技術(shù)編號(hào)：6424470
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及管理制造環(huán)境，具體地說，涉及使用制造環(huán)境中每種工具的諸如化學(xué)原料和/或動(dòng)力消耗數(shù)據(jù)之類的運(yùn)行數(shù)據(jù)管理制造環(huán)境。背景技術(shù)在諸如集成電路制造廠之類的工廠中，一些在生產(chǎn)工藝中使用的工具包括諸如質(zhì)流控制器、流量計(jì)或光譜儀之類的檢測設(shè)備，用于在使用工具制造諸如集成電路之類的產(chǎn)品期間監(jiān)視工具處理室內(nèi)的化學(xué)原料消耗?？梢苑治龌瘜W(xué)原料消耗模式以指示何時(shí)進(jìn)入生產(chǎn)工藝的下一步。備選地，工藝可以在一段預(yù)定時(shí)間之后進(jìn)入下一步。此外，有關(guān)各種資源消耗的數(shù)據(jù)可以輸出到...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
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