專利名稱：探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置及探針卡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置及探針卡
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工業(yè)中的測(cè)試技術(shù)，特別是涉及一種探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù) 裝置，還涉及一種具有扎針次數(shù)計(jì)數(shù)功能的探針卡。
背景技術(shù)：
探針臺(tái)是半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中用于晶圓測(cè)試的一種設(shè)備，主要完成晶圓測(cè)試中探針 卡與晶圓的可靠接觸、晶圓的固定步距移動(dòng)、探針臺(tái)與測(cè)試機(jī)的信號(hào)連接等功能。測(cè)試機(jī)(Automatic Test Equipment, ATE)是用于晶圓和其他成品測(cè)試的一種專 用設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)各種電參數(shù)的測(cè)量，和探針臺(tái)配合可以完成晶圓電參數(shù)的測(cè)試，其有多個(gè) 與探針臺(tái)連接的接口。探針卡是一種用于實(shí)現(xiàn)測(cè)試機(jī)與晶圓的電器連接的部件，探針卡上的探針直接與 晶圓上的錫墊(pad)或凸塊(bump)接觸，引出電信號(hào)，再配合測(cè)試機(jī)進(jìn)行測(cè)量。探針卡上 探針的數(shù)量從幾根到幾百根不等，數(shù)量越大探針卡價(jià)格越昂貴。探針卡的使用壽命一般都 在1000萬(wàn)次以上，因此一個(gè)新的探針卡從投入使用到報(bào)廢的這個(gè)過(guò)程中需要多次維護(hù)。一 般要求扎針次數(shù)達(dá)到100萬(wàn)次時(shí)就需要對(duì)探針卡進(jìn)行第一次維護(hù)保養(yǎng)，之后每30萬(wàn)次就要 進(jìn)行定期的維護(hù)保養(yǎng)。因此，需要對(duì)探針卡的扎針次數(shù)做出統(tǒng)計(jì)。傳統(tǒng)技術(shù)中采用人工統(tǒng)計(jì)的方法，即由操作員記錄探針卡的使用次數(shù)。但人工統(tǒng) 計(jì)非常麻煩、效率低下且容易出錯(cuò)。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決傳統(tǒng)的人工統(tǒng)計(jì)探針卡扎針次數(shù)效率低下且容易出錯(cuò)的問(wèn)題，有必要提 供一種探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置。—種探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，包括接口、計(jì)數(shù)模塊和顯示模塊，所述計(jì)數(shù)模塊與 接口、顯示模塊相連接；所述接口接收探針臺(tái)吸盤的上升/下降信號(hào)，并傳輸給計(jì)數(shù)模塊； 所述計(jì)數(shù)模塊記錄吸盤的上升/下降次數(shù)，作為探針卡的扎針次數(shù)，并將所述扎針次數(shù)傳 輸給顯示模塊；所述顯示模塊接收并顯示扎針次數(shù)。優(yōu)選的，還包括與所述計(jì)數(shù)模塊連接的報(bào)警模塊；所述計(jì)數(shù)模塊或報(bào)警模塊內(nèi)存 儲(chǔ)有報(bào)警閾值，當(dāng)扎針次數(shù)達(dá)到報(bào)警閾值時(shí)，報(bào)警模塊報(bào)警。優(yōu)選的，還包括輸入模塊，所述輸入模塊與所述計(jì)數(shù)模塊連接，設(shè)定報(bào)警閾值和對(duì) 計(jì)數(shù)模塊記錄的扎針次數(shù)清零；或所述輸入模塊與報(bào)警模塊連接，設(shè)定報(bào)警閾值。優(yōu)選的，所述報(bào)警模塊包括用于取消報(bào)警的復(fù)位鍵。優(yōu)選的，所述顯示模塊采用液晶模組進(jìn)行顯示。還有必要提供一種內(nèi)置探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的探針卡。一種探針卡，包括探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，所述裝置包括接口、計(jì)數(shù)模塊和顯示 模塊，所述計(jì)數(shù)模塊與接口、顯示模塊相連接；所述接口接收探針臺(tái)吸盤的上升/下降信 號(hào)，并傳輸給計(jì)數(shù)模塊；所述計(jì)數(shù)模塊記錄吸盤的上升/下降次數(shù)，作為探針卡的扎針次數(shù)，并將所述扎針次數(shù)傳輸給顯示模塊；所述顯示模塊接收并顯示扎針次數(shù)。優(yōu)選的，所述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置還包括與所述計(jì)數(shù)模塊連接的報(bào)警模塊； 所述計(jì)數(shù)模塊或報(bào)警模塊內(nèi)存儲(chǔ)有報(bào)警閾值，當(dāng)扎針次數(shù)達(dá)到報(bào)警閾值時(shí)，報(bào)警模塊報(bào)警。優(yōu)選的，所述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置還包括輸入模塊，所述輸入模塊與所述計(jì) 數(shù)模塊連接，設(shè)定報(bào)警閾值和對(duì)計(jì)數(shù)模塊記錄的扎針次數(shù)清零；或所述輸入模塊與報(bào)警模 塊連接，設(shè)定報(bào)警閾值。優(yōu)選的，所述報(bào)警模塊包括用于取消報(bào)警的復(fù)位鍵。優(yōu)選的，所述顯示模塊采用液晶模組進(jìn)行顯示。上述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置能夠自動(dòng)統(tǒng)計(jì)探針卡扎針次數(shù)，快捷準(zhǔn)確。還可以 根據(jù)每片晶圓的扎針次數(shù)計(jì)算該晶圓應(yīng)該攤負(fù)的探針卡折舊費(fèi)。上述探針卡內(nèi)置了探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，能夠自動(dòng)統(tǒng)計(jì)探針卡扎針次數(shù)，快 捷準(zhǔn)確。還可以根據(jù)每片晶圓的扎針次數(shù)計(jì)算該晶圓應(yīng)該攤負(fù)的探針卡折舊費(fèi)。增加了產(chǎn) 品的易用性且功能更強(qiáng)大，提高了探針卡的附加價(jià)值。

圖1是吸盤的上升/下降信號(hào)的傳輸圖；圖2是一個(gè)實(shí)施例中探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是另一個(gè)實(shí)施例中探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是一個(gè)實(shí)施例中集成了探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的探針卡的示意圖。
具體實(shí)施方式探針臺(tái)是使用吸盤(Chuck)對(duì)晶圓進(jìn)行固定，然后通過(guò)對(duì)吸盤發(fā)送上升/下降信 號(hào)來(lái)實(shí)現(xiàn)晶圓與探針卡的接觸的。傳統(tǒng)的探針臺(tái)會(huì)將吸盤的上升/下降信號(hào)輸出到探針臺(tái) 控制面板的指示燈上。圖1是吸盤的上升/下降信號(hào)的傳輸圖，探針臺(tái)100包括主板110 和指示燈120，主板110需要將吸盤的上升/下降信號(hào)輸出給指示燈120。圖2是一個(gè)實(shí)施例中探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。探針卡扎針次數(shù)計(jì) 數(shù)裝置200包括接口 210、計(jì)數(shù)模塊220、顯示模塊230、報(bào)警模塊240以及輸入模塊250。計(jì) 數(shù)模塊220與接口 210、顯示模塊230、報(bào)警模塊240以及輸入模塊250均相連接。接口 210接收上述輸出給指示燈120的吸盤的上升/下降信號(hào)，并傳輸給計(jì)數(shù)模 塊 220。計(jì)數(shù)模塊220接收吸盤的上升/下降信號(hào)，并進(jìn)行計(jì)數(shù)?？梢允墙邮盏揭粚?duì)上升、 下降信號(hào)就加1，也可以是接收到一個(gè)上升(或下降)信號(hào)就加1。由于吸盤每上升(或下 降)一次晶圓與探針卡就會(huì)進(jìn)行一次接觸，即扎針一次。所以計(jì)數(shù)模塊220記錄的數(shù)據(jù)就 是探針卡的扎針次數(shù)。記錄的數(shù)據(jù)送入顯示模塊230，當(dāng)達(dá)到事先設(shè)定的需要對(duì)探針卡進(jìn)行 維護(hù)的扎針次數(shù)(在優(yōu)選的實(shí)施例中為每300000次)，即報(bào)警閾值時(shí)，計(jì)數(shù)模塊220對(duì)報(bào)警 模塊240發(fā)出報(bào)警指令。顯示模塊230接收計(jì)數(shù)模塊220記錄的數(shù)據(jù)并進(jìn)行顯示。在優(yōu)選的實(shí)施例中，顯 示模塊230可以采用液晶模組進(jìn)行顯示，以獲得較小的體積；在其他實(shí)施例中也可以采用 數(shù)碼管或其他方式進(jìn)行顯示。在優(yōu)選的實(shí)施例中，顯示模塊230可以只提供6位數(shù)的顯示功能，即最大為999999，這樣可以節(jié)省成本(不光是顯示模塊230的成本，還包括涉及存儲(chǔ) 或緩存計(jì)數(shù)模塊220記錄的數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)單元成本，這些存儲(chǔ)單元只要能存儲(chǔ)大于999999的 數(shù)便可，所以成本便可相應(yīng)減少)。因?yàn)橛脩絷P(guān)心的最主要問(wèn)題是何時(shí)該對(duì)探針卡進(jìn)行維 護(hù)保養(yǎng)，所以顯示模塊230能夠顯示的位數(shù)僅需滿足探針卡兩次維護(hù)之間的扎針次數(shù)便可 (也就是計(jì)數(shù)模塊220記錄的位數(shù)能大于探針卡兩次維護(hù)之間的扎針次數(shù)便可)。當(dāng)然，顯 示模塊230也可以采用能顯示更多位數(shù)的部件，記錄探針卡整個(gè)壽命中扎針的次數(shù)。報(bào)警模塊240接收計(jì)數(shù)模塊220發(fā)出的報(bào)警指令進(jìn)行報(bào)警，提醒操作員探針卡需 要維護(hù)了。報(bào)警模塊240還包括復(fù)位鍵，用于取消報(bào)警。輸入模塊250用于設(shè)定報(bào)警閾值。輸入模塊250還具備對(duì)計(jì)數(shù)模塊220清零的功 能。在優(yōu)選的實(shí)施例中，清零可以是達(dá)到報(bào)警閾值后自動(dòng)進(jìn)行。圖3是另一個(gè)實(shí)施例中探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在這個(gè)實(shí)施例 中，探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置200包括接口 210、計(jì)數(shù)模塊220、顯示模塊230、報(bào)警模塊 240。計(jì)數(shù)模塊220與接口 210、顯示模塊230、報(bào)警模塊240均相連接。其與上一個(gè)實(shí)施例的主要區(qū)別在于，報(bào)警模塊240自帶設(shè)置報(bào)警閾值的功能，計(jì) 數(shù)模塊220亦自帶清零的功能。并且計(jì)數(shù)模塊220不用于發(fā)送報(bào)警指令，而是將記錄的數(shù) 據(jù)傳輸給報(bào)警模塊240，由報(bào)警模塊240根據(jù)報(bào)警閾值來(lái)進(jìn)行是否報(bào)警的判斷。上述裝置統(tǒng)計(jì)出的扎針次數(shù)為估算成本提供了科學(xué)依據(jù)。例如一塊探針卡的總扎 針次數(shù)是1000萬(wàn)次，探針卡價(jià)格為4萬(wàn)圓，在某片圓片的測(cè)試中扎針次數(shù)為1萬(wàn)次，則在這 片圓片上攤負(fù)的探針卡的折舊費(fèi)為40000*10000/10000000 = 40圓。上述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置既可以采用“外掛式”，即做成一個(gè)獨(dú)立的裝置；也 可以做成“嵌入式”，即集成在探針卡上?！巴鈷焓健狈桨竿ㄓ眯詮?qiáng)，適用于不同種類的探針 臺(tái)和探針卡，且可以反復(fù)多次使用。而“嵌入式”方案比較適合探針卡的生產(chǎn)廠家，集成了 上述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的探針卡，增加了產(chǎn)品的易用性且功能更強(qiáng)大，提高了探針 卡的附加價(jià)值。圖4是一個(gè)實(shí)施例中集成了探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的探針卡的示意圖。探針卡 300包括探針卡與測(cè)試機(jī)的測(cè)試接口 310和探針320，還集成了探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置。 探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的結(jié)構(gòu)與圖2或圖3所示實(shí)施例相同，但是計(jì)數(shù)模塊220和輸入 模塊250等并非設(shè)于探針卡300表面，因此圖4中未示，圖中只能看見接口 210、顯示模塊 230及報(bào)警模塊240。上述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置能夠自動(dòng)統(tǒng)計(jì)探針卡扎針次數(shù)，快捷準(zhǔn)確。還可以 根據(jù)每片晶圓的扎針次數(shù)計(jì)算該晶圓應(yīng)該攤負(fù)的探針卡折舊費(fèi)。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)， 但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通 技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬 于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，其特征在于，包括接口、計(jì)數(shù)模塊和顯示模塊，所述計(jì)數(shù)模塊與接口、顯示模塊相連接；所述接口接收探針臺(tái)吸盤的上升/下降信號(hào)，并傳輸給計(jì)數(shù)模塊；所述計(jì)數(shù)模塊記錄吸盤的上升/下降次數(shù)，作為探針卡的扎針次數(shù)，并將所述扎針次數(shù)傳輸給顯示模塊；所述顯示模塊接收并顯示扎針次數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，其特征在于，還包括與所述計(jì)數(shù) 模塊連接的報(bào)警模塊；所述計(jì)數(shù)模塊或報(bào)警模塊內(nèi)存儲(chǔ)有報(bào)警閾值，當(dāng)扎針次數(shù)達(dá)到報(bào)警閾值時(shí)，報(bào)警模塊報(bào)警。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，其特征在于，還包括輸入模塊，所 述輸入模塊與所述計(jì)數(shù)模塊連接，設(shè)定報(bào)警閾值和對(duì)計(jì)數(shù)模塊記錄的扎針次數(shù)清零；或所 述輸入模塊與報(bào)警模塊連接，設(shè)定報(bào)警閾值。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，其特征在于，所述報(bào)警模塊包 括用于取消報(bào)警的復(fù)位鍵。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，其特征在于，所述 顯示模塊采用液晶模組進(jìn)行顯示。
6.一種探針卡，其特征在于，包括探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，所述裝置包括接口、計(jì)數(shù) 模塊和顯示模塊，所述計(jì)數(shù)模塊與接口、顯示模塊相連接；所述接口接收探針臺(tái)吸盤的上升/下降信號(hào)，并傳輸給計(jì)數(shù)模塊； 所述計(jì)數(shù)模塊記錄吸盤的上升/下降次數(shù)，作為探針卡的扎針次數(shù)，并將所述扎針次 數(shù)傳輸給顯示模塊；所述顯示模塊接收并顯示扎針次數(shù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置還包括 與所述計(jì)數(shù)模塊連接的報(bào)警模塊；所述計(jì)數(shù)模塊或報(bào)警模塊內(nèi)存儲(chǔ)有報(bào)警閾值，當(dāng)扎針次數(shù)達(dá)到報(bào)警閾值時(shí)，報(bào)警模塊報(bào)警。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針卡，其特征在于，所述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置還包括 輸入模塊，所述輸入模塊與所述計(jì)數(shù)模塊連接，設(shè)定報(bào)警閾值和對(duì)計(jì)數(shù)模塊記錄的扎針次 數(shù)清零；或所述輸入模塊與報(bào)警模塊連接，設(shè)定報(bào)警閾值。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的探針卡，其特征在于，所述報(bào)警模塊包括用于取消報(bào)警的 復(fù)位鍵。
10.根據(jù)權(quán)利要求6-8中任意一項(xiàng)所述的探針卡，其特征在于，所述顯示模塊采用液晶 模組進(jìn)行顯示。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置，包括接口、計(jì)數(shù)模塊和顯示模塊，所述計(jì)數(shù)模塊與接口、顯示模塊相連接；所述接口接收探針臺(tái)吸盤的上升/下降信號(hào)，并傳輸給計(jì)數(shù)模塊；所述計(jì)數(shù)模塊記錄吸盤的上升/下降次數(shù)，作為探針卡的扎針次數(shù)，并將所述扎針次數(shù)傳輸給顯示模塊；所述顯示模塊接收并顯示扎針次數(shù)。還涉及一種集成了上述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置的探針卡。上述探針卡扎針次數(shù)計(jì)數(shù)裝置能夠自動(dòng)統(tǒng)計(jì)探針卡扎針次數(shù)，快捷準(zhǔn)確。還可以根據(jù)每片晶圓的扎針次數(shù)計(jì)算該晶圓應(yīng)該攤負(fù)的探針卡折舊費(fèi)。
文檔編號(hào)G06M1/27GK201681417SQ20102014278
公開日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2010年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月22日
發(fā)明者顧漢玉 申請(qǐng)人:華潤(rùn)賽美科微電子(深圳)有限公司