專利名稱：半導(dǎo)體制造的派工管理系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及平導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一秤平導(dǎo)體制造的派工管理系 纟克及方法。
背景技術(shù)：
對于當(dāng)前半導(dǎo)體工廠中廣泛應(yīng)用的制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES),如國際商業(yè)機(jī) 器(1BM)公司的SIVIEW，提供的派工管理機(jī)制無法保證準(zhǔn)時(shí)交貨率，即利用此 派工管理機(jī)制實(shí)施的派工管理無法體現(xiàn)在制品交期、設(shè)備負(fù)荷、制程時(shí)間限 制以及在制品及設(shè)備的運(yùn)行狀況等因素。由于制造執(zhí)行系統(tǒng)缺乏有效的派工 管理機(jī)制，制程工程師在處理需考慮上述因素的批貨情況時(shí)必須以紙本記錄 等人工方式在設(shè)備機(jī)臺(tái)上指定制程程序編號(hào)且使用手動(dòng)模式處理，使得制造 程序拖延，違反廠區(qū)自動(dòng)化的趨勢。
如何提供一種可保證準(zhǔn)時(shí)交貨率的派工管理方法成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟 待解決的問題。
專利號(hào)為"ZL 200310103814. X"的中國專利中^是供了 一種半導(dǎo)體制程等 待時(shí)間限制下的派工控制方法，其實(shí)施于一具有輸入單元及運(yùn)算單元的電子 計(jì)算機(jī)及一運(yùn)送系統(tǒng)，用以決定多個(gè)晶圓產(chǎn)品中哪一種能送進(jìn)制造系統(tǒng)。應(yīng) 用該方法進(jìn)行派工控制的步驟包括首先，由該輸入單元接收每一種晶圓產(chǎn) 品的相對產(chǎn)量及等待時(shí)間限制。接著，由該計(jì)算單元計(jì)算每一晶圓產(chǎn)品的多 制造過程加工需求時(shí)間以及每一晶圓產(chǎn)品的總等待時(shí)間限制。由該計(jì)算單元 根據(jù)該加工需求時(shí)間以及總等待時(shí)間限制的比較結(jié)果，決定哪一種晶圓產(chǎn)品 可被送入該制造系統(tǒng)，當(dāng) 一 晶圓產(chǎn)品的多制造過程加上需求時(shí)間小于總等待 時(shí)間限制，批次晶圓可被送入制造系統(tǒng)中處理或者在既定的機(jī)臺(tái)中進(jìn)一步處 理該晶圓產(chǎn)品，再依據(jù)該派工結(jié)果，將該選定的晶圓嚴(yán)品運(yùn)送至該制造系統(tǒng)。
顯然，應(yīng)用該方法進(jìn)行派工控制時(shí)，僅通過制程等待時(shí)間限制保證準(zhǔn)時(shí) 交貨率，而無法根據(jù)在制品交期、設(shè)備負(fù)荷、制程時(shí)間限制以及在制品及設(shè) 備的運(yùn)行狀況等因素的任意組合靈活地實(shí)現(xiàn)派工控制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體制造的派工管理方法及系統(tǒng)，可根據(jù)在制品交 期、設(shè)備負(fù)荷、制程時(shí)間限制以及在制品及設(shè)備的運(yùn)行狀況等因素的任意組合靈活地實(shí)現(xiàn)派工控制。
本發(fā)明提供的一種半導(dǎo)體制造的派工管理方法，包括
根據(jù)設(shè)備和在制品的基本信息，以一派工處理羊元計(jì)算所迷設(shè)備和在制
品的擴(kuò)展信息，并將所述擴(kuò)展信息存儲(chǔ)至信息管理單元；
以所述派工處理單元，由信息管理單元讀取設(shè)備和在制品的基本信息及 擴(kuò)展信息；并且，以所述派工處理單元，由規(guī)則管理單元讀取對應(yīng)所述基本 信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)；
利用所述派工處理單元根據(jù)所述信息管理單元提供的基本信息及擴(kuò)展信 息及所述規(guī)則管理單元提供的對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派 工基準(zhǔn)對所述設(shè)備和在制品進(jìn)行派工操作，并提供派工清單。
執(zhí)行所述派工操作包括利用所述擴(kuò)展單元計(jì)算設(shè)備及在制品的擴(kuò)展信息 以及利用所述重組單元將所述WIP按順序排列；執(zhí)行所述派工操作還包括利用
所述過濾單元保留能在當(dāng)前設(shè)備上運(yùn)行的WIP;執(zhí)行所述派工操作還包括利用 所述分組單元根據(jù)將所述WIP分為真值組和假值組;執(zhí)行所述派工操作還包括 利用所述批處理單元對瓶頸設(shè)備前的WIP進(jìn)行批處理;執(zhí)行所述派工操作還包 括利用所述修飾單元隱藏運(yùn)算過程中產(chǎn)生的中間數(shù)據(jù);所述派工管理方法還包 括利用監(jiān)控單元監(jiān)控所述派工操作的執(zhí)行情況。
利用所述監(jiān)控單元對所述派工操作的執(zhí)行情況進(jìn)行監(jiān)控的方法包括 利用記錄單元獲得設(shè)備加工在制品后第 一派工清單；
利用激活判別單元確定所述第 一派工清單內(nèi)被激活的在制品數(shù)/在制品
批數(shù)；
利用派工評(píng)估單元確定所述第一派工清單內(nèi)存在#:激活的在制品時(shí)，則
利用標(biāo)準(zhǔn)判別單元檢查被激活的在制品是否滿足派工基準(zhǔn)，若滿足派工基準(zhǔn)，
則判定為派工成功；若不滿足派工基準(zhǔn)，則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工
清單，并利用激活判別單元確定所述第二派工清單內(nèi)被激活的在制品數(shù)/在制
品批數(shù)，當(dāng)所述被激活的在制品滿足派工基準(zhǔn)，則判定為派工成功；若不滿 足派工基準(zhǔn)，則判定為派工失敗；
利用派工評(píng)估單元確定所述第一派工清單內(nèi)不存在被激活的在制品時(shí)， 則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工清單，若被禁止的在制品數(shù)/在制品批數(shù)為 零，則判定所述派工無效；若被禁止的在制品數(shù)/在制品批數(shù)不為零，則判定
所述派工失敗。所述派工無效包括對生產(chǎn)線內(nèi)非瓶頸設(shè)備進(jìn)行派工操作。所 述被禁止的在制品包含不滿足至少 一個(gè)派工標(biāo)準(zhǔn)的在制品。 本發(fā)明提供的一種半導(dǎo)體制造的派工管理系統(tǒng)，包括
信息管理單元，用以存儲(chǔ)所述設(shè)備及在制品的基本信息及擴(kuò)展信息； 規(guī)則管理單元，用以存放并解析對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo) 準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)；
派工處理單元，用以根據(jù)所述信息管理單元提供的基本信息及擴(kuò)展信息 及所述規(guī)則管理單元提供的對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工 基準(zhǔn)對確定設(shè)備的在制品進(jìn)行派工操作，并提供派工清單。
所述派工處理單元包括擴(kuò)展單元和重組單元；所述擴(kuò)展單元用以計(jì)算設(shè) 備及在制品的擴(kuò)展信息；所述重組單元用以將所述WIP按順序排列；所述派工 處理單元還包括過濾單元，所述過濾單元用以保留能在當(dāng)前設(shè)備上運(yùn)行的 WIP;所述派工處理單元還包括分組單元，所述分組單元用以將所述WIP分為 真值組和假值組；所述派工處理單元還包括批處理單元，所述批處理單元用以
對瓶頸設(shè)備前的WIP進(jìn)行批處理；所述派工處理單元還包括利修飾單元，所述 修飾單元用以隱藏運(yùn)算過程中產(chǎn)生的中間數(shù)據(jù);所述派工管理系統(tǒng)還包括監(jiān)控 單元。
所述監(jiān)控單元包括
記錄單元，用以獲得設(shè)備加工在制品的派工清單，包括第一派工清單及 第二派工清單；
激活判別單元，用以確定所述派工清單內(nèi)的在制品處于被激活態(tài)或非激 活態(tài)；
標(biāo)準(zhǔn)判別單元，用以確定派工清單內(nèi)處于被激活態(tài)的在制品滿足或不滿
足派工標(biāo)準(zhǔn)；
派工評(píng)估單元，根據(jù)所述第一派工清單，確定派工清單內(nèi)存在被激活的在
制品，且滿足派工標(biāo)準(zhǔn)，判定為派工成功；#_據(jù)所述第一派工清單，確定派 工清單內(nèi)存在被激活的在制品，但不滿足派工標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則獲得設(shè)備加工在制 品前第二派工清單；根據(jù)所述第二派工清單，所述被激活的在制品滿足派工
標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則判定為派工成功；根據(jù)所述第二派工清單，所述被激活的在制品 不滿足派工標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則判定為派工失敗；若派工清單內(nèi)不存在被激活的在制
品，則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工清單；根據(jù)第二派工清單，確定被禁
止的在制品數(shù)為零時(shí)，則判定所述派工無效；根據(jù)第二派工清單，確定被禁 止的在制品數(shù)不為零時(shí)，則判定所述派工失敗。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)
1. 通過利用所述設(shè)備及在制品的基本信息計(jì)算得到所述設(shè)備及在制品 的擴(kuò)展信息，進(jìn)而根據(jù)所述基本信息及擴(kuò)展信息實(shí)現(xiàn)派工操作，可根據(jù)在制 品交期、設(shè)備負(fù)荷、制程時(shí)間限制以及在制品及設(shè)備的運(yùn)行狀況等因素的任 意組合靈活地實(shí)現(xiàn)派工控制；
2. 通過在所述派工操作中利用分組單元執(zhí)行分組操作，可根據(jù)對應(yīng)的派 工要素及派工標(biāo)準(zhǔn)對所述在制品執(zhí)行不同的派工操作；
3. 通過在派工管理系統(tǒng)中增加監(jiān)控單元，可對設(shè)備和操作員派工操作的 實(shí)際執(zhí)行情況進(jìn)行及時(shí)評(píng)估。


圖1為說明本發(fā)明實(shí)施例的派工管理方法流程示意圖； 圖2為說明本發(fā)明實(shí)施例的派工監(jiān)控流程示意圖； 圖3為說明本發(fā)明實(shí)施例的派工管理系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
盡管下面將參照附圖對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的 優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)當(dāng)理解本領(lǐng)域^支術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明而仍然實(shí) 現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列的描述應(yīng)當(dāng)被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員 的廣泛教導(dǎo)，而并不作為對本發(fā)明的限制。
為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述 公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn) 為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定 目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí) 施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對于具 有本發(fā)明優(yōu)勢的本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下列說明 和權(quán)利要求書本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常 簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí) 施例的目的。
應(yīng)用本發(fā)明沖是供的方法進(jìn)行派工管理的步驟包括根據(jù)設(shè)備和在制品的
基本信息，以一派工處理單元計(jì)算所迷設(shè)備和在制品的擴(kuò)展信息，并將所述
擴(kuò)展信息存儲(chǔ)至信息管理單元；以所述派工處理單元，由信息管理單元讀取 設(shè)備和在制品的基本信息及擴(kuò)展信息；并且，以所述派工處理單元，由規(guī)則 管理單元讀取對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)；利用所 述派工處理單元根據(jù)所述信息管理單元提供的基本信息及擴(kuò)展信息及所述規(guī) 則管理單元提供的對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)對所 述設(shè)備和在制品進(jìn)行派工操作，并提供派工清單。
圖1為"^兌明本發(fā)明實(shí)施例的派工管理方法流程示意圖，如圖1所示，應(yīng) 用本發(fā)明提供的方法進(jìn)行派工管理的具體步驟包括
首先，根據(jù)設(shè)備和在制品的基本信息，以一派工處理單元計(jì)算所述設(shè)備 和在制品的擴(kuò)展信息，并將所述擴(kuò)展信息存儲(chǔ)至信息管理單元。
所述基本信息包含設(shè)備參數(shù)、在制品需求日期、流程參數(shù)、WIP優(yōu)先級(jí)及 等待時(shí)間等；所述擴(kuò)展信息包括根據(jù)所述基本信息數(shù)據(jù)庫內(nèi)基本信息可直接 計(jì)算得出的選擇性的所述設(shè)備及WIP的信息要素，如后續(xù)設(shè)備的占用情況及所 述設(shè)備及在制品的運(yùn)行狀況等，以及經(jīng)由所述基本信息可直接計(jì)算得出的確 定的所述設(shè)備及WIP的信息要素，如WIP分布狀況、設(shè)備的占用情況、在制品
出貨緊急程度及制程時(shí)間限制等。
所述基本信息可由制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)中導(dǎo)出的數(shù)據(jù)庫中獲得。所述設(shè) 備參數(shù)包括設(shè)備的加工能力及負(fù)載狀況等；所述在制品需求日期包括在制品 的交期；所述流程參數(shù)包括在制品的原料供應(yīng)商、操作設(shè)備、經(jīng)過的工序、 生產(chǎn)時(shí)間/日期和關(guān)鍵的工藝參數(shù)以及在制品的位置順序、加工時(shí)間及各類在 制品的順序加工時(shí)間等。
所述設(shè)備及在制品的運(yùn)行狀況包括檢測統(tǒng)計(jì)、抽樣統(tǒng)計(jì)及制程轉(zhuǎn)換統(tǒng)計(jì) 等。所述檢測統(tǒng)計(jì)用以提供已經(jīng)過檢測的在制品信息，如在一定時(shí)間內(nèi)，有多 少在制品已經(jīng)經(jīng)過檢測等；所述抽樣統(tǒng)計(jì)用以判斷所述在制品已作為樣品進(jìn) 入檢測工序或未作為樣品進(jìn)入檢測工序；所述制程轉(zhuǎn)換統(tǒng)計(jì)用以提供運(yùn)行過 程中需進(jìn)行制程轉(zhuǎn)換的在制品信息。
所述WIP分布狀況包括倉庫以及前工序、中工序、后工序線上的每種在
制品數(shù)量，WIP的剩余凈加工時(shí)間以及WIP在待加工工序設(shè)備上所需的加工時(shí) 間等，此加工時(shí)間是實(shí)際的加工時(shí)間、裝載時(shí)間、卸載時(shí)間與工序變化或在 制品品秤變化引起的準(zhǔn)備時(shí)間之和。此加工時(shí)間與在制品的品種及加工順序 相關(guān)。
作為本發(fā)明的實(shí)施例，所述設(shè)備的占用情況即設(shè)備資源占用程度根據(jù)待 加工WIP總量與選定設(shè)備每小時(shí)出貨量的比值確定。顯然，應(yīng)用此算法可以根據(jù)實(shí)際需要獲得任意一道或者多道工序的設(shè)備資源占用程度，可對實(shí)際派 工操作提供預(yù)留時(shí)間，便于優(yōu)化生產(chǎn)安排。
所述在制品出貨緊急程度根據(jù)實(shí)際剩余時(shí)間和理論剩余時(shí)間的比值確 定。此比值為正值時(shí)，表示可能延期，且此比值越大，緊急程度越高，即使 是延期的在制品，也可以按照交期的緊急程度計(jì)算優(yōu)先級(jí)高低。所述實(shí)際剩余時(shí)間為當(dāng)前時(shí)間與在制品需求日期或交期的差值；所述理論剩余時(shí)間為在 制品生產(chǎn)周期與剩余工序比率的乘積；所述在制品生產(chǎn)周期為在制品需求曰 期或交期與投產(chǎn)日期的差值；所述剩余工序比率為剩下工序數(shù)量與總工序數(shù) 量的比值。
所述制程時(shí)間限制根據(jù)在制品要求及工藝條件確定。
然后，以所述派工處理單元，由信息管理單元讀取設(shè)備和在制品的基本 信息及擴(kuò)展信息；并且，以所述派工處理單元，由規(guī)則管理單元讀取對應(yīng)所 述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)。
所述派工標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)工藝及生產(chǎn)要求確定。所述派工標(biāo)準(zhǔn)包含所述設(shè)備及 在制品的各信息要素對應(yīng)的至少一個(gè)生產(chǎn)要求及派工方法。所述信息要素代 表所述設(shè)備及在制品的所述基本信息及擴(kuò)展信息中的一種。所述派工基準(zhǔn)包 含對WIP執(zhí)行派工操作需遵守的規(guī)則，如對派工清單內(nèi)前三位的WIP進(jìn)行生 產(chǎn)操作等。
所述派工要素可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要對所述基本信息及擴(kuò)展信息中包含的各項(xiàng)信息要素進(jìn)行靈活選擇后確定。所述信息要素包括但不限于設(shè)備參數(shù)、 在制品需求日期、流程參凄史、WIP分布狀況、后續(xù)i殳備的占用情況、在制品出 貨緊急程度、制程時(shí)間限制、WIP優(yōu)先級(jí)等信息中的一種或其組合。
上述各項(xiàng)信息在所述派工要素中具有不同權(quán)重表示，所述各項(xiàng)基本信息 及擴(kuò)展信息在所述派工要素中的權(quán)重根據(jù)生產(chǎn)要求確定。
作為本發(fā)明的實(shí)施例，可選用設(shè)備占用情況，出貨緊急程度，WIP優(yōu)先級(jí) 三項(xiàng)信息構(gòu)成所述派工要素，所謂權(quán)重可為這三項(xiàng)信息的順序，即若這三項(xiàng) 信息的重組為設(shè)備占用情況，出貨緊急程度，WIP優(yōu)先級(jí)，則設(shè)備占用情況的
權(quán)重最大，首先根據(jù)設(shè)備占用情況重組，繼而順序根據(jù)出貨緊急程度和WIP
優(yōu)先級(jí)重組。
所謂權(quán)重還可為這三項(xiàng)信息在重組參數(shù)中各自占據(jù)的比例因數(shù)，即作為
示例，若選定設(shè)備占用情況的權(quán)重最大，則可將設(shè)備占用情況(Tl)的權(quán)重 設(shè)為5，出貨緊急程度(T2 )和WIP優(yōu)先級(jí)(T3 )的權(quán)重分別設(shè)為3和1，則 對于重組參數(shù)量化值為5T1+3T2+T3，所述重組可按此重組參數(shù)量化值大小綜 合重組。
顯然，所述權(quán)重的選取及計(jì)算方法以及所述派工要素、派工標(biāo)準(zhǔn)及派工 基準(zhǔn)為便于本發(fā)明的具體實(shí)施而做出的特殊選擇，不應(yīng)作為對本發(fā)明方法實(shí) 施方式的限定，本領(lǐng)域技術(shù)人員對此作出的任意合理的修改及等同變換不影 響本發(fā)明方法的實(shí)施，且應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
最后，利用所述派工處理單元根據(jù)所述信息管理單元提供的基本信息及
擴(kuò)展信息及所述規(guī)則管理單元提供的對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo) 準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)對所述設(shè)備和在制品進(jìn)行派工操作，并提供派工清單。
所述派工操作包括對在制品根據(jù)所述派工要素中包含的所述不同信息要 素的順序或重組參數(shù)量化值順序排列。
執(zhí)行所述派工操作包括利用所述擴(kuò)展單元計(jì)算設(shè)備及在制品的擴(kuò)展信 息，以增加實(shí)現(xiàn)派工操作的數(shù)據(jù)支持；以及，利用所述重組單元將所述WIP按 所述派工要素中包含的所述不同信息的順序或重組參數(shù)量化值大小順序排列。
執(zhí)行所述派工操作還可包括利用所述過濾單元在對WIP進(jìn)行重組操作之 前將不能在當(dāng)前設(shè)備上運(yùn)行的WIP過濾掉，只保留能在當(dāng)前機(jī)器上運(yùn)行的WIP， 以優(yōu)化生產(chǎn)及減少派工占用時(shí)間。
通常對于確定在制品可在復(fù)數(shù)個(gè)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)操作。生產(chǎn)實(shí)踐中，根 據(jù)相同在制品在不同設(shè)備上的參數(shù)統(tǒng)計(jì)，可在所述復(fù)數(shù)個(gè)設(shè)備中選擇良率統(tǒng) 計(jì)較佳的設(shè)備進(jìn)行所述在制品的生產(chǎn)操作；同理，在確定設(shè)備上可對復(fù)數(shù)種 在制品進(jìn)行生產(chǎn)操作，根據(jù)生產(chǎn)實(shí)踐中所述設(shè)備對不同在制品的參數(shù)統(tǒng)計(jì)，
可在所述設(shè)備上選擇良率統(tǒng)計(jì)較佳的在制品進(jìn)行生產(chǎn)操作。即對任意確定設(shè) 備，均可確定可在所述設(shè)備上運(yùn)行的WIP。確定可在所述設(shè)備上運(yùn)行的WIP的
依據(jù)為經(jīng)由MES獲得的生產(chǎn)數(shù)據(jù)。
執(zhí)行所述派工操作還可包括利用所述分組單元根據(jù)所述在制品滿足或不
滿足選定信息要素及相應(yīng)派工標(biāo)準(zhǔn)將所述WIP分為真值組和假值組；對所述 真值組和假值組可分別根據(jù)不同的派工要素及相應(yīng)派工標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行所述派工操 作。在所述派工清單中，對所述真值組內(nèi)在制品的重組位于對所述假值組內(nèi) 在制品之前。
通常，選擇根據(jù)所述在制品滿足或不滿足選定所述擴(kuò)展信息中包含的信 息要素及相應(yīng)派工標(biāo)準(zhǔn)將所述WIP分為真值組和假值組，對所述真值組和假 值組分別根據(jù)不同的派工要素及相應(yīng)派工標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行所述派工操作。
作為示例，選擇所述在制品滿足或不滿足所述設(shè)備及在制品的檢測統(tǒng)計(jì) 及相應(yīng)派工標(biāo)準(zhǔn)將所述WIP分組。此時(shí)若所述在制品已經(jīng)過檢觀'],則執(zhí)行制程 時(shí)間要求優(yōu)先及出貨緊急程度優(yōu)先的派工順序；如果所述在制品未經(jīng)過檢測， 就執(zhí)行出貨緊急程度優(yōu)先，設(shè)備占用情況優(yōu)先的派工順序。
所述派工操作可包含分別對所述真值組和假值組進(jìn)行的派工操作。對所 述真值組內(nèi)WIP進(jìn)行派工操作用以提供實(shí)際派工清單；對所述假值組內(nèi)WIP 進(jìn)行派工操作可用以提供預(yù)期后續(xù)派工清單，為實(shí)際生產(chǎn)安排提供預(yù)計(jì)操作。
執(zhí)行所述派工操作還可包括利用所述批處理單元將瓶頸設(shè)備前的WIP進(jìn) 行批處理以提升效率；執(zhí)行所述派工操作還可包括利用所述修飾單元隱藏運(yùn) 算過程中產(chǎn)生的中間數(shù)據(jù)，以提供筒潔化的操作界面。
實(shí)際生產(chǎn)中，對所述派工操作的執(zhí)行情況可進(jìn)行監(jiān)控。所述派工操作的 執(zhí)行情況包括設(shè)備及/或操作人員的執(zhí)行情況。
圖2為說明本發(fā)明實(shí)施例的派工監(jiān)控流程示意圖，如圖2所示，對所述 派工操作的執(zhí)行情況進(jìn)行監(jiān)控的具體步驟包括
首先，利用記錄單元獲得設(shè)備加工在制品后第 一派工清單。
隨后，利用激活判別單元確定所述第 一派工清單內(nèi)#:激活的在制品數(shù)/在 制品批數(shù)。所述被激活的在制品為已利用所述設(shè)備進(jìn)行加工的在制品。
通常，將具有絕對優(yōu)先權(quán)的在制品的派工情況判定為派工成功。所述具 有絕對優(yōu)先權(quán)的在制品為不參與排序即可獲得優(yōu)先處理的在制品，或參與排
序且確定排序在前的在制品。
利用派工評(píng)估單元確定所述第 一派工清單內(nèi)存在被激活的在制品時(shí)，則 利用標(biāo)準(zhǔn)判別單元檢查被激活的在制品是否滿足派工基準(zhǔn)，若滿足派工基準(zhǔn)，
則判定為派工成功；若不滿足派工基準(zhǔn)，則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工
清單，并利用激活判別單元確定所述第二派工清單內(nèi)被激活的在制品數(shù)/在制
品批數(shù)，當(dāng)所述被激活的在制品滿足派工基準(zhǔn)，則判定為派工成功；若不滿 足派工基準(zhǔn)，則判定為派工失?。?br> 利用派工評(píng)估單元確定所述第 一派工清單內(nèi)不存在被激活的在制品時(shí)， 則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工清單，若被禁止的在制品數(shù)/在制品批數(shù)為 零，則判定所述派工無效；若被禁止的在制品數(shù)/在制品批數(shù)不為零，則判定 所述派工失敗。所述派工無效包括對生產(chǎn)線內(nèi)非瓶頸設(shè)備進(jìn)行派工操作。所 述被禁止的在制品包含不滿足至少一個(gè)派工標(biāo)準(zhǔn)的在制品。
為避免不必要的難于理解，用以描述利用所述第一派工清單及第二派工 清單進(jìn)行派工操作的流程示意圖被摞列展示。利用所述第一派工清單進(jìn)行派 工操作的順序如圖中實(shí)線標(biāo)示的流程所示，利用所述第二派工清單進(jìn)行派工 操作的順序如圖中虛線標(biāo)示的流程所示。
所述獲得第一派工清單及第二派工清單步驟之間的時(shí)間間隔大于或等于 從制造執(zhí)行系統(tǒng)獲得生產(chǎn)數(shù)據(jù)的延遲時(shí)間，且在此時(shí)間間隔內(nèi)生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫只 完成一次數(shù)據(jù)刷新。即若系統(tǒng)從制造執(zhí)行系統(tǒng)獲得生產(chǎn)數(shù)據(jù)的延遲時(shí)間為 IO分鐘，生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫在設(shè)備加工在制品前5分鐘完成數(shù)據(jù)刷新時(shí)，所述獲得 設(shè)備加工在制品后第 一派工清單及所述設(shè)備加工在制品前第二派工清單的時(shí) 間可分別為5分鐘和10分鐘。
顯然，所述獲得生產(chǎn)數(shù)據(jù)的延遲時(shí)間、生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)刷新時(shí)間及與此 相關(guān)的獲得第一派工清單和第二派工清單的時(shí)間為便于本發(fā)明的具體實(shí)施而 做出的特殊選擇，不應(yīng)作為對本發(fā)明方法實(shí)施方式的限定，本領(lǐng)域技術(shù)人員 對此作出的任意合理的修改及等同變換不影響本發(fā)明方法的實(shí)施，且應(yīng)包含 在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
圖3為說明本發(fā)明實(shí)施例的派工管理系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，所 述派工管理系統(tǒng)包括信息管理單元；規(guī)則管理單元；派工處理單元。此外， 為對派工操作的實(shí)際執(zhí)行情況進(jìn)行評(píng)估，所述派工管理系統(tǒng)還可包括監(jiān)控單 元。
所述信息管理單元包含至少兩個(gè)數(shù)據(jù)庫(其數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)可為以表格方式記 錄數(shù)據(jù))，分別為基本信息數(shù)據(jù)庫及擴(kuò)展信息數(shù)據(jù)庫。所述基本信息數(shù)據(jù)庫用 以存儲(chǔ)所述設(shè)備及在制品的基本信息，包含設(shè)備參數(shù)、在制品需求日期、流
程參數(shù)、WIP優(yōu)先級(jí)及等待時(shí)間等；所述擴(kuò)展信息數(shù)據(jù)庫用以存儲(chǔ)所述設(shè)備及 在制品的擴(kuò)展信息，包括根據(jù)所述基本信息數(shù)據(jù)庫內(nèi)基本信息可直接計(jì)算得 出的選擇性的所述設(shè)備及WIP的信息要素，如后續(xù)設(shè)備的占用情況及所述設(shè) 備及在制品的運(yùn)行狀況等，以及經(jīng)由所述基本信息可直接計(jì)算得出的確定的 所述設(shè)備及WIP的信息要素，如WIP分布狀況、設(shè)備的占用情況、在制品出 貨緊急程度及制程時(shí)間限制等。
所述基本信息數(shù)據(jù)庫內(nèi)的基本信息可由制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)中導(dǎo)出的數(shù) 據(jù)庫中獲得。所述設(shè)備參數(shù)包括設(shè)備的加工能力及負(fù)載狀況等；所述在制品 需求日期包括在制品的交期；所述流程參數(shù)包括在制品的原料供應(yīng)商、操作 設(shè)備、經(jīng)過的工序、生產(chǎn)時(shí)間/日期和關(guān)鍵的工藝參數(shù)以及在制品的位置順序、 加工時(shí)間及各類在制品的順序加工時(shí)間等。
所述設(shè)備及在制品的運(yùn)行狀況包括檢測統(tǒng)計(jì)、抽樣統(tǒng)計(jì)及制程轉(zhuǎn)換統(tǒng)計(jì) 等。所述檢測統(tǒng)計(jì)用以提供已經(jīng)過檢測的在制品信息，如在一定時(shí)間內(nèi)，有多 少在制品已經(jīng)經(jīng)過^r測等；所述抽樣統(tǒng)計(jì)用以判斷所述在制品已作為樣品進(jìn) 入^^測工序或未作為樣品進(jìn)入;f企測工序；所述制程轉(zhuǎn)換統(tǒng)計(jì)用以提供運(yùn)行過 程中需進(jìn)行制程轉(zhuǎn)換的在制品信息。
所述WIP分布狀況包括倉庫以及前工序、中工序、后工序線上的每種在 制品數(shù)量，WIP的剩余凈加工時(shí)間以及WIP在待加工工序設(shè)備上所需的加工時(shí) 間等，jt匕加工時(shí)間是實(shí)際的加工時(shí)間、裝載時(shí)間、卸載時(shí)間與工序變化或在 制品品種變化引起的準(zhǔn)備時(shí)間之和。此加工時(shí)間與在制品的品種及加工順序 相關(guān)。
作為本發(fā)明的實(shí)施例，所述設(shè)備的占用情況即設(shè)備資源占用程度根據(jù)待 加工WIP總量與選定設(shè)^小時(shí)出貨量的比值確定。顯然，應(yīng)用此算法可以
根據(jù)實(shí)際需要獲得任意一道或者多道工序的設(shè)備資源占用程度，可對實(shí)際派 工操作提供預(yù)留時(shí)間，便于優(yōu)化生產(chǎn)安排。
所述在制品出貨緊急程度根據(jù)實(shí)際剩余時(shí)間和理論剩余時(shí)間的比值確
定。此比值為正值時(shí)，表示可能延期，且此比值越大，緊急程度越高，即使 是延期的在制品，也可以按照交期的緊急程度計(jì)算優(yōu)先級(jí)高低。所述實(shí)際剩 余時(shí)間為當(dāng)前時(shí)間與在制品需求日期或交期的差值；所迷理論剩余時(shí)間為在
制品生產(chǎn)周期與剩余工序比率的乘積；所述在制品生產(chǎn)周期為在制品需求曰 期或交期與投產(chǎn)日期的差值；所述剩余工序比率為剩下工序數(shù)量與總工序數(shù) 量的比值。
所述制程時(shí)間限制根據(jù)在制品要求及工藝條件確定。
所述規(guī)則管理單元用以存》文并解析所述派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)。所述規(guī)則 管理單元包含規(guī)則存儲(chǔ)單元及規(guī)則解析單元。所述規(guī)則存儲(chǔ)單元用以存放所 述派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)；所述規(guī)則解析單元用以將存儲(chǔ)于所述規(guī)則存儲(chǔ)單元 的所述派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)解析成派工系統(tǒng)可執(zhí)行的語言格式。
所述派工標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)工藝及生產(chǎn)要求確定。所述派工標(biāo)準(zhǔn)包含所述設(shè)備及 在制品的各信息要素對應(yīng)的至少一個(gè)生產(chǎn)要求及派工方法。所述信息要素代 表所述設(shè)備及在制品的所述基本信息及擴(kuò)展信息中的一種。所述派工基準(zhǔn)包 含對WIP執(zhí)行派工操作需遵守的MJ'j,如對派工清單內(nèi)前三位的WIP進(jìn)行生 產(chǎn)操作等。
所述派工要素可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要對所述基本信息及擴(kuò)展信息中包含的 各項(xiàng)信息要素進(jìn)行靈活選擇后確定。所述信息要素包括但不限于設(shè)備參數(shù)、 在制品需求日期、流程參數(shù)、WIP分布狀況、后續(xù)設(shè)備的占用情況、在制品出 貨緊急程度、制程時(shí)間限制、WIP優(yōu)先級(jí)等信息中的一種或其組合。
上述各項(xiàng)信息在所述派工要素中具有不同權(quán)重表示，所述各項(xiàng)基本信息 及擴(kuò)展信息在所述派工要素中的權(quán)重根據(jù)生產(chǎn)要求確定。
作為本發(fā)明的實(shí)施例，可選用設(shè)備占用情況，出貨緊急程度，WIP優(yōu)先級(jí) 三項(xiàng)信息構(gòu)成所述派工要素，所謂權(quán)重可為這三項(xiàng)信息的順序，即若這三項(xiàng) 信息的重組為設(shè)備占用情況，出貨緊急程度，WIP優(yōu)先級(jí)，則設(shè)備占用情況的 權(quán)重最大，首先根據(jù)設(shè)備占用情況重組，繼而順序根據(jù)出貨緊急程度和WIP 優(yōu)先級(jí)重組。
所謂權(quán)重還可為這三項(xiàng)信息在重組參數(shù)中各自占據(jù)的比例因數(shù)，即作為 示例，若選定設(shè)備占用情況的權(quán)重最大，則可將設(shè)備占用情況(Tl)的權(quán)重 設(shè)為5,出貨緊急程度(T2 )和WIP優(yōu)先級(jí)(T3 )的權(quán)重分別設(shè)為3和1,則
對于重組參數(shù)量化值為5T1+3T2+T3,所述重組可按此重組參數(shù)量化值大小綜 合重組。
顯然，所述權(quán)重的選取及計(jì)算方法以及所述派工要素、派工標(biāo)準(zhǔn)及派工 基準(zhǔn)為便于本發(fā)明的具體實(shí)施而做出的特殊選擇，不應(yīng)作為對本發(fā)明方法實(shí) 施方式的限定，本領(lǐng)域技術(shù)人員對此作出的任意合理的修改及等同變換不影 響本發(fā)明方法的實(shí)施，且應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
所述信息管理單元與所述規(guī)則管理單元間相互獨(dú)立，但其內(nèi)包含的信息 間相互對應(yīng)。如所述信息管理單元包含的某確定設(shè)備的參數(shù)與所述規(guī)則管 理單元包含的對應(yīng)該設(shè)備派工標(biāo)準(zhǔn)間相互對應(yīng)；所述信息管理單元包含的確 定在制品的基本信息及擴(kuò)展信息與所述規(guī)則管理單元包含的對應(yīng)該確定在制 品的派工標(biāo)準(zhǔn)間相互對應(yīng)。
所述派工處理單元用以計(jì)算所述設(shè)備及在制品的擴(kuò)展信息，并對確定設(shè) 備的在制品進(jìn)行派工操作及提供派工清單。所述派工操作包括對在制品根據(jù)列。
其中，所述派工處理單元包括擴(kuò)展單元和重組單元。所述擴(kuò)展單元用以 計(jì)算設(shè)備及在制品的擴(kuò)展信息，增加實(shí)現(xiàn)派工操作的數(shù)據(jù)支持；所述重組單 元用以將所述WIP按所述派工要素中包含的所述不同信息的順序或重組參數(shù) 量化值大小順序排列。
此夕卜，所述派工單元還可包括過濾單元、分組單元、批處理單元及/或{務(wù) 飾單元。
所述過濾單元用以在對WIP進(jìn)行重組操作之前將不能在當(dāng)前設(shè)備上運(yùn)行 的WIP過濾掉，只保留能在當(dāng)前機(jī)器上運(yùn)行的WIP;所述過濾單元用以根據(jù)所 述設(shè)備參數(shù)及所述WIP的屬性確定可在所述設(shè)備上運(yùn)行的WIP，以優(yōu)化生產(chǎn)及 減少派工占用時(shí)間。
通常對于確定在制品可在復(fù)數(shù)個(gè)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)操作。生產(chǎn)實(shí)踐中，根 據(jù)相同在制品在不同設(shè)備上的參數(shù)統(tǒng)計(jì)，可在所述復(fù)數(shù)個(gè)設(shè)備中選擇良率統(tǒng) 計(jì)較佳的設(shè)備進(jìn)行所述在制品的生產(chǎn)操作；同理，在確定設(shè)備上可對復(fù)數(shù)種 在制品進(jìn)行生產(chǎn)操作，根據(jù)生產(chǎn)實(shí)踐中所述設(shè)備對不同在制品的參數(shù)統(tǒng)計(jì)， 可在所述設(shè)備上選擇良率統(tǒng)計(jì)較佳的在制品進(jìn)行生產(chǎn)操作。即對任意確定設(shè)
備，均可確定可在所述設(shè)備上運(yùn)行的WIP。確定可在所述設(shè)備上運(yùn)行的WIP的
依據(jù)為經(jīng)由MES獲得的生產(chǎn)數(shù)據(jù)。
所迷分組羊元用以根據(jù)所述在制品滿足或不滿足逸定信息要素及相應(yīng)派 工標(biāo)準(zhǔn)將所述WIP分為真值組和假值組；對所述真值組和假值組可分別根據(jù) 不同的派工要素及相應(yīng)派工標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行所述派工操作。在所述派工清單中，對 所述真值組內(nèi)在制品的重組位于對所述假值組內(nèi)在制品之前。
通常，選擇根據(jù)所述在制品滿足或不滿足選定所述擴(kuò)展信息中包含的信 息要素及相應(yīng)派工標(biāo)準(zhǔn)將所述WIP分為真值組和假值組，對所述真值組和假
作為示例，選擇所述在制品滿足或不滿足所述設(shè)備及在制品的檢測統(tǒng)計(jì) 及相應(yīng)派工標(biāo)準(zhǔn)將所述WIP分組。此時(shí)若所述在制品已經(jīng)過檢測，則執(zhí)行制程 時(shí)間要求優(yōu)先及出貨緊急程度優(yōu)先的派工順序；如果所述在制品未經(jīng)過檢測， 就執(zhí)行出貨緊急程度優(yōu)先，設(shè)備占用情況優(yōu)先的派工順序。
所述派工操作可包含分別對所述真值組和假值組進(jìn)行的派工操作。對所
述真值組內(nèi)WIP進(jìn)行派工才喿作用以^是供實(shí)際派工清單；對所述布支值組內(nèi)WIP 進(jìn)行派工操作可用以提供預(yù)期后續(xù)派工清單，為實(shí)際生產(chǎn)安排提供預(yù)計(jì)操作。
所述批處理單元用以將瓶頸設(shè)備前的WIP進(jìn)行批處理以提升效率；所述 修飾單元用以隱藏運(yùn)算過程中產(chǎn)生的中間數(shù)據(jù)，以提供簡潔化的操作界面。
所述監(jiān)控單元，用以對所述派工處理單元執(zhí)行派工操作的實(shí)際情況進(jìn)行 監(jiān)控。
所述監(jiān)控單元包括
記錄單元，用以獲得設(shè)備加工在制品的派工清單，包括第一派工清單及
第二派工清單；
激活判別單元，用以確定所述派工清單內(nèi)的在制品處于被激活態(tài)或非激
活態(tài)；
標(biāo)準(zhǔn)判別單元，用以確定派工清單內(nèi)處于被激活態(tài)的在制品滿足或不滿
足派工標(biāo)準(zhǔn)；
派工評(píng)估單元，根據(jù)所述第一派工清單，確定派工清單內(nèi)存在被激活的
在制品，且滿足派工標(biāo)準(zhǔn)，判定為派工成功；根據(jù)所述第一派工清單，確定 派工清單內(nèi)存在被激活的在制品，但不滿足派工標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則獲得設(shè)備加工在
制品前第二派工清單；根據(jù)所述第二派工清單，所述被激活的在制品滿足派
工標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則判定為派工成功；根據(jù)所述第二派工清單，所述被激活的在制 品不滿足派工標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則判定為派工失??；若派工清單內(nèi)不存在被激活的在 制品，則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工清單；根據(jù)第二派工清單，確定被 禁止的在制品數(shù)為零時(shí)，則判定所述派工無效；根據(jù)第二派工清單，確定被 禁止的在制品數(shù)不為零時(shí)，則判定所述派工失敗。
所述被激活的在制品為已利用所述設(shè)備進(jìn)行加工的在制品。所述被禁止 的在制品包含不滿足至少 一個(gè)派工標(biāo)準(zhǔn)的在制品。
通常，所述派工評(píng)估單元將派工清單內(nèi)不參與重組或參與重組且確定重 組在前的在制品的派工情況判定為派工成功。
所述獲得第一派工清單及第二派工清單步驟之間的時(shí)間間隔大于或等于 從制造執(zhí)行系統(tǒng)獲得生產(chǎn)數(shù)據(jù)的延遲時(shí)間，且在此時(shí)間間隔內(nèi)生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫只 完成一次數(shù)據(jù)刷新。即若系統(tǒng)從制造執(zhí)行系統(tǒng)獲得生產(chǎn)數(shù)據(jù)的延遲時(shí)間為 10分鐘，生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫在設(shè)備加工在制品前5分鐘完成數(shù)據(jù)刷新時(shí)，所述獲得 設(shè)備加工在制品后第一派工清單及所述設(shè)備加工在制品前第二派工清單的時(shí) 間可分別為5分鐘和10分鐘。
顯然，所述獲得生產(chǎn)數(shù)據(jù)的延遲時(shí)間、生產(chǎn)數(shù)據(jù)庫數(shù)據(jù)刷新時(shí)間及與此 相關(guān)的獲得第一派工清單和第二派工清單的時(shí)間為便于本發(fā)明的具體實(shí)施而 做出的特殊選擇，不應(yīng)作為對本發(fā)明方法實(shí)施方式的限定，本領(lǐng)域技術(shù)人員 對此作出的任意合理的修改及等同變換不影響本發(fā)明方法的實(shí)施，且應(yīng)包含 在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
盡管通過在此的實(shí)施例描述說明了本發(fā)明，和盡管已經(jīng)足夠詳細(xì)地描述 了實(shí)施例，申請人不希望以任何方式將權(quán)利要求書的范圍限制在這種細(xì)節(jié)上。 對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說另外的優(yōu)勢和改進(jìn)是顯而易見的。因此，在較寬范 圍的本發(fā)明不限于表示和描述的特定細(xì)節(jié)、表達(dá)的設(shè)備和方法和說明性例子。 因此，可以偏離這些細(xì)節(jié)而不脫離申請人總的發(fā)明概念的精神和范圍。
權(quán)利要求
1. 一種半導(dǎo)體制造的派工管理方法，包括根據(jù)設(shè)備和在制品的基本信息，以一派工處理單元計(jì)算所述設(shè)備和在制品的擴(kuò)展信息，并將所述擴(kuò)展信息存儲(chǔ)至信息管理單元；以所述派工處理單元，由信息管理單元讀取設(shè)備和在制品的基本信息及擴(kuò)展信息；并且，以所述派工處理單元，由規(guī)則管理單元讀取對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)；利用所述派工處理單元根據(jù)所述信息管理單元提供的基本信息及擴(kuò)展信息及所述規(guī)則管理單元提供的對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)對所述設(shè)備和在制品進(jìn)行派工操作，并提供派工清單。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的派工管理方法，其特征在于執(zhí)行所述派工操作包括利用擴(kuò)展單元計(jì)算所述設(shè)備及在制品的擴(kuò)展信息以及選取所述基本信 息及擴(kuò)展信息后利用重組單元將所述WIP按所述順序排列。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的派工管理方法，其特征在于執(zhí)行所述派工操作還包括利用過濾單元保留能在當(dāng)前設(shè)備上運(yùn)行的WIP。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的派工管理方法，其特征在于執(zhí)行所述派工操做還包括利用分組單元根據(jù)將所述WIP分為真值組和假值組。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的派工管理方法，其特征在于執(zhí)行所述派工操作還包括利用批處理單元對瓶頸設(shè)備前的WIP進(jìn)行批處理。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的派工管理方法，其特征在于執(zhí)行所述派工操作還包括利用修飾單元隱藏運(yùn)算過程中產(chǎn)生的中間數(shù)據(jù)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的派工管理方法，其特征在于所述派工管理方法還包括利用監(jiān)控單元監(jiān)控所述派工操作的執(zhí)行情況。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的派工管理方法，其特征在于利用所述監(jiān)控單元對所述派工4喿作的執(zhí)行情況進(jìn)行監(jiān)控的方法包括利用記錄單元獲得設(shè)備加工在制品后第 一派工清單； 利用激活判別單元確定所述第一派工清單內(nèi)被激活的在制品數(shù)/在制品批數(shù)；利用派工評(píng)估單元確定所述第一派工清單內(nèi)存在被激活的在制品時(shí)，則利用標(biāo)準(zhǔn)判別單元檢查被激活的在制品是否滿足派工基準(zhǔn)，若滿足派工基準(zhǔn)， 則判定為派工成功；若不滿足派工基準(zhǔn)，則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工清單，并利用激活判別單元確定所述第二派工清單內(nèi)被激活的在制品數(shù)/在制品批數(shù)，當(dāng)所述被激活的在制品滿足派工基準(zhǔn)，則判定為派工成功；若不滿足派工基準(zhǔn)，則判定為派工失?。焕门晒ぴu(píng)估單元確定所述第 一派工清單內(nèi)不存在被激活的在制品時(shí)， 則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工清單，若被禁止的在制品數(shù)/在制品批數(shù)為零，則判定所述派工無效；若被禁止的在制品數(shù)/在制品批數(shù)不為零，則判定所述派工失敗。所述派工無效包括對生產(chǎn)線內(nèi)非瓶頸設(shè)備進(jìn)行派工操作。所述被禁止的在制品包含不滿足至少一個(gè)派工標(biāo)準(zhǔn)的在制品。
9. 一種半導(dǎo)體制造的派工管理系統(tǒng)，包括信息管理單元，用以存儲(chǔ)所述設(shè)備及在制品的基本信息及擴(kuò)展信息； 規(guī)則管理單元，用以存放并解析對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)；派工處理單元，用以根據(jù)所述信息管理單元提供的基本信息及擴(kuò)展信息及所述規(guī)則管理單元提供的對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工 基準(zhǔn)對確定設(shè)備的在制品進(jìn)行派工操作，并提供派工清單。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的派工管理系統(tǒng)，其特征在于所述派工處理單元包括擴(kuò)展單元和重組單元；所述擴(kuò)展單元用以計(jì)算設(shè)備及在制品的擴(kuò)展 信息；所述重組單元用以在選取所述基本信息及擴(kuò)展信息后將所述WIP按順序排列。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的派工管理系統(tǒng)，其特征在于所述派工處理單元還包括過濾單元，所述過濾單元用以保留能在當(dāng)前設(shè)備上運(yùn)行的WIP。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的派工管理系統(tǒng)，其特征在于所述派工處理單元還包括分組單元，所述分組單元用以將所述WIP分為真值組和假值組。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的派工管理系統(tǒng)，其特征在于所述派工處理單元還包括批處理單元，所述批處理單元用以對瓶頸設(shè)備前的WIP進(jìn)行批處 理。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的派工管理系統(tǒng)，其特征在于所述派工處理單元還包括利修飾單元，所述修飾單元用以隱藏運(yùn)算過程中產(chǎn)生的中間數(shù)據(jù)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的派工管理系統(tǒng)，其特征在于所述派工管理系統(tǒng)還包括監(jiān)控單元。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的派工管理系統(tǒng)，其特征在于所述監(jiān)控單元包括記錄單元，用以獲得設(shè)備加工在制品的派工清單，包括第一派工清單及第二派工清單；激活判別單元，用以確定所述派工清單內(nèi)的在制品處于被激活態(tài)或非激活態(tài)；標(biāo)準(zhǔn)判別單元，用以確定派工清單內(nèi)處于被激活態(tài)的在制品滿足或不滿足派工標(biāo)準(zhǔn)；派工評(píng)估單元，根據(jù)所述第一派工清單，確定派工清單內(nèi)存在被激活的在制品，且滿足派工標(biāo)準(zhǔn)，判定為派工成功；根據(jù)所述第一派工清單，確定派工清單內(nèi)存在被激活的在制品，但不滿足派工標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工清單；根據(jù)所述第二派工清單，所述被激活的在制品滿足派工標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則判定為派工成功；根據(jù)所述第二派工清單，所述被激活的在制品不滿足派工標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，則判定為派工失敗；若派工清單內(nèi)不存在被激活的在制品，則獲得設(shè)備加工在制品前第二派工清單；根據(jù)第二派工清單，確定被禁止的在制品數(shù)為零時(shí)，則判定所述派工無效；根據(jù)第二派工清單，確定被禁止的在制品數(shù)不為零時(shí)，則判定所述派工失敗。
全文摘要
一種半導(dǎo)體制造的派工管理方法，包括根據(jù)設(shè)備和在制品的基本信息，以一派工處理單元計(jì)算所述設(shè)備和在制品的擴(kuò)展信息，并將所述擴(kuò)展信息存儲(chǔ)至信息管理單元；以所述派工處理單元，由信息管理單元讀取設(shè)備和在制品的基本信息及擴(kuò)展信息；并且，以所述派工處理單元，由規(guī)則管理單元讀取對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)；利用所述派工處理單元根據(jù)所述信息管理單元提供的基本信息及擴(kuò)展信息及所述規(guī)則管理單元提供的對應(yīng)所述基本信息及擴(kuò)展信息的派工標(biāo)準(zhǔn)及派工基準(zhǔn)對所述設(shè)備和在制品進(jìn)行派工操作，并提供派工清單。應(yīng)用本發(fā)明方法，可根據(jù)在制品交期、設(shè)備負(fù)荷、制程時(shí)間限制以及在制品及設(shè)備的運(yùn)行狀況等因素的任意組合靈活地實(shí)現(xiàn)派工控制。
文檔編號(hào)G06Q10/00GK101206728SQ20061014743
公開日2008年6月25日 申請日期2006年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月18日
發(fā)明者宇 周, 蘇遠(yuǎn)志, 海 馬 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司