專利名稱:用于基片的盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及用于基片的盒。
背景技術(shù):
在制作半導(dǎo)體裝置或顯示板期間,通常通過傳送裝置傳送用于半導(dǎo)體裝置的半導(dǎo)體基片或用于如液晶顯示器(LCD)和有機(jī)發(fā)光顯示器(OLED)的平板顯示器的玻璃基片。
LCD通常包括兩個(gè)由玻璃基片制成的板和一個(gè)液晶層,而OLED包括一個(gè)由玻璃基片制成的信號(hào)板。通過給設(shè)置在所述板上的場生成電極施加電壓以產(chǎn)生電場,所述LCD顯示圖像,所述電場確定所述液晶層中的液晶分子的取向。所述OLED通過給發(fā)光二極管施加電流或電壓來顯示圖像,所述發(fā)光二極管依靠電流或電壓發(fā)光。
用于LCD的常規(guī)基片傳送裝置將玻璃基片傳送給若干使用盒、儲(chǔ)物器和分度器(indexer)的操作裝置送。若干基片容納在盒中,容納所述基片的所述盒存儲(chǔ)在儲(chǔ)物器中。通過機(jī)器人分度器把所述基片從所述盒中取出并放入操作裝置中。
然而所述常規(guī)基片傳送裝置可以因所述玻璃基片變大而具有若干問題,比如大于約1500mm。
首先存儲(chǔ)在所述盒中的大基片由于其沉重的重量而易于變得下垂。另外較重的基片在所述盒中需要較大的重支撐條,而所述大的重支撐條易于變得下垂和震顫。此外較重的基片也需要分度器的較大的機(jī)器人臂,這樣,盒的水平擱板間距變大,從而使所述盒和所述儲(chǔ)物器增大。所述大且重的基片也可以引起其它裝置的問題,例如盒起重架、盒傳送裝置和操作所述盒的升降架。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種用于基片的盒,所述盒包括框架和限定出在豎直方向分層的槽的多組支撐元件,其中,每組支撐元件包括多個(gè)第一支撐條,其沿第一水平方向延伸,其端部固定到所述框架上,用于安裝所述基片;以及,支撐線,其與所述第一支撐條連接,其端部固定到所述框架上。
所述第一支撐條可以彼此隔開。
所述支撐線可以與所述第一支撐條的底部連接。
每組支撐元件還可以包括多個(gè)第二支撐條,其沿與所述第一水平方向相交的第二水平方向延伸,其兩端固定到所述框架上,用于安裝所述基片。
所述第一支撐條可以包括設(shè)置在頂部的緩沖件,所述緩沖件可以包括聚醚醚酮(polyetheretherketone,PEEK)。
所述第二支撐條的頂表面可以與所述緩沖件具有相同的高度。
所述框架可以包括鋁和不銹鋼,且所述第一支撐條可以包括碳纖維增強(qiáng)塑料。
本發(fā)明提供一種用于基片的盒,所述盒包括框架和限定出在豎直方向分層的槽的多組支撐元件,其中每組支撐元件包括具有水平表面的基板和多個(gè)設(shè)置在所述基板上并且用于安裝所述基片的支撐柱。
所述基板可以包括多個(gè)具有固定在所述框架上的端部的基條或具有固定在所述框架上的邊緣的基板。
所述支撐柱可以包括聚醚醚酮(PEEK)。
通過參照附圖詳細(xì)地描述本發(fā)明的實(shí)施方式,本發(fā)明將會(huì)更加明了,附圖中圖1是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的盒的平面圖。
圖2是圖2所示的盒的截面圖。
圖3是圖2所示的盒的A部的放大截面圖。
圖4是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的盒的平面圖。
圖5是圖4所示的盒的截面圖。
圖6是圖5所示的盒的B部的放大截面圖。
圖7是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的盒的平面圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在參照附圖在下文更全面地描述本發(fā)明,在本發(fā)明中示出本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。然而本發(fā)明可以體現(xiàn)在許多不同的變型中,而不應(yīng)認(rèn)為受限于這里所提及的實(shí)施方式。在所述附圖中,相同的附圖標(biāo)記表示相同的元件。
那么參照附圖詳細(xì)描述用于基片的盒。
圖1是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的盒的平面圖,圖2是圖2所示的盒的截面圖,圖3是圖2所示的盒的A部放大截面圖。
參照?qǐng)D1-3,根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的盒包括立方形框架210和多個(gè)在豎直方向分層的槽,每個(gè)槽由安裝基片110的一組支撐元件220、230和240限定。
所述框架210包括三個(gè)豎直壁和用于所述基片110的入口/出口,面對(duì)所述入口/出口的后壁包括多個(gè)豎直條211。優(yōu)選地,所述框架210由鋁和不銹鋼,例如SUS(Steel Use Stainless)制成。
一組支撐元件包括多個(gè),例如三個(gè)從所述框架210的所述豎直壁條211水平延伸的、長的主支撐條220,連接所述主支撐條220的支撐線240和多個(gè)從所述框架210水平延伸的、短的輔助支撐條230。
通過機(jī)器人傳送臂(未示出)將基片110安裝在所述主支撐條220和所述輔助支撐條230上。承載所述基片110的所述機(jī)器人臂進(jìn)入所述主支撐元件230間的空間并將所述基片110放在所述主支撐元件230上,然后返回。
所述主支撐條220彼此分開且優(yōu)選地彼此平行延伸。每個(gè)所述主支撐220在其底部具有連接部件222。
優(yōu)選地,所述主支撐條220由CFRP(碳纖維增強(qiáng)塑料)制成。CFRP是用作外部結(jié)構(gòu)的聚合體復(fù)合物,其拉伸模量比鋁的拉伸模量的大約4.5倍還要高,其比模量(specific modulus)是鋁的大約3.3倍。另外CFRP的疲勞極限可以保持到其初始值的大約80%,而鋁的疲勞極限僅為其初始值的大約35%。
每個(gè)所述主支撐條220包括多個(gè)位于其頂部的緩沖件221,所述緩沖件221吸收安裝所述基片110時(shí)的碰撞。優(yōu)選地,所述緩沖件221由PEEK(聚醚醚酮)制成,所述PEEK是具有大約250℃的持續(xù)使用溫度(CUT)的專用耐用熱塑性樹脂。
所述支撐線240通過所述連接部件222與所述主支撐條220連接,且所述支撐線240的端部固定在所述框架210上。通過拉緊或放松所述支撐線240的所述端部來調(diào)節(jié)所述支撐線240的張力。當(dāng)所述主支撐條220安裝所述基片110時(shí),所述支撐線240防止所述主支撐條220彎曲或震顫。優(yōu)選地,所述支撐線240由鋼制成,并且具有大約3-5mm的直徑。
優(yōu)選地,所述支撐線240的間距(或相鄰支撐線240間的距離)為大約75-95mm,支撐線240和與其相鄰的緩沖件221間的間隙為大約50-70mm,這樣提供給所述傳送臂的可用空間為大約80mm。
所述輔助支撐條230從所述框架210的側(cè)壁水平延伸,并用于支撐所述基片110的側(cè)邊緣部。優(yōu)選地,所述輔助支撐條230的頂面高度與所述緩沖件221的高度相同,以保持所安裝的基片110水平。
所述輔助支撐條230的延伸方向可以與所述主支撐條220的延伸方向成直角或非直角。
下面參照?qǐng)D4-6描述根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的盒。
圖4是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的盒的平面圖,圖5是圖4所示的盒的截面圖,圖6是圖5所示的盒的B部的放大截面圖。
參照?qǐng)D4-6,根據(jù)此實(shí)施方式的盒包括立方形框架210和多個(gè)在豎直方向分層的槽,每個(gè)槽由安裝基片110的一組支撐元件250和260限定。
所述框架210包括三個(gè)豎直壁和用于所述基片110的入口/出口。優(yōu)選地,所述框架210由鋁和不銹鋼,例如SUS制成。
一組支撐元件包括具有固定在所述框架210的所述壁上的邊緣的基板250和多個(gè)位于所述基板250上的支撐柱260。所述支撐柱260規(guī)則排列且優(yōu)選地由PEEK制成。所述基片110安裝在所述支撐柱260上。
下面,參照?qǐng)D7描述根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的盒。
圖7是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的盒的平面圖。
參照?qǐng)D7,根據(jù)此實(shí)施方式的盒具有與圖4-6所示的盒相似的結(jié)構(gòu)。也就是說,所述盒包括立方形框架210和多個(gè)在豎直方向分層的槽,每個(gè)槽由安裝基片110的一組支撐元件260和270限定。
但是,用包括多個(gè)水平延伸的基條270的一組支撐元件來代替平面狀基板,所述基條270的兩個(gè)相對(duì)端部固定在所述框架210的側(cè)壁上,所述支撐元件還包括多個(gè)位于基條270上的支撐柱260。圖7所示的盒比圖4-6所示的盒輕。
圖4-7所示的盒可容易地以平直的狀態(tài)存儲(chǔ)所述基片110,因此有效地防止所述基片110下垂和震顫。
總之,根據(jù)本發(fā)明所述實(shí)施方式的盒防止所述基片下垂和震顫,另外所述支撐線減少所述槽間的間距的增大和所述盒的重量的增加,因此能夠簡化和優(yōu)化所述盒的結(jié)構(gòu)。
雖然已經(jīng)參照所述優(yōu)選實(shí)施方式詳細(xì)描述了本發(fā)明,但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來所,可以在不脫離在權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍的前提下對(duì)本發(fā)明做出各種改進(jìn)和替代。
權(quán)利要求
1.一種用于基片的盒,包括框架;以及多組支撐元件,其限定出在豎直方向分層的槽,其中,每組支撐元件包括多個(gè)第一支撐條,其沿第一水平方向延伸,其端部固定到所述框架上,其用于安裝所述基片;以及支撐線,其與所述第一支撐條連接,其端部固定到所述框架上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盒,其中,所述第一支撐條彼此間隔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盒,其中,所述支撐線與所述第一支撐條的底部連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盒,其中,所述第一支撐條包括設(shè)置在其頂部的緩沖件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的盒,其中,所述緩沖件可以包括聚醚醚酮(PEEK)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盒,其中,每組支撐元件還包括多個(gè)沿與所述第一水平方向相交的第二水平方向延伸的第二支撐條,所述第二支撐條的端部固定到所述框架上,并且用于安裝所述基片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的盒,其中,所述第一支撐條包括設(shè)置在其頂部的緩沖件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的盒,其中,所述第二支撐條的頂表面的高度與所述緩沖件的高度相同。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盒,其中,所述框架包括鋁和不銹鋼。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的盒,其中,所述第一支撐條包括碳纖維增強(qiáng)塑料。
11.一種用于基片的盒,包括框架;以及多組支撐元件,其限定出在豎直方向分層的槽,其中,每組支撐元件包括基板,其具有水平表面;以及多個(gè)支撐柱,其設(shè)置在所述基板上,并且用于安裝所述基片。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的盒,其中,所述基板包括多個(gè)具有固定在所述框架上的端部的基條。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的盒,其中,所述基板包括具有固定在所述框架上的邊緣的基板。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的盒,其中,所述支撐柱包括聚醚醚酮(PEEK)。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用于基片的盒,所述盒包括框架和限定出在豎直方向分層的槽的多組支撐元件,其中每組支撐元件包括多個(gè)第一支撐條,其沿第一水平方向延伸,其端部固定到所述框架上,并且用于安裝所述基片;以及支撐線,其與所述第一支撐條連接,其端部固定到所述框架上。
文檔編號(hào)G06F1/18GK1636840SQ20041009548
公開日2005年7月13日 申請(qǐng)日期2004年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月23日
發(fā)明者安根洙, 趙在男 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社