專利名稱：輸入裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在觸摸面板、等離子顯示器的電磁波護(hù)罩(shield)等圖像顯示裝置的前面設(shè)置的輸入裝置。
背景技術(shù)：
在觸摸面板中，在液晶顯示器等圖像顯示裝置的前面，作為電極片(sheet)而設(shè)置有輸入裝置，該輸入裝置具有在透明的絕緣基板的表面形成透明導(dǎo)電層(透明導(dǎo)電膜)的導(dǎo)電性基板。作為構(gòu)成輸入裝置的導(dǎo)電性基板的透明導(dǎo)電層的材料，公知有以氧化銦錫(ITO)或聚乙烯二氧噻吩-聚乙烯磺酸(*。'J工f > '7'才今'> f才7工>一 *。>J 7 f 7卟* >酸)為代表的π共軛類導(dǎo)電性高分子(有機(jī)導(dǎo)電體)。并且，在觸摸面板用輸入裝置所使用的導(dǎo)電性基板中，形成有電路圖案或天線陣列圖案。作為圖案的形成方法，例如，在專利文獻(xiàn)I中公開了如下方法在透明基材的整個表面通過涂布形成透明導(dǎo)電層后，照射CO2激光或利用Q開關(guān)的脈沖寬度IOOn秒左右的YAG激光，通過燒蝕(abrasion )除去成為絕緣的部分的透明導(dǎo)電層。在專利文獻(xiàn)2、3中公開了如下方法通過絲網(wǎng)印刷法、照相凹版印刷法等印刷，在透明基材的表面以規(guī)定的圖案形成導(dǎo)電部。在專利文獻(xiàn)4中公開了如下方法在透明基材的整個表面通過涂布形成透明導(dǎo)電層后，通過等離子蝕刻除去成為絕緣 的部分的透明導(dǎo)電層。在專利文獻(xiàn)5中公開了如下技術(shù)對通過使金屬納米絲(金屬極細(xì)纖維)在粘合劑(樹脂)中分散并固化而成的透明導(dǎo)電膜照射激光以進(jìn)行絕緣化，從而形成導(dǎo)電圖案。并且，利用激光除去從透明導(dǎo)電膜向外部突出的金屬納米絲。在專利文獻(xiàn)6中公開了如下技術(shù)對觸摸面板用ITO蒸鍍基板使用紫外線激光，控制光束直徑與透鏡的焦點(diǎn)距離，并控制聚光區(qū)域內(nèi)的加工寬度，從而通過10 μ m左右的微細(xì)的燒蝕形成微細(xì)圖案。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2004-118381號公報專利文獻(xiàn)2 :日本特開2005-527048號公報專利文獻(xiàn)3 :日本特開2008-300063號公報專利文獻(xiàn)4 :日本特開2009-26639號公報專利文獻(xiàn)5 :日本特開2010-44968號公報專利文獻(xiàn)6 :日本特開2008-91116號公報一般來說，上述有機(jī)導(dǎo)電體被著色綠色 青色，ITO被著色淺黃色。因此，當(dāng)利用專利文獻(xiàn)I 4的方法在絕緣基板上形成導(dǎo)電圖案時，導(dǎo)電部成為形成各導(dǎo)電膜的導(dǎo)電體固有的有色、僅絕緣基板的絕緣部成為無色。因此，當(dāng)將得到的導(dǎo)電性基板用于輸入裝置并設(shè)置在圖像顯示裝置的前面時，如果絕緣部的寬度(絕緣部的垂直于延伸方向的寬度尺寸)很少，則產(chǎn)生導(dǎo)電圖案被視覺識別的問題。另一方面，在絕緣部的寬度形成得很少的情況下，擔(dān)心無法確保絕緣性。在專利文獻(xiàn)5中，具有輸入裝置的導(dǎo)電圖案難以被視覺識別的優(yōu)點(diǎn)。但是，由于在透明導(dǎo)電膜內(nèi)部，金屬納米絲不僅殘留于導(dǎo)電部，還殘留于絕緣部，因此難以可靠地進(jìn)行絕緣。即，為了使絕緣部可靠地絕緣，需要進(jìn)行透明導(dǎo)電膜的厚度控制。并且，在專利文獻(xiàn)6中，在加工中需要使用利用高次諧波的紫外線激光，并且，因控制燒蝕區(qū)域的寬度的目的，而調(diào)整激光束直徑或變焦透鏡焦點(diǎn)距離，因此在市場上銷售的激光加工機(jī)中存在難以對應(yīng)的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而提出，其目的在于提供一種輸入裝置，即使較大地形成絕緣部的寬度，導(dǎo)電圖案也難以被視覺識別，且能夠使絕緣部可靠地絕緣，以得到穩(wěn)定的電氣性能。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提出以下的手段。S卩，本發(fā)明的輸入裝置包括輸入部件，以在厚度方向上層疊的方式設(shè)置有一對導(dǎo)電性基板，所述導(dǎo)電性基板具有絕緣基板以及透明導(dǎo)電膜，所述透明導(dǎo)電膜設(shè)置在所述絕緣基板上且在具有絕緣性的透明基體內(nèi)具備由具有導(dǎo)電性的金屬構(gòu)成的網(wǎng)狀部件；以及檢測單元，電連接于所述透明導(dǎo)電膜，所述檢測單元檢測輸入信號，在所述透明導(dǎo)電膜上設(shè)置有通過在所述透明基體內(nèi)配置所述網(wǎng)狀部件而成的導(dǎo)電部、以及通過除去所述透明基體內(nèi)的所述網(wǎng)狀部件的至少一部分而成的絕緣部。并且，在本發(fā)明涉及的輸入裝置中，也可以在所述絕緣部上配置有通過除去所述網(wǎng)狀部件而形成的空隙。 并且，在本發(fā)明涉及的輸入裝置中，所述網(wǎng)狀部件也可以由在所述透明基體內(nèi)分散且相互電連結(jié)的金屬極細(xì)纖維構(gòu)成。并且，在本發(fā)明涉及的輸入裝置中，所述金屬極細(xì)纖維也可以以銀為主要成分。并且，在本發(fā)明涉及的輸入裝置中，所述絕緣部的空隙也可以通過對所述網(wǎng)狀部件照射脈沖狀激光而形成。并且，在本發(fā)明涉及的輸入裝置中，所述脈沖狀激光也可以是脈沖寬度小于Ip秒的極短脈沖激光。并且，在本發(fā)明涉及的輸入裝置中，所述脈沖狀激光也可以是YAG激光或者YVO4激光。并且，在本發(fā)明涉及的輸入裝置中，所述絕緣基板也可以是透明的。并且，在本發(fā)明涉及的輸入裝置中，所述輸入部件也可以將一對所述導(dǎo)電性基板的所述透明導(dǎo)電膜分別朝向沿所述厚度方向的一側(cè)配置，所述檢測單元也可以是靜電電容式的。并且，在本發(fā)明涉及的輸入裝置中，所述輸入部件也可以在一對所述導(dǎo)電性基板的所述透明導(dǎo)電膜彼此接近的狀態(tài)下隔開間隔地相對配置，通過輸入操作，所述透明導(dǎo)電膜的一部分彼此能直流接觸。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的輸入裝置，即使較大地形成絕緣部的寬度，導(dǎo)電圖案也難以被視覺識別，且能夠使絕緣部可靠地絕緣，以得到穩(wěn)定的電氣性能。


圖1是簡化示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的輸入裝置的輸入部件的側(cè)截面圖。圖2是說明在本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的輸入裝置中使用的輸入部件的透明導(dǎo)電膜的網(wǎng)狀部件(導(dǎo)電部)以及激光加工前的透明導(dǎo)電層的放大圖片。圖3是說明在本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的輸入裝置中使用的輸入部件的透明導(dǎo)電膜中，通過除去網(wǎng)狀部件而形成的空隙(絕緣部)的放大圖片。圖4是簡化示出制造本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的輸入裝置的輸入部件的透明導(dǎo)電膜以及導(dǎo)電性基板的制造裝置(激光加工機(jī))的側(cè)視圖。圖5是示出圖4的導(dǎo)電性基板以及制造裝置的變形例的側(cè)視圖。圖6是說明比較例中的透明導(dǎo)電膜的導(dǎo)電部以及激光加工前的透明導(dǎo)電層的放大圖片。圖7是說明比較例中的透明導(dǎo)電膜的照射區(qū)域(絕緣部)的放大圖片。圖8是說明制造本發(fā)明涉及的輸入裝置的輸入部件(透明導(dǎo)電膜以及導(dǎo)電性基板)的實(shí)施例(制造例)的側(cè)視圖。圖9是說明制造本發(fā)明涉及的輸入裝置的輸入部件(透明導(dǎo)電膜以及導(dǎo)電性基板)的實(shí)施例(制造例)的側(cè)視圖。圖10是說明制造本發(fā)明涉及的輸入裝置的輸入部件(透明導(dǎo)電膜以及導(dǎo)電性基板)的實(shí)施例(制造例)的立體圖。圖11是說明制造本發(fā)明涉及的輸入裝置的實(shí)施例(制造例)的電路圖。圖12是示出本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的輸入裝置的輸入部件的俯視圖。圖13是示出圖12的輸入部件的X側(cè)電極片(導(dǎo)電性基板)的俯視圖。圖14是示出圖12的輸入部件的Y側(cè)電極片(導(dǎo)電性基板)的俯視圖。圖15是放大示出圖12的A-A箭頭所示的側(cè)截面圖。圖16是放大示出圖12的B-B箭頭所示的側(cè)截面圖。
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式)本發(fā)明涉及的輸入裝置能夠適用于如透明天線、透明電磁波護(hù)罩、靜電電容方式或者膜式的透明觸摸面板等透明輸入裝置這樣的在透明部分形成配線圖案的制品。并且，本發(fā)明的輸入裝置能夠為了在汽車的操縱部(handle)所附帶的靜電電容輸入裝置等、三維成型品或者三維的加飾成型品的表面設(shè)置的靜電電容傳感器等中形成所需要的電極為目的而使用。并且，本實(shí)施方式中所說的“透明”是指具有50%以上的光線透過率。圖1以及圖10示出本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的膜式觸摸面板(輸入裝置)用的輸入部件I。在圖1 圖3中，該膜式觸摸面板具備輸入部件1，以在厚度方向上層疊的方式設(shè)置有一對導(dǎo)電性基板10、20，該導(dǎo)電性基板10、20具有絕緣基板11、21、以及透明導(dǎo)電膜12、22，該透明導(dǎo)電膜12、22設(shè)置在絕緣基板11、21上且在具有絕緣性的透明基體2內(nèi)具備由具有導(dǎo)電性的金屬構(gòu)成的網(wǎng)狀部件3 ;以及檢測單元，電連接于透明導(dǎo)電膜12、22，檢測單元檢測輸入信號。輸入部件I設(shè)置在IXD等圖像顯示裝置(未圖示)的輸入者側(cè)。在圖10中，輸入部件I例如具備導(dǎo)電性基板10，并列配置有沿著行(X)方向的電極100 (相當(dāng)于透明導(dǎo)電膜12的后述的導(dǎo)電部C);導(dǎo)電性基板20，以與該導(dǎo)電性基板10相對的方式配置在圖像顯示裝置側(cè)，并列配置有沿著垂直于行(X)方向的列(Y)方向的電極(相當(dāng)于透明導(dǎo)電膜22的導(dǎo)電部C);以及透明的間隔粒子(dot spacer) 30，設(shè)置在導(dǎo)電性基板10和導(dǎo)電性基板20之間。輸入部件I形成為通過輸入操作而使導(dǎo)電性基板10的電極100與導(dǎo)電性基板20的電極直流地接觸/導(dǎo)通的結(jié)構(gòu)。導(dǎo)電性基板10具備透明的絕緣基板11、以及在絕緣基板11上至少設(shè)置于朝向圖像顯示裝置側(cè)的面的透明導(dǎo)電膜12。導(dǎo)電性基板20具備透明的絕緣基板21、以及在絕緣基板21上至少設(shè)置于朝向輸入者側(cè)的面的透明導(dǎo)電膜22。作為絕緣基板11、21，優(yōu)選的是在具有絕緣性的同時，能夠在表面形成透明導(dǎo)電膜
12、22，且對于后述的激光加工，在規(guī)定的照射條件下難以產(chǎn)生外觀變化。具體來說，例如列舉出以玻璃、聚碳酸酯、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)為代表的聚酯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物樹脂(ABS樹脂)等絕緣性材料。并且，作為絕緣基板11、21的形狀，可以使用板狀、具有可撓性的薄膜狀、成型為立體(三維)的成型品等。在將該輸入部件I用于透明觸摸面板的情況下，在絕緣基板11、21上使用玻璃板或PET薄膜等。并且，在將輸入部件I用作在汽車的操縱部所附帶的靜電電容輸入裝置等、靜電電容傳感器等中所需要的電極的情況下，在絕緣基板11、21上使用由ABS樹脂等構(gòu)成的成型品、或者利用薄膜的分層、轉(zhuǎn)印等在其上設(shè)有加飾層的加飾成型品等。例如，在將本發(fā)明用作通過按壓等而使上下兩個電極膜(透明導(dǎo)電膜)12,22接觸導(dǎo)通的膜式等透明觸摸面板的情況下，作為輸入者側(cè)的絕緣基板11，優(yōu)選使用對于來自輸入者側(cè)的外力易于彎曲的絕緣基板(例如透明樹脂薄膜)，作為圖像顯示裝置側(cè)的絕緣基板21，優(yōu)選使用經(jīng)由間隔粒子30易于支撐導(dǎo)電性基板10的具有規(guī)定以上(例如與絕緣基板11同等以上)的硬度的絕緣基板。并且，在這種觸摸面板中，必須在鄰接的電極100之間設(shè)有一定的電位差而進(jìn)行使用，在使用銅、亞鉛、錫、特別是銀等金屬的透明導(dǎo)電膜12、22中，為了防止移動，要求確保劃分導(dǎo)電圖案的絕緣部的寬度(絕緣部的垂直于延伸方向的寬度尺寸)。并且，一對導(dǎo)電性基板10、20的透明導(dǎo)電膜12、22彼此成為相互接近的狀態(tài)，同時通過間隔粒子30隔開間隔而對向配置。并且，當(dāng)從輸入者側(cè)向圖像顯示裝置側(cè)按壓導(dǎo)電性基板10時，該導(dǎo)電性基板10的絕緣基板11以及透明導(dǎo)電膜12彎曲，同時該透明導(dǎo)電膜12能夠與導(dǎo)電性基板20的透明導(dǎo)電膜22接觸。構(gòu)成為通過該接觸而產(chǎn)生電信號。即，輸入部件I通過輸入者的輸入操作，透明導(dǎo)電膜12、22的一部分彼此能夠直流接觸。并且，如圖2所示，透明導(dǎo)電膜12、22在具有絕緣性的透明基體2內(nèi)，具備由具有導(dǎo)電性的金屬構(gòu)成的網(wǎng)狀部件3。透明基體2由能夠在液狀的狀態(tài)下填充于后述網(wǎng)狀部件3的單線(纖維)之間的通過例如熱、紫外線、電子線、放射線等而固化的固化性樹脂構(gòu)成。并且，網(wǎng)狀部件3由在透明基體2內(nèi)分散并相互電連結(jié)的多個金屬極細(xì)纖維4構(gòu)成。更詳細(xì)地說，這些金屬極細(xì)纖維4彼此沿著絕緣基板11、21的表面(形成有透明導(dǎo)電膜12,22的面)的面方向在相互不同的方向上不規(guī)則地延伸，同時以其至少一部分以上以相互重合(相接觸)的程度密集配置，通過這樣配置而相互電連結(jié)(連接)。S卩，網(wǎng)狀部件3在絕緣基板11、21的表面上構(gòu)成導(dǎo)電性的二維網(wǎng)絡(luò)，在透明導(dǎo)電膜12,22的透明基體2內(nèi)配置有網(wǎng)狀部件3的區(qū)域成為導(dǎo)電部C。并且，網(wǎng)狀部件3的金屬極細(xì)纖維4具有埋設(shè)在透明基體2內(nèi)的部分、以及從該透明基體2的表面突出的部分。具體來說，作為這種金屬極細(xì)纖維4，可以列舉出由銅、鉬、金、銀、鎳等構(gòu)成的金屬納米絲、金屬納米管。在本實(shí)施方式中，作為金屬極細(xì)纖維4，使用銀為主要成分的金屬納米絲(銀納米絲)。金屬極細(xì)纖維4例如其直徑形成為O. 3nm IOOnm左右,長度形成為I μ m 100 μ m左右。并且，作為網(wǎng)狀部件3，在使用上述金屬極細(xì)纖維4以外的硅納米絲或硅納米管、金屬氧化物納米管、碳納米管、碳納米纖維、石墨原纖維(7 7 r 卜7 〃 7' U >)等纖維狀部件(金屬極·細(xì)纖維)的同時，即使將其分散/連結(jié)構(gòu)成也可以。并且，在透明導(dǎo)電膜12、22的透明基體2內(nèi)，通過除去網(wǎng)狀部件3的至少一部分來形成絕緣部I。即，如圖3所示，在透明基體2上，通過除去網(wǎng)狀部件3的金屬極細(xì)纖維4而形成有多個空隙5，這些空隙5密集配置的區(qū)域成為絕緣部I。詳細(xì)地說，這些空隙5通過對網(wǎng)狀部件3的金屬極細(xì)纖維4配置的區(qū)域照射脈沖狀激光，并將該金屬極細(xì)纖維4蒸發(fā)/除去而形成。作為該脈沖狀激光，能夠使用例如為脈沖寬度小于Ip秒的極短脈沖激光的所謂飛秒激光。并且，作為脈沖狀激光，也可以使用飛秒激光以外的YAG激光或者YVO4激光。在使用YAG激光或者YVO4激光的情況下，能夠利用通常廣泛使用的脈沖寬度5n 300η秒左右的加工機(jī)。這些空隙5沿著透明基體2的表面(露出的面)的面方向，分別形成在相互不同的方向上不規(guī)則地延伸或者分布的長孔狀(長圓孔狀)或者孔狀(圓孔狀)，其形成為具有在上述表面開口的部分。詳細(xì)地說，空隙5以與被蒸發(fā)/除去的金屬極細(xì)纖維4所配置的位置相對應(yīng)的方式配置，同時具有與該金屬極細(xì)纖維4的直徑大致相等的直徑(內(nèi)徑)，且形成為該金屬極細(xì)纖維4的長度以下。更詳細(xì)地說，通過一個金屬極細(xì)纖維4被完全蒸發(fā)/除去、或者至少一部分被蒸發(fā)/除去，從而將該金屬極細(xì)纖維4在其延伸的方向上進(jìn)行分割，多個空隙5相互隔開間隔而形成。即，對應(yīng)于金屬極細(xì)纖維4的相應(yīng)位置，相互分離的多個空隙5以整體形成線狀的方式延伸或者分布地形成。并且，對應(yīng)于一個金屬極細(xì)纖維4的相應(yīng)位置，空隙5也可以以形成線狀的方式僅形成一個。在絕緣部I，通過形成這些空隙5，從而在作為導(dǎo)體的金屬極細(xì)纖維4被除去的同時，上述導(dǎo)電性的二維網(wǎng)絡(luò)被除去(消失)。這樣，在絕緣部I，由于從透明基體2除去金屬極細(xì)纖維4，因此在該透明基體2中的導(dǎo)電部C與絕緣部I中，化學(xué)組成相互不同。接著，對制造本實(shí)施方式涉及的輸入裝置的輸入部件I的透明導(dǎo)電膜以及導(dǎo)電性基板的制造裝置以及制造方法進(jìn)行說明。在利用本實(shí)施方式說明的導(dǎo)電圖案形成基板(導(dǎo)電性基板)的制造方法中，使用以規(guī)定的圖案對形成于絕緣基板11 (21)的一面的透明導(dǎo)電層(導(dǎo)電圖案形成前的透明導(dǎo)電膜)a照射極短脈沖的激光L的方法。并且，在以下的說明中，將激光加工前具有絕緣基板11 (21)以及形成于該絕緣基板11 (21)的一面的透明導(dǎo)電層a的層疊體稱為導(dǎo)電性基板用層疊體A。首先，對本實(shí)施方式的導(dǎo)電圖案形成基板的制造方法中使用的制造裝置40進(jìn)行說明。如圖4所示，該制造裝置40具備產(chǎn)生激光L的激光產(chǎn)生單元41 ;將激光L聚光的作為聚光單元的凸透鏡等的聚光透鏡42;以及承載導(dǎo)電性基板用層疊體A的臺(stage)43。作為該制造裝置40中的激光產(chǎn)生單元41，使用產(chǎn)生波長小于2 μ m且脈沖寬度小于200η秒的激光(可見光或者紅外線的激光)的激光產(chǎn)生單元。并且，在能夠容易利用這點(diǎn)，激光L的脈沖寬度優(yōu)選為In秒 IOOn秒。優(yōu)選聚光透鏡42以激光L的焦點(diǎn)F位于透明導(dǎo)電層a與聚光透鏡42之間的方式配置。由此，接觸到絕緣基板11 (21)以及臺43的激光L的光斑直徑比接觸到透明導(dǎo)電層a的激光L的光斑直徑大，接觸到絕緣基板11 (21)以及臺43的激光L的能量密度變小，因此能夠防止絕緣基板11 (21)以及臺43的損傷。作為聚光透鏡42，優(yōu)選為低孔徑數(shù)(NA < O.1)的聚光透鏡。即，通過使聚光透鏡42的孔徑數(shù)為NA < O. 1，從而激光L的照射條件設(shè)定變得容易，特別是能夠防止在激光L的焦點(diǎn)F位于透明導(dǎo)電層a與聚光透鏡42之間的情況下，伴隨該焦點(diǎn)F中的空氣的等離子化的能量損失與激光L的擴(kuò)散。此外，透明導(dǎo)電層a例如在由金屬極細(xì)纖維4構(gòu)成的網(wǎng)狀部件3的纖維(單線)之間填充(含浸)由樹脂構(gòu)成的透`明基體2而形成，同時在設(shè)置在由透明樹脂薄膜構(gòu)成的絕緣基板11 (21)上的情況下，通過上述設(shè)定，能夠使埋設(shè)在透明導(dǎo)電層a的透明基體2內(nèi)的金屬極細(xì)纖維4從透明基體2的表面噴出而可靠地進(jìn)行除去。因此，對應(yīng)于期望的絕緣部I的形狀可靠地形成空隙5，從而能夠可靠且容易地實(shí)現(xiàn)絕緣化處理。并且，由于激光L照射在透明導(dǎo)電層a上的照射光斑形成面狀而不是點(diǎn)狀，因此，在加工透明導(dǎo)電層a的同時不影響絕緣基板11 (21)的這種照射能量密度的控制與現(xiàn)有的方法相比較變得容易。此外，能夠?qū)ν该鲗?dǎo)電層a匯總描繪線寬較粗的絕緣圖案，所謂全面涂抹(塗>9 ο ^ L·)加工變得容易，同時能夠較大地取得上述絕緣圖案的寬度，從而絕緣部I的絕緣性得以提高。并且，臺43能夠沿水平方向二維移動。臺43優(yōu)選至少上面?zhèn)扔赏该鞯牟考蛘呔哂泄饩€吸收性的部件構(gòu)成。在絕緣基板11 (21)為透明且激光L的輸出超過IW的情況下，臺43優(yōu)選使用尼龍或者氟類的樹脂材料、或者硅氧橡膠類的高分子材料。接著，對使用上述制造裝置40的輸入裝置的輸入部件I的導(dǎo)電圖案形成基板的制造方法進(jìn)行說明。首先，以透明導(dǎo)電層a配置在絕緣基板11 (21)的上方的方式將導(dǎo)電性基板用層疊體A承載在臺43的上面。接著，通過激光產(chǎn)生單元41使激光L射出，通過聚光透鏡42將激光L匯聚。該匯聚的激光L的通過焦點(diǎn)F而光斑直徑擴(kuò)大的部分照射于透明導(dǎo)電層a。此時，使臺43移動，以使激光L的照射形成規(guī)定的圖案。照射于透明導(dǎo)電層a的激光L的能量密度以及每單位面積的照射能量根據(jù)激光的脈沖寬度而不同。在脈沖寬度小于Ip秒的激光(例如飛秒激光)中，優(yōu)選能量密度為I X 1016W/m2 7 X 1017W/m2、每單位面積的照射能量為I X 105J/m2 I X IO6J/m2。在脈沖寬度為In秒 IOOn秒的激光(YAG激光或者YVO4激光)中，優(yōu)選能量密度為I X 1017W/m2 7X 1018W/m2、每單位面積的照射能量為I X IO6J/m2 I X 107J/m2。S卩，在能量密度/照射能量被設(shè)定為比上述數(shù)值范圍小的值的情況下，擔(dān)心絕緣部I的絕緣不充分。并且，在被設(shè)定為比上述數(shù)值范圍大的值的情況下，加工痕跡變得明顯，不適合透明觸摸面板或透明電磁波護(hù)罩等的用途。并且，這些值通過將加工區(qū)域中的激光束的輸出值除以加工區(qū)域的聚光光斑面積而定義，簡單來說，通過將光學(xué)系統(tǒng)的損失系數(shù)乘以來自激光振蕩機(jī)的輸出值而求出輸出。并且，光斑直徑面積S通過下述公式定義。S=S0XD/FL
S0 :被透鏡聚光的激光的光束面積FL :透鏡的焦點(diǎn)距離D :透明導(dǎo)電層a的表面(上面)與焦點(diǎn)之間的距離這里，距離D被設(shè)定在焦點(diǎn)距離FL的O. 2% 3%的范圍內(nèi)。優(yōu)選距離D被設(shè)定在焦點(diǎn)距離FL的O. 5% 2%的范圍內(nèi)。更優(yōu)選距離D被設(shè)定在焦點(diǎn)距離FL的O. 7% 1. 5%的范圍內(nèi)。通過距離D被設(shè)定在上述數(shù)值范圍，從而在可靠地進(jìn)行絕緣部I中的金屬極細(xì)纖維4的除去(空隙5的形成)的同時，能夠電氣形成具有較高信賴性的絕緣圖案(導(dǎo)電圖案)，并且，能夠可靠地防止由絕緣基板11 (21)的損傷而引起的加工痕跡。并且，在形成精度較高的導(dǎo)電圖案這點(diǎn)，優(yōu)選通過一邊使光斑的位置在透明導(dǎo)電層a上移動，一邊斷續(xù)地多次照射脈沖狀的激光L，從而形成在相鄰的光斑位置之間重復(fù)的部分。具體來說，優(yōu)選斷續(xù)地照射3次 500次，更優(yōu)選照射20次 200次。如果照射三次以上，則能夠更可靠地進(jìn)行絕緣化，如果為500次以下，能夠防止被照射激光L的透明基體2部分由于溶解或者蒸發(fā)而引起的除去。這樣,在透明導(dǎo)電層a上實(shí)施圖案形成(patterning),形成具備由導(dǎo)電部C與絕緣部I構(gòu)成的導(dǎo)電圖案的透明導(dǎo)電膜12(22)，同時導(dǎo)電性基板用層疊體A成為導(dǎo)電圖案形成基板(導(dǎo)電性基板)10 (20)。并且，在上述說明中，使XY臺等移動式臺43承載導(dǎo)電性基板用層疊體A以進(jìn)行圖案形成，但是并不限定于此。即，例如，能夠通過使導(dǎo)電性基板用層疊體A成為固定狀態(tài)并使聚光系統(tǒng)部件相對移動的方法、使用電流鏡等通過掃描激光而進(jìn)行掃描的方法、或者將上述彼此組合而進(jìn)行圖案形成。上述制造方法使用的導(dǎo)電性基板用層疊體A如下所示。作為導(dǎo)電性基板用層疊體A的透明導(dǎo)電層a中構(gòu)成網(wǎng)狀部件3的無機(jī)導(dǎo)電體，可以列舉銀、金、鎳等金屬納米絲。并且，作為透明導(dǎo)電層a中構(gòu)成透明基體2的絕緣體，可以列舉透明的熱可塑性樹脂(聚氯乙烯、氯乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯、硝化纖維、氯化聚乙烯、氯化聚丙烯、偏二氟乙烯)、通過熱、紫外線、電子射線而固化的透明的固化性樹脂(三聚氰胺丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、環(huán)氧樹脂、聚酰亞胺樹脂、丙烯酸(酯)改性硅酸鹽(7 ^ V >変性'> 'J > 一卜)等硅酮樹脂)。并且，圖5是本實(shí)施方式的變形例，在圖示的例子中，在導(dǎo)電性基板用層疊體A中的絕緣基板11 (21)的上下兩面設(shè)有一對透明導(dǎo)電層a。在該情況下，作為聚光透鏡42，如果使用焦點(diǎn)距離FL為50mm以上且孔徑數(shù)小于O. 2的聚光透鏡，則能夠減小激光L的范圍。因此，透鏡的位置調(diào)整變得容易，同時絕緣基板11 (21)的兩面中的光斑直徑的差變小，接觸兩側(cè)的透明導(dǎo)電層a的能量密度大致相等，因此能夠在兩側(cè)的透明導(dǎo)電層a匯總形成同樣的絕緣圖案。并且，在僅將形成于絕緣基板11 (21)的兩面的透明導(dǎo)電層a中的單面?zhèn)鹊耐该鲗?dǎo)電層a絕緣化的情況下，作為聚光透鏡42，也可以使用孔徑數(shù)大于O. 5的聚光透鏡。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式涉及的輸入裝置，在輸入部件I的透明導(dǎo)電膜12 (22)的透明基體2中，具有導(dǎo)電性的網(wǎng)狀部件3的配置區(qū)域設(shè)定為導(dǎo)電部C，除去網(wǎng)狀部件3而形成的空隙5的配置區(qū)域成為絕緣部I。即，在導(dǎo)電部C，通過由金屬構(gòu)成的網(wǎng)狀部件3來確保導(dǎo)通，在絕緣部I，通過除去網(wǎng)狀部件3而形成的空隙5，從而可靠地得到電絕緣狀態(tài)。詳細(xì)地說，在現(xiàn)有的透明導(dǎo)電膜中，由在透明基體2內(nèi)分散并相互電連結(jié)的金屬納米絲等構(gòu)成的網(wǎng)狀部件3不僅殘留于導(dǎo)電部C也殘留于絕緣部I，因此在該絕緣部I難以可靠地進(jìn)行絕緣。另一方面，根據(jù)本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，絕緣部I的網(wǎng)狀部件3 (金屬極細(xì)纖維4)以被置換為空隙5的方式被除去， 該絕緣部I被可靠地絕緣，因此透明導(dǎo)電膜12 (22)中的電特性(性能)穩(wěn)定，同時制品(輸入裝置)的信賴性得以提高。此外，在絕緣部I，除去網(wǎng)狀部件3，形成與該網(wǎng)狀部件3(金屬極細(xì)纖維4)相當(dāng)(對應(yīng))的形狀的空隙5。即，通過形成這樣的空隙5，從而導(dǎo)電部C與絕緣部I相互之間色調(diào)、透明性相近，相互之間不能用肉眼等判別(視覺識別)。因此，即使較大地形成絕緣部I的寬度，也不能視覺識別配線圖案。并且，網(wǎng)狀部件3由在透明基體2內(nèi)分散且相互電連結(jié)的金屬極細(xì)纖維4構(gòu)成，因此該網(wǎng)狀部件3使用市場上銷售的金屬納米絲、金屬納米管等金屬極細(xì)纖維4而能夠比較容易地形成。此外，如本實(shí)施方式，在金屬極細(xì)纖維4將銀作為主要成分使用的情況下，該金屬極細(xì)纖維4比較容易入手而能夠作為網(wǎng)狀部件3使用。并且，當(dāng)通過激光加工將絕緣部I的網(wǎng)狀部件3 (金屬極細(xì)纖維4)除去時，能夠利用市場上銷售的一般的激光加工機(jī)進(jìn)行應(yīng)對。并且，將銀作為主要成分的金屬極細(xì)纖維4由于能夠形成光線透過率高且表面電阻率低的無色透明的導(dǎo)電圖案，因此更優(yōu)選。并且，作為激光加工機(jī)(制造裝置)40，在使用脈沖寬度小于Ip的極短脈沖激光(飛秒激光)的情況下，由于能夠可靠地使激光加工后的導(dǎo)電性基板10 (20)中的導(dǎo)電圖案(絕緣圖案)不明顯，因此更加優(yōu)選。這樣，根據(jù)本實(shí)施方式的透明導(dǎo)電膜12 (22)以及使用其的導(dǎo)電性基板10 (20)，難以視覺識別導(dǎo)電圖案，且在導(dǎo)電圖案中的導(dǎo)電部C成為低電阻的同時，絕緣部I被可靠地絕緣，能夠得到穩(wěn)定的電性能。并且，在本實(shí)施方式中，絕緣基板11、21都是透明的，但是即使對這些絕緣基板11、21中的任一個或者兩者實(shí)施具有某種程度的透明性的著色也沒有關(guān)系。并且，網(wǎng)狀部件3由在透明基體2內(nèi)分散且相互電連結(jié)的多個金屬極細(xì)纖維4構(gòu)成，但是并不限定于此。即，網(wǎng)狀部件3例如也可以為通過蝕刻等將具有導(dǎo)電性的金屬膜形成格子狀而成的線柵(wire grid)。并且，也可以在導(dǎo)電性基板10、20上任意附加粘附層、防止反射層、硬涂層以及間隔粒子等機(jī)能層。尤其在使用YAG激光或YVO4激光的基波等波長為IOOOnm附近的激光，同時使用丙烯類高分子原料的情況下，從外觀特性的觀點(diǎn)來看，優(yōu)選在激光照射后設(shè)置機(jī)能層。(第二實(shí)施方式)接著，參照圖12 圖16，對本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的輸入裝置進(jìn)行說明。并且，對與上述實(shí)施方式相同的部件標(biāo)注了相同的標(biāo)號，并省略對其的說明。本實(shí)施方式涉及的輸入裝置是靜電電容式的觸摸面板。圖12示出靜電電容式觸摸面板(輸入裝置)用的輸入部件200。該靜電電容式觸摸面板具備經(jīng)由配置于朝向輸入者側(cè)的面的絕緣層240而與手指等人體部分H電容耦合的上下電極(透明導(dǎo)電膜212、222)，通過對一側(cè)的電極施加交流信號并測量另一側(cè)的電極，從而檢測手指的接觸狀況。如圖15、圖16所示，靜電電容式觸摸面板的輸入部件200朝向沿著厚度方向(圖的上下方向)的一側(cè)(輸入者側(cè))分別配置一對電極片210、220 (導(dǎo)電性基板)的透明導(dǎo)電膜
212,222ο如圖12 圖14所示，該輸入部件200具備形成方格花紋(將同一形狀的正方形的角部彼此相互連結(jié)的狀態(tài)，所謂方格圖案)的電極201a的X側(cè)電極片210 (導(dǎo)電性基板)、以及相對于該X側(cè)電極片210形成相輔的方格花紋的電極210b的Y側(cè)電極片220 (導(dǎo)電性基板)。如圖13所示，電極201a在沿著X方向排列的多個正方形的角部彼此以相互電連結(jié)延伸的方式形成，另一方面，沿著Y方向相鄰的正方形彼此相互電絕緣的狀態(tài)下，沿著Y方向并列配置。并且，如圖14所示，電極201b在沿著Y方向排列的多個正方形的角部彼此以相互電連結(jié)延伸的方式形成，另一方面，沿著X方向相鄰的正方形彼此相互電絕緣的狀態(tài)下，沿著X方向并列配置。如圖12所示，在使相互的電極201a、201b彼此沿著厚度方向不面對的狀態(tài)下，X側(cè)電極片210與Y側(cè)電極片220以對向配置的方式組合。詳細(xì)地說，如圖15、圖16所示，X側(cè)電極片210經(jīng)由透明的粘附材料250以層疊的方式粘合于Y側(cè)電極片220的上面(輸入者側(cè)的面)，在該狀態(tài)下，成為兩側(cè)的電極201a、201b彼此沿著厚度方向不重合的狀態(tài)。并且，如圖13、圖16所示，在X側(cè)電極片210的透明導(dǎo)電膜212，在Y側(cè)電極片220的與電極201b中的正方形部分相對向的區(qū)域，分別形成有正方形狀的孤立電極202a。在孤立電極202a的外周，通過照射激光L分別形成正方形環(huán)狀的絕緣部I。并且，在X側(cè)電極片210的透明導(dǎo)電膜212，在沿著Y方向相鄰的電極201a的正方形相對的角部彼此之間，分別形成有與孤立電極202a相比外形小的正方形狀的小孤立電極203a。在小孤立電極203a的外周，通過照射激光L分別形成有正方形環(huán)狀的絕緣部I。SP，鄰接的孤立電極202a與小孤立電極203a共有彼此的絕緣部I的一部分。
并且，如圖14、圖16所示，在Y側(cè)電極片220的透明導(dǎo)電膜222，在與X側(cè)電極片210的電極201a中的正方形部分相對的區(qū)域，分別形成有正方形狀的孤立電極202b。在孤立電極202b的外周，通過照射激光L分別形成有正方形環(huán)狀的絕緣部I。并且，在Y側(cè)電極片220的透明導(dǎo)電膜222，在沿著X方向相鄰的電極201b的正方形相對的角部彼此之間，分別形成有與孤立電極202b相比外形小的正方形狀的小孤立電極203b。在小孤立電極203b的外周，通過照射激光L分別形成有正方形環(huán)狀的絕緣部I。SP，鄰接的孤立電極202b與小孤立電極203b共有彼此的絕緣部I的一部分。在這樣構(gòu)成的輸入部件200中，在電極201a、201b以及孤立電極202a、202b配置網(wǎng)狀部件3，以成為導(dǎo)電部C。并且，在本實(shí)施方式中，小孤立電極203a、203b也成為導(dǎo)電部C，但是對于這些小孤立電極203a、203b，以全面涂抹的方式照射激光L，即使形成正方形狀的絕緣部I也沒有關(guān)系。接著，使用圖16對使用輸入部件200的靜電電容式觸摸面板的動作進(jìn)行說明。當(dāng)手指等人體部分H (接觸物)經(jīng)由形成于表面(輸入者側(cè)的表面)的絕緣層240與該輸入部件200接觸時，在接觸物H與各電極之間形成電容耦合。在該狀態(tài)下，利用信號源260對Y側(cè)電極片220的電極201b中的一個施加電壓，并利用檢測單元270檢測X側(cè)電極片210的電極201a的信號(輸入信號)，從而能夠檢測接觸物H與輸入部件200之間的接觸狀況。根據(jù)本實(shí)施方式涉及的輸入部件200，由于充分確保絕緣部I的絕緣性，因此能夠采用上述特別的結(jié)構(gòu)，同時實(shí)現(xiàn)下述良好的作用效果。S卩，當(dāng)接觸物H如上所述地接觸時，Y側(cè)電極片220的電極201b與接觸物H，經(jīng)由位于該電極201b上的X側(cè)電極片210的孤立電極202a，形成電容耦合。由此，X側(cè)電極片210的電極201a與Y側(cè)電極 片220的電極201b實(shí)質(zhì)上成為配置在同一層(透明導(dǎo)電膜212)內(nèi)的狀態(tài)。因此，能夠高精度地檢測接觸物H的位置。詳細(xì)地說，在現(xiàn)有的靜電電容式觸摸面板的輸入部件中，在X側(cè)電極片210的透明導(dǎo)電膜212，在與Y側(cè)電極片220的電極201b相對的區(qū)域未設(shè)置孤立電極(導(dǎo)電部C)。并且，在Y側(cè)電極片220的透明導(dǎo)電膜222，在與X側(cè)電極片210的電極201a相對的區(qū)域也未設(shè)置孤立電極(導(dǎo)電部C)。在這樣的結(jié)構(gòu)的情況下，電極201a、201b彼此不僅保持絕緣狀態(tài)，而且要求將相互的間隔嚴(yán)密管理在一定的寬度。即，在現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中，上下電極201a、201b之間的距離的精度容易影響檢測結(jié)果，并且，進(jìn)行絕緣化處理的面積變得比較大。另一方面，根據(jù)本實(shí)施方式，由于電極201a、201b實(shí)質(zhì)上配置在同一層(平面)內(nèi)，因此像現(xiàn)有技術(shù)那樣，上下電極201a、201b之間的距離精度不是必要的，檢測精度得以提聞。并且，進(jìn)行絕緣化處理的區(qū)域(絕緣部I)的面積被大幅消減，生產(chǎn)性得以提高。此外，由于電極201a、201b以及孤立電極202a、202b的化學(xué)組成相同，因此更加難以識別導(dǎo)電圖案，外觀良好。并且，通過形成小孤立電極203a、203b，從而能夠進(jìn)一步減小由于接觸物H接觸時或組裝公差對檢測精度的影響。實(shí)施例以下，通過實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行具體的說明。但是，本發(fā)明并不限定于該實(shí)施例。
[制造例I]輸入裝置的輸入部件使用的銀納米絲導(dǎo)電薄膜(導(dǎo)電性基板)的制作(本發(fā)明的實(shí)施例)通過在厚度100 μ m的透明的聚酯(PET)薄膜(絕緣基板11、21)上，將Cambrios社的Ohm (商品名)墨水(金屬極細(xì)纖維4)涂布干燥后，涂上紫外線固化性的聚酯樹脂墨水(透明基體2)，進(jìn)行干燥/紫外線處理，從而在PET薄膜上形成由線徑50nm左右、長度15 μ m左右的銀纖維(金屬極細(xì)纖維4)構(gòu)成的具有導(dǎo)電性的二維網(wǎng)絡(luò)(網(wǎng)狀部件3)的耐摩擦性的透明導(dǎo)電層a (圖2)。該銀納米絲導(dǎo)電薄膜(導(dǎo)電性基板10、20)的透明導(dǎo)電層a的表面電阻為230 Ω / 口，光線透過率為95%。接著，將該銀納米絲導(dǎo)電薄膜切斷加工成長度210mm、寬度148mm的長方形，形成銀納米絲導(dǎo)電薄膜試驗片。[制造例2]輸入裝置的輸入部件使用的銀蒸鍍導(dǎo)電薄膜的制作(比較例)準(zhǔn)備在厚度100 μ m的透明的PET薄膜的單面上設(shè)置丙烯酸硅的硬涂層，在該硬涂層的相反的面上，通過磁控管濺射裝置形成厚度60nm的氧化亞鉛膜。接著，在該氧化亞鉛膜的表面，使用磁控管濺射裝置形成厚度27nm的銀膜。此外，在該銀膜的表面，與上述氧化亞鉛膜同樣地形成厚度60nm的氧化亞鉛膜(圖6)。由此，在PET薄膜上形成由氧化亞鉛膜以及銀膜構(gòu)成的具有導(dǎo)電性的二維網(wǎng)絡(luò)的透明導(dǎo)電層。詳細(xì)地說，如圖6所示，銀蒸鍍層(銀膜)形成為在多個顆粒體密集連結(jié)的同時設(shè)有一些間隙。該銀蒸鍍導(dǎo)電薄膜的透明導(dǎo)電層的表面電阻為95Ω/ □，光線透過率為85%。

接著,將該銀蒸鍍導(dǎo)電薄膜切斷加工成長度210mm、寬度148mm的長方形,形成銀蒸鍍導(dǎo)電薄膜試驗片。[實(shí)驗例I]使用波長750nm、輸出10mW、脈沖寬度130f秒、重復(fù)頻率1kHz、光束直徑5mm的飛秒激光(制造裝置40)，并使用焦點(diǎn)距離FL=IOOmm的聚光透鏡42和電流鏡，在厚度5mm的玻璃板上，將試驗片以上述透明導(dǎo)電層朝向玻璃板的相反側(cè)的方式進(jìn)行承載，在以激光L的焦點(diǎn)F設(shè)定在從該試驗片中的上述透明導(dǎo)電層的表面朝向聚光透鏡42側(cè)離開1. 5mm的位置的方式進(jìn)行調(diào)整之后，將聚光點(diǎn)以沿著試驗片的寬度方向以Imm/秒進(jìn)行橫斷的方式移動，進(jìn)行直線描繪(絕緣圖案的形成)。[實(shí)驗例2]除了激光L的焦點(diǎn)F在上述透明導(dǎo)電層的表面上以外，以與實(shí)驗例I相同的條件進(jìn)行直線描繪。[實(shí)驗例3]使用波長1064nm、輸出12mW、脈沖寬度20η秒、重復(fù)頻率100kHz、光束直徑6. 7mm的YVO4激光(制造裝置40)，并使用焦點(diǎn)距離FL=300mm的聚光透鏡42和電流鏡，在厚度5mm的DURACON ( 7 ^ (注冊商標(biāo))板上，將試驗片以上述透明導(dǎo)電層朝向DURAC0N (注冊商標(biāo))板的相反側(cè)的方式進(jìn)行承載，在以激光L的焦點(diǎn)F設(shè)定在從該試驗片中的上述透明導(dǎo)電層的表面朝向聚光透鏡42側(cè)離開3_的位置的方式進(jìn)行調(diào)整之后，將聚光點(diǎn)以沿著試驗片的寬度方向以IOOmm/秒進(jìn)行橫斷的方式移動，進(jìn)行直線描繪。[實(shí)驗例4]
除了聚光點(diǎn)的移動速度為300mm/秒以外，以與實(shí)驗例3相同的條件進(jìn)行直線描
O[實(shí)驗例5]除了輸出為3. 6W、聚光點(diǎn)的移動速度為300mm/秒以外，以與實(shí)驗例3相同的條件進(jìn)行直線描繪。[實(shí)驗例6]除了激光L的焦點(diǎn)F在上述透明導(dǎo)電層的表面上以外，以與實(shí)驗例4相同的條件進(jìn)行直線描繪。[實(shí)驗例7]以與實(shí)驗例4相同的條件，在同一地方進(jìn)行反復(fù)五次的直線描繪。[實(shí)驗例8]使用波長10.6μπκ輸出15W的碳酸氣體激光(連續(xù)振蕩)，并使用焦點(diǎn)距離FL=300mm的聚光透鏡42和電流鏡，在以激光L的焦點(diǎn)F設(shè)定在從試驗片中的上述透明導(dǎo)電層的表面朝向聚光透鏡42側(cè)離開3_的位置的方式進(jìn)行調(diào)整之后，將聚光點(diǎn)以沿著試驗片的寬度方向以300mm/秒進(jìn)行橫斷的方式移動，進(jìn)行直線描繪。在通過上述實(shí)驗得到的導(dǎo)電圖案形成基板(導(dǎo)電性基板)中，使用測試器將照射激光L的部分夾在中間，測定電阻值。并且，通過目視評價導(dǎo)電圖案的視覺識別性(加工痕跡)。評價結(jié)果在表I中示出。

并且，評價的基準(zhǔn)(A、B、C、D)如下所示。A :優(yōu)良。電阻值超過10ΜΩ，可靠地形成絕緣，且導(dǎo)電圖案完全不能視覺識別。B:良。電阻值超過10ΜΩ，可靠地形成絕緣，且導(dǎo)電圖案幾乎不能視覺識別(當(dāng)組裝于觸摸面板時，實(shí)質(zhì)上不能視覺識別加工痕跡)。C:可。雖然電阻值超過10ΜΩ，可靠地形成絕緣，但是導(dǎo)電圖案能夠視覺識別(當(dāng)組裝于觸摸面板時，能夠用作制品(輸入裝置的輸入部件I)的程度的水平)。D :不可。電阻值在10ΜΩ以下，絕緣化不充分，或者以能夠目視確認(rèn)的程度形成燒焦或有孔。即，不能作為制品(輸入裝置的輸入部件I)使用。[表 I]
權(quán)利要求
1.一種輸入裝置，其特征在于，包括 輸入部件，以在厚度方向上層疊的方式設(shè)置有一對導(dǎo)電性基板，所述導(dǎo)電性基板具有絕緣基板以及透明導(dǎo)電膜，所述透明導(dǎo)電膜設(shè)置在所述絕緣基板上且在具有絕緣性的透明基體內(nèi)具備由具有導(dǎo)電性的金屬構(gòu)成的網(wǎng)狀部件；以及 檢測單元，電連接于所述透明導(dǎo)電膜，所述檢測單元檢測輸入信號， 在所述透明導(dǎo)電膜上設(shè)置有通過在所述透明基體內(nèi)配置所述網(wǎng)狀部件而成的導(dǎo)電部、以及通過除去所述透明基體內(nèi)的所述網(wǎng)狀部件的至少一部分而成的絕緣部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸入裝置，其特征在于， 在所述絕緣部上配置有通過除去所述網(wǎng)狀部件而形成的空隙。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輸入裝置，其特征在于， 所述網(wǎng)狀部件由在所述透明基體內(nèi)分散且相互電連結(jié)的金屬極細(xì)纖維構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輸入裝置，其特征在于， 所述金屬極細(xì)纖維以銀為主要成分。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項所述的輸入裝置，其特征在于， 所述絕緣部的空隙通過對所述網(wǎng)狀部件照射脈沖狀激光而形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輸入裝置，其特征在于， 所述脈沖狀激光是脈沖寬度小于Ip秒的極短脈沖激光。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輸入裝置，其特征在于， 所述脈沖狀激光是YAG激光或者YVO4激光。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的輸入裝置，其特征在于， 所述絕緣基板是透明的。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的輸入裝置，其特征在于， 所述輸入部件將一對所述導(dǎo)電性基板的所述透明導(dǎo)電膜分別朝向沿所述厚度方向的一側(cè)配置， 所述檢測單元是靜電電容式的。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的輸入裝置，其特征在于， 所述輸入部件在一對所述導(dǎo)電性基板的所述透明導(dǎo)電膜彼此接近的狀態(tài)下隔開間隔地相對配置， 通過輸入操作，所述透明導(dǎo)電膜的一部分彼此能直流接觸。
全文摘要
輸入裝置包括輸入部件，以在厚度方向上層疊的方式設(shè)置有一對導(dǎo)電性基板，該導(dǎo)電性基板具有絕緣基板以及透明導(dǎo)電膜(12、22)，透明導(dǎo)電膜(12、22)設(shè)置在所述絕緣基板上且在具有絕緣性的透明基體(2)內(nèi)具備由具有導(dǎo)電性的金屬構(gòu)成的網(wǎng)狀部件；以及檢測單元，電連接于所述透明導(dǎo)電膜(12、22)，檢測輸入信號，在所述透明導(dǎo)電膜(12、22)上設(shè)置有通過在所述透明基體(2)內(nèi)配置所述網(wǎng)狀部件而成的導(dǎo)電部、以及通過除去所述透明基體(2)內(nèi)的所述網(wǎng)狀部件的至少一部分而成的絕緣部(I)。
文檔編號G06F3/045GK103069369SQ20108006857
公開日2013年4月24日 申請日期2010年6月17日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月17日
發(fā)明者國司洋介, 鈴木秀樹, 小松博登, 池野順一 申請人:信越聚合物株式會社, 國立大學(xué)法人埼玉大學(xué)