資源消耗數(shù)據(jù)和一組排放物質(zhì)的實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及配置所述制造環(huán)境的運行以優(yōu)化以下項中的至少一項使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。本發(fā)明的其他方面提供了方法、系統(tǒng)、程序產(chǎn)品，以及使用和生成上述方法、系統(tǒng)和程序產(chǎn)品的方法，這些方法、系統(tǒng)和程序產(chǎn)品包括和/或?qū)崿F(xiàn)此處所述的部分或全部操作。本發(fā)明的示例性方面旨在解決此處所述的一個或多個問題和/或此處未提及的一個或多個其他問題。


結(jié)合示出本發(fā)明的各方面的附圖，從下面對本發(fā)明的各方面的詳細(xì)說明，將更容易地理解本公開的這些和其他特性，這些附圖是圖1示出了根據(jù)一個實施例的示例性制造環(huán)境；圖2示出了根據(jù)一個實施例的示例性制造環(huán)境的一部分的運行的更詳細(xì)視圖；以及圖3示出了根據(jù)另一個實施例的示例性制造環(huán)境。要指出的是，附圖可能未成比例。附圖僅旨在示出本發(fā)明的典型方面，并且因此不應(yīng)被視為限制本發(fā)明的范圍。在附圖中，相同標(biāo)號表示附圖中的相同元素。
具體實施方式
如上所述，本發(fā)明的各方面提供了一種使用制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)管理所述制造環(huán)境的解決方案。所述運行數(shù)據(jù)可包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的實際資源消耗數(shù)據(jù)和/ 或?qū)嶋H排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)。所述制造環(huán)境的運行可以被配置為優(yōu)化以下方面中的一個或多個方面使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間的資源消耗和/或排放產(chǎn)生。例如，制造環(huán)境的運行可被配置為優(yōu)化所消耗資源的相關(guān)采購成本和/或所產(chǎn)生排放的相關(guān)廢物管理成本的總成本。如此處所使用的，除非另有說明，否則術(shù)語“組”指一個或多個(即，至少一個)并且短語“任何解決方案”指任何現(xiàn)在已知或以后開發(fā)的解決方案?，F(xiàn)在參考附圖，圖1示出了根據(jù)一個實施例的示例性制造環(huán)境10。在此方面，環(huán)境 10包括計算機系統(tǒng)20，計算機系統(tǒng)20可以執(zhí)行在此描述的過程以使用各種工具14管理一個或多個產(chǎn)品2的制造。具體地說，計算機系統(tǒng)20被示為包括管理程序30，管理程序30使計算機系統(tǒng)20可操作以通過執(zhí)行在此描述的過程管理制造環(huán)境10的運行。計算機系統(tǒng)20被示為包括處理組件22 (例如，一個或多個處理器)、存儲組件 24 (例如，存儲層次結(jié)構(gòu))、輸入/輸出(I/O)組件沈(例如，一個或多個I/O接口和/或設(shè)備)以及通信通道觀。通常，處理組件22執(zhí)行至少部分地安裝在存儲組件M中的程序代碼，例如管理程序30。當(dāng)執(zhí)行程序代碼時，處理組件22可以處理數(shù)據(jù)，這可以導(dǎo)致從存儲組件M和/或I/O組件沈讀取已轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)和/或向存儲組件M和/或I/O組件沈?qū)懭胍艳D(zhuǎn)換數(shù)據(jù)以便進一步處理。通道28提供計算機系統(tǒng)20中的每個組件之間的通信鏈路。 I/O組件沈可以包括一個或多個人類I/O設(shè)備，這些設(shè)備使人類用戶12能夠與計算機系統(tǒng)20和/或一個或多個通信設(shè)備交互，從而使系統(tǒng)用戶12能夠使用任何類型的通信鏈路與計算機系統(tǒng)20通信。在此方面，管理程序30可管理一組可使人類和/或系統(tǒng)用戶12與管理程序30交互的接口(例如，圖形用戶接口、應(yīng)用程序接口等)。進而，管理程序30可以使用任何解決方案管理(例如，存儲、檢索、創(chuàng)建、操縱、組織、呈現(xiàn)等)例如進度數(shù)據(jù)40之類的數(shù)據(jù)。在任何情況下，計算機系統(tǒng)20可以包括一個或多個能夠執(zhí)行安裝在其上的程序代碼(例如，管理程序30)的通用計算制品(例如，計算設(shè)備)。如此處所使用的，應(yīng)該理解，“程序代碼”指以任何語言、代碼或符號表示的任何指令集合，所述指令集合導(dǎo)致具有信息處理能力的計算設(shè)備直接執(zhí)行特定操作，或者執(zhí)行以下任何組合后執(zhí)行特定操作(a) 轉(zhuǎn)換為另一種語言、代碼或符號；(b)以不同的材料形式再現(xiàn)；和/或(c)解壓縮。在此方面，管理程序30可以體現(xiàn)為系統(tǒng)軟件和/或應(yīng)用軟件的任何組合。此外，管理程序30可以使用一組模塊32實現(xiàn)。在這種情況下，模塊32可以使計算機系統(tǒng)20能夠執(zhí)行管理程序30使用的一組任務(wù)，并且可以單獨開發(fā)和/或獨立于管理程序30的其他部分實現(xiàn)。如此處所使用的，術(shù)語“組件”指使用任何解決方案實現(xiàn)與之結(jié)合描述的功能性的任何硬件配置(具有或沒有軟件)，而術(shù)語“模塊”指使計算機系統(tǒng)20能夠使用任何解決方案實現(xiàn)與之結(jié)合描述的操作的程序代碼。當(dāng)安裝在包括處理組件22的計算機系統(tǒng)20的存儲組件M中時，模塊是實現(xiàn)所述操作的組件的實質(zhì)部分。無論如何，應(yīng)該理解，兩個或更多組件、模塊和/或系統(tǒng)可以共享其各自硬件和/或軟件的部分/全部。此外，應(yīng)該理解，可以不實現(xiàn)在此討論的某些功能或者可以包括其他功能作為計算機系統(tǒng)20的一部分。當(dāng)計算機系統(tǒng)20包括多個計算設(shè)備時，每個計算設(shè)備可以僅具有安裝在其上的管理程序30的一部分(例如，一個或多個模塊32)。但是，應(yīng)該理解，計算機系統(tǒng)20和管理程序30僅是可以執(zhí)行在此描述的過程的各種可能等同的計算機系統(tǒng)的代表。在此方面， 在其他實施例中，計算機系統(tǒng)20和管理程序30提供的功能可以至少部分地由包括通用和 /或?qū)Ｓ糜布?具有或沒有程序代碼)的任何組合的一個或多個計算設(shè)備實現(xiàn)。在每個實施例中，所述硬件和程序代碼(如果包括)可以分別使用標(biāo)準(zhǔn)工程技術(shù)和編程技術(shù)創(chuàng)建。無論如何，當(dāng)計算機系統(tǒng)20包括多個計算設(shè)備時，所述計算設(shè)備可以通過任何類型的通信鏈路通信。此外，當(dāng)執(zhí)行在此描述的過程時，計算機系統(tǒng)20可以使用任何類型的通信鏈路與一個或多個其他計算機系統(tǒng)通信。在每種情況下，所述通信鏈路可以包括各種類型有線和/或無線鏈路的任何組合；包括一種或多種類型網(wǎng)絡(luò)的任何組合；和/或使用各種類型傳輸技術(shù)和協(xié)議的任何組合。如此處所述，管理程序30使得計算機系統(tǒng)20能夠使用各種工具14的實際運行數(shù)據(jù)(例如資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù))管理制造環(huán)境10的運行。在此方面，計算機系統(tǒng) 20可以處理制造環(huán)境10的進度數(shù)據(jù)40。進度數(shù)據(jù)40可以包括使用制造環(huán)境10中的每種工具14在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的一種或多種類型產(chǎn)品2的進度。在此方面，計算機系統(tǒng)20可以根據(jù)要制造的多種類型產(chǎn)品2中的每一種的所需數(shù)量、每種所需數(shù)量的對應(yīng)期限、一組工具14中的每一種的運行狀態(tài)等生成進度數(shù)據(jù)40。每種類型的產(chǎn)品2可以包括用于制造該類產(chǎn)品2的對應(yīng)處方。應(yīng)該理解，產(chǎn)品2 可以包括可立即使用/在制造環(huán)境10外部進一步處理的最終產(chǎn)品或需要在制造環(huán)境10內(nèi)進行其他處理的中間產(chǎn)品。在此方面，計算機系統(tǒng)20可以生成進度數(shù)據(jù)40以在制造環(huán)境 10中分配一組工具14，從而執(zhí)行在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的對應(yīng)類型產(chǎn)品2所需的各種處方。此外，一旦給定期限的進度數(shù)據(jù)40完成，計算機系統(tǒng)20便可以根據(jù)進度數(shù)據(jù)40和對應(yīng)處方在制造環(huán)境10內(nèi)操作一組工具14和其他組件。每個處方可以包括多個處方步驟。處方步驟可在特定時間內(nèi)需要特定類型的工具 14。此外，在執(zhí)行處方步驟期間，處方步驟可能消耗一組資源并生成可能包括一組副產(chǎn)品的排放物質(zhì)。如此處所使用的，術(shù)語“資源”指為了制造產(chǎn)品2而提供的任何物質(zhì)(例如，原材料、氣體、液體等)、時間、能源、一組工具14、人力等。一個或多個工具14消耗每種資源的部分或全部以生成產(chǎn)品2。如此處所使用的，術(shù)語“排放”指在產(chǎn)品2的制造期間生成的任何不需要(針對特定產(chǎn)品2而言)的物質(zhì)(例如，副產(chǎn)品)、任何已提供但未包括在產(chǎn)品 2中的物質(zhì)等。如此處所述，計算機系統(tǒng)20可以進一步考慮生成進度數(shù)據(jù)40時的運行數(shù)據(jù)，包括資源消耗和排放生成。在此方面，計算機系統(tǒng)20可以獲取制造環(huán)境10中的每種工具14的運行數(shù)據(jù)。所述運行數(shù)據(jù)可以包括實現(xiàn)在制造環(huán)境10內(nèi)實現(xiàn)的各種處方中每一種處方的各處方步驟的資源數(shù)據(jù)42和排放數(shù)據(jù)44?？梢允占圃飙h(huán)境10內(nèi)每種唯一工具14的資源數(shù)據(jù)42和排放數(shù)據(jù)44。由于工具14的變化，因此相同處方和/或相同處方步驟的資源數(shù)據(jù)42和/或排放數(shù)據(jù)44可能根據(jù)用于實現(xiàn)所述處方/處方步驟的特定工具14而有所不同。此外，資源數(shù)據(jù)42和排放數(shù)據(jù)44還可以包括其他與工具14無關(guān)的資源/排放信息。 例如，資源數(shù)據(jù)42可以包括資源采購成本，排放數(shù)據(jù)44可以包括廢料(例如，副產(chǎn)品)處理成本等。圖2示出了根據(jù)一個實施例的制造環(huán)境10的一部分的運行的更詳細(xì)視圖。如圖所示，計算機系統(tǒng)20可以操作一個或多個資源源16以便在制造產(chǎn)品2期間向工具14提供所需資源。例如，計算機系統(tǒng)20可以指示資源源16提供在工具14的處理室50內(nèi)使用的所需體積、數(shù)量、流速等的對應(yīng)資源。工具14可以包括一個或多個資源傳感器52，每個資源傳感器監(jiān)視提供給處理室50的實際體積、數(shù)量、流速等的對應(yīng)資源。資源傳感器52可以使用任何解決方案定期或連續(xù)提供與提供給處理室50的資源對應(yīng)的資源數(shù)據(jù)42(圖1)。類似地，計算機系統(tǒng)20可以操作和接收處理室50的運行數(shù)據(jù)。例如，計算機系統(tǒng) 20可以指定實現(xiàn)產(chǎn)生產(chǎn)品2的處方/處方步驟期間，處理室50內(nèi)應(yīng)保持的溫度、壓力等，并且可以接收指示處理室50內(nèi)實際溫度、壓力等的運行數(shù)據(jù)。此外，處理室50的運行數(shù)據(jù)可以包括其他資源數(shù)據(jù)42，例如消耗的電量和/或類似數(shù)據(jù)。此外，工具14可以包括一個或多個排放傳感器M，每個排放傳感器監(jiān)視制造產(chǎn)品 2時從處理室50輸出的對應(yīng)物質(zhì)(例如，過剩物、殘余物、副產(chǎn)品等)的體積、數(shù)量、流速等。 排放傳感器M可以使用任何解決方案定期或連續(xù)提供與從處理室50輸出的特定物質(zhì)對應(yīng)的排放數(shù)據(jù)44 (圖1)。計算機系統(tǒng)20還可以根據(jù)從一組排放傳感器M獲取的排放數(shù)據(jù)操作一個或多個排放處理系統(tǒng)18。排放處理系統(tǒng)18可以處理處理室50輸出的部分或全部物質(zhì)，以便隔離、分解、凈化來自處理室50排放輸出的物質(zhì)、排出從處理室50輸出的排放物質(zhì)寸。計算機系統(tǒng)20可以使用包括資源數(shù)據(jù)42和排放數(shù)據(jù)44的運行數(shù)據(jù)來操作資源源16、工具14和/或排放處理系統(tǒng)18 ；和/或確認(rèn)資源源16、工具14和/或排放處理系統(tǒng)18的正確操作。例如，計算機系統(tǒng)20可以根據(jù)所述運行數(shù)據(jù)確定何時移至處方中的下一步。類似地，計算機系統(tǒng)20可以根據(jù)所述運行數(shù)據(jù)確定一個或多個組件(例如，工具14) 未正確運行，并停止各組件在產(chǎn)品2的制造中的進一步運行。計算機系統(tǒng)20還可以使用所述運行數(shù)據(jù)(包括資源數(shù)據(jù)42和/或排放數(shù)據(jù)44) 配置制造環(huán)境10的運行，以便優(yōu)化以下方面中的一個或多個方面各種類型產(chǎn)品的制造期間的資源消耗、排放產(chǎn)生。例如，計算機系統(tǒng)20可以在生成進度數(shù)據(jù)40時使用所述運行數(shù)據(jù)在執(zhí)行制造時實現(xiàn)高效地使用一種或多種類型的資源、減少一種或多種類型排放物質(zhì)的產(chǎn)生等。類似地，計算機系統(tǒng)20可以使用所述運行數(shù)據(jù)優(yōu)化與資源消耗相關(guān)的成本(例如， 所消耗資源的總采購成本)和/或與排放產(chǎn)生相關(guān)的成本(例如，所產(chǎn)生排放的總體廢物管理成本)。通過這種方式，可以降低運行制造環(huán)境10的成本、環(huán)境影響等。例如，可以減少需要采購的資源量、可以減少消耗的動力量、可以減少產(chǎn)生的排放量，可以減少環(huán)境合規(guī)性費用、可以減少所消耗資源的成本、可以減少所產(chǎn)生排放的廢物管理(例如，處置)成本寸。圖3示出了根據(jù)另一個實施例的示例性制造環(huán)境10。在環(huán)境10中，計算機系統(tǒng) 20(圖1)使用制造執(zhí)行系統(tǒng)34和多個工具管理系統(tǒng)36A、36B實現(xiàn)。在一個實施例中，制造執(zhí)行系統(tǒng)34包括一個或多個計算設(shè)備，而每個工具管理系統(tǒng)36A、36B使用唯一的計算設(shè)備實現(xiàn)。制造執(zhí)行系統(tǒng)34可以被配置為針對整個制造環(huán)境10執(zhí)行所有更高級別的管理操作 (例如，調(diào)度、路由、規(guī)劃等)。每個工具管理系統(tǒng)36A、36B可以被配置為執(zhí)行工具特定的管理操作(例如，處方執(zhí)行、工藝監(jiān)視、歷史性能數(shù)據(jù)管理等)。在此方面，制造環(huán)境10中的每個工具14A、14B可以包括能夠以一對一關(guān)系實現(xiàn)的本地化工具管理系統(tǒng)36A、36B。在運行中，制造執(zhí)行系統(tǒng)34的路由組件60A可以處理制造進度46，制造進度46確定將由制造環(huán)境10制造的各種類型產(chǎn)品的所需數(shù)量和期限。路由組件60A可以根據(jù)制造進度46將資源(例如，原材料、中間產(chǎn)品等)路由到各種工具14A、14B，以便由對應(yīng)的工具 14A、14B進行處理。此外，路由組件60A可以根據(jù)工具可用性、容量限制、資源可用性等確定適合的路由。此外，路由組件60A可以根據(jù)可用工具14A、14B的歷史運行數(shù)據(jù)(例如資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù))確定適合的路由。無論如何，一旦路由組件60A確定用于實現(xiàn)制造產(chǎn)品2A、2B的處方的可用工具14A、14B，路由組件60A便可將要由工具14A、14B實現(xiàn)的對應(yīng)處方提供給與工具14A、14B對應(yīng)的工具管理系統(tǒng)36A、36B的處方組件62A。一旦對應(yīng)資源源16(圖幻可提供所需資源，每個處方組件62A便可以根據(jù)從路由組件60A接收的處方操作對應(yīng)工具14A、14B，以便分別制造一種或多種產(chǎn)品2A、2B。例如， 處方組件62A可以根據(jù)處方步驟、已用監(jiān)視時間、資源量等調(diào)整對應(yīng)工具14A、14B的處理室 50(圖幻內(nèi)的一個或多個條件，以便確定何時繼續(xù)到所述處方中的下一步、確定所述處方何時完成等。此外，盡管未在圖3中示出，但處方組件62A可以根據(jù)處方步驟操作一個或多個資源源16，以便為處理室50提供必需的資源(多個)。在所述處方的執(zhí)行期間，監(jiān)視組件62B可以接收和處理運行數(shù)據(jù)，以便實時監(jiān)視對應(yīng)工具14A、14B的運行的一個或多個方面。例如，監(jiān)視組件62B可以獲取設(shè)備跟蹤 (equipment trace)，所述設(shè)備跟蹤包括與對應(yīng)工具14A、14B在執(zhí)行所述處方期間的實際資源消耗和實際排放產(chǎn)生對應(yīng)的實時運行數(shù)據(jù)。實際資源消耗數(shù)據(jù)可以包括與一種或多種物質(zhì)(例如，化學(xué)物質(zhì)、氣體、液體等)在處理室50內(nèi)的消耗/流速、動力使用等對應(yīng)的數(shù)據(jù)。 在一個實施例中，對應(yīng)工具14A、14B的一個或多個資源傳感器52 (圖2、獲取此類數(shù)據(jù)并將其提供給監(jiān)視組件62B。類似地，實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)可以包括與排放成分(例如，一種或多種化學(xué)物質(zhì)的存在/濃度)、一種或多種副產(chǎn)品的產(chǎn)生等對應(yīng)的數(shù)據(jù)。在一個實施例中，對應(yīng)工具14A、14B的一個或多個排放傳感器M (圖幻獲取此類數(shù)據(jù)并將其提供給監(jiān)視組件 62B。監(jiān)視組件62B可以使用統(tǒng)計分析、故障檢測算法等實時地處理諸如資源數(shù)據(jù) 42(圖1)和排放數(shù)據(jù)44(圖1)之類的實時運行數(shù)據(jù)，以便根據(jù)所述處方確定工具14A、14B 在制造對應(yīng)產(chǎn)品2A、2B期間是否正確運行。在此方面，監(jiān)視組件62B可以記錄映射到工具 14AU4B所執(zhí)行的處方的對應(yīng)步驟/操作的實時實際資源消耗數(shù)據(jù)和實際排放數(shù)據(jù)。通過這種方式，監(jiān)視組件62B可以確定工具14A、14B是否正確執(zhí)行所述步驟。例如，監(jiān)視組件 62B可以判定所述運行數(shù)據(jù)的一個或多個值中的每一個值是否在所述處方/處方步驟定義的可接受目標(biāo)值范圍內(nèi)。根據(jù)發(fā)現(xiàn)的任何差異，監(jiān)視組件62B可以判定所述步驟已正確執(zhí)行、可能已正確執(zhí)行或尚未正確執(zhí)行、或者未正確執(zhí)行，并生成和提供對應(yīng)的消息以供制造執(zhí)行系統(tǒng)；34處理。此外，監(jiān)視組件62B可以使用實現(xiàn)所述步驟的對應(yīng)工具14A、14B的歷史運行數(shù)據(jù)值評估運行數(shù)據(jù)(例如實際資源消耗數(shù)據(jù)和實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù))，以判定所述數(shù)據(jù)是否在期望容限內(nèi)。例如，監(jiān)視組件62B可以判定對應(yīng)工具14A、14B的運行數(shù)據(jù)是否在所述處方 /處方步驟的平均預(yù)定最近執(zhí)行次數(shù)的期望容限內(nèi)。如果一個或多個數(shù)據(jù)項在期望容限以外，則監(jiān)視組件62B可以生成和提供對應(yīng)消息以供制造執(zhí)行系統(tǒng)34處理，停止由處方組件62A和對應(yīng)工具14A、14B執(zhí)行所述處方等。此外，如果消息指示對應(yīng)工具14A、14B發(fā)生故障的錯誤信號，則路由組件60A可以停用工具14A、14B，并相應(yīng)地調(diào)整制造進度46。每個工具管理系統(tǒng)36A、36B被進一步示為包括聚合組件62C。聚合組件62C可以收集特定處方/處方步驟的部分或全部運行數(shù)據(jù)(例如，實際資源消耗數(shù)據(jù)和實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù))，并提供所述數(shù)據(jù)以供被示為在制造執(zhí)行系統(tǒng)34內(nèi)實現(xiàn)的規(guī)劃組件60B處理。在一個實施例中，聚合組件62C實時收集和提供運行數(shù)據(jù)。通常，規(guī)劃組件60B被配置為使得用戶12 (圖1)能夠根據(jù)制造環(huán)境10的運行執(zhí)行各種規(guī)劃操作。在此方面，規(guī)劃組件60B可以生成和提供允許用戶12查看和/或處理制造環(huán)境 10的實時操作的一個或多個方面的各種接口。例如，規(guī)劃組件60B可以提供制造環(huán)境10 在一段給定時間(例如，天、周、月等)內(nèi)消耗的資源、生成的副產(chǎn)品等的實際數(shù)量的匯總數(shù)據(jù)。此類接口允許用戶12 “鉆取(drill down)”所述數(shù)據(jù)以便按照產(chǎn)品2A、2B的類型、工具14A、14B的類型、特定工具14A、14B等獲取數(shù)據(jù)。此外，規(guī)劃組件60B可以被配置為生成由路由組件60A實現(xiàn)的制造進度46。具體地說，規(guī)劃組件60B可以獲取要在所需期限內(nèi)制造的多種類型產(chǎn)品中的每一種的所需數(shù)量、各種工具14A、14B的可用性等，并且相應(yīng)地生成制造進度46。規(guī)劃組件60B還可以使用所述運行數(shù)據(jù)檢查優(yōu)化制造進度46所需的真實“假設(shè) (what if)”情形。例如，規(guī)劃組件60B可以處理各種工具14A、14B中的每一種的運行數(shù)據(jù)以生成制造進度46。通過這種方式，規(guī)劃組件60B可以實現(xiàn)基于擁有成本、工廠效率和/或其他行業(yè)管理解決方案的制造環(huán)境10規(guī)劃。在此方面，規(guī)劃組件60B可以根據(jù)制造環(huán)境10 中的每種工具14A、14B的詳細(xì)實際運行數(shù)據(jù)調(diào)整制造進度46的一個或多個方面。此外，規(guī)劃組件60B可以生成優(yōu)化整個制造環(huán)境10運行期間運行數(shù)據(jù)中的一個或多個變量的制造進度46。例如，規(guī)劃組件60B可以生成優(yōu)化在使用制造環(huán)境10制造各種產(chǎn)品期間資源消耗和/或排放產(chǎn)生的制造進度46。隨后，路由組件60A可以根據(jù)該制造進度46運行制造環(huán)境 10。在一個實施例中，規(guī)劃組件60B生成優(yōu)化所需期限內(nèi)制造環(huán)境10的運行成本的制造進度46。例如，規(guī)劃組件60B可以使用與所述運行數(shù)據(jù)中包括的一個或多個變量對應(yīng)的成本數(shù)據(jù)。隨后，規(guī)劃組件60B可以生成最小化由與所述運行數(shù)據(jù)中一個或多個變量對應(yīng)的成本數(shù)據(jù)定義的制造環(huán)境10總體運行成本的制造進度46。在更具體的實例中，所述運行數(shù)據(jù)可以包括與每種工具14A、14B在執(zhí)行特定處方步驟時的操作的不同方面對應(yīng)的數(shù)據(jù)， 例如電量；物質(zhì)(例如，化學(xué)原料)消耗量；生成的副產(chǎn)品量等。規(guī)劃組件60B可以獲取每個變量的對應(yīng)成本，例如電成本；物質(zhì)成本；生成副產(chǎn)品的成本(例如，管理費用、處置成本等)；等等，這些成本可以包括在運行數(shù)據(jù)中。隨后，規(guī)劃組件60B可以使用所述成本和工具特定的運行數(shù)據(jù)通過任何最小化函數(shù)最大程度上降低總成本。例如，規(guī)劃組件60B可以在生成制造進度46時選擇更高效的工具來執(zhí)行處方的部分或全部。通過這種方式，規(guī)劃組件60B可以利用不同工具14A、14B之間的選擇性路由選項降低產(chǎn)品2A、2B的總體制造成本。此外，規(guī)劃組件60B可以生成旨在將總資源消耗和 /或總副產(chǎn)品產(chǎn)生保持在某一限制(例如，每日限制、每月限額等)內(nèi)的制造進度46，以便政府機構(gòu)不會因制造環(huán)境10的運行而征收罰款等，并且提供符合規(guī)定限制/限額的證明。更具體地說，規(guī)劃組件60B可以獲取給定處方/處方步驟消耗的一組資源和/或給定處方/處方步驟產(chǎn)生的一組排放物質(zhì)。規(guī)劃組件60B可以確定消耗所述一組資源和/ 或產(chǎn)生所述一組排放物質(zhì)的相關(guān)成本，以便確定相關(guān)的消耗成本和/或排放處理成本。規(guī)劃組件60B可以使用消耗/排放處理成本的加權(quán)組合確定處方/處方步驟的對應(yīng)成本。規(guī)劃組件60B可以根據(jù)處方的平均性能(例如，不考慮用于執(zhí)行所述處方的一個或多個工具) 確定相關(guān)成本和/或確定與所述處方的各種工具/路由特定的性能相關(guān)的成本。在后一種情況中，規(guī)劃組件60B可以使用工具/路由特定的處方/處方步驟成本來生成制造進度46， 所述制造進度46例如通過從可供執(zhí)行所述處方的部分或全部的各種備選選項選擇更高效的工具14A、14B和/或路由來最小化執(zhí)行所述處方的總成本的一個或多個方面(例如，消耗成本、排放處理成本等)。此外，規(guī)劃組件60B可以根據(jù)技術(shù)(例如，產(chǎn)品系列)、特定類型產(chǎn)品、制造操作 (例如，處方步驟)等評估使用制造環(huán)境10制造產(chǎn)品的一個或多個方面(例如，化學(xué)物質(zhì)消耗和/或相關(guān)成本)。在一個實施例中，規(guī)劃組件60B可以評估用于制造某一類型產(chǎn)品的處方的成本。例如，規(guī)劃組件60B可以合并使用所述運行數(shù)據(jù)(例如實際資源消耗和排放數(shù)據(jù))的處方的每一個處方步驟的成本和對應(yīng)的成本數(shù)據(jù)以確定所述處方的總成本。規(guī)劃組件60B可以根據(jù)處方的平均性能(例如，不考慮用于執(zhí)行所述處方的一個或多個工具)確定相關(guān)成本和/或確定與處方的各種工具/路由特定的性能相關(guān)的成本，后一種情況可用于通過選擇相關(guān)成本指示的成本更低的工具/路由來降低產(chǎn)品制造成本的一個或多個方面。類似地，規(guī)劃組件60B可以評估因?qū)ΜF(xiàn)有處方執(zhí)行建議的修改而造成的成本影響，以確定所述修改對使用修改后的處方制造該類型產(chǎn)品的成本具有何種影響(如果有)。 例如，規(guī)劃組件60B可以評估對需要更多低成本資源，更少高成本資源的處方進行的更改。 類似地，規(guī)劃組件60B可以評估例如用于使用制造環(huán)境10制造新類型產(chǎn)品2A、2B的全新處方的成本。在每種情況下，規(guī)劃組件60B可以通過合并各種處方的一個或多個可比處方步驟的實際運行數(shù)據(jù)和對應(yīng)的成本數(shù)據(jù)來評估修改/新處方步驟，以便評估建議的修改對制造該類型產(chǎn)品的總成本具有何種影響或評估新處方帶來的總成本。備選地，規(guī)劃組件60B 可以通過將從可比處方步驟獲取的各實際數(shù)據(jù)點進行曲線擬合來預(yù)計修改后的步驟的運行數(shù)據(jù)。在另一實施例中，規(guī)劃組件60B可以使用工具14A、14B的運行數(shù)據(jù)評估與使用制造環(huán)境10制造一種類型產(chǎn)品對應(yīng)的環(huán)境影響。例如，規(guī)劃組件60B可以合并使用在制造環(huán)境10內(nèi)使用的特定工具集14A、14B和/或路由執(zhí)行處方中多個處方步驟中的每個步驟所導(dǎo)致的實際資源消耗數(shù)據(jù)和/或排放數(shù)據(jù)?？梢允褂每傎Y源消耗和/或排放產(chǎn)生評估使用一組工具14A、14B/路由制造產(chǎn)品2A、2B的環(huán)境影響?？梢允褂弥T如有毒物質(zhì)之類的任何物質(zhì)的消耗/產(chǎn)生評估環(huán)境影響。示例性物質(zhì)可以包括，例如，二氧化碳、氫氟酸、砷等。在另一實施例中，規(guī)劃組件60B可以確定一組物質(zhì)中每種物質(zhì)的數(shù)量，例如使用制造環(huán)境10內(nèi)的一組選定工具14A、14B/路由制造的產(chǎn)品2A、2B中包括的一種或多種化學(xué)物質(zhì)。例如，規(guī)劃組件60B可以通過從進入特定工具14A、14B的處理室50的測量物質(zhì)量 (例如，使用資源傳感器52 (圖2)測量)減去離開處理室50 (圖2)的測量物質(zhì)量(例如， 使用排放傳感器圖2、測量)，計算產(chǎn)品2A、2B中的特定物質(zhì)量。為了得到產(chǎn)品2A、2B 的更精確的物質(zhì)成分，可以測量和減去制造產(chǎn)品2A、2B之后在工具14A、14B的處理室50中剩余的物質(zhì)量。產(chǎn)品2A、2B的物質(zhì)成分可用于確定產(chǎn)品2A、2B的正確裝運要求和/或放置要求。例如，產(chǎn)品2A、2B的含鉛量可用于確定產(chǎn)品2A、2B的裝運/放置要求。盡管在此示出和描述為一種管理制造環(huán)境的方法和系統(tǒng)，但是將理解，本發(fā)明的各方面還提供了各種備選實施例。例如，在一個實施例中，本發(fā)明提供了一種解決方案，其用于生成可以使用制造環(huán)境10內(nèi)的各種工具14A、14B的實際運行數(shù)據(jù)最小化諸如總成本之類的資源消耗和/或排放產(chǎn)生中的一個或多個方面的制造進度。例如，制造進度的生成可以包括選擇制造環(huán)境10內(nèi)最小化使用制造環(huán)境10制造各種產(chǎn)品2A、2B的總成本的工具 14A、14和/或路由。在另一實施例中，本發(fā)明提供了一種安裝在至少一個計算機可讀介質(zhì)中的計算機程序，當(dāng)執(zhí)行所述計算機程序時，可使計算機系統(tǒng)管理制造環(huán)境。在此方面，所述計算機可讀介質(zhì)包括諸如管理程序30 (圖1)的程序代碼，所述程序代碼實現(xiàn)此處描述的部分或全部過程。將理解，術(shù)語“計算機可讀介質(zhì)”包括現(xiàn)在已知或以后開發(fā)的所有類型的有形表達(dá)介質(zhì)中的一種或多種，通過所述介質(zhì)，計算設(shè)備可以感知、再現(xiàn)或以其他方式傳送所述程序代碼的副本。例如，所述計算機可讀介質(zhì)可以包括一種或多種便攜式存儲制品；計算設(shè)備的一種或多種存儲器/存儲組件；紙張等。在另一實施例中，本發(fā)明提供了一種提供諸如管理程序30(圖1)之類的程序代碼的副本的方法，所述程序代碼實現(xiàn)此處描述的部分或全部過程。在這種情況下，計算機系統(tǒng)可以處理實現(xiàn)此處描述的部分或全部過程的程序代碼的副本以生成和傳輸在第二完全不同的位置處接收的一組數(shù)據(jù)信號，所述數(shù)據(jù)信號中的一個或多個特征的設(shè)置和/或更改方式可將所述程序代碼的副本編碼為所述一組數(shù)據(jù)信號。類似地，本發(fā)明的實施例提供了一種獲取實現(xiàn)此處描述的部分或全部過程的程序代碼的副本的方法。所述方法包括計算機系統(tǒng)接收此處描述的一組數(shù)據(jù)信號，將所述一組數(shù)據(jù)信號轉(zhuǎn)換為在至少一個計算機可讀介質(zhì)中安裝的計算機程序的副本。在任何一種情況下，所述一組數(shù)據(jù)信號都可以使用任意類型的通信鏈路發(fā)送/接收。在另一實施例中，本發(fā)明提供了一種形成管理制造環(huán)境的系統(tǒng)的方法。在這種情況下，可獲取(例如，創(chuàng)建、維護、提供)諸如計算機系統(tǒng)20 (圖1)之類的計算機系統(tǒng)并且可獲取(例如，創(chuàng)建、購買、使用、修改等)用于執(zhí)行此處描述的過程的一個或多個組件以及將所述一個或多個組件部署到計算機系統(tǒng)。在此方面，所述部署可以包括下列一項或多項 (1)在計算設(shè)備上安裝程序代碼；(2)在計算機系統(tǒng)中添加一個或多個計算和/或I/O設(shè)備；( 結(jié)合和/或修改計算機系統(tǒng)以使其執(zhí)行此處描述的過程；和/或其他類似操作。為了示例和說明給出了上面對本發(fā)明的各方面的描述。這并非旨在是窮舉的或?qū)⒈景l(fā)明限于所披露的精確形式，顯然，許多修改和變型是可能的。對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言顯而易見的此類修改和變型將包括在所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種管理制造環(huán)境的計算機實現(xiàn)的方法，所述方法包括在計算機系統(tǒng)上獲取所述制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)，工具的運行數(shù)據(jù)包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的一組資源的實際資源消耗數(shù)據(jù)和一組排放物質(zhì)的實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及使用所述計算機系統(tǒng)配置所述制造環(huán)境的運行以優(yōu)化以下項中的至少一項使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。
2.如權(quán)利要求1中所述的方法，其中所述配置包括優(yōu)化與以下項中的至少一項關(guān)聯(lián)的成本由于在所需期限內(nèi)運行所述制造環(huán)境而導(dǎo)致的所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。
3.如權(quán)利要求1中所述的方法，其中所述配置包括通過合并制造一種類型產(chǎn)品的處方中的多個處方步驟的實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)來評估該處方的成本。
4.如權(quán)利要求3中所述的方法，其中所述配置包括評估由于以下項中的至少一項導(dǎo)致的成本影響對所述處方的修改或?qū)κ褂盟鎏幏降暮喜⒑蟮臄?shù)據(jù)執(zhí)行所述處方的一組選定工具的修改以及對所述處方的成本的修改。
5.如權(quán)利要求1中所述的方法，其中所述獲取包括從相應(yīng)工具的工具管理系統(tǒng)獲取的設(shè)備跟蹤來獲取所述實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及將所述實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)與所述制造環(huán)境的制造執(zhí)行系統(tǒng)上存儲的處方步驟數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)，所述處方步驟數(shù)據(jù)對應(yīng)于一種類型產(chǎn)品的處方步驟。
6.如權(quán)利要求1中所述的方法，還包括通過合并所述處方中的多個處方步驟的實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)來評估與制造一種類型產(chǎn)品對應(yīng)的環(huán)境影響。
7.如權(quán)利要求1中所述的方法，還包括使用所述處方中的多個處方步驟的實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)來確定產(chǎn)品的化學(xué)組成。
8.一種計算機系統(tǒng)，包括一組計算設(shè)備，其配置為實現(xiàn)一種管理制造環(huán)境的方法，所述方法包括獲取所述制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)，工具的運行數(shù)據(jù)包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的一組資源的實際資源消耗數(shù)據(jù)和一組排放物質(zhì)的實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及配置所述制造環(huán)境的運行以優(yōu)化以下項中的至少一項使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。
9.如權(quán)利要求8中所述的系統(tǒng)，其中所述配置包括優(yōu)化與以下項中的至少一項關(guān)聯(lián)的成本由于在所需期限內(nèi)運行所述制造環(huán)境而導(dǎo)致的所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。
10.如權(quán)利要求8中所述的系統(tǒng)，其中所述配置包括通過合并制造一種類型產(chǎn)品的處方中的多個處方步驟的實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)來評估該處方的成本。
11.如權(quán)利要求10中所述的系統(tǒng)，其中所述配置包括評估由于以下項中的至少一項導(dǎo)致的成本影響對所述處方的修改或?qū)κ褂盟鎏幏降暮喜⒑蟮臄?shù)據(jù)執(zhí)行所述處方的一組選定工具的修改以及對所述處方的成本的修改。
12.如權(quán)利要求8中所述的系統(tǒng)，其中所述獲取包括從相應(yīng)工具的工具管理系統(tǒng)獲取的設(shè)備跟蹤來獲取所述實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及將所述實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)與所述制造環(huán)境的制造執(zhí)行系統(tǒng)上存儲的處方步驟數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)，所述處方步驟數(shù)據(jù)對應(yīng)于一種類型產(chǎn)品的處方步驟。
13.如權(quán)利要求8中所述的系統(tǒng)，所述方法還包括通過合并所述處方中的多個處方步驟的實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)來評估與制造一種類型產(chǎn)品對應(yīng)的環(huán)境影響。
14.如權(quán)利要求8中所述的系統(tǒng)，所述方法還包括使用所述處方中的多個處方步驟的實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)來確定產(chǎn)品的化學(xué)組成。
15.一種管理制造環(huán)境的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括用于獲取所述制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)的裝置，工具的運行數(shù)據(jù)包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的一組資源的實際資源消耗數(shù)據(jù)和一組排放物質(zhì)的實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及用于配置所述制造環(huán)境的運行以優(yōu)化以下項中的至少一項的裝置使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。
16.如權(quán)利要求15中所述的系統(tǒng)，其中用于配置的裝置包括用于優(yōu)化與以下項中的至少一項關(guān)聯(lián)的成本的裝置由于在所需期限內(nèi)運行所述制造環(huán)境而導(dǎo)致的所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。
17.如權(quán)利要求15中所述的系統(tǒng)，其中用于配置的裝置包括用于通過合并制造一種類型產(chǎn)品的處方中的多個處方步驟的實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)來評估該處方的成本的裝置。
18.如權(quán)利要求15中所述的系統(tǒng)，其中用于獲取的裝置包括用于從相應(yīng)工具的工具管理系統(tǒng)獲取的設(shè)備跟蹤來獲取所述實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)的裝置；以及用于將所述實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)與所述制造環(huán)境的制造執(zhí)行系統(tǒng)上存儲的處方步驟數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)的裝置，所述處方步驟數(shù)據(jù)對應(yīng)于一種類型產(chǎn)品的處方步驟。
19.如權(quán)利要求15中所述的系統(tǒng)，還包括用于通過合并所述處方中的多個處方步驟的實際資源消耗數(shù)據(jù)和排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)來評估與制造一種類型產(chǎn)品對應(yīng)的環(huán)境影響的裝置。
20.一種形成用于管理制造環(huán)境的計算機系統(tǒng)的方法，所述方法包括提供一種計算機系統(tǒng)，所述計算機系統(tǒng)可操作以實現(xiàn)包括以下步驟的方法獲取所述制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)，工具的運行數(shù)據(jù)包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的一組資源的實際資源消耗數(shù)據(jù)和一組排放物質(zhì)的實際排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)；以及配置所述制造環(huán)境的運行以優(yōu)化以下項中的至少一項使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間所述一組資源的消耗或所述一組排放物質(zhì)的產(chǎn)生。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種使用工具運行數(shù)據(jù)管理制造環(huán)境的方法和系統(tǒng)。提供了一種使用制造環(huán)境中的多個工具中的每個工具的運行數(shù)據(jù)管理所述制造環(huán)境的解決方案。所述運行數(shù)據(jù)可包括在該工具實施處方的至少一部分以制造在所述制造環(huán)境中制造的多種類型的產(chǎn)品之一期間的實際資源消耗數(shù)據(jù)和/或?qū)嶋H排放產(chǎn)生數(shù)據(jù)。所述制造環(huán)境的運行可以被配置為優(yōu)化以下方面中的一個或多個方面使用所述運行數(shù)據(jù)在所需期限內(nèi)制造所需數(shù)量的多種類型產(chǎn)品期間的資源消耗和/或排放產(chǎn)生。
文檔編號G06Q10/00GK102354377SQ20111013053
公開日2012年2月15日 申請日期2011年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月20日
發(fā)明者B·C·巴克, E·P·希金斯, G·R·莫爾, H·齊斯根, J·W·王, M·L·列, R·L·克萊因亨茲 申請人:國際商業(yè)機器公司