專利名稱：具有容易修改的軟件的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及軟件體系結(jié)構(gòu)，具體涉及自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的軟件。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件的制造中使用自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)(一般稱為“測(cè)試機(jī)”)。通常，在半導(dǎo)體器件制造期間，在多于一個(gè)的階段對(duì)其進(jìn)行測(cè)試，并且根據(jù)測(cè)試結(jié)果來確定該器件的進(jìn)一步處理。在某些情況下，廢棄未通過測(cè)試的器件。在有些情況中，可以修復(fù)器件。例如，器件可構(gòu)造有冗余電路。如果經(jīng)測(cè)試找到了器件的故障部分，那么可以斷開故障電路并在它的位置連接冗余電路元件。在另外一些情況下，通過測(cè)試對(duì)部件進(jìn)行分級(jí)。例如，一些器件只能在特定速度范圍內(nèi)運(yùn)行，或之能在一定溫度范圍內(nèi)運(yùn)行，這可能低于該器件預(yù)期的運(yùn)行范圍?？梢园堰@些器件與其他完全滿足設(shè)計(jì)要求的器件分開，然后作為較低等級(jí)的部件進(jìn)行特定包裝或銷售。無論響應(yīng)該測(cè)試進(jìn)行何種特定活動(dòng)，測(cè)試都是制造過程中的一個(gè)重要部分。
非常希望自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)盡可能易于使用。提供軟件是實(shí)現(xiàn)易于使用的一種方法。
Proskauer等的名稱為“Low Cost，Easy To Use Automatic TestSystem Software”的美國(guó)專利5,910,895描述了一種用于自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的軟件系統(tǒng)，其基于使用商品化的spread sheet程序，來定義測(cè)試程序所需的數(shù)據(jù)和程序流。Blitz的名稱為“System For Storing AndSearching Named Device For Parameter Data In A Test System ForTesting An Integrated Circuit”的美國(guó)專利6,047,293描述了一種便于測(cè)試系統(tǒng)編程的軟件。名稱為“Production Interface For An IntegratedCircuit Test System”美國(guó)專利5,828,674描述了一種軟件系統(tǒng)，也用于自動(dòng)測(cè)試設(shè)備，它使得可方便地向自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)提供用戶接口。Kittross等于1999年10月12日提交的名稱為“Easy to ProgramAutomatic Test Equipment”的美國(guó)專利申請(qǐng)09/417034描述了一種自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其使用編程技術(shù)的組合來支持測(cè)試的便捷編程，同時(shí)允許編寫非常復(fù)雜的程序。前面所述的這些都通過引用結(jié)合于此作為參考。
上述各專利都轉(zhuǎn)讓給了美國(guó)馬薩諸塞州波士頓的Teradyne公司。Teradyne為它的測(cè)試系統(tǒng)提供一種稱為IG-XL的非常成功的編程環(huán)境，其采用了上述專利中所述的技術(shù)。
盡管該編程環(huán)境是成功的，但還是希望提供一種改進(jìn)的軟件環(huán)境。我們已經(jīng)認(rèn)識(shí)到需要改進(jìn)的一個(gè)原因，由于傳統(tǒng)的自動(dòng)測(cè)試環(huán)境的軟件包含用于運(yùn)行測(cè)試機(jī)硬件的驅(qū)動(dòng)程序。傳統(tǒng)上，測(cè)試機(jī)包括特別適于特定測(cè)試功能的硬件儀器。例如，一些儀器產(chǎn)生或測(cè)量RF信號(hào)。其他有些儀器產(chǎn)生數(shù)字信號(hào)，而有些只執(zhí)行測(cè)試半導(dǎo)體存儲(chǔ)器的功能。用于測(cè)試系統(tǒng)的儀器常常在該測(cè)試系統(tǒng)發(fā)布之后開發(fā)，這是由于認(rèn)識(shí)到需要新儀器，或是由于在開發(fā)測(cè)試系統(tǒng)時(shí)不可能同時(shí)得到所有的儀器。
隨著新的儀器被開發(fā)出來，軟件環(huán)境必須修改，以便加入對(duì)新儀器的控制。傳統(tǒng)上，通過發(fā)布軟件的新版本來修改軟件。對(duì)于測(cè)試機(jī)，發(fā)布新軟件有時(shí)可能是不利的。半導(dǎo)體制造商常常要“驗(yàn)證”他們編寫的用來測(cè)試所制造的半導(dǎo)體的程序。驗(yàn)證步驟對(duì)于半導(dǎo)體制造商而言是重要的，這可以使他們?cè)诤芨叩某潭壬舷嘈磐ㄟ^了測(cè)試的器件實(shí)際上是好的器件，而沒有通過測(cè)試的器件實(shí)際上是有缺陷的器件。如果發(fā)布了軟件的新版本，半導(dǎo)體制造商可能必須重新驗(yàn)證其全部測(cè)試程序。
由于在半導(dǎo)體工業(yè)中技術(shù)進(jìn)展的快速步伐，我們還認(rèn)識(shí)到需要改進(jìn)的另一個(gè)原因。被開發(fā)的新一代器件通常比其前一代更大更快，需要新的測(cè)試機(jī)。非常希望能夠?qū)π乱淮钠骷焖匍_發(fā)測(cè)試程序，即使它們是在新測(cè)試機(jī)上測(cè)試。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于前面背景技術(shù)中的問題，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種測(cè)試系統(tǒng)，可被容易地重新編程以控制新儀器而無需重新加載基本軟件。
在另一方面，本發(fā)明提供一種用于制造半導(dǎo)體器件的方法，通過提供自包含的儀器專用軟件簡(jiǎn)化了該方法。
通過把軟件劃分成通用功能和儀器專用功能的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)軟件實(shí)現(xiàn)了上述及其他目的。該測(cè)試系統(tǒng)包括用于確定安裝了哪些儀器的機(jī)制，以及執(zhí)行通用功能的軟件能夠訪問儀器專用軟件并且儀器專用軟件能夠訪問通用功能的機(jī)制。
在優(yōu)選實(shí)施例中，執(zhí)行通用功能的軟件被實(shí)現(xiàn)成定義“核心”功能的軟件和執(zhí)行特定平臺(tái)功能的軟件。此外，執(zhí)行儀器專用功能的軟件包含與儀器相關(guān)的功能信息以及描述該儀器在印刷電路板上的物理布局的信息。在使用中，儀器的“實(shí)例”通過將其功能和物理信息組合起來而構(gòu)成。按這種方式，可以使用與該儀器有關(guān)的相同功能信息，即使其物理布局改變了。
在優(yōu)選實(shí)施例中，軟件組件被定義成具有規(guī)定接口的COM對(duì)象。這些接口提供已知的格式，用于存取與該對(duì)象相關(guān)聯(lián)的方法。對(duì)軟件做劃分，使儀器專用方法只包含在儀器專用軟件中，但儀器專用軟件能夠訪問通用的功能，以作為ATE系統(tǒng)的集成部分來運(yùn)行。


通過參考下面更詳細(xì)的說明和附圖，將更好地理解本發(fā)明，其中圖1是例如可在現(xiàn)有技術(shù)中找到的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的框圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)中軟件體系結(jié)構(gòu)的功能框圖；圖3是示出在特定電路板上放置儀器的簡(jiǎn)圖；圖4是使用本發(fā)明的軟件的功能框圖；以及圖5是示出圖4的儀器軟件的更詳細(xì)情況的示意表示。
具體實(shí)施例方式
圖1示出現(xiàn)有技術(shù)中一般的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)。為了提供全面和快速的測(cè)試，該自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)通常包括測(cè)試機(jī)的機(jī)體112、計(jì)算機(jī)化工作站110和輸送(handling)裝置114。
計(jì)算機(jī)工作站110控制輸送裝置114和測(cè)試機(jī)機(jī)體112。它控制輸送裝置114來定位半導(dǎo)體器件(未示出)使其與測(cè)試機(jī)機(jī)體上的多個(gè)測(cè)試探針118相接觸。通常，測(cè)試機(jī)包括分離的測(cè)試頭，該測(cè)試頭包含測(cè)試探針118。然而，這種區(qū)別對(duì)于本發(fā)明來說是不重要的。
然后，工作站110控制測(cè)試機(jī)機(jī)體112對(duì)待測(cè)器件進(jìn)行一系列測(cè)試。每次測(cè)試通常包括啟動(dòng)部分，其中把控制信號(hào)從工作站110發(fā)送到測(cè)試機(jī)機(jī)體112?？刂菩盘?hào)通常是通過總線116發(fā)送的數(shù)值。這些控制信號(hào)對(duì)測(cè)試機(jī)機(jī)體112內(nèi)的硬件進(jìn)行配置，以便進(jìn)行測(cè)試所需的測(cè)量。測(cè)試機(jī)機(jī)體112內(nèi)的硬件根據(jù)控制信號(hào)提供激勵(lì)并測(cè)量來自待測(cè)器件的響應(yīng)。
在優(yōu)選實(shí)施例中，工作站110是運(yùn)行Windows操作系統(tǒng)的常規(guī)個(gè)人計(jì)算機(jī)。優(yōu)選地，操作系統(tǒng)為Windows NT操作系統(tǒng)、Windows2000操作系統(tǒng)、Windows XP操作系統(tǒng)或更新的版本。
圖1示出了測(cè)試機(jī)機(jī)體112內(nèi)的硬件包括多個(gè)電路，它們被標(biāo)識(shí)為儀器INS 126A...126N。這些儀器可以具有多種形式。為了測(cè)試產(chǎn)生或接收數(shù)字信號(hào)的半導(dǎo)體元件，儀器INS 126A...126N中的一些包含“引腳”或“數(shù)字通道”。能夠?qū)γ總€(gè)引腳編程，以產(chǎn)生信號(hào)或?qū)y(cè)試探針118中的一個(gè)進(jìn)行測(cè)量。每個(gè)引腳可提供或測(cè)量靜態(tài)或DC信號(hào)。作為替換，每個(gè)引腳可提供或測(cè)量有時(shí)被稱作“脈沖(burst)”的信號(hào)中的變化數(shù)據(jù)。
在脈沖期間，測(cè)試機(jī)機(jī)體120由定時(shí)和排序電路120控制。定時(shí)和排序電路120使引腳124中的每一個(gè)從相關(guān)的存儲(chǔ)器128讀取數(shù)據(jù)值序列。每個(gè)數(shù)據(jù)值指示該引腳在特定時(shí)間點(diǎn)在其相關(guān)的測(cè)試探針118處應(yīng)該施加或期望測(cè)量的信號(hào)類型。如果該引腳將測(cè)量結(jié)果與期望值進(jìn)行了比較，也可以將結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器128中。
儀器126A...126N中的其他儀器執(zhí)行其他的測(cè)試功能。例如它們可以產(chǎn)生特定的測(cè)試信號(hào)，如正弦波。作為替換，儀器可以按高速率對(duì)信號(hào)采樣，以便在稍后可由數(shù)字信號(hào)處理器來分析它。這些功能可以作為脈沖的一部分執(zhí)行，或者可以與脈沖分開執(zhí)行。
對(duì)部件的完全測(cè)試，有時(shí)稱為“作業(yè)”，由一系列散置有DC測(cè)量或儀器126測(cè)量的脈沖組成。這些脈沖可用于測(cè)量待測(cè)器件的特定功能屬性。作為替換，每個(gè)脈沖可用于把待測(cè)器件置于一種只能夠進(jìn)行DC測(cè)量的狀態(tài)。這些測(cè)試元素執(zhí)行的順序有時(shí)稱為“流(flow)”，由工作站110中的軟件來控制。
儀器126A...126N中的每一個(gè)可以包含對(duì)特定待測(cè)器件所做測(cè)量進(jìn)行處理的電路。作為替換，可將原始數(shù)據(jù)傳遞到工作站110，根據(jù)運(yùn)行在該工作站上的軟件程序來進(jìn)行處理。作為另一種選擇，可以將數(shù)據(jù)傳遞到測(cè)試機(jī)機(jī)體112內(nèi)的電路，通常是指定時(shí)、排序和處理電路120。該處理電路的精確位置并不重要。重要的是工作站110中的軟件要適于控制所要求的數(shù)據(jù)處理。因此，測(cè)試機(jī)中硬件的任何變化通常都會(huì)要求工作站110中的軟件改變。然而，如同下面所述，優(yōu)選實(shí)施例的軟件顯著降低了對(duì)這種改變的需要。
一旦全面測(cè)試了一個(gè)器件，或者對(duì)確定有缺陷的點(diǎn)做了測(cè)試，工作站110就對(duì)輸送裝置114產(chǎn)生控制信號(hào)。然后，輸送裝置114將下一個(gè)要測(cè)試的器件提供給測(cè)試機(jī)機(jī)體112，并且重復(fù)所述處理過程。工作站110還收集關(guān)于特定器件是通過還是未通過測(cè)試的數(shù)據(jù)。它能夠處理該數(shù)據(jù)，從而廢棄有缺陷的器件，或者可執(zhí)行其他功能，例如分析故障趨勢(shì)數(shù)據(jù)。
上面所述的Teradyne公司所有的美國(guó)專利更全面地描述了現(xiàn)有技術(shù)中的軟件系統(tǒng)。作為簡(jiǎn)要說明，圖2示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的軟件的高級(jí)功能框圖。通過特定軟件集來執(zhí)行作業(yè)，該軟件集被標(biāo)記為執(zhí)行軟件210。用戶規(guī)定作業(yè)中各測(cè)試的流。執(zhí)行軟件210按照這個(gè)流并利用測(cè)試程序216和測(cè)試模式212來確定該測(cè)試系統(tǒng)要采取的特點(diǎn)動(dòng)作。執(zhí)行軟件210利用器件數(shù)據(jù)214把該信息轉(zhuǎn)換成用于測(cè)試機(jī)的更具體的命令，例如哪個(gè)儀器連接到待測(cè)器件的哪一條引線，并由此應(yīng)該產(chǎn)生具體的測(cè)試信號(hào)。
執(zhí)行軟件210具有調(diào)用各種儀器驅(qū)動(dòng)程序226A...226N的接口。每個(gè)驅(qū)動(dòng)程序是對(duì)測(cè)試機(jī)112內(nèi)的硬件進(jìn)行控制的軟件。接口驅(qū)動(dòng)程序218控制用戶接口設(shè)備，例如計(jì)算機(jī)顯示屏，并向用戶提供數(shù)據(jù)和從可控制作業(yè)執(zhí)行的用戶接收指令。類似地，輸送裝置驅(qū)動(dòng)程序220控制輸送裝置114。
圖3示出測(cè)試機(jī)機(jī)體112的一些部分的物理實(shí)現(xiàn)。測(cè)試機(jī)是由例如310、320和316等印刷電路板組裝的。只示出了印刷電路板中的一部分，為了清楚，省略了電路板之間的物理互連。
在示出的實(shí)施例中，所示出的半導(dǎo)體芯片340和342安裝在電路板310上。這些芯片可以是例如專用集成電路(ASIC)。在此，所示出的ASIC 340和342是儀器126A的物理實(shí)現(xiàn)。所示出的同一塊電路板310還包含另一個(gè)實(shí)現(xiàn)儀器126B的ASIC。因此，可以在單塊印刷電路板上實(shí)現(xiàn)兩個(gè)儀器。
作為替換，所示出的電路板312包含許多集成電路芯片，但僅實(shí)現(xiàn)單個(gè)儀器126C。因此，電路板上儀器的具體配置可以隨儀器不同而變化。隨著新電路板的設(shè)計(jì)，儀器和電路板之間的連接可以改變。例如，如果測(cè)試機(jī)制造商開發(fā)了新型的測(cè)試系統(tǒng)，但希望使用為前代產(chǎn)品開發(fā)的儀器，可能會(huì)發(fā)生這種改變?；蛘撸瑴y(cè)試機(jī)制造商可能提供了全系列的測(cè)試機(jī)，一些用于高性能，一些用于低性能。盡管在每個(gè)測(cè)試系統(tǒng)中使用的電路板不同，但可能希望在每個(gè)系統(tǒng)中使用相同的儀器。實(shí)際上，已有的構(gòu)成儀器的集成電路能夠容易地放置在新測(cè)試系統(tǒng)的電路板上。然而，在此之前，需要進(jìn)行大量的工作來改寫現(xiàn)有的軟件，以用于新電路板布局中的儀器。
電路板316表示一個(gè)可以包含構(gòu)成定時(shí)、排序和處理電路120的電路的電路板。在測(cè)試機(jī)中一個(gè)常用的處理操作是對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)執(zhí)行數(shù)字信號(hào)處理操作。數(shù)字信號(hào)處理可用于例如計(jì)算頻譜或標(biāo)識(shí)信號(hào)中的零相交點(diǎn)(zero crossing)。
然而，在一些測(cè)試系統(tǒng)中，數(shù)字信號(hào)處理電路可以實(shí)際安裝在包含儀器的電路板上。在此之前，當(dāng)改變測(cè)試系統(tǒng)的體系結(jié)構(gòu)(即使在同一個(gè)產(chǎn)品族中)，很難把對(duì)一個(gè)測(cè)試系統(tǒng)開發(fā)的軟件重用于該產(chǎn)品族中較晚的測(cè)試機(jī)上。
在優(yōu)選實(shí)施例中，電路板中的每一個(gè)包含儀器的電路板，例如電路板310和312，都包含一種機(jī)制，通過該機(jī)制，可由工作站110識(shí)別具體的電路板或電路板類型。已知將只讀存儲(chǔ)器(ROM)放置在測(cè)試機(jī)中的印刷電路板上，其存儲(chǔ)與具體電路板有關(guān)的ID信息。但是，也可用其他的方式來識(shí)別電路板。圖3示出了將條形碼340貼到每個(gè)電路板上，例如，當(dāng)電路板插入到測(cè)試系統(tǒng)中時(shí)，可以通過條形碼讀取器來識(shí)別。用來識(shí)別電路板的具體機(jī)制是不重要的，并且圖3示出的條形碼僅作為一種可視表示，代表電路板包括某種機(jī)制，通過所述機(jī)制，能夠識(shí)別電路板的類型。
現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖4，示出了使用本發(fā)明的測(cè)試系統(tǒng)的軟件的功能框圖。圖4示出了儀器/電路板垂直片(vertical slice)軟件510和獨(dú)立于儀器的軟件。儀器/電路板垂直片軟件510有多個(gè)副本，其中，安裝在測(cè)試系統(tǒng)中的每個(gè)儀器對(duì)應(yīng)一個(gè)副本。所示出的獨(dú)立于儀器的軟件包括核心模塊410和平臺(tái)模塊412。
獨(dú)立于儀器的軟件可加載到測(cè)試機(jī)中，并且當(dāng)把不同的儀器安裝到測(cè)試機(jī)或從測(cè)試機(jī)移除時(shí)不需要對(duì)該軟件做改變。應(yīng)該理解，由獨(dú)立于儀器的軟件進(jìn)行的任何處理的結(jié)果可能依賴于由儀器產(chǎn)生的數(shù)據(jù)或命令，但是如果該軟件在添加新儀器時(shí)不需要改變，則它獨(dú)立于儀器。
平臺(tái)模塊412表示依賴于其所駐留的具體測(cè)試機(jī)平臺(tái)的軟件。例如，測(cè)試機(jī)制造商可能具有在一個(gè)產(chǎn)品族中的多種測(cè)試機(jī)。每種測(cè)試機(jī)型號(hào)可表示一種“平臺(tái)”。特定操作的執(zhí)行因平臺(tái)不同而不同。例如，一種平臺(tái)可能具有可執(zhí)行多種功能的硬件數(shù)字信號(hào)處理器。為了執(zhí)行DSP功能，軟件將控制測(cè)試系統(tǒng)向DSP電路提供數(shù)據(jù)并讀取結(jié)果。但是，不同的平臺(tái)可能不包含這種DSP電路。在這種情況下，當(dāng)測(cè)試作業(yè)需要DSP操作時(shí)，軟件將不得不控制測(cè)試機(jī)把數(shù)據(jù)傳遞到工作站110，其中，軟件算法使用通用計(jì)算機(jī)來執(zhí)行DSP功能。在不同的平臺(tái)上可以執(zhí)行相同的操作，但由軟件實(shí)現(xiàn)的具體功能將根據(jù)下層硬件設(shè)計(jì)而隨平臺(tái)變化。理想的是，依賴于可能隨平臺(tái)變化的下層硬件的所有軟件都被實(shí)現(xiàn)成平臺(tái)模塊412中的一個(gè)模塊。
應(yīng)該理解，儀器還改變下層硬件，并可根據(jù)安裝了哪些儀器而隨測(cè)試機(jī)不同而發(fā)生變化。平臺(tái)模塊412與儀器專用模塊的不同在于，它們提供軟件來執(zhí)行功能，所述功能在所有相同類型平臺(tái)的測(cè)試機(jī)上同樣地執(zhí)行，而不管安裝了哪些儀器。因此，平臺(tái)模塊412能夠在制造時(shí)加載到測(cè)試系統(tǒng)中。相反，儀器可以測(cè)試機(jī)壽命期內(nèi)添加到測(cè)試機(jī)或從測(cè)試機(jī)移除。儀器專用模塊可以在測(cè)試機(jī)的整個(gè)壽命期內(nèi)添加或移除。
在示出的實(shí)施例中，核心模塊410是第二種獨(dú)立于儀器的軟件。如同平臺(tái)模塊412一樣，當(dāng)儀器添加到測(cè)試系統(tǒng)或從測(cè)試系統(tǒng)移除時(shí)，這些模塊不需要改變。由儀器提供的數(shù)據(jù)或命令可以改變由核心模塊410實(shí)現(xiàn)的功能或結(jié)果，但是當(dāng)儀器添加或移除時(shí)，該軟件不需要改變。在優(yōu)選實(shí)施例中，核心模塊包含不依賴于測(cè)試系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)的軟件，該體系結(jié)構(gòu)在以后的平臺(tái)中可能改變。
為了能夠把軟件劃分成儀器/電路板垂直片軟件和獨(dú)立于儀器的軟件，適當(dāng)分配功能是必要的。在優(yōu)選實(shí)施例中，每個(gè)功能模塊表示一個(gè)對(duì)象或?qū)ο蟮募?。為了使系統(tǒng)能夠操作，盡管它包含多個(gè)對(duì)象，在對(duì)象之間必定存在定義的接口。面向?qū)ο蟮木幊淌潜绢I(lǐng)域公知的，用于創(chuàng)建軟件對(duì)象的技術(shù)也是公知的。
在優(yōu)選實(shí)施例中，軟件大部分是用C++語言編寫的。然而，使用COM/ATL技術(shù)來定義對(duì)象之間的接口。COM是由華盛頓雷蒙德的微軟公司提供的技術(shù)，其用于創(chuàng)建能夠通過接口來存取的軟件對(duì)象。
圖4示出各種核心模塊410。這種核心模塊的具體數(shù)量和類型因?qū)崿F(xiàn)的不同而不同，所示出的模塊應(yīng)該理解為是測(cè)試系統(tǒng)中可能存在的核心模塊的示例，而不是對(duì)可能或必定存在的模塊的限制。在所示出的實(shí)施例中，這些核心模塊中的每一個(gè)被實(shí)現(xiàn)成稱為“程序包(package)”的程序設(shè)計(jì)構(gòu)造。
流模塊414執(zhí)行測(cè)試作業(yè)執(zhí)行控制的處理。如同現(xiàn)有技術(shù)一樣，流依賴于測(cè)試過程，其在此示出為測(cè)試過程450。用戶提供的測(cè)試程序422，包括與被測(cè)器件有關(guān)的數(shù)據(jù)，由流模塊414來存取。
流模塊414和測(cè)試過程450被實(shí)現(xiàn)成程序包，它們具有定義的接口，表示為接口415和451。以這種方式，軟件的模塊化大大增加了。實(shí)現(xiàn)接口的各種方式是公知的。在優(yōu)選實(shí)施例中，接口使用COM技術(shù)并暴露(expose)程序包的“方法”。每種“方法”表示該程序包可響應(yīng)來自另一個(gè)程序包的請(qǐng)求而處理的事情。在所示出的實(shí)施例中，接口415暴露傳統(tǒng)上通過運(yùn)行測(cè)試作業(yè)所需的流軟件所執(zhí)行的方法功能。
在圖4中，所示出的測(cè)試過程450既是核心模塊又是平臺(tái)模塊。這表示該程序包可包含一些依賴平臺(tái)的元素和一些不依賴平臺(tái)的元素。在優(yōu)選實(shí)施例中，對(duì)測(cè)試過程模塊450的接口對(duì)于所有平臺(tái)都是相同的，即使這些模塊內(nèi)的實(shí)際編碼中的一些因平臺(tái)不同而不同。
流模塊414控制測(cè)試作業(yè)的執(zhí)行。作為測(cè)試作業(yè)的一部分，必須對(duì)測(cè)試機(jī)的下層硬件(包括儀器)進(jìn)行控制。然而，由于流模塊414是核心模塊，它被設(shè)計(jì)成與平臺(tái)專用硬件和儀器專用硬件無關(guān)。因此，必須提供一種不限于特定儀器的機(jī)制來存取各儀器。
ATE注冊(cè)表模塊420提供這種機(jī)制。ATE注冊(cè)表420維持安裝在測(cè)試機(jī)中的所有儀器的列表。
添加到系統(tǒng)上的每個(gè)儀器都產(chǎn)生在ATE注冊(cè)表420中的一個(gè)條目。可以使用各種機(jī)制來產(chǎn)生注冊(cè)表中的條目。一種方式是使用戶運(yùn)行工作站110上的安裝程序。
在計(jì)算機(jī)中識(shí)別新硬件的技術(shù)是已知的。例如，Windows即插即用的特性就可以對(duì)計(jì)算機(jī)外圍設(shè)備執(zhí)行該功能。在這種情況下，產(chǎn)生兩種額外的復(fù)雜性。第一，電路板不是直接安裝到工作站110中。而是，它們被安裝到測(cè)試機(jī)機(jī)體112中。第二，優(yōu)選實(shí)施例的軟件體系結(jié)構(gòu)識(shí)別儀器而不是電路板。優(yōu)選地，該軟件不要求具體電路板和儀器之間任何固定的關(guān)系。
在優(yōu)選實(shí)施例中，在啟動(dòng)和初始化期間，ATE注冊(cè)表從持久的存儲(chǔ)機(jī)制中讀取數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)是在儀器軟件被加載到工作站110上時(shí)寫入的。軟件加載的確切方式和發(fā)生的時(shí)間對(duì)于本發(fā)明是無關(guān)緊要的。在優(yōu)選實(shí)施例中，Windows注冊(cè)表功能用作通過ATE注冊(cè)表來存取的數(shù)據(jù)的持久存儲(chǔ)機(jī)制，盡管也可以容易地使用其他諸如ASCII文件的持久存儲(chǔ)機(jī)制。
為了使儀器與安裝在測(cè)試系統(tǒng)中的電路板相關(guān)聯(lián)，垂直片510包括加載到工作站110中的軟件，其說明了與具體電路板相關(guān)聯(lián)的儀器。這種軟件示出為電路板描述器550(圖5)。電路板描述器550包含對(duì)該描述器與之相關(guān)的電路板上的每個(gè)儀器完成ATE注冊(cè)表中的條目所必須的信息。
ATE注冊(cè)表420中條目的精確形式對(duì)于本發(fā)明是無關(guān)緊要的。然而，在需要時(shí)，該條目應(yīng)該包含其他軟件包訪問該儀器所必需的信息。該信息將包括儀器的標(biāo)識(shí)和如何對(duì)它們尋址。
例如，流模塊414可以執(zhí)行用戶提供的測(cè)試程序，該程序需要對(duì)儀器產(chǎn)生命令。在這種情況中，需要流模塊414啟動(dòng)與儀器的通信。利用ATE注冊(cè)表420中與儀器有關(guān)的信息來實(shí)現(xiàn)該通信。在一些情況中，ATE注冊(cè)表中與儀器有關(guān)的信息可能已被“高速緩存”，因此該軟件實(shí)際上可以不是每次需要數(shù)據(jù)時(shí)都從ATE注冊(cè)表獲取該數(shù)據(jù)。這種優(yōu)化提高了整個(gè)系統(tǒng)的性能，但它是一種已知的技術(shù)，并且不是本發(fā)明所獨(dú)有的。
其他例子，各種編程工具480可以顯示用戶在編寫程序時(shí)可選擇的選項(xiàng)列表。如果任何選項(xiàng)依賴于安裝了哪些儀器，則編程工具可檢查ATE注冊(cè)表中的條目，并只呈現(xiàn)那些在ATE注冊(cè)表中的儀器的選項(xiàng)。以這種方式，將僅編寫用于匹配測(cè)試系統(tǒng)中存在硬件的測(cè)試程序。
如同其他程序包一樣，ATE注冊(cè)表420具有定義的接口421。以這種方式，能夠開發(fā)任何垂直片組件，其訪問ATE注冊(cè)表420內(nèi)的方法，以便在注冊(cè)表中形成適當(dāng)?shù)臈l目。
以類似方式，測(cè)試程序或程序開發(fā)活動(dòng)可能需要不限于特定儀器的信息或功能執(zhí)行。在所示出的實(shí)施例中，這些任務(wù)作為服務(wù)提供。在核心模塊410內(nèi)，示出了兩個(gè)服務(wù)程序包416和418。核心服務(wù)418表示非平臺(tái)依賴組件的服務(wù)。
例如，響應(yīng)報(bào)錯(cuò)所使用的方法不需要根據(jù)所安裝的具體平臺(tái)硬件或儀器而改變。與不同硬件相關(guān)的軟件可通過接口將不同的數(shù)據(jù)傳遞到核心服務(wù)418，以描述發(fā)生的不同類型的錯(cuò)誤。例如，不同的數(shù)據(jù)可能導(dǎo)致不同的消息顯示給用戶。但是顯示消息的功能是與儀器和平臺(tái)都無關(guān)的，并且任何軟件都能通過錯(cuò)誤處理接口訪問這些功能。圖4示出了這種可能性，如同垂直片510中的儀器專用軟件所能夠的，核心模塊(例如流包414)能夠通過到程序包418的接口訪問錯(cuò)誤處理服務(wù)。
其他服務(wù)可依賴于平臺(tái)內(nèi)的硬件。例如，一些測(cè)試機(jī)型號(hào)可能具有閃爍的報(bào)警燈，這些燈指示了問題，而有些具有聲音報(bào)警，有些通過向用戶發(fā)送電子郵件來發(fā)信號(hào)報(bào)警。不管怎樣，向用戶報(bào)告報(bào)警情況可能是每臺(tái)測(cè)試機(jī)應(yīng)該執(zhí)行的核心服務(wù)。因此，報(bào)警可以是程序包416內(nèi)的服務(wù)，可以通過到程序包416的接口來訪問該服務(wù)。為了實(shí)際使測(cè)試機(jī)執(zhí)行適合于特定測(cè)試機(jī)平臺(tái)的動(dòng)作，程序包416訪問平臺(tái)服務(wù)程序包460。在報(bào)警例子中，到平臺(tái)服務(wù)程序包460的接口暴露了響應(yīng)報(bào)警的方法。該接口對(duì)于每個(gè)測(cè)試機(jī)平臺(tái)都是相同的。然而，在平臺(tái)服務(wù)460內(nèi)的具體軟件對(duì)于不同的測(cè)試機(jī)平臺(tái)是不同的。
不管是何種平臺(tái)，而是依賴于平臺(tái)硬件上的具體實(shí)現(xiàn)，優(yōu)選地，每臺(tái)測(cè)試機(jī)可用的其他服務(wù)也包括在核心服務(wù)程序包416中。但是，一部分服務(wù)可以通過訪問包括在平臺(tái)服務(wù)程序包460中的軟件來提供。其他這種服務(wù)的例子是DSP(數(shù)字信號(hào)處理)，這可以在因平臺(tái)不同而不同的硬件中實(shí)現(xiàn)。
配置是另一種服務(wù)的例子，應(yīng)該對(duì)所有測(cè)試機(jī)它都是可用的，但是在不同平臺(tái)上要不同地實(shí)現(xiàn)。如上所述，測(cè)試機(jī)應(yīng)該支持一些類型的動(dòng)作，而不管具體硬件。然而，具體硬件配置能夠影響如何執(zhí)行這些動(dòng)作。配置服務(wù)確定所安裝的具體配置，并提供關(guān)于該硬件能夠做什么的數(shù)據(jù)。上面所述的一個(gè)例子涉及是否一些儀器安裝在測(cè)試機(jī)中以及這些儀器位于哪些電路板上。執(zhí)行這種關(guān)聯(lián)的方法可包括在ATE注冊(cè)表420內(nèi)或者可以作為配置服務(wù)的一部分。
除了知道存在什么儀器，一些測(cè)試程序可能需要所安裝的儀器的具體性能或具體平臺(tái)的知識(shí)。例如，數(shù)字儀器可能以不同的版本售出，其中一種具有更多通道或能夠以更高的時(shí)鐘速率運(yùn)行。在優(yōu)選實(shí)施例中，配置服務(wù)包含獲得和提供測(cè)試機(jī)中具體硬件性能方面的數(shù)據(jù)的方法。由于這種數(shù)據(jù)中的一些依賴于具體平臺(tái)，所以所示出的配置服務(wù)是訪問平臺(tái)服務(wù)460的核心服務(wù)程序包416的一部分。示出了平臺(tái)服務(wù)程序包460，以說明它能夠訪問垂直片510。垂直片510包含具有定義了接口的軟件，其能夠提供關(guān)于系統(tǒng)中儀器的下層硬件的信息。
圖4也示出了包含模式軟件470的程序包。模式軟件執(zhí)行使用戶可創(chuàng)建信號(hào)模式的方法，該種模式的信號(hào)在“脈沖”期間施加到待測(cè)器件。這種工具在測(cè)試領(lǐng)域中是已知的，其執(zhí)行例如由計(jì)算機(jī)產(chǎn)生的描述來編譯模式文件或?qū)⒛Ｊ轿募虞d到測(cè)試機(jī)機(jī)體112內(nèi)的模式存儲(chǔ)器中的功能。這些功能依賴于平臺(tái)硬件的具體配置，并且可依賴于所安裝的具體儀器。因此，圖4示出了模式軟件470由編程工具480訪問并且又能訪問下層儀器硬件。
獨(dú)立于儀器的程序包的每個(gè)程序包接口，例如接口415或421，圖中示出為具有兩塊。這種表示指出了框架接口和程序包專用接口。系統(tǒng)中的每個(gè)程序包通常要執(zhí)行對(duì)于系統(tǒng)中的每個(gè)程序包而言是公共的功能。例如，每個(gè)程序包可能需要響應(yīng)例如啟動(dòng)、關(guān)閉和復(fù)位(reset)命令。盡管每個(gè)程序包響應(yīng)這些命令中的每一個(gè)所采取的動(dòng)作可能是不同的，但在所述實(shí)施例中每個(gè)程序包都需要接收并響應(yīng)這樣的命令。由程序包執(zhí)行的其他功能是程序包專用的。所述公共功能是框架接口的一部分。其他功能通過程序包專用接口來暴露。然而，這種接口劃分對(duì)于本發(fā)明是無關(guān)緊要的。
在所提出的優(yōu)選實(shí)施例中，程序包專用接口進(jìn)一步被劃分為兩塊。程序包專用接口的一個(gè)部分定義用戶可視的“語言(language)”。語言表示在為測(cè)試系統(tǒng)編寫用戶程序中可使用的程序設(shè)計(jì)構(gòu)造。例如，提供DSP服務(wù)的程序包需要提供某種形式的DSP語言，以便用戶能夠從測(cè)試程序調(diào)用DSP功能。有許多暴露語言的方式，但是COM技術(shù)的使用提供了一種便捷的機(jī)制。也可使用其他便利的軟件組件技術(shù)，例如CORBA或Java Beans。
本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例提供的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是給用戶的“外觀”是單一無縫并且一致的軟件系統(tǒng)。存在由不獨(dú)立于核心軟件的軟件對(duì)象控制的電路板和儀器，這樣的事實(shí)對(duì)于該軟件的用戶是透明的。這種概念的一個(gè)例子涉及用戶編程語言。盡管可能有多個(gè)電路板和儀器，但通過一個(gè)機(jī)制來訪問語言，在該機(jī)制中，測(cè)試機(jī)機(jī)體112中存在的所有電路板和儀器都可訪問。
現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖5，示出了隨儀器電路板一同提供的軟件組件。該組件是垂直片510中的一個(gè)的實(shí)現(xiàn)。
該組件包含提供接口512的程序包。該接口包含幾個(gè)塊。如同獨(dú)立于儀器的程序包一樣，具有框架接口514，用于提供調(diào)用系統(tǒng)中對(duì)所有程序包公共的功能的接口。它們執(zhí)行例如開始、停止及復(fù)位功能。
該接口的另一部分，儀器接口516，揭示了對(duì)所有儀器公共的方法?？赡芟Ｍ箖x器來響應(yīng)使它們報(bào)告自己的狀態(tài)或輸入預(yù)定狀態(tài)的命令。通過儀器接口516來暴露這種命令。例如，儀器可具有“凈”與“臟”狀態(tài)?！芭K”是指儀器處于在測(cè)試探針118中的一個(gè)處可能影響信號(hào)電平的狀態(tài)。通過該儀器接口暴露的方法可報(bào)告該狀態(tài)，可將儀器轉(zhuǎn)變?yōu)閮魻顟B(tài)，或能夠使儀器進(jìn)入臟狀態(tài)。
這些儀器還可能必須響應(yīng)定時(shí)信號(hào)而采取動(dòng)作。測(cè)試機(jī)常包括模式控制電路，該電路在脈沖期間同步事件的執(zhí)行。通過模式控制接口518暴露了使儀器根據(jù)所希望的定時(shí)執(zhí)行功能的方法。
該接口的另一方面使儀器響應(yīng)提供服務(wù)的程序包。例如，所有儀器可能都需要以相同的方式響應(yīng)報(bào)警或錯(cuò)誤處理服務(wù)。這種交互可通過服務(wù)客戶接口520來控制。
由于儀器通常執(zhí)行該儀器獨(dú)特的功能，每個(gè)儀器通常具有儀器專用接口522。如上所述，設(shè)備專用接口可揭示能夠由用戶結(jié)合到程序中的用戶語言，該程序在包含該儀器的測(cè)試機(jī)上運(yùn)行。
包含控制儀器的軟件，作為硬件驅(qū)動(dòng)程序560的一部分。硬件驅(qū)動(dòng)程序560類似于現(xiàn)有技術(shù)中使用的儀器驅(qū)動(dòng)程序。然而，它被實(shí)現(xiàn)為程序包，該程序包能夠結(jié)合到使用COM技術(shù)的系統(tǒng)中。這樣，硬件驅(qū)動(dòng)程序使用框架接口并且也使用儀器專用接口。用于儀器的大多數(shù)終端用戶語言很可能與硬件的操作有關(guān)。
然而，垂直片肯定不只包含硬件驅(qū)動(dòng)程序。如上所述，ATE注冊(cè)表420和配置服務(wù)有必要知道安裝在系統(tǒng)中的具體電路板和具體儀器之間的相互關(guān)系。優(yōu)選地，在電路板描述器550中包括關(guān)于電路板上儀器的信息。
應(yīng)該注意，在電路板上具有一種以上儀器的情況下，與該電路板相配的垂直片組件可包含硬件驅(qū)動(dòng)程序、顯示、自測(cè)試文檔或儀器專用(而非電路板專用)的其他元素的多個(gè)副本。
如上所述，非常希望把具體儀器的所有獨(dú)特軟件都編碼到垂直片中。因此，在包含垂直片的軟件組件中必須包括向用戶呈現(xiàn)特定類型儀器專用的顯示畫面的軟件。由此，所示出的垂直片510包含用戶接口程序包538。該程序包具有使其他程序包可訪問該顯示或用戶接口功能的接口。例如，這種用戶接口程序包的方法可呈現(xiàn)圖形用戶接口，該圖形用戶接口允許用戶指定儀器的操作參數(shù)。其他方法可呈現(xiàn)調(diào)試顯示，當(dāng)調(diào)用該調(diào)試顯示時(shí)，其顯示儀器的狀態(tài)。
另外，希望每個(gè)儀器執(zhí)行一些自測(cè)試或校準(zhǔn)功能。自測(cè)試可以在工廠中在首次安裝儀器時(shí)執(zhí)行，或者在測(cè)試機(jī)的使用壽命內(nèi)的任何時(shí)間執(zhí)行。盡管希望當(dāng)在測(cè)試機(jī)上執(zhí)行自測(cè)試時(shí)每個(gè)儀器都執(zhí)行自測(cè)試，但測(cè)試每個(gè)儀器所采取的具體動(dòng)作是不同的。因此，可以具有發(fā)起自測(cè)試的核心服務(wù)。但是，該核心服務(wù)必須有調(diào)用表示成自測(cè)試程序包542的儀器專用軟件的接口。
另外，每個(gè)儀器都可能在執(zhí)行一些類型的測(cè)試中是有用的。如果被設(shè)計(jì)成用于輔助用戶編程該類型測(cè)試的測(cè)試元素對(duì)用戶可用的，這也是一個(gè)優(yōu)點(diǎn)。因此，所示出的垂直片510包含測(cè)試元素536。測(cè)試元素536例如可以是通用的測(cè)試技術(shù)，該測(cè)試技術(shù)特別適于運(yùn)行其中儀器與示出的軟件垂直片相關(guān)的測(cè)試。
如果在用戶可用的文檔中對(duì)儀器的功能進(jìn)行描述，這也是所希望的。盡管提供文檔，包括文件搜索或提供上下文有關(guān)的幫助，可能是一種普遍適用的功能，但提供給用戶的信息有時(shí)需要是儀器專用的。因此，所示出的垂直片510包含儀器專用文檔。所示出的該文檔示在具有文檔接口532的程序包中。以這種方式，核心服務(wù)能夠訪問儀器專用文檔。
已經(jīng)描述了一個(gè)實(shí)施例，還可以實(shí)現(xiàn)許多替代的實(shí)施例或改型。例如，描述了在制造測(cè)試系統(tǒng)是在其中安裝核心模塊和平臺(tái)模塊。這種實(shí)現(xiàn)不是對(duì)本發(fā)明的限制。通常，要對(duì)軟件增強(qiáng)或維護(hù)，因此測(cè)試機(jī)在制造后還會(huì)把新發(fā)布的軟件安裝在其中。此外，不是必須在制造測(cè)試機(jī)的工廠中安裝隨測(cè)試機(jī)提供的軟件。可以在向客戶交付并設(shè)置測(cè)試機(jī)之后再實(shí)際安裝軟件。
另外，描述了使用C++作為系統(tǒng)內(nèi)許多對(duì)象的編程語言。一些對(duì)象可以用Visual Basic或任何其他方便的軟件語言來編寫。此外，應(yīng)該理解，這里使用了例如“程序包”和“方法”等術(shù)語，當(dāng)與具體的編程語言關(guān)聯(lián)使用時(shí)這些術(shù)語可具有具體的含義。然而，使用這些術(shù)語并不意味著必須使用利用這些術(shù)語來描述構(gòu)造的編程語言或系統(tǒng)。更一般的，它們被用來描述可識(shí)別的軟件集合以及它們能夠執(zhí)行的功能。
此外，描述了把儀器專用軟件加載到工作站110中。工作站110訪問軟件的具體機(jī)制對(duì)本發(fā)明是不重要的，并且軟件“加載”到工作站上的表示應(yīng)該寬泛地解釋為意味著在工作站上運(yùn)行的程序可訪問的。可以通過將軟件復(fù)制到工作站的內(nèi)部存儲(chǔ)器中來加載軟件。可替換地，可以通過插入某種形式的可移動(dòng)介質(zhì)來加載軟件，所述介質(zhì)例如是CD或軟盤。另一種可行方法是通過訪問互聯(lián)網(wǎng)來加載軟件。
另外，所說明的一般功能被分成核心模塊和平臺(tái)模塊。這種劃分是基于對(duì)硬件是否隨平臺(tái)改變的判斷進(jìn)行的。因此，具體劃分對(duì)本發(fā)明是不重要的，并可隨時(shí)間改變。
此外，應(yīng)該理解，各組件是按照便于實(shí)現(xiàn)的方式劃分成程序包的。具體劃分可隨實(shí)現(xiàn)的不同而不同。特別是，可能某些儀器實(shí)際上包含在每個(gè)測(cè)試系統(tǒng)中?？刂七@種儀器的軟件可以結(jié)合到核心或平臺(tái)模塊中，而不影響本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。
還應(yīng)該理解，所選擇的具體程序包是用來說明軟件劃分的，而不是對(duì)可能存在于測(cè)試機(jī)中的程序包的窮舉性列舉。在商品化的測(cè)試機(jī)中，包括更多程序包。例如可能有記錄測(cè)試數(shù)據(jù)的程序包。有些程序包可用于控制定時(shí)，例如控制數(shù)字測(cè)試信號(hào)施加到待測(cè)器件的速率。有些程序包可提供更復(fù)雜的測(cè)試管理功能，像控制測(cè)試探針118的組，使得每個(gè)組建立一個(gè)“現(xiàn)場(chǎng)”，在此測(cè)試待測(cè)器件，從而測(cè)試機(jī)能夠同時(shí)測(cè)試多個(gè)器件。
上面描述了通過在安裝儀器時(shí)運(yùn)行初始化程序ATE注冊(cè)表可知道哪些儀器在測(cè)試機(jī)上是可用的。一種替代方案是使系統(tǒng)啟動(dòng)程序在工作站110上運(yùn)行。由于添加到系統(tǒng)中的每個(gè)電路板(例如310或312)包含識(shí)別機(jī)制，啟動(dòng)程序能夠確定是否有任何新電路板添加到了系統(tǒng)中。對(duì)新電路板的識(shí)別能夠觸發(fā)導(dǎo)致在ATE注冊(cè)表中產(chǎn)生適當(dāng)條目的動(dòng)作。然而，后一種機(jī)制通常需要用于和每個(gè)儀器通信的標(biāo)準(zhǔn)格式。目前優(yōu)選在儀器安裝到測(cè)試機(jī)中時(shí)運(yùn)行初始化程序，這是因?yàn)橛捎诔跏蓟绦蚰軌螂S儀器打包，它可包含儀器的特定特征。
其他改型可涉及將測(cè)試機(jī)集成到較大的計(jì)算機(jī)輔助制造系統(tǒng)或集成半導(dǎo)體設(shè)計(jì)系統(tǒng)。許多其他改型也是可能的。
因此，本發(fā)明應(yīng)該只由所附權(quán)利要求的精神和范圍來限定。
權(quán)利要求
1.一種制造半導(dǎo)體器件的方法，其包括根據(jù)包含如下步驟的方法運(yùn)行自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)a)使用包含獨(dú)立于儀器的軟件的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)；b)在較后的時(shí)間接收具有儀器專用軟件組件的儀器；和c)在所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)中安裝所述儀器和儀器專用軟件組件；d)通過在所述獨(dú)立于儀器的軟件和所述儀器專用軟件之間的接口，使用包括所述儀器的所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述獨(dú)立于儀器的軟件和儀器專用軟件組件包含定義了接口的程序包。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述程序包是用COM技術(shù)實(shí)現(xiàn)的。
4.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述儀器專用軟件組件的接口暴露可包含在測(cè)試程序中的語言，并控制所述儀器的功能，所述測(cè)試程序運(yùn)行在所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)上。
5.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述儀器專用軟件組件包含有關(guān)所述儀器的文檔，使用所述獨(dú)立于儀器的軟件中的工具把該文檔顯示給該自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的用戶。
6.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述儀器專用軟件組件包含顯示程序包，該顯示程序包對(duì)該自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的用戶呈現(xiàn)與所述儀器相關(guān)的顯示。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中，所述顯示程序包響應(yīng)由編程和所述獨(dú)立于儀器的軟件內(nèi)工具通過接口的訪問而提供編程和調(diào)試顯示。
8.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述儀器專用軟件組件包含自測(cè)試軟件，該自測(cè)試軟件響應(yīng)通過接口的訪問來測(cè)試所述儀器。
9.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述儀器專用軟件組件包含測(cè)試元素，該測(cè)試元素用于結(jié)合到由該自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)運(yùn)行的測(cè)試作業(yè)中，以創(chuàng)建使用所述儀器的測(cè)試。
10.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述儀器專用軟件組件包含控制所述儀器的軟件和向該自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的用戶呈現(xiàn)有關(guān)所述儀器控制的顯示的軟件。
11.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)包括附加的儀器，該附加的各儀器每個(gè)都具有包含有接口的儀器專用軟件組件，通過所述接口訪問所述儀器，每個(gè)接口暴露方法使得所述儀器執(zhí)行動(dòng)作，并且每個(gè)接口暴露公共方法。
12.如權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述公共方法包括方法用來把所述儀器置于這樣的狀態(tài)在該狀態(tài)下，它不改變?cè)撟詣?dòng)測(cè)試系統(tǒng)的輸出上的信號(hào)電平。
13.如權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述公共方法包括用于復(fù)位所述儀器的方法。
14.如權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述公共方法包括用于復(fù)位所述儀器的方法。
15.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，使用所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)包括運(yùn)行啟動(dòng)程序，該啟動(dòng)程序創(chuàng)建安裝在所述測(cè)試機(jī)中的儀器的目錄。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述儀器位于安裝在所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)中的電路板上，所述電路板包括識(shí)別機(jī)制，并且所述啟動(dòng)程序訪問所述識(shí)別機(jī)制。
17.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述儀器設(shè)置在電路板上，并且所述儀器專用軟件組件包括該電路板上的儀器的描述。
18.一種使用如權(quán)利要求1所述的方法來制造半導(dǎo)體器件的方法，其中，使用包括所述儀器的所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，用于在制造期間測(cè)試半導(dǎo)體器件，并且根據(jù)測(cè)試結(jié)果選擇該制造方法中的后續(xù)處理步驟。
19.如權(quán)利要求18所述的制造半導(dǎo)體器件的方法，其中，所述后續(xù)處理步驟包括根據(jù)所述測(cè)試結(jié)果將半導(dǎo)體器件分類到各性能類別中。
20.如權(quán)利要求18所述的制造半導(dǎo)體器件的方法，其中，所述后續(xù)處理步驟包括選出通過了測(cè)試的半導(dǎo)體器件用于包裝。
21.一種提供自動(dòng)測(cè)試環(huán)境的方法，其包括a)在第一時(shí)間提供包含獨(dú)立于儀器的軟件的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)；b)在較后的時(shí)間提供帶有儀器專用軟件組件的儀器；由此c)所述儀器和所述儀器專用軟件組件能夠安裝在所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)中；以及d)通過在所述獨(dú)立于儀器的軟件和所述儀器專用軟件之間的接口，所述儀器能夠用作所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的一部分。
22.如權(quán)利要求21所述的方法，其中，所述獨(dú)立于儀器的軟件和所述儀器專用軟件組件包含定義了接口的程序包。
23.如權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述程序包是用COM技術(shù)實(shí)現(xiàn)的。
24.如權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述儀器專用軟件組件的接口暴露可包含在測(cè)試程序中的語言，并控制所述儀器的功能，所述測(cè)試程序運(yùn)行在所述自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)上。
25.如權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述儀器專用軟件組件包含有關(guān)所述儀器的文檔，使用所述獨(dú)立于儀器的軟件內(nèi)的工具把該文檔顯示給該自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的用戶。
26.如權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述儀器專用軟件組件包含顯示程序包，該顯示程序包對(duì)該自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的用戶呈現(xiàn)與所述儀器相關(guān)的顯示。
27.如權(quán)利要求26所述的方法，其中，所述顯示程序包響應(yīng)由編程和所述獨(dú)立于儀器的軟件內(nèi)工具通過接口的訪問而提供編程和調(diào)試顯示。
28.如權(quán)利要求21所述的方法，其中，提供獨(dú)立于儀器的軟件包括提供依賴于平臺(tái)的軟件和獨(dú)立于平臺(tái)的軟件，以及提供在所述依賴于平臺(tái)的軟件和獨(dú)立于平臺(tái)的軟件之間的預(yù)定的接口，所述依賴于平臺(tái)的軟件執(zhí)行依賴于測(cè)試機(jī)型號(hào)的硬件的操作，所述獨(dú)立于平臺(tái)的軟件執(zhí)行與硬件無關(guān)的操作，該硬件隨產(chǎn)品線中的測(cè)試機(jī)型號(hào)改變而改變。
29.如權(quán)利要求22所述的方法，其中，所述儀器專用軟件包括在印刷電路板上的儀器的物理實(shí)現(xiàn)的標(biāo)識(shí)，并且所述程序包中預(yù)定的一些用于為在不同類型印刷電路板上所實(shí)現(xiàn)的相同儀器創(chuàng)建儀器專用軟件。
全文摘要
一種自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)例如可作為制造過程的一部分用來測(cè)試半導(dǎo)體器件。該測(cè)試系統(tǒng)使用儀器來產(chǎn)生和測(cè)量測(cè)試信號(hào)。該自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)具有使得在其被制造之后將儀器添加到測(cè)試系統(tǒng)上的硬件和軟件體系結(jié)構(gòu)。該軟件分成儀器專用軟件和獨(dú)立于儀器的軟件。軟件組件的預(yù)定義接口使得能夠容易地將儀器集成到測(cè)試系統(tǒng)中，并且在測(cè)試系統(tǒng)的實(shí)際實(shí)現(xiàn)時(shí)或儀器隨產(chǎn)品系列中的測(cè)試機(jī)改變時(shí)能夠容易地重用該軟件。
文檔編號(hào)G06F19/00GK1826536SQ200480021044
公開日2006年8月30日 申請(qǐng)日期2004年6月12日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月12日
發(fā)明者斯蒂芬·J·霍特亞克, 阿蘭·L·布利茨, 蘭德爾·B·斯廷森 申請(qǐng)人:泰拉丁公司