專利名稱：生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置、程序及生產(chǎn)信息生成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及生成有關(guān)生產(chǎn)的信息的技術(shù)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體等的生產(chǎn)中，對(duì)生產(chǎn)的產(chǎn)品進(jìn)行在各生產(chǎn)工序中使用的生產(chǎn)裝置、投入 到各生產(chǎn)裝置的時(shí)間等的仿真，從而確立生產(chǎn)計(jì)劃(例如參照專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)美國(guó)專利第6889178號(hào)說(shuō)明書(shū)

發(fā)明內(nèi)容
當(dāng)進(jìn)行為了確立生產(chǎn)計(jì)劃的仿真時(shí)，必須由操作員手動(dòng)輸入用于確定在各生產(chǎn)工 序中使用的生產(chǎn)裝置的能力的指標(biāo)等，頗為不便。因此，本發(fā)明以能夠容易地取得用于確定生產(chǎn)裝置的能力的指標(biāo)為目的。為了解決上述的課題，本發(fā)明從生產(chǎn)裝置的日志信息中取得用于確定該生產(chǎn)裝置 的能力的指標(biāo)。例如，本發(fā)明的特征在于，具備存儲(chǔ)部和控制部，該存儲(chǔ)部存儲(chǔ)用于確定生產(chǎn)裝 置、該生產(chǎn)裝置所處理的處理對(duì)象、對(duì)該處理對(duì)象進(jìn)行處理的開(kāi)始時(shí)間以及對(duì)該處理對(duì)象 的處理結(jié)束時(shí)的結(jié)束時(shí)間的日志信息，所述控制部進(jìn)行如下處理根據(jù)所述日志信息來(lái)生 成所述結(jié)束時(shí)間處于預(yù)定的間隔中的所述處理對(duì)象的群組；將所述群組中包含的所述處理 對(duì)象分類為根據(jù)所述群組中包含的所述處理對(duì)象的個(gè)數(shù)的分類；針對(duì)每個(gè)所述分類進(jìn)行生 成用于確定所述分類中包含的周期(or 循環(huán)時(shí)間)的周期信息；以及將所述周期信息做成 所預(yù)定的形式的顯示形式后輸出到輸出部。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，就能夠容易地取得用于確定生成裝置的能力的指標(biāo)。



圖13是周期信息輸出畫(huà)面的概要圖。圖14是生產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面的概要圖。圖15是周期信息輸出畫(huà)面的概要圖。圖16是生產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面的概要圖。圖17是周期信息輸出畫(huà)面的概要圖。符號(hào)說(shuō)明100、200、生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置；110、210、存儲(chǔ)部；111、日志信息存儲(chǔ)區(qū)域； 112、周期信息存儲(chǔ)區(qū)域；113、線性回歸信息存儲(chǔ)區(qū)域；114、214、生產(chǎn)指標(biāo)信息存儲(chǔ)區(qū)域； 120、220、控制部；121、日志信息提取部；122、周期信息生成部；123、線性回歸信息生成部； 124、224、生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部
具體實(shí)施例方式圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置100的概要圖。如圖所示， 生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置100具備存儲(chǔ)部110、控制部120、輸入部130、輸出部140以及通信 部 150。存儲(chǔ)部110具備日志信息存儲(chǔ)區(qū)域111、周期信息存儲(chǔ)區(qū)域112、線性回歸信息存 儲(chǔ)區(qū)域113以及生產(chǎn)指標(biāo)信息存儲(chǔ)區(qū)域114。在日志信息存儲(chǔ)區(qū)域111中存儲(chǔ)用于確定將處理對(duì)象物(在此為晶圓)投入到在 生產(chǎn)設(shè)備中使用的生產(chǎn)裝置中的時(shí)間以及針對(duì)該處理對(duì)象在該生產(chǎn)裝置中的處理結(jié)束的 時(shí)間的日志信息。例如，在本實(shí)施方式中存儲(chǔ)圖2(日志信息表Illa的概要圖)所示的日 志信息表111a。如圖所示，日志信息表Illa具有晶圓ID欄111b、產(chǎn)品類別ID欄111c、批次ID欄 llld、處理欄llle、開(kāi)始時(shí)間欄lllf、結(jié)束時(shí)間欄Illg以及裝置ID欄lllh。在晶圓ID欄Illb中存儲(chǔ)用于確定晶圓的信息，該晶圓為在后述的裝置ID欄Illh 中確定的生產(chǎn)裝置中的處理對(duì)象。在本實(shí)施方式中存儲(chǔ)用于唯一識(shí)別各晶圓的識(shí)別信息即 晶圓ID作為確定晶圓的信息。在產(chǎn)品類別ID欄Illc中存儲(chǔ)用于確定使用在晶圓ID欄Illb中所確定的晶圓的 產(chǎn)品的類別的信息。在本實(shí)施方式中存儲(chǔ)用于唯一識(shí)別各產(chǎn)品的類別的識(shí)別信息即產(chǎn)品ID 作為確定產(chǎn)品的類別的信息。在批次ID欄Illd中存儲(chǔ)用于確定批次的信息，該批次包含在晶圓ID欄Illb中 所確定的晶圓。在本實(shí)施方式中存儲(chǔ)用于唯一識(shí)別各批次的識(shí)別信息即批次ID作為確定 批次的信息。在處理欄Ille中存儲(chǔ)用于確定在后述的裝置ID欄Illh中確定的生產(chǎn)裝置對(duì)在 晶圓ID欄Illb中確定的晶圓進(jìn)行的處理的信息。在本實(shí)施方式中存儲(chǔ)各處理的處理名作 為確定處理的信息。在開(kāi)始時(shí)間欄Illf中存儲(chǔ)用于確定在后述的裝置ID欄Illh中確定的生產(chǎn)裝置 開(kāi)始對(duì)在晶圓ID欄Illb中確定的晶圓進(jìn)行處理的時(shí)間(在此為年月日時(shí)間)的信息。在結(jié)束時(shí)間欄Illg中存儲(chǔ)用于確定在后述的裝置ID欄Illh中確定的生產(chǎn)裝置 對(duì)在晶圓ID欄Illb中確定的晶圓結(jié)束處理的時(shí)間(在此為年月日時(shí)間)。
在裝置ID欄Illh中存儲(chǔ)用于確定對(duì)在晶圓ID欄Illb中確定的晶圓進(jìn)行處理的 生產(chǎn)裝置的信息。在本實(shí)施方式中存儲(chǔ)用于唯一識(shí)別各生產(chǎn)裝置的識(shí)別信息即裝置ID作 為確定生產(chǎn)裝置的信息。在周期信息存儲(chǔ)區(qū)域112中存儲(chǔ)用于確定按生產(chǎn)裝置以及產(chǎn)品類別分組的晶圓 的周期的周期信息。另外，關(guān)于周期信息，使用圖6進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。在線性回歸信息存儲(chǔ)區(qū)域113中存儲(chǔ)用于確定通過(guò)對(duì)按生產(chǎn)裝置以及產(chǎn)品類別 分組的晶圓的周期進(jìn)行線性回歸分析而計(jì)算出的回歸直線的線性回歸信息。另外，關(guān)于線 性回歸信息，使用圖8進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。在生產(chǎn)指標(biāo)信息存儲(chǔ)區(qū)域114中存儲(chǔ)用于確定每個(gè)產(chǎn)品類別的生產(chǎn)裝置的生產(chǎn) 能力的生產(chǎn)指標(biāo)信息。另外，關(guān)于生產(chǎn)指標(biāo)信息，使用圖9進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明?？刂撇?20具備日志信息提取部121、周期信息生成部122、線性回歸信息生成部 123以及生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部124。日志信息提取部121從存儲(chǔ)在日志信息存儲(chǔ)區(qū)域中的日志信息表Illa中提取生 產(chǎn)裝置以及每個(gè)產(chǎn)品類別的日志信息。周期信息生成部122根據(jù)日志信息提取部121提取出的日志信息，對(duì)在所預(yù)定的 時(shí)間間隔內(nèi)處理結(jié)束的晶圓進(jìn)行分組，從而生成將該群組中包含的晶圓的周期分類為根據(jù) 該群組中包含的晶圓的個(gè)數(shù)的分類的周期信息，并存儲(chǔ)到周期信息存儲(chǔ)區(qū)域112中。線性回歸信息生成部123根據(jù)周期信息生成部122生成的周期信息，根據(jù)按群組 中包含的晶圓的個(gè)數(shù)進(jìn)行分類的周期值來(lái)確定基準(zhǔn)值，通過(guò)對(duì)所確定的基準(zhǔn)值進(jìn)行線性回 歸分析計(jì)算出回歸直線，生成用于確定所計(jì)算出的回歸直線的線性回歸信息，并存儲(chǔ)到線 性回歸信息存儲(chǔ)區(qū)域113中。生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部124根據(jù)線性回歸信息生成部123生成的線性回歸信息生成 用于確定生產(chǎn)裝置的生產(chǎn)能力的生產(chǎn)指標(biāo)信息，并存儲(chǔ)到生產(chǎn)指標(biāo)信息存儲(chǔ)區(qū)域114中。輸入部130接受信息的輸入。輸出部140輸出信息。通信部150進(jìn)行經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)的信息的收發(fā)。上述的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置100，例如能夠由圖3(計(jì)算機(jī)900的概要圖)所示 的一般的計(jì)算機(jī)900來(lái)實(shí)現(xiàn)，計(jì)算機(jī)900具有CPU (Central Processing Unit) 901 ；存儲(chǔ)
902 ；HDD (Hard Disk Drive)等外部存儲(chǔ)裝置 903 ；對(duì) CD (Compact Disk)、DVD (Digital Versatile Disk)等具有可移動(dòng)性的存儲(chǔ)介質(zhì)904進(jìn)行信息讀寫(xiě)的讀寫(xiě)裝置905 ；鍵盤(pán)、 鼠標(biāo)等輸入裝置906 ；顯示器等輸出裝置907以及用于連接通信網(wǎng)絡(luò)的NIC(NetWOrk Interface Card)等通信裝置 908。例如，存儲(chǔ)部110能夠通過(guò)CPU901使用存儲(chǔ)器901或者外部存儲(chǔ)裝置903來(lái)實(shí)現(xiàn)； 控制部120能夠通過(guò)將存儲(chǔ)在外部存儲(chǔ)裝置903中的預(yù)定的程序加載到存儲(chǔ)器902中，由 CPU901執(zhí)行來(lái)實(shí)現(xiàn)；輸入部能夠通過(guò)CPU901使用輸入裝置906來(lái)實(shí)現(xiàn)；輸出部140能夠通 過(guò)CPU901使用輸出裝置907來(lái)實(shí)現(xiàn)；通信部150能夠通過(guò)CPU901使用通信裝置908來(lái)實(shí) 現(xiàn)。也可以通過(guò)讀寫(xiě)裝置905從存儲(chǔ)介質(zhì)904，或者通過(guò)通信裝置908從網(wǎng)絡(luò)下載該預(yù) 定的程序到外部存儲(chǔ)裝置903中，然后加載到存儲(chǔ)器902中，再由CPU901來(lái)執(zhí)行。另外，也可以通過(guò)讀寫(xiě)裝置905從存儲(chǔ)介質(zhì)904，或者通過(guò)通信裝置908從網(wǎng)絡(luò)直接加載到存儲(chǔ)器 902中，再由CPU901來(lái)執(zhí)行。圖4表示在生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置100中的處理的流程圖。首先，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置100的日志信息提取部121，在存儲(chǔ)于日志信息存儲(chǔ) 區(qū)域111中的日志信息表Illa中，從裝置ID欄Illh中確定一個(gè)與后述的步驟18的沒(méi)有 生成生產(chǎn)指標(biāo)信息的生產(chǎn)裝置對(duì)應(yīng)的裝置ID(SlO)。接下來(lái)，日志信息提取部121，在日志信息表Illa中，從在裝置ID欄Illh中存儲(chǔ) 有步驟SlO所確定的裝置ID的記錄的、產(chǎn)品類別ID欄Illc中存儲(chǔ)的產(chǎn)品類別ID中確定 一個(gè)與后述的步驟S18的沒(méi)有生成生產(chǎn)指標(biāo)信息的產(chǎn)品類別對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品類別ID(Sll)。接下來(lái)，日志信息提取部121將步驟SlO所確定的裝置ID以及通過(guò)步驟Sll所確 定的產(chǎn)品類別ID分別存儲(chǔ)在裝置ID欄Illh以及產(chǎn)品類別ID欄Illc中的記錄的所有欄 中所存儲(chǔ)的信息作為日志信息進(jìn)行提取(S12)。另外，日志信息提取部121也能夠根據(jù)通過(guò)步驟12提取出的日志信息，生成用于 確定從預(yù)定的開(kāi)始時(shí)間到處理結(jié)束的晶圓和處理結(jié)束時(shí)的累積的處理數(shù)(thoughtput)的
生廣M.fn息。例如，日志信息提取部121能夠生成圖5 (生產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面160的概要圖)所 示的生產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面160那樣將χ軸(橫軸)設(shè)為從所預(yù)定的開(kāi)始時(shí)間的特定的時(shí)間 (在此為年月日時(shí)間)、將y軸設(shè)為處理結(jié)束的晶圓的生產(chǎn)量(累積處理數(shù))的圖表，通過(guò) 在與日志信息的結(jié)束時(shí)間對(duì)應(yīng)的χ軸的信息上，與從預(yù)定的開(kāi)始時(shí)間的晶圓的生產(chǎn)量對(duì)應(yīng) 的位置上畫(huà)點(diǎn)來(lái)作為生產(chǎn)量信息。接下來(lái)，周期信息生成部122生成在通過(guò)步驟S12提取出的日志信息中，由在結(jié)束 時(shí)間欄Illg中所存儲(chǔ)的結(jié)束時(shí)間前后的晶圓中的、前后的結(jié)束時(shí)間連續(xù)并為預(yù)定閾值以 下的晶圓構(gòu)成的群組(S13)。例如，周期信息生成部122由圖5的虛線包圍的晶圓生成群組。接下來(lái)，周期信息生成部122根據(jù)從日志信息的開(kāi)始時(shí)間欄Illf中存儲(chǔ)的開(kāi)始時(shí) 間到結(jié)束時(shí)間欄Illg中存儲(chǔ)的結(jié)束時(shí)間為止的時(shí)間計(jì)算出通過(guò)步驟S13進(jìn)行分組后的各 群組中包含的晶圓的周期，生成將所計(jì)算出的晶圓的周期按該群組中包含的晶圓的個(gè)數(shù)進(jìn) 行分類的周期信息(S14)。例如，周期信息生成部122能夠生成如圖6 (周期信息輸出畫(huà)面161的概要圖)所 示的周期信息輸出畫(huà)面161那樣，將1軸(橫軸)設(shè)為群組內(nèi)的晶圓數(shù)、y軸設(shè)為晶圓的周 期的圖表，通過(guò)在χ軸的相鄰的晶圓數(shù)之間所設(shè)置的矩形狀區(qū)域中，在與橫軸的相鄰的晶 圓數(shù)的某一方中包含的晶圓的周期對(duì)應(yīng)的位置上描畫(huà)點(diǎn)(使點(diǎn)的中心不相重疊地進(jìn)行描 畫(huà))就可以做成周期信息。另外，將如此生成的周期信息與通過(guò)步驟SlO以及Sll所確定的裝置ID以及產(chǎn)品 類別對(duì)應(yīng)起來(lái)，存儲(chǔ)到周期信息存儲(chǔ)區(qū)域112中。接下來(lái)，線性回歸信息生成部123在通過(guò)步驟S14生成的周期信息中，針對(duì)各群組 中包含的晶圓數(shù)的每個(gè)分類，生成該分類中包含的晶圓的周期的頻數(shù)分布圖(周期和具有 該周期的晶圓數(shù)(頻數(shù))的頻數(shù)分布圖)(參照?qǐng)D7)，確定相對(duì)于最大的晶圓數(shù)預(yù)定的比率 (例如在此處為25%)低的晶圓數(shù)的周期中的，比與最大的晶圓數(shù)對(duì)應(yīng)的周期還小的周期值為基準(zhǔn)值(S15)。步驟S15是為了去除在日志信息中的開(kāi)始時(shí)間以及結(jié)束時(shí)間的輸入錯(cuò)誤(噪音成 分)而進(jìn)行的處理，在沒(méi)有輸入錯(cuò)誤的情況下，也能夠?qū)⒏鞣诸愔邪木A的周期的最 小值作為基準(zhǔn)值來(lái)使用。接下來(lái)，線性回歸信息生成部123，通過(guò)對(duì)由步驟S15確定的基準(zhǔn)值進(jìn)行線性回歸 分析計(jì)算出回歸直線(最小二乘法等)，生成用于確定所計(jì)算出的回歸直線的線性回歸信 息(S16)。例如，線性回歸信息生成部123能夠通過(guò)如圖8 (線性回歸信息輸出畫(huà)面162)所 示，在如圖6所示的周期信息輸出畫(huà)面161中，圖示由步驟S15確定的基準(zhǔn)值，根據(jù)所圖示 的基準(zhǔn)值畫(huà)出回歸直線(近似直線)作為線性回歸信息。另外，將如此生成的線性回歸信息存儲(chǔ)到線性回歸信息存儲(chǔ)區(qū)域113中。接下來(lái)，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部124，根據(jù)通過(guò)步驟S12提取出的日志信息、通過(guò)步 驟S14生成的周期信息以及通過(guò)步驟S16所確定的回歸直線來(lái)確定表示產(chǎn)品類別以及每個(gè) 生產(chǎn)裝置的生產(chǎn)能力的生產(chǎn)指標(biāo)，并且作為生產(chǎn)指標(biāo)信息，例如存儲(chǔ)到圖9(生產(chǎn)指標(biāo)信息 表114a的概要圖)所示的生產(chǎn)指標(biāo)信息表114a中(S17)。如圖所示，生產(chǎn)指標(biāo)信息表114a具有步驟欄114b、處理欄114c、比率欄114d、 a (斜率)欄114e、b (截距)欄114f、裝配可能數(shù)欄114g、裝置ID欄114h以及產(chǎn)品類別ID 欄 114i。在步驟欄114b中存儲(chǔ)用于確定順序的信息，該順序?yàn)楫?dāng)生產(chǎn)在后述的產(chǎn)品類別 ID欄114i中確定的產(chǎn)品類別時(shí)，將晶圓投入到在裝置ID欄114h中所確定的生產(chǎn)裝置中的 的順序。例如，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部124，根據(jù)在通過(guò)步驟S12提取出的日志信息的開(kāi)始時(shí) 間欄Illf中存儲(chǔ)的開(kāi)始時(shí)間和在結(jié)束時(shí)間欄Illg中存儲(chǔ)的結(jié)束時(shí)間來(lái)確定向生產(chǎn)裝置投 入晶圓的順序，并將所確定的順序存儲(chǔ)到步驟欄114b中。另外，當(dāng)確定了投入晶圓到生產(chǎn)裝置中的順序時(shí)，當(dāng)有同樣產(chǎn)品類別ID中使用的 一個(gè)晶圓以及其他的晶圓被投入到由不同的裝置ID確定的生產(chǎn)裝置中的部分時(shí)，關(guān)于該 部分，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部124將其作為由多個(gè)生產(chǎn)裝置構(gòu)成一個(gè)步驟分配一個(gè)順序。在處理欄114c中存儲(chǔ)用于確定在后述的裝置ID欄114h中確定的生產(chǎn)裝置所進(jìn) 行的處理。在此，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部124將通過(guò)步驟S12提取出的日志信息的處理欄Ille 中所存儲(chǔ)的處理名存儲(chǔ)到處理欄114c中。在通過(guò)步驟S12提取出的日志信息中，當(dāng)生產(chǎn)在后述的產(chǎn)品類別ID欄114i中確 定的產(chǎn)品時(shí)，在比率欄1114d中存儲(chǔ)用于確定投入到在后述的裝置ID欄114h中確定的生 產(chǎn)裝置中的晶圓的比率的信息。例如，當(dāng)確定將晶圓投入到生產(chǎn)裝置中的順序時(shí)，在相同產(chǎn)品類別ID的產(chǎn)品中使 用的一個(gè)晶圓以及其他的晶圓背投入到由后述的裝置ID欄114h確定的生產(chǎn)裝置中的情況 下，在比率欄114中存儲(chǔ)小于100%的值。另外，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部124，將在通過(guò)步驟S12提取出的日志信息中，存儲(chǔ)在 裝置ID欄Illh中的與后述的裝置ID欄114h對(duì)應(yīng)的裝置ID的晶圓數(shù)除以根據(jù)通過(guò)步
9驟S12提取出的日志信息所確定的所有晶圓數(shù)，再乘以“100”計(jì)算出的比率存儲(chǔ)到比率欄 114d 中。在a(斜率)欄114e中，存儲(chǔ)通過(guò)步驟S16計(jì)算出的回歸直線的斜率的值。在b (截距)欄114f中，存儲(chǔ)通過(guò)步驟S16計(jì)算出的回歸直線的y截距的值。當(dāng)通過(guò)步驟S16計(jì)算出的回歸直線的斜率的值幾乎為“0”(0士預(yù)定的閾值的范圍 內(nèi))時(shí)，將在通過(guò)步驟S14生成的周期信息中，在各分類中包含的晶圓所屬的群組數(shù)為預(yù)定 閾值以上的分類中的群組中所包含的晶圓數(shù)的最大值存儲(chǔ)在裝配可能數(shù)欄114g中，當(dāng)通 過(guò)步驟S16計(jì)算出的回歸直線的斜率值不是幾乎為“0”(0士預(yù)定的閾值的范圍內(nèi))時(shí)，在 裝配可能數(shù)欄114g中存儲(chǔ)“1”。在裝置ID欄114h中存儲(chǔ)通過(guò)步驟SlO選擇的裝置ID。在產(chǎn)品類別ID欄114i中存儲(chǔ)通過(guò)步驟Sll選擇的產(chǎn)品類別ID。返回圖4，接下來(lái)，日志信息提取部121從日志信息表Illa中確認(rèn)在通過(guò)步驟SlO 選擇的生產(chǎn)裝置生產(chǎn)的產(chǎn)品中是否有在步驟S17中未生成生產(chǎn)指標(biāo)信息的產(chǎn)品(S18)，如 果有(在步驟S18中為是)就返回到步驟Sll進(jìn)行反復(fù)處理，如果沒(méi)有(在步驟S18中為 否)前進(jìn)到步驟S19。在步驟S19中，日志信息提取部121從日志信息表Illa中確認(rèn)是否有在步驟S17 中未生成生產(chǎn)指標(biāo)信息的生產(chǎn)裝置，如果有(在步驟S19中為是)就返回到步驟SlO重復(fù) 進(jìn)行處理，如果沒(méi)有(在步驟S19中為否)就結(jié)束處理。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，從日志信息中能夠容易地確定產(chǎn)品以及每個(gè)生產(chǎn)裝 置的生產(chǎn)指標(biāo)。因此，通過(guò)使用這樣的生產(chǎn)指標(biāo)就能夠容易地進(jìn)行每個(gè)產(chǎn)品的仿真。例如，當(dāng)某個(gè)產(chǎn)品以及某個(gè)生產(chǎn)裝置的回歸直線為y = ax+b時(shí)，通過(guò)將每一個(gè)批 次的晶圓數(shù)代入到X中，能夠計(jì)算出將該產(chǎn)品中的該生產(chǎn)裝置的每一個(gè)批次的周期作為y 的值，通過(guò)確定在生產(chǎn)某產(chǎn)品的生產(chǎn)線中配置的生產(chǎn)裝置，能夠容易地計(jì)算出全體產(chǎn)品的 周期。圖10是本發(fā)明的第二實(shí)施方式的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置200的概要圖。如圖所 示，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置200具備存儲(chǔ)部210、控制部220、輸入部130、輸出部140以及通 信部150。存儲(chǔ)部210具備日志信息存儲(chǔ)區(qū)域111、周期信息存儲(chǔ)區(qū)域112、線性回歸信息存 儲(chǔ)區(qū)域113以及生產(chǎn)指標(biāo)信息存儲(chǔ)區(qū)域214，與第一實(shí)施方式相比，生產(chǎn)指標(biāo)信息存儲(chǔ)區(qū)域 214不同，因此下面對(duì)生產(chǎn)指標(biāo)信息存儲(chǔ)區(qū)域214進(jìn)行說(shuō)明。在生產(chǎn)指標(biāo)信息存儲(chǔ)區(qū)域214中存儲(chǔ)表示產(chǎn)品類別以及每個(gè)生產(chǎn)裝置的生產(chǎn)指 標(biāo)信息。例如，在本實(shí)施方式中存儲(chǔ)如圖11 (生產(chǎn)指標(biāo)信息表214a的概要圖)所示的生產(chǎn) 指標(biāo)信息表214a。生產(chǎn)指標(biāo)信息表214a具有步驟欄214b、處理欄214c、比率欄214d、類型欄214j、 a (斜率)欄214e、b (截距)欄214f、裝配可能數(shù)欄214g、裝置ID欄214h以及產(chǎn)品類別ID 欄214i，與第一實(shí)施方式中的生產(chǎn)指標(biāo)信息表114a相比，不同點(diǎn)在于追加了類型欄214j， 因此，下面對(duì)類型欄214j進(jìn)行說(shuō)明。在類型欄214j中存儲(chǔ)用于確定在裝置ID欄214h中所確定的生產(chǎn)裝置對(duì)處理對(duì) 象進(jìn)行處理的類型的信息。
在此，在本實(shí)施方式中存儲(chǔ)如下三種類型中的某一個(gè)作為確定進(jìn)行處理的類型的 信息，這三種類型是生產(chǎn)裝置通過(guò)一個(gè)處理過(guò)程(process)對(duì)一個(gè)處理對(duì)象進(jìn)行處理的 “單處理過(guò)程”類型；生產(chǎn)裝置通過(guò)多個(gè)處理過(guò)程對(duì)一個(gè)處理對(duì)象進(jìn)行處理(生產(chǎn)裝置對(duì)一 個(gè)處理對(duì)象由多個(gè)處理過(guò)程進(jìn)行并行處理)的“多處理過(guò)程”類型；以及生產(chǎn)裝置對(duì)多個(gè)處 理對(duì)象同時(shí)進(jìn)行處理的“批處理”類型。返回到圖10，控制部220具備日志信息提取部121、周期信息生成部122、線性回歸 信息生成部123以及生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部224，與第一實(shí)施方式相比，在生產(chǎn)指標(biāo)信息生成 部224中的處理不同，因此，下面對(duì)與在生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部224中的處理關(guān)聯(lián)的事項(xiàng)進(jìn)行 說(shuō)明。本實(shí)施方式中的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部224除生成與第一實(shí)施方式同樣的生產(chǎn)指 標(biāo)信息外，還對(duì)在各生產(chǎn)裝置中的處理類型進(jìn)行分類，并且將該處理類型追加到生產(chǎn)指標(biāo) 信息中。例如，在日志信息提取部121從日志信息表Illa中提取出的與特定的產(chǎn)品以及 特定的生產(chǎn)裝置對(duì)應(yīng)的日志信息中，當(dāng)如圖12(生產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面260的概要圖)所示 的生產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面260那樣同時(shí)(特定的狹窄的時(shí)間范圍)輸出多個(gè)晶圓時(shí)，在周期 信息生成部122中所生成的周期信息，如圖13所示的周期信息輸出畫(huà)面262那樣，根據(jù)群 組內(nèi)的晶圓數(shù)所進(jìn)行分類的晶圓的周期，與群組內(nèi)的晶圓數(shù)無(wú)關(guān)而幾乎集中于一定的周期 中。在這種情況下，通過(guò)線性回歸信息生成部123計(jì)算出的回歸直線如圖13所示，幾 乎成為與X軸平行的直線(斜率的值為“0” 士預(yù)定的閾值范圍內(nèi))。當(dāng)計(jì)算出這樣的回歸直線時(shí)，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部224將“批處理”的字符串存儲(chǔ) 到生產(chǎn)指標(biāo)信息表214a的類型欄214j中、將“0”存儲(chǔ)到a(斜率)欄214e中、將回歸直線 的y截距的值存儲(chǔ)到b (截距)欄214f中、以及將在通過(guò)周期信息生成部122所生成的周 期信息中，當(dāng)根據(jù)群組中包含的晶圓數(shù)進(jìn)行分類時(shí)，分類中包含的晶圓所屬的群組的個(gè)數(shù) 為預(yù)定的閾值以上的分類中的、群組中所包含的晶圓數(shù)的最大值存儲(chǔ)到裝配可能數(shù)欄214g 中。另外，在日志信息提取部121從日志信息表Illa中提取出的與特定的產(chǎn)品以及特 定的生產(chǎn)裝置對(duì)應(yīng)的日志信息中，如圖14(生產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面360的概要圖)所示的生 產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面360那樣，當(dāng)周期性地連續(xù)地輸出多個(gè)晶圓時(shí)，在周期信息生成部122中 生成的周期信息就成為如圖15所示的周期信息輸出畫(huà)面362那樣。在這種情況下，通過(guò)線性回歸信息生成部123計(jì)算出的回歸直線，如圖15所示，斜 率的值變得比0大，另外，y截距的值變大而超過(guò)“0” +預(yù)定的閾值的范圍。當(dāng)計(jì)算出了這樣的回歸直線時(shí)，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部224將“多處理過(guò)程”的字符 串存儲(chǔ)到生產(chǎn)指標(biāo)信息表214a的類型欄214j中、將回歸直線的斜率的值存儲(chǔ)到a(斜率) 欄214e中、將回歸直線的y截距的值存儲(chǔ)到b (截距)欄214f中、將“ 1”存儲(chǔ)到裝配可能 數(shù)欄214g中。另外，在日志信息提取部121從日志信息表Illa中提取出與特定的產(chǎn)品以及特定 的生產(chǎn)裝置對(duì)應(yīng)的日志信息中，當(dāng)如圖16 (生產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面460的概要圖)所示的生 產(chǎn)量信息輸出畫(huà)面460那樣一個(gè)個(gè)連續(xù)地輸出晶圓時(shí)，在周期信息生成部122中，生成的周期信息就成為如圖17所示的周期信息輸出畫(huà)面462那樣。在這種情況下，通過(guò)線性回歸信息生成部123計(jì)算出的回歸直線如圖15所示那 樣，斜率的值變得比0大，另外，y截距的值幾乎為“0” ( “0” +預(yù)定閾值的范圍內(nèi))。當(dāng)計(jì)算出了這樣的回歸直線時(shí)，生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部224將“單一”的字符串存儲(chǔ) 到生產(chǎn)指標(biāo)信息表214a的類型欄214j中、將回歸直線的斜率的值存儲(chǔ)到a (斜率)欄214e 中、將“0”的值存儲(chǔ)到b (截距)欄214f中、將“1”存儲(chǔ)到裝配可能數(shù)欄214g中。根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式，若設(shè)生產(chǎn)指標(biāo)信息表214a的a (斜率)欄214e中存 儲(chǔ)的值為a、b (截距)欄214f中存儲(chǔ)的值為b、裝配可能數(shù)欄214g中存儲(chǔ)的值為c，則在生 產(chǎn)產(chǎn)品時(shí)的仿真中，關(guān)于由存儲(chǔ)在生產(chǎn)指標(biāo)信息表214a的類型欄214j中的“單一”字符串 的記錄的裝置ID欄214h所確定的生產(chǎn)裝置，能夠根據(jù)下面的公式(1)計(jì)算出每個(gè)批次的 周期CT1(rt。CTlot = α XLotSizel... (1)在此，LotSize是批次中包含的晶圓的個(gè)數(shù)。另外，關(guān)于由在生產(chǎn)指標(biāo)信息表214a的類型欄214j中存儲(chǔ)的“批處理”字符串的 記錄的裝置ID欄214h所確定的生產(chǎn)裝置，能夠根據(jù)下面的公式(2)計(jì)算出每個(gè)批次的周 期 CTlot。
T ν ^t CTlol = Roundupi ° xb(2)
c在此，RoundUp表示小數(shù)點(diǎn)以后上舍入。另外，關(guān)于由在生產(chǎn)指標(biāo)信息表214a的類型欄214j中存儲(chǔ)的“多處理過(guò)程”字符 串的記錄的裝置ID欄214h所確定的生產(chǎn)裝置，能夠根據(jù)下面的公式(3)計(jì)算出每個(gè)批次 的周期CTltrt。CTlot = CTwafer+ (LotSize-I) X α ... (3)在此，CTwafCT是將χ = 1的值代入到回歸直線1 = ax+b中時(shí)而得的y的值。另外，理想的是生產(chǎn)指標(biāo)信息生成部224，首先判斷生產(chǎn)裝置是否為批處理類 型，接下來(lái)，判斷是否為多處理過(guò)程類型，最后判斷是否為單一類型。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式，當(dāng)進(jìn)行生產(chǎn)裝置的仿真時(shí)，能夠容易地取 得根據(jù)生產(chǎn)裝置的處理類型表示生產(chǎn)能力的生產(chǎn)指標(biāo)。在上述的實(shí)施方式中，做成了生成生產(chǎn)指標(biāo)信息表114a、214a，但是，例如即使只 將如圖6所示的周期信息輸出畫(huà)面161或者如圖8所示的線性回歸信息輸出畫(huà)面162輸出 到輸出部140，也能夠做成掌握生產(chǎn)能力的生產(chǎn)指標(biāo)，因此也可以通過(guò)生成如圖6所示的周 期信息輸出畫(huà)面161以及如圖8所示的線性回歸信息輸出畫(huà)面162的至少一方來(lái)結(jié)束處理。另外，關(guān)于在存儲(chǔ)部110、210的日志信息存儲(chǔ)區(qū)域111中所存儲(chǔ)的信息，也可以經(jīng) 由網(wǎng)絡(luò)等從MES (Manufacturing Execution System)中取得，另外也可以通過(guò)輸入部130 從操作員接受輸入。
權(quán)利要求
一種生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置，其特征在于，具備存儲(chǔ)部和控制部，所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)用于確定生產(chǎn)裝置、該生產(chǎn)裝置所處理的處理對(duì)象、對(duì)該處理對(duì)象進(jìn)行處理的開(kāi)始時(shí)間以及結(jié)束該處理對(duì)象的處理的結(jié)束時(shí)間的日志信息，所述控制部進(jìn)行如下處理根據(jù)所述日志信息生成所述結(jié)束時(shí)間處于預(yù)定的間隔中的所述處理對(duì)象的群組；將所述群組中包含的所述處理對(duì)象分類為對(duì)應(yīng)于所述群組中包含的所述處理對(duì)象的個(gè)數(shù)的分類；針對(duì)每個(gè)所述分類，生成用于確定所述分類中包含的周期的周期信息；以及將所述周期信息轉(zhuǎn)換成預(yù)定的形式的顯示形式后輸出到輸出部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置，其特征在于，所述控制部，根據(jù)所述周期信息，在將所述周期設(shè)為一個(gè)軸、將與所述分類對(duì)應(yīng)的個(gè)數(shù) 設(shè)為另一個(gè)軸的坐標(biāo)系中，針對(duì)每個(gè)所述分類，將所述分類中包含的處理對(duì)象的周期中的、 根據(jù)所預(yù)定的基準(zhǔn)所選擇的周期作為基準(zhǔn)點(diǎn)，求出該基準(zhǔn)點(diǎn)的回歸直線，將該回歸直線的 斜率以及截距作為所述生產(chǎn)裝置的生產(chǎn)指標(biāo)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置，其特征在于，所述控制部，當(dāng)所述回歸直線的斜率位于從0開(kāi)始到所預(yù)定的閾值的范圍內(nèi)時(shí)，使所 述生產(chǎn)指標(biāo)信息中包含用于確定所述生產(chǎn)裝置同時(shí)處理多個(gè)處理對(duì)象的信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或者3所述的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置，其特征在于，所述控制部，當(dāng)所述回歸直線的斜率比所預(yù)定的閾值大，并且所述回歸直線的截距位 于從0開(kāi)始到所預(yù)定的閾值的范圍內(nèi)時(shí)，使所述生產(chǎn)指標(biāo)信息中包含用于確定所述生產(chǎn)裝 置由一個(gè)處理過(guò)程處理一個(gè)處理對(duì)象的信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求2 4的任意一項(xiàng)所述的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置，其特征在于，所述控制部，當(dāng)所述回歸直線的斜率比所預(yù)定的閾值大并且所述回歸直線的截距比所 預(yù)定的閾值大時(shí)，使所述生產(chǎn)指標(biāo)信息中包含用于確定所述生產(chǎn)裝置由多個(gè)處理過(guò)程處理 一個(gè)處理對(duì)象的信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求2 5的任意一項(xiàng)所述的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置，其特征在于，所述控制部，在將周期設(shè)為一個(gè)軸、將與該周期對(duì)應(yīng)的所述處理對(duì)象的個(gè)數(shù)設(shè)為另一個(gè)軸的頻數(shù)分布圖中，將相對(duì)于個(gè)數(shù)最多的周期為所預(yù)定的比率、并且比個(gè)數(shù)最多的周期 小的周期作為所述基準(zhǔn)點(diǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2 5的任意一項(xiàng)所述的生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置，其特征在于，所述控制部，選擇所述分類中包含的處理對(duì)象的周期的最小值作為基準(zhǔn)點(diǎn)。
8. 一種程序，其使計(jì)算機(jī)作為存儲(chǔ)單元以及控制單元進(jìn)行工作，在該存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ) 用于確定生產(chǎn)裝置、該生產(chǎn)裝置所處理的處理對(duì)象、對(duì)該處理對(duì)象進(jìn)行處理的開(kāi)始時(shí)間以 及結(jié)束該處理對(duì)象的處理的結(jié)束時(shí)間的日志信息，該程序的特征在于，使所述控制單元進(jìn)行如下處理根據(jù)所述日志信息生成所述結(jié)束時(shí)間處于預(yù)定的間隔中的所述處理對(duì)象的群組；將所述群組中包含的所述處理對(duì)象分類為對(duì)應(yīng)于所述群組中包含的所述處理對(duì)象的 個(gè)數(shù)的分類；針對(duì)每個(gè)所述分類，生成用于確定所述分類中包含的周期的周期信息；以及將所述周期信息轉(zhuǎn)換成預(yù)定的形式的顯示形式后輸出到輸出部。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的程序，其特征在于， 使所述控制單元進(jìn)行下述動(dòng)作根據(jù)所述周期信息，在將所述周期設(shè)為一個(gè)軸、與所述分類對(duì)應(yīng)的個(gè)數(shù)設(shè)為另一個(gè)軸 的坐標(biāo)系中，針對(duì)每個(gè)所述分類，將所述分類中包含的處理對(duì)象的周期中的根據(jù)預(yù)定的基 準(zhǔn)所選擇的周期作為基準(zhǔn)點(diǎn)，求出該基準(zhǔn)點(diǎn)的回歸直線，將該回歸直線的斜率以及截距作 為所述生產(chǎn)裝置的生產(chǎn)指標(biāo)信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的程序，其特征在于， 使所述控制單元進(jìn)行下述動(dòng)作當(dāng)所述回歸直線的斜率位于從0開(kāi)始到預(yù)定的閾值的范圍內(nèi)時(shí)，使所述生產(chǎn)指標(biāo)信息 中包含用于確定所述生產(chǎn)裝置同時(shí)處理多個(gè)處理對(duì)象的信息。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或者10所述的程序，其特征在于， 使所述控制單元進(jìn)行下述動(dòng)作當(dāng)所述回歸直線的斜率比所預(yù)定的閾值大，并且所述回歸直線的截距位于從0開(kāi)始到 預(yù)定的閾值的范圍內(nèi)時(shí)，使所述生產(chǎn)指標(biāo)信息中包含用于確定所述生產(chǎn)裝置由一個(gè)處理過(guò) 程處理一個(gè)處理對(duì)象的信息。
12.根據(jù)權(quán)利要求9 11的任意一項(xiàng)所述的程序，其特征在于， 使所述控制單元進(jìn)行下述動(dòng)作當(dāng)所述回歸直線的斜率比所預(yù)定的閾值大，并且所述回歸直線的截距比所預(yù)定的閾值 大時(shí)，使所述生產(chǎn)指標(biāo)信息中包含用于確定所述生產(chǎn)裝置由多個(gè)處理過(guò)程來(lái)處理一個(gè)處理 對(duì)象的信息。
13.根據(jù)權(quán)利要求9 12的任意一項(xiàng)所述的程序，其特征在于， 使所述控制單元進(jìn)行下述動(dòng)作在將周期設(shè)為一個(gè)軸、與該周期對(duì)應(yīng)的所述處理對(duì)象的個(gè)數(shù)設(shè)為另一個(gè)軸的頻數(shù)分布 圖中，將相對(duì)于個(gè)數(shù)最多的周期為所預(yù)定的比率、并且比個(gè)數(shù)最多的周期小的周期作為所 述基準(zhǔn)點(diǎn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求9 12的任意一項(xiàng)所述的程序，其特征在于， 使所述控制單元進(jìn)行下述動(dòng)作選擇所述分類中包含的處理對(duì)象的周期的最小值作為所述基準(zhǔn)點(diǎn)。
15.一種生產(chǎn)信息生成方法，其由生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置執(zhí)行，該生產(chǎn)指標(biāo)信息生成 裝置具備存儲(chǔ)部和控制部，所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)用于確定生產(chǎn)裝置、該生產(chǎn)裝置所處理的處理 對(duì)象、對(duì)該處理對(duì)象進(jìn)行處理的開(kāi)始時(shí)間以及結(jié)束該處理對(duì)象的處理的結(jié)束時(shí)間的日志信 息，該生產(chǎn)信息生成方法的特征在于，具有如下過(guò)程所述控制部根據(jù)所述日志信息進(jìn)行生成所述結(jié)束時(shí)間處于預(yù)定的間隔中的所述處理 對(duì)象的群組的處理的過(guò)程；所述控制部進(jìn)行將所述群組中包含的所述處理對(duì)象分類為對(duì)應(yīng)于所述群組中包含的 所述處理對(duì)象的個(gè)數(shù)的分類的處理的過(guò)程；所述控制部針對(duì)每個(gè)所述分類進(jìn)行生成用于確定在所述分類中包含的周期的周期信息的處理的過(guò)程；以及所述控制部進(jìn)行將所述周期信息轉(zhuǎn)換成所預(yù)定的形式的顯示形式后輸出到輸出部的 處理的過(guò)程。
全文摘要
本發(fā)明涉及生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置、程序以及生產(chǎn)信息生成方法，其目的是要做到能夠容易地取得用于確定生產(chǎn)裝置的能力的指標(biāo)。生產(chǎn)指標(biāo)信息生成裝置(100)的控制部(120)，根據(jù)生產(chǎn)裝置的日志信息來(lái)生成處理的結(jié)束時(shí)間處于所預(yù)定的間隔中的處理對(duì)象的群組，并將該群組中包含的處理對(duì)象分類為根據(jù)該群組中包含的處理對(duì)象個(gè)數(shù)的分類，針對(duì)每個(gè)該分類生成用于確定該分類中包含的周期的周期信息來(lái)確定生產(chǎn)裝置的生產(chǎn)能力。
文檔編號(hào)G06Q50/00GK101950378SQ20101022747
公開(kāi)日2011年1月19日 申請(qǐng)日期2010年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月10日
發(fā)明者拉斯洛·蒙諾什托里, 邦東·卡達(dá)爾, 野中洋一, 阿蒂拉·倫杰爾 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立制作所