專利名稱：在自動(dòng)化制造環(huán)境中主動(dòng)軟件代理的特性化的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及自動(dòng)化制造環(huán)境，更詳而言之，涉及在自動(dòng)化制造環(huán)境中主動(dòng)軟件代理的特性化。
背景技術(shù)：
不斷增加的技術(shù)需求以及全球?qū)τ诰茈娮友b置的接受已造成對于大型且復(fù)雜的集成電路空前的需求。于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的競爭中要求盡可能在最有效益的方法下進(jìn)行產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造以及營銷。這些要求促使制造技術(shù)的改進(jìn)必須跟上電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的快速步調(diào)。為符合這些要求而于材料與制造設(shè)備上產(chǎn)生許多技術(shù)的提升同時(shí)顯著的增加集成電路設(shè)計(jì)的數(shù)量。這些改進(jìn)也要求計(jì)算機(jī)資源以及其它高精密設(shè)備的利用，以在設(shè)計(jì)與制造之外，進(jìn)一步對于排程、控制與制造流程自動(dòng)化予以輔助。
首先就集成電路或微芯片的制造而論，該些集成電路或微芯片由包含典型的可為數(shù)微米尺寸的數(shù)量級(jí)的結(jié)構(gòu)與特征的現(xiàn)代化半導(dǎo)體裝置所制造而成。該些特征置于該半導(dǎo)體裝置已劃分的區(qū)域中，該些特征包括有傳導(dǎo)性的、不具有傳導(dǎo)性的或半傳導(dǎo)性的(亦即通過摻雜于定義的區(qū)域中以提供傳導(dǎo)性)。該制程通常涉及通過一系列的制造工具以處理大量的晶片。每一個(gè)制造工具執(zhí)行詳述于后的四個(gè)基本運(yùn)作的一或二個(gè)運(yùn)作。該四個(gè)基本運(yùn)作系依據(jù)整體制程予以執(zhí)行以最終產(chǎn)生完整的半導(dǎo)體裝置。
集成電路系由半導(dǎo)體基材材料的晶片所制成。多種的材料層在制程中被增加、移除及/或處理以形成該集成化的電子電路而以產(chǎn)生該裝置。該制程本質(zhì)上包含系列化的四個(gè)基本運(yùn)作●布層(layering)，或增加不同材料的薄層至晶片借以產(chǎn)生半導(dǎo)體；●圖案化，或移除增加層的選定部分；●摻雜，或通過該增加層中的開孔置入特定量的摻雜物于該晶片選定的部分；以及●熱處理，或加熱或冷卻該材料以在處理的晶片中產(chǎn)生期望的結(jié)果。
盡管只有四個(gè)基本運(yùn)作，但卻可依據(jù)特定的制程以數(shù)百種不同的方式予以組合?？蓞⒄誔eter Van Zant，Microchip Fabrication A PracticalGuide to Semiconductor Processing(3d Ed.1997 McGraw-Hill Companies，Inc.)(ISBN 0-07-067250-4)。
然而控制半導(dǎo)體制造廠卻是具有挑戰(zhàn)性的任務(wù)。半導(dǎo)體制造廠(或稱為fab)是一個(gè)復(fù)雜的環(huán)境，其中包括許多的部件(典型的為四萬個(gè)或更多的晶片)，以及許多的部件種類(典型的為一百個(gè)或更多的部件種類)，在同一時(shí)間被制造。當(dāng)每一個(gè)晶片通過該fab時(shí)，將會(huì)經(jīng)歷超過三百種處理步驟，其中的許多步驟是利用相同的機(jī)器。大型的制造廠可能包含大約五百臺(tái)以上的計(jì)算機(jī)控制機(jī)器以執(zhí)行此種晶片處理。通過該些制造廠的其中之一對物料進(jìn)行路徑設(shè)定、排程(scheduling)與追蹤是非常困難且復(fù)雜的任務(wù)，即使通過計(jì)算機(jī)化的制造廠控制系統(tǒng)的輔助亦然。
有效率的管理用以制造如半導(dǎo)體芯片等的設(shè)備必須監(jiān)視制程中的各種不同的方面。舉例而言，典型的需要追蹤現(xiàn)存原物料的數(shù)量、在制品的狀態(tài)以及在制程中的每一個(gè)步驟的機(jī)器與工具的有效性。一個(gè)重要的決定在于選擇何一批次應(yīng)該在任一給定時(shí)間于各機(jī)器上執(zhí)行。此外，于制程中的大部分機(jī)器必須安排固定的預(yù)防性維護(hù)(preventativemaintenance；PM)以及設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證(equipment qualification；Qual)程序，以及必須定期執(zhí)行診斷與修理的程序，如此才不會(huì)妨礙制程本身。
解決此問題的一種途徑系執(zhí)行自動(dòng)化的“制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing Execution System；MES)”。自動(dòng)化MES可讓用戶查看并操作于制造環(huán)境中有限范圍的機(jī)器與工具的狀態(tài)或?qū)嶓w(entity)。此外，MES可執(zhí)行批次或通過制程的在制品的發(fā)送與追蹤以使資源可在最有效率的方法下予以管理。具體言之，為響應(yīng)MES的提示，用戶輸入所要求有關(guān)于在制品或?qū)嶓w狀態(tài)的信息。舉例而言，當(dāng)用戶于一特定的實(shí)體上執(zhí)行PM時(shí)，維護(hù)技術(shù)人員(maintenance technician；MT)將PM或事件(event)的執(zhí)行登入MES屏幕中借以更新存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)庫中關(guān)于該實(shí)體狀態(tài)的信息予以更新。此外，當(dāng)實(shí)體被記錄為修理或維護(hù)時(shí)，該MT會(huì)將該信息登入至該MES數(shù)據(jù)庫中，以防止該實(shí)體的使用直至之后登錄回復(fù)至生產(chǎn)準(zhǔn)備狀態(tài)為止。
僅管MES系統(tǒng)有足夠的能力執(zhí)行追蹤批次或機(jī)器，但是此種系統(tǒng)仍存在著一些缺陷，最明顯的便是它們的被動(dòng)性，欠缺先進(jìn)的排程且無法支持高度自動(dòng)化的制造廠運(yùn)作?，F(xiàn)行的MES系統(tǒng)過于依賴制造人員對于制造廠狀態(tài)的監(jiān)視并僅于本次操作中初啟動(dòng)作。舉例而言，直至晶片制造技術(shù)人員(wafer fabrication technician；WFT)發(fā)出適當(dāng)?shù)腗ES指令否則批次不會(huì)開始進(jìn)行處理。此外，于進(jìn)行處理之前，WFT必須發(fā)出MES指令以從自動(dòng)物料檢索系統(tǒng)(automated material handling system；AMHS)中檢索出批次，該AMHS可充分預(yù)先計(jì)劃當(dāng)該機(jī)器變?yōu)橛行r(shí)該批次存在于該機(jī)器中。若該WFT檢索該批次的速度不夠快或忽略于最早有效時(shí)間初啟處理，該機(jī)器將會(huì)閑置而將對生產(chǎn)造成不利的沖擊。
于該典型的MES系統(tǒng)中的缺陷種類強(qiáng)調(diào)于制程的有效運(yùn)作中WFT的重要性。WFT執(zhí)行許多關(guān)鍵功能。舉例而言，WFT依據(jù)他們的注意與時(shí)間的允許初啟發(fā)送、運(yùn)送以及處理。他們制定排程決定，如在相對等待接近的批次的情況下是否執(zhí)行不完整的批次，或執(zhí)行PM或質(zhì)量驗(yàn)證程序以替代處理批次的步驟。于此背景中，該術(shù)語“被動(dòng)”是指相對自我啟動(dòng)或自我初啟而言在該控制系統(tǒng)中的動(dòng)作必須通過FWT初啟。
然而，F(xiàn)WT的存在必然會(huì)產(chǎn)生一些無效率的情況。該些情況典型的存在于最好的WFT與最差的WFT之間表現(xiàn)的差異。一位WFT通常必須同時(shí)監(jiān)視多個(gè)工具或批次的處理，致使難以專注于各個(gè)批次或工具。此外，現(xiàn)代化的制程的尺寸與復(fù)雜性亦導(dǎo)致WFT預(yù)見或預(yù)防下游瓶頸或因上游動(dòng)作所產(chǎn)生的短缺是極度困難的。WFT的換班、工作中的休息以及休息日亦會(huì)產(chǎn)生無效率或機(jī)器的閑置時(shí)間等不利于制程的沖擊。正因?yàn)閃FT的重要性通過該自動(dòng)化MES的缺陷而擴(kuò)大，因此WFT的無效率亦因其本身的重要性而擴(kuò)大。
因此，利用于現(xiàn)今晶片制造廠中的制造廠控制系統(tǒng)是被動(dòng)的且無法具有高度自動(dòng)化。這些系統(tǒng)有賴于晶片制造廠技術(shù)人員以及其它制造廠工作人員監(jiān)視該制造廠的狀況、持續(xù)的對固定的改變做出響應(yīng)、做出快速的運(yùn)籌決定以及以適時(shí)的方式初啟并協(xié)調(diào)制造廠控制行動(dòng)。這些晶片制造廠技術(shù)人員系為代理(agent)，用以提供于制造廠控制系統(tǒng)中所缺乏的行動(dòng)要素。據(jù)此，在現(xiàn)今高度競爭的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中制造廠的效率端視該些代理的可利用性、生產(chǎn)力、技術(shù)層次以及協(xié)調(diào)性。晶片制造廠技術(shù)人員必須監(jiān)視并操作置于制造廠中不同間隔中的大量的工具。他們被迫在許多工具、間隔、物料控制系統(tǒng)以及不同的制造廠控制系統(tǒng)間穿梭。當(dāng)制造廠的生產(chǎn)導(dǎo)入更多且更復(fù)雜的程序時(shí)，很難在不增加員工或系統(tǒng)能力的情況下解決復(fù)雜性增加的問題。晶片制造廠技術(shù)人員對于上游或下游的運(yùn)作、工具狀態(tài)、在制品以及資源的有效性的預(yù)見性是有限的。
然而，關(guān)鍵的運(yùn)籌決定通常是依據(jù)有限且過時(shí)的信息，該信息僅部分的通過制造廠控制系統(tǒng)提供。晶片制造廠技術(shù)人員耗費(fèi)大量時(shí)間在與系統(tǒng)互動(dòng)、監(jiān)視制造廠事件與狀態(tài)的改變以及如MES登入等其它無附加價(jià)值職務(wù)的執(zhí)行。換班會(huì)中斷制造廠的運(yùn)作且同時(shí)技術(shù)人員無法提供所需的監(jiān)視與協(xié)調(diào)。盡管技術(shù)人員付出最大的努力，工具的使用本身對于其它如制程時(shí)間、庫存規(guī)模、制造廠輸出以及前述所有的混合等關(guān)鍵的制造廠衡量(metric)仍會(huì)造成不利的沖擊。隨著對于內(nèi)部間隔物料控制以于新的300毫米級(jí)晶片制造廠中傳輸12時(shí)晶片的需求。公知的制造廠控制系統(tǒng)已無法提供此種復(fù)雜程度的排程或執(zhí)行控制。
本發(fā)明用以解決或至少減少一個(gè)或全部前述的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明包含一種利用特性化、自主的主動(dòng)軟件代理以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化制造環(huán)境的裝置以及方法，該軟件代理通過其所代表的實(shí)體類型以及于處理流程中所執(zhí)行的功能予以特性化。該裝置包括處理流程，該處理流程包含多個(gè)制造區(qū)域?qū)嶓w以及多個(gè)用以安排該制造區(qū)域?qū)嶓w的第一子集的軟件代理，該制造區(qū)域?qū)嶓w的第一子集系用以消費(fèi)由該制造區(qū)域?qū)嶓w的第二子集所供應(yīng)的處理資源。該方法包括例示該軟件代理并接著允許該軟件代理依據(jù)程序化運(yùn)作。


通過前述伴隨圖式的詳細(xì)說明將更了解本發(fā)明的內(nèi)容，于該圖式中相同的組件符號(hào)用以表示相同的組件，該圖式包括圖1概念的顯示依據(jù)本發(fā)明所架構(gòu)并運(yùn)作的第一處理流程的特定實(shí)施例的一部分；圖2概念的顯示圖1中的計(jì)算機(jī)裝置各個(gè)硬件與軟件架構(gòu)選擇部分的部分方塊圖；圖3A概念的顯示于第一層級(jí)上的代理，亦即，作為圖1的第二處理流程中的消費(fèi)者代理以及供應(yīng)者代理的特性化的部分方塊圖；圖3B顯示用于第3A圖的處理流程的契約網(wǎng)絡(luò)協(xié)商協(xié)議的浮動(dòng)市場模式實(shí)現(xiàn)的流程；圖4概念的顯示于圖1的處理流程中關(guān)于類型、實(shí)體以及功能的代理的特性化的部分方塊圖；圖5A與圖5B顯示例示實(shí)施例的對象導(dǎo)向程序化環(huán)境中用于二層級(jí)的代理的繼承層級(jí)；以及圖6顯示于圖1的處理流程的AEMS中代理的各種層級(jí)。
本發(fā)明容許多種的修飾或替換。特定的實(shí)施例將通過附圖于本說明書中予以詳細(xì)說明，然而，需了解者，系于本說明書中所揭露的特定實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明于特定的型態(tài)中，相反的，所有的修飾、等效變更以及替換均為權(quán)利要求范圍中所定義的本發(fā)明的精神與范圍所涵蓋。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的實(shí)施例將揭露如下。為求明確，于本說明書中不會(huì)將實(shí)際實(shí)施時(shí)的所有特征全部揭露。當(dāng)然，須注意的是于任何實(shí)際實(shí)施例的發(fā)展中，為達(dá)到研究者的特定目的多數(shù)的實(shí)施特性必須予以決定，例如為屈就與系統(tǒng)相關(guān)或與商業(yè)相關(guān)的限制等，如此將會(huì)從一種實(shí)施方式改變到另外一種實(shí)施方式。此外，須注意的是，此種研究是復(fù)雜且耗時(shí)的，但對熟習(xí)該項(xiàng)技術(shù)者而言卻是例行公事。
圖1概念性顯示依據(jù)本發(fā)明所架構(gòu)并運(yùn)作的第一處理流程100的特定實(shí)施例的一部分。該處理流程100系用以制造半導(dǎo)體裝置。然而，本發(fā)明可應(yīng)用于其它類型的半導(dǎo)體制程中。因此，于上述的處理流程100中，該晶片135的批次130可更一般性的稱之為“工件”。該處理工具115及于其上所執(zhí)行的處理運(yùn)作于所有的實(shí)施例中并不需要與半導(dǎo)體裝置的制造相關(guān)。然而，為明確之故并能進(jìn)一步對本發(fā)明有所了解，于例示實(shí)施例的背景所揭露的發(fā)明中關(guān)于半導(dǎo)體制造有關(guān)的術(shù)語將予以保留。因此，術(shù)語“批次”可廣泛的予以定義，代表任何可于制程中處理的工件。
該處理流程100所例示的部分包括二個(gè)站105，每一個(gè)站105包括與處理工具115溝通的計(jì)算裝置110。該站105相互間通過通訊連接120溝通。于例示的實(shí)施例中，該計(jì)算裝置110以及通訊連接120包含較大的計(jì)算系統(tǒng)，如網(wǎng)絡(luò)125，的一部分。顯示于圖1中處理工具115所處理的晶片135的批次130最終將會(huì)成為集成電路裝置。
圖2描述依據(jù)本發(fā)明的計(jì)算機(jī)裝置110的各個(gè)硬件與軟件架構(gòu)的選擇部分。該硬件與軟件架構(gòu)的某些方面(特別卡、基本輸入/輸出系統(tǒng)、輸入/輸出裝置等)沒有示出。為求明確而將該些方面予以省略，而不致模糊本發(fā)明的特征所在。然而，受益于本發(fā)明的本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)了解到，計(jì)算機(jī)裝置110的硬件與軟件架構(gòu)可包括許多慣常特征。
于例示實(shí)施例中，該計(jì)算裝置110為利用UNIX架構(gòu)操作系統(tǒng)200的工作站，但本發(fā)明的范圍當(dāng)不限于此。該計(jì)算裝置110實(shí)際上可通過任何種類的電子計(jì)算裝置予以實(shí)現(xiàn)，如膝上型計(jì)算機(jī)、桌上型計(jì)算機(jī)、迷你計(jì)算機(jī)、主架構(gòu)計(jì)算機(jī)或超級(jí)計(jì)算機(jī)等。于某些可替代的實(shí)施例中，該計(jì)算裝置110甚至可為嵌入于該處理工具115的處理器或控制器。本發(fā)明亦不限于UNIX架構(gòu)的操作系統(tǒng)。亦可利用其它可替代的操作系統(tǒng)(如Windows操作系統(tǒng)、Linux操作系統(tǒng)或DOS操作系統(tǒng)等)。本發(fā)明并不受限于特定的計(jì)算裝置110。
該計(jì)算裝置110進(jìn)一步包括通過總線系統(tǒng)215與部分的存儲(chǔ)單元210溝通的處理器205。該存儲(chǔ)單元210典型的至少包括硬盤或隨機(jī)存取內(nèi)存。于某些實(shí)施例中，該計(jì)算裝置110復(fù)包括可移除的存儲(chǔ)裝置，如光盤230或軟式磁盤235或如磁帶或zip磁盤(未圖式)等其它的形式。該處理器205可為任何已知適合的處理器。舉例而言，該處理器可為通用微處理器或數(shù)字信號(hào)處理器。于例示實(shí)施例中，該處理器205為Athlon處理器，其可通過先進(jìn)微裝置公司(AMD)于市場上取得，但本發(fā)明的范圍并不限于此。太陽微系統(tǒng)(SUN)的64位UltraSPARC或32位microSPARC，獲任何英特爾的Itanium、Pentium或Alpha均可予以替換利用。該計(jì)算裝置110包括監(jiān)視器240、鍵盤245以及鼠標(biāo)250伴隨其相關(guān)聯(lián)的界面軟件255(顯示于圖2中)共同構(gòu)成用戶接口260。盡管并非實(shí)施本發(fā)明所必須，但于例示實(shí)施例中的用戶接口為圖形用戶接口(GUI)。
圖2顯示該計(jì)算裝置110軟件架構(gòu)的選擇部分。于例示實(shí)施例中，每一個(gè)計(jì)算裝置110包括于存儲(chǔ)單元210中常駐于該計(jì)算裝置110的軟件代理265。需注意者系軟件代理265可常駐于處理流程100中以替代常駐于該計(jì)算裝置110中。該軟件代理265的位置并非關(guān)鍵，某些計(jì)算裝置110可具有多個(gè)常駐于其中的軟件代理265而其它的計(jì)算裝置110則可能不具有任何軟件代理265。如WORKSTREAM等自動(dòng)化MES 270常駐于至少一計(jì)算裝置110中。
再參閱圖1，如前所述，通過該通訊連接120的連接該計(jì)算裝置110還可為較大的計(jì)算系統(tǒng)125的一部分。于此實(shí)施例中的例示的計(jì)算系統(tǒng)可包括局域網(wǎng)絡(luò)、廣域網(wǎng)絡(luò)、系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)、企業(yè)內(nèi)網(wǎng)絡(luò)甚或因特網(wǎng)。該計(jì)算系統(tǒng)125利用網(wǎng)絡(luò)化主/從架構(gòu)，但于可替代的實(shí)施例中可利用點(diǎn)對點(diǎn)或其它類型的網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)。因此，于部分可替代的實(shí)施例中，多個(gè)該計(jì)算裝置110彼此可直接溝通。該通訊連接120可為無線、同軸電纜、光纖或雙絞線連結(jié)。于多數(shù)實(shí)施例中所利用單一的計(jì)算系統(tǒng)125，該通訊連接120將具有實(shí)施特性且可以任何適當(dāng)?shù)墓椒ㄓ枰詫?shí)施。該計(jì)算系統(tǒng)125可利用任何公知適當(dāng)?shù)耐ㄓ崊f(xié)議，如傳輸控制協(xié)議/因特網(wǎng)協(xié)議(TCP/IP)等。
請并同參閱圖1與圖2，該軟件代理265共同的負(fù)責(zé)有效率的安排與控制通過該制程的晶片135的批次130。每一個(gè)處理工具115代表某些可作為此用途的資源。舉例而言，處理工具115可為用以制造該晶片135的某些部份的制造工具，亦即，該晶片135的布層、圖案化、摻雜或熱處理?；蛘?，該處理工具115可為用以評(píng)估該處理程序100不同部分的效能的測量工具。因此，該軟件代理265可用以評(píng)估用以依序處理的晶片135的批次130的多個(gè)資源、分配通過該處理工具115所提出的資源以及彼此協(xié)調(diào)以分配用以依序處理的晶片135的批次130的資源。
于例示實(shí)施例中，該軟件代理265于啟動(dòng)時(shí)自我設(shè)定，智能的，狀態(tài)察覺，且灌輸有特定的目標(biāo)據(jù)此可實(shí)現(xiàn)自主的初始運(yùn)作。該軟件代理265還可依據(jù)其所處的環(huán)境的變化自我調(diào)整。于例示實(shí)施例中該軟件代理265為對象導(dǎo)向程序化環(huán)境中的多個(gè)對象，然而本發(fā)明可通過其它非對象導(dǎo)向的技術(shù)予以實(shí)現(xiàn)。它們的運(yùn)作相對的簡單且可通過描述語言與多個(gè)特性部分的予以設(shè)定。該運(yùn)作用以達(dá)成選擇的目標(biāo)，如達(dá)成分配批次的期限、達(dá)成預(yù)定質(zhì)量等級(jí)、機(jī)器利用的極大化以及安排預(yù)防性維護(hù)的適當(dāng)時(shí)機(jī)。為推動(dòng)此些目標(biāo)，該軟件代理265與該MES 270間相互聯(lián)系并與現(xiàn)存的制造廠控制系統(tǒng)(未標(biāo)示)相整合。受益于本發(fā)明的本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)了解到，用以實(shí)現(xiàn)聯(lián)系與整合的方法可依據(jù)該MES 270與制造廠控制系統(tǒng)的特性予以特制化。
該軟件代理265共同的預(yù)先安排每一個(gè)批次130于特定符合條件的處理工具115上的一個(gè)或多個(gè)運(yùn)作，其包括詳述于后的必須資源的運(yùn)送。其包括做出最佳化決定，如執(zhí)行不完整的批次，反對等待即將到來的批次130，以及安排預(yù)防性維護(hù)的適當(dāng)時(shí)機(jī)或符合規(guī)格。該軟件代理265安排并起動(dòng)如批次運(yùn)送與處理、執(zhí)行MES處理、監(jiān)視處理與運(yùn)送以及對于未安排的動(dòng)作或偏離安排的動(dòng)作做出響應(yīng)等動(dòng)作。更具體而言，該軟件代理265可例如為●安排并初啟批次130所必須的物料運(yùn)送執(zhí)行以符合其于特定工具115的下一個(gè)處理約定；●監(jiān)視運(yùn)送活動(dòng)并對偏離有所響應(yīng)；●通過特定約定的初啟時(shí)間，安排并初啟傳送裝置至專用的機(jī)器端口；●通過自動(dòng)辨識(shí)與設(shè)備事件檢測機(jī)器端口載體的到達(dá)；●初啟處方下載并通過設(shè)備接口并處理至處理工具115；●執(zhí)行MES處理；●監(jiān)視處理活動(dòng)并通知WFT異常狀況；●通過設(shè)備事件偵測接近完成的處理并通過認(rèn)證的處理工具115為處理流程中的下一個(gè)處理安排處理約定；●初啟運(yùn)送至最接近的存儲(chǔ)區(qū)或附近的處理工具115；●偵測載體離開并釋放該端口；●安排預(yù)防性維護(hù)程序并于適當(dāng)?shù)臅r(shí)間通知WFT；●安排限定程序并于適當(dāng)?shù)臅r(shí)間通知WFT；以及●安排用以處理或執(zhí)行預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證的資源(如十字標(biāo)、裝填機(jī)、卸載機(jī)等等)。
需注意的是，依據(jù)執(zhí)行的層級(jí)，給定的實(shí)施例可執(zhí)行上述任何或全部的功能，甚或上述未列出的功能。
如進(jìn)一步詳述于后的內(nèi)容，該軟件代理256可在數(shù)個(gè)不同層級(jí)上特性化以促進(jìn)其運(yùn)作。其中一個(gè)層級(jí)是“類型”，亦即不管該軟件代理256于處理流程100中代表“消費(fèi)者”或“供應(yīng)者”。更具體而言，不管該軟件代理256代表消費(fèi)者或供應(yīng)者均是通過其表現(xiàn)的實(shí)體類型決定并于背景中表示該表現(xiàn)的發(fā)生。舉例而言，軟件代理256可代表晶片135的批次130(亦即批次代理)、處理工具115(亦即機(jī)器代理)、處理資源(亦即資源代理)或執(zhí)行預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證(亦即PM代理)。需注意的是，如后的更完整說明，某些軟件代理256代表制造區(qū)域的實(shí)體在某些背景中為消費(fèi)者而在其它的背景中則為供應(yīng)者。該軟件代理256亦可通過功能，亦即通過該軟件代理256于處理流程中所執(zhí)行的功能而特性化。每一個(gè)特性化的軟件代理256于本實(shí)施例的執(zhí)行的處理流程100的整體執(zhí)行中擔(dān)任不同的角色。
需注意，該軟件代理256無須一對一的相對應(yīng)于如批次130、處理工具150等制造區(qū)域?qū)嶓w。相對的，大多數(shù)的區(qū)域?qū)嶓w中的每一個(gè)實(shí)體通過一組代理來表現(xiàn)。舉例而言，如后的更完整說明，批次130或處理工具115可同時(shí)具有排程代理與處理代理。如此有助于呈現(xiàn)特性化運(yùn)作的特性化對象的設(shè)計(jì)借以支持區(qū)域?qū)嶓w功能的單一方面。
請參閱第3A圖，于一般情況下，于例示的處理程序300中該軟件代理256典型的分成消費(fèi)者代理305以及供應(yīng)者代理310。該消費(fèi)者代理305代表消費(fèi)者注意事項(xiàng)，如在批次130或PM程序320，在該批次130于適時(shí)且以有效率的方法通過處理流程100或各自于允許的窗口執(zhí)行預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證之前。供應(yīng)者代理310代表供應(yīng)者325的注意事項(xiàng)，如處理工具115的機(jī)器在符合消費(fèi)者需求資源的情況先于批次130于適時(shí)且以有效率的方法通過處理流程100。舉例而言，代表晶片135的批次130的軟件代理256可考慮為消費(fèi)者代理305而代表處理工具115的軟件代理256則可考慮為供應(yīng)者代理，因?yàn)樵撎幚砉ぞ?15提供由該批次130所消費(fèi)的處理服務(wù)。需注意者，如前所述以及如后的更完整說明，軟件代理256在一種背景中會(huì)被分配為供應(yīng)者代理310而在其它背景中則被分配為消費(fèi)者代理305。
如前所述，介于消費(fèi)者代理305以及供應(yīng)者代理310間的區(qū)別在排程的背景中特別有幫助。于例示實(shí)施例中通過該軟件代理256初啟的動(dòng)作排程圍繞著與處理相關(guān)聯(lián)的預(yù)算、成本以及比率。更詳而言之，為促進(jìn)用以分配資源的契約網(wǎng)絡(luò)協(xié)商協(xié)議的實(shí)現(xiàn)，預(yù)算、成本以及比率的組合用以實(shí)現(xiàn)浮動(dòng)市場模式信道。所建構(gòu)的組合用以促進(jìn)期望的行為，如符合期限、機(jī)器的有效利用等等。更具體而言，該消費(fèi)者代理305使用的預(yù)算分配予消費(fèi)者315借以取得供應(yīng)者325的處理服務(wù)。同樣的，該供應(yīng)者325針對其所呈現(xiàn)的處理服務(wù)，如處理時(shí)間，該消費(fèi)者315收費(fèi)。消費(fèi)者315所愿意支付的預(yù)算總額是依據(jù)該消費(fèi)者315需要該處理資源以繼續(xù)停留于排程的無利益以及該供應(yīng)者325依據(jù)其需要填補(bǔ)其排程無利益而收取的費(fèi)用總額而定。于此處的例示實(shí)施例中，該預(yù)算與成本以美金表示，但并非本發(fā)明實(shí)施所必要。任何度量單位均可用以替代之。
請參閱第3B圖，其為方法330的例示。該方法330可在不同的實(shí)施例予以實(shí)施，以下將就特定的一種實(shí)施例予以說明。該消費(fèi)者軟件代理305與供應(yīng)者軟件代理310利用契約網(wǎng)絡(luò)協(xié)商協(xié)議信道以為該供應(yīng)者325安排消費(fèi)者315。為該消費(fèi)者315可進(jìn)入該供應(yīng)者325的服務(wù)該消費(fèi)者305與該供應(yīng)者310協(xié)商。該存取被稱之為約定。于特定的實(shí)施例中，該消費(fèi)者305與該供應(yīng)者310均會(huì)標(biāo)示該約定于其各自的日歷中。
方法330通過提供消費(fèi)者315其接著需要消費(fèi)的特定處理資源的預(yù)算而初啟，該資源可例如為于該處理工具115上的處理時(shí)間，如步驟335所示。該消費(fèi)者315接著通過消費(fèi)者軟件代理305發(fā)出競標(biāo)(bid)請求以供消費(fèi)者315取得該處理資源，如步驟340所示。于一實(shí)施例中，該消費(fèi)者軟件代理305要求所有來自所有符合消費(fèi)者315利益的供應(yīng)者競標(biāo)。當(dāng)消費(fèi)者軟件代理305要求競標(biāo)時(shí)，其給予供應(yīng)者310適當(dāng)?shù)男畔⑷缭撓M(fèi)者的確認(rèn)；初啟運(yùn)送的最早時(shí)間；待安排處理運(yùn)作、該消費(fèi)者315可接受的最遲完成時(shí)間；該消費(fèi)者315運(yùn)送至該供應(yīng)者310的初啟位置；以及該消費(fèi)者的預(yù)算計(jì)算表(budget calculator)。
該供應(yīng)者325接著通過其所有的供應(yīng)者軟件代理310提交至少一個(gè)該競標(biāo)要求的競標(biāo)響應(yīng)至該消費(fèi)者315，如步驟345所示。于替代的實(shí)施例中，供應(yīng)者軟件代理310不會(huì)提交任何競標(biāo)。如前所述，供應(yīng)者軟件代理維持日歷327以追蹤約定。當(dāng)接收到競標(biāo)要求時(shí)，該供應(yīng)者軟件代理310搜索該日歷327以找出該供應(yīng)者305可能提供所要求的服務(wù)的時(shí)間空隙。針對每一個(gè)可能的時(shí)間空隙，該供應(yīng)者305提交由初啟與結(jié)束時(shí)間以及選擇的成本所構(gòu)成的競標(biāo)。
該消費(fèi)者315接著通過消費(fèi)者軟件代理305選擇由該時(shí)間與選擇的成本所構(gòu)成的被提交的競標(biāo)。該消費(fèi)者315針對所選定的競標(biāo)通過消費(fèi)者軟件代理305授予契約至該供應(yīng)者325，如步驟355所示。然而，該供應(yīng)者325典型的在不間斷的基準(zhǔn)上與數(shù)個(gè)消費(fèi)者315。有可能在該供應(yīng)者325接著安排另一個(gè)消費(fèi)者315在某種程度上與所提交的競標(biāo)相沖突以致于其無法再接受該契約。因此，該供應(yīng)者325通過供應(yīng)者軟件代理310檢查該日歷327以確認(rèn)其是否可執(zhí)行該競標(biāo)并接受該契約。若該競標(biāo)于該日歷327上仍可實(shí)行，該供應(yīng)者325接著確認(rèn)該授予的契約，如步驟360所示，且該消費(fèi)者與供應(yīng)者安排該約定362于各該日歷323、327上。約定為時(shí)間周期，確認(rèn)于該時(shí)間周期中該供應(yīng)者325須強(qiáng)制其本身執(zhí)行該行動(dòng)。
因此，于處理流程300中通過供需經(jīng)濟(jì)實(shí)力作出決定。更具體言之，依據(jù)所選擇的因素，如領(lǐng)先或延遲等，分配該消費(fèi)者軟件代理305以取得服務(wù)多少有些競爭性。依據(jù)一些因素，如于供應(yīng)者軟件代理310的日歷中利用的程度等，分配供應(yīng)者軟件代理310以供應(yīng)這些服務(wù)多少有些競爭性。需注意，該些決定通過可設(shè)定資產(chǎn)或作為決定基礎(chǔ)影響預(yù)算與成本的曲線而于外部執(zhí)行。如同此種方式一致的運(yùn)作，該消費(fèi)者與供應(yīng)者軟件代理305、310相互合作以適時(shí)并有效率的方式滿足該消費(fèi)者305。
圖4描述半導(dǎo)體制造流程400的部分，其中圖2的軟件代理265包含特性化的所有三個(gè)層級(jí)。更具體而言，該流程400包括●預(yù)防性維護(hù)排程代理(PMSA)418，其為消費(fèi)者軟件代理，用以代表用于處理工具預(yù)防性維護(hù)以及設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證程序的排程功能；●批次排程代理(LSA)405，其為消費(fèi)者軟件代理，用以代表用于排程功能的批次130；●機(jī)器排程代理(MSA)410，依據(jù)運(yùn)作的背景，其為消費(fèi)者或供應(yīng)者軟件代理，用以代表用于排程功能的處理工具115；以及●資源排程代理(RSA)415，其為供應(yīng)者軟件代理，用以代表用于排程功能的十字標(biāo)410。
盡管未顯示于圖中，該批次130、處理工具115、預(yù)防性維護(hù)以及設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證程序(未圖標(biāo))以及十字標(biāo)420均具有相應(yīng)的處理代理，當(dāng)執(zhí)行行動(dòng)的時(shí)間到達(dá)時(shí)該排程代理405、410、415、418傳送控制至該處理代理。需注意，RSA 415可用以代表其它類型的處理資源，如偽(dummy)晶片、空卡匣、WFT、MT等等。該處理流程400執(zhí)行該浮動(dòng)市場模式進(jìn)入前述圖3A與圖3B相關(guān)的契約網(wǎng)絡(luò)協(xié)商協(xié)議。當(dāng)停留在排程上時(shí)該LSA 405嘗試最小化成本。當(dāng)最大化利益時(shí)該MSA 410嘗試最佳化工具利用。
該LSA 405嘗試維持代表于排程上的批次130。該MSA 410嘗試最大化所代表的處理工具115的利用。同樣的，該RSA 415嘗試最大化所代表如該十字標(biāo)420等資源的利用。需注意者，系于其它實(shí)施例中，該RSA 415可代表其它類型的資源，如機(jī)器裝載資源、偽晶片、卡匣、晶片制造廠技術(shù)人員、維護(hù)技術(shù)人員等等。該P(yáng)MSA 418尤其會(huì)嘗試找機(jī)會(huì)安排在處理工具115上的預(yù)防性維護(hù)以及設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證。該些不同的代理405、410、415與418在為了處理資源的消費(fèi)的協(xié)商約定的背景下通過依據(jù)它們需要或期望所維持的排程調(diào)整它們提出或預(yù)計(jì)支付該些服務(wù)的價(jià)格執(zhí)行該些動(dòng)作。
更具體言之，批次130典型的與一些設(shè)備的部份協(xié)商，如處理工具115。該LSA 405嘗試找出處理工具所提出的時(shí)間空隙，該時(shí)間控系將允許該批次130符合其本身的期限并于適當(dāng)時(shí)間提供予次依瓶頸機(jī)器站。于此同時(shí)，該MSA 410嘗試取得批次130用以通過最佳化該處理工具115利用的方式予以處理。整體而言，該MSA 410的目標(biāo)是最大化其所有的各個(gè)處理工具115的整體利用、關(guān)于該批次130的相對優(yōu)先、減少設(shè)定或處方的變更以及最佳化其所有的批次130的尺寸。如此的代理共同的互動(dòng)致使在特定處理工具115上的批次130排程在特定時(shí)間窗口中。
一般而言，該LSA 405通過發(fā)布要求競標(biāo)信息425至所有代表處理工具115具有執(zhí)行所期望的制造運(yùn)作的能力的MSA 410以初啟該協(xié)商。基于此點(diǎn)，因?yàn)樵撎幚砉ぞ?15提供處理服務(wù)，亦即處理時(shí)間，因此MSA410被作為供應(yīng)者。一旦收到要求競標(biāo)信息425，每一個(gè)具有能力的處理工具115的MSA 410，確認(rèn)可能的競標(biāo)，辨識(shí)出將需要符合要求的十字標(biāo)420以執(zhí)行該工作，并發(fā)布其所有的要求競標(biāo)信息430至所有符合要求的資源亦即十字標(biāo)420的RSA 415。由于該處理工具115現(xiàn)在正在消費(fèi)處理服務(wù)，亦即伴隨該十字標(biāo)420的時(shí)間，故于此時(shí)該MSA410已從供應(yīng)者換成消費(fèi)者。代表符合要求的十字標(biāo)420的每一個(gè)RSA 415提交一個(gè)或多個(gè)競標(biāo)435，該MSA 410自包含于其所有的競標(biāo)460中選擇出一個(gè)競標(biāo)。該MSA 410已經(jīng)確認(rèn)所需的資源，而回復(fù)到處理服務(wù)的供應(yīng)者角色。若另一個(gè)可能的競標(biāo)通過該MSA 410確認(rèn)，其會(huì)再次要求來自適當(dāng)?shù)腞SA415的競標(biāo)。
代表具有能力的處理工具115的每一個(gè)MSA 410提交一個(gè)或多個(gè)競標(biāo)460予發(fā)布該要求競標(biāo)信息425的該LSA 405。該LSA 405自所有MSA410所提交的競標(biāo)460中選擇一個(gè)競標(biāo)460。該LSA 405接著授予提交被選擇的競標(biāo)460的MSA 410該契約465。該MSA 410檢查其所有的機(jī)器日歷470，確認(rèn)該競標(biāo)仍然存在，且于存在時(shí)授予提交被選擇的競標(biāo)435的十字標(biāo)420該契約440。該RSA 415檢查其所有的資源日歷445，確認(rèn)該競標(biāo)仍然存在，并安排該約定475a于該資源日歷445上。該RSA 415接著確認(rèn)該契約具有確認(rèn)競標(biāo)信息455，且該MSA 410安排有關(guān)于提供該資源競標(biāo)435的RSA415的約定475b于其所有的機(jī)器日歷470上。該MSA 410接著發(fā)送經(jīng)確認(rèn)的競標(biāo)信息480至該LSA 405。該LSA 405接著安排相應(yīng)的約定475c于其所有的批次日歷485上。當(dāng)該約定475a、475b、475c的執(zhí)行時(shí)間到達(dá)時(shí)，該排程代理405、410與415傳送控制至其所有的各個(gè)處理代理(未圖標(biāo))。
因此，盡管相同類型的代理通常被程序化為具有相同的行為，僅在出現(xiàn)差異時(shí)才會(huì)產(chǎn)生特別化的代理。相對于前述該MSA 410與該LSA405以及RSA 415的行為可明顯的呈現(xiàn)出其差異。然而，同樣的，于例示實(shí)施例中存在著更細(xì)微的差異。舉例而言，其中具有許多類型的處理工具115，且每一種類型的處理工具115應(yīng)該要處理不同的特性，因此各個(gè)軟件代理265需要特性化。于本實(shí)施例中例示的特性可提供該些代理予以特性化，該些特性包括●該處理工具115處理晶片、批次130、批次130的群組(batch)或晶片的群組其中之一；●該處理工具115連續(xù)的(亦即在初啟第二單元處理之前完成第一單元的處理)或接續(xù)的(亦能夠于完成第一單元的處理之前初啟第二單元處理)處理晶片、批次130或群組其中之一；●用于處理工具115的端口數(shù)量；●用于處理工具115的端口為輸入、輸出或輸入/輸出其中之一；●用于處理工具115的容器(chamber)連續(xù)或并行的使用其中之一；●是否該處理工具115可拘束預(yù)防性維護(hù)；●在處理工具115中的容器的數(shù)量；●是否該處理工具115包括內(nèi)部存儲(chǔ)單元；●是否該處理工具115當(dāng)處理另一批次或群組可將批次130或群組織處理予以排列；●該處理工具115要求裝載及/或卸載其中之一；以及●是否該處理工具115要求資源，且如果要求時(shí)，是否該些資源系為專用資源或共享資源。
然而，需注意，隨著該些因素被特性化的機(jī)器代理或任何軟件代理265將具有高度的執(zhí)行特性。
舉例而言，考慮到于實(shí)施時(shí)，機(jī)器代理通過它們處理晶片、批次或群組等等其中之一予以特性化。于特定的實(shí)施例中，可利用下列的機(jī)器代理●基線處理代理；●晶片級(jí)處理代理；●晶片級(jí)，接續(xù)處理代理；●晶片級(jí)，群組接續(xù)處理代理；●晶片級(jí)，群組處理代理；●批次級(jí)處理代理；●批次級(jí)，接續(xù)處理代理；●批次級(jí)，群組處理代理；●批次級(jí)，群組接續(xù)處理代理；●基線排程代理；●晶片級(jí)排程代理；●晶片級(jí)，接續(xù)排程代理；
●晶片級(jí)，群組接續(xù)排程代理；●晶片級(jí)，群組排程代理；●批次級(jí)排程代理；●批次級(jí)，接續(xù)排程代理；●批次級(jí)，群組排程代理；●批次級(jí)，群組接續(xù)排程代理。
此特定實(shí)施例利用對象導(dǎo)向程序化技術(shù)執(zhí)行該些代理且該基線代理提供層級(jí)確認(rèn)而其它的代理則為該層級(jí)的下一層級(jí)。日歷，如于第3A圖中的日歷327，可如同與它們相關(guān)聯(lián)的機(jī)器般予以特性化。因此，于前述的實(shí)施例中，可利用以下的特性化日歷●晶片級(jí)，接續(xù)日歷；●晶片級(jí)，連續(xù)日歷；●晶片級(jí)，連續(xù)群組日歷；●晶片級(jí)，群組接續(xù)日歷；●批次級(jí)，連續(xù)日歷；●批次級(jí)，接續(xù)日歷；●批次級(jí)，連續(xù)群組日歷；以及●批次級(jí)，群組接續(xù)日歷。
然而，需注意，此并非本發(fā)明的實(shí)施所必需者。
亦可利用其它代理特性化。預(yù)防性維護(hù)代理可通過它們所執(zhí)行的維護(hù)程序予以特性化，其執(zhí)行的維護(hù)程序可基于時(shí)間、處理過的晶片、處理過的批次、處理過的群組、處理時(shí)間、事件的發(fā)生等等。于特定的實(shí)施例中，可利用以下的特性化預(yù)防性維護(hù)代理●以晶片為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理；●以時(shí)間為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理；●以處理單元(如處理過的批次130的數(shù)量、如處理過的群組的數(shù)量)為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理；●以處理時(shí)間(如累積的處理時(shí)間)為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理；●以事件為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理(如處理事件結(jié)束時(shí))；●晶片級(jí)預(yù)防性維護(hù)處理代理；
●時(shí)間級(jí)預(yù)防性維護(hù)處理代理；●處理單元級(jí)(如處理過的批次130的數(shù)量、如處理過的群組的數(shù)量)預(yù)防性維護(hù)處理代理；●處理時(shí)間級(jí)(如累積的處理時(shí)間)預(yù)防性維護(hù)處理代理；以及●事件級(jí)預(yù)防性維護(hù)處理代理(如處理事件結(jié)束時(shí))。
由于預(yù)防性維護(hù)排程代理種類的不同，故每一個(gè)預(yù)防性維護(hù)排程代理包含獨(dú)特的行為。舉例而言，以時(shí)間為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理依據(jù)時(shí)間(如三十日的預(yù)防性維護(hù))安排預(yù)防性維護(hù)。以時(shí)間為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理通過于最后的預(yù)防性維護(hù)發(fā)生日期加三十日以確定預(yù)防性維護(hù)的期日到達(dá)。另一方面，以事件為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理則有不同的行為。該以事件為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理依據(jù)該工具(如末端蝕刻預(yù)防性維護(hù))上所發(fā)生的事件安排預(yù)防性維護(hù)。當(dāng)該以事件為基礎(chǔ)的預(yù)防性維護(hù)排程代理偵測末端蝕刻事件發(fā)生時(shí)，期將會(huì)安排該特定的處理工具115的預(yù)防性維護(hù)。
LSA基于以下的理由可予以特性化●優(yōu)先權(quán)；●產(chǎn)品；以及●產(chǎn)品族。
因此，LSA在選擇競標(biāo)時(shí)可具有不同的行為。舉例而言，較高優(yōu)先權(quán)的批次將依據(jù)其可接受處理的時(shí)間選擇競標(biāo)，而較低優(yōu)先權(quán)的批次將依據(jù)成本選擇競標(biāo)。批次亦可依據(jù)該批次的產(chǎn)品族而有不同的行為。舉例言之，考慮快閃處理器批次與微處理器批次，快閃處理器應(yīng)該盡可能快的通過處理流程的運(yùn)作。于此情況中，該批次將依據(jù)時(shí)間選擇競標(biāo)。另一方面，微處理器則會(huì)有相反的行為且將依據(jù)成本選擇競標(biāo)。
資源代理可如同排程或處理代理而通過它們所代表的專用資源(裝載資源)或共享資源(如WFT、十字標(biāo)、偽晶片或空載體)，以及它們所代表的特別資源類型而予以特性化。其它的特性化可利用于替代的實(shí)施例中。
于例示實(shí)施例中的該對象導(dǎo)向程序化環(huán)境相當(dāng)適于該些類型的特性化。熟習(xí)此項(xiàng)技藝的人士應(yīng)了解，對象導(dǎo)向程序化環(huán)境包含多個(gè)軟件執(zhí)行對象，期中的每一個(gè)均屬于一種對象類型或?qū)ο髮蛹?jí)。于例示實(shí)施例中，處理代理以及排程代理屬于二種不同的物件層級(jí)。于層級(jí)中的對象可被區(qū)分至繼承層級(jí)(inheritance hierarchy)，其中低層級(jí)的繼承高層級(jí)的特性且包括不同于高層級(jí)的屬性與特性。
如圖5A所示，考慮用于MSA對象層級(jí)的該繼承層級(jí)500，該MSA502為MSA的基線層級(jí)。該MSA 502包含由所有MSA所共享的行為。舉例而言，該MSA 502負(fù)責(zé)產(chǎn)生并移除約定初啟時(shí)間與終止時(shí)間警報(bào)。該代理還建構(gòu)一些共通的幫助者層級(jí)，舉例而言，其包括約定變更通知者，約定變更收聽者、機(jī)器初啟、機(jī)器收聽者、競標(biāo)要求認(rèn)購者、早期啟動(dòng)器、處罰償還計(jì)算器、沖擊評(píng)估者、轉(zhuǎn)換批次權(quán)利重新排程者以及機(jī)器競標(biāo)要求者。前述所有的概念將進(jìn)一步詳述于后。該MSA 502亦用以負(fù)責(zé)要求工具狀態(tài)。該LSA還請求該MSA 502以產(chǎn)生或確認(rèn)競標(biāo)。于該MSA 502中的所有型為由多個(gè)MSA所繼承。該些MSA包括批次MSA 504、批次接續(xù)MSA 506、群組MSA 508、群組批次MSA 510、群組批次接續(xù)MSA 512、群組晶片MSA 514、群組晶片接續(xù)MSA 516、晶片機(jī)器排程代理518以及晶片接續(xù)MSA 520。
除繼承該基線行為外，每一個(gè)特性化MSA包含獨(dú)特行為并跨越某些繼承的行為。于例示實(shí)施例中，大多數(shù)的獨(dú)特行為是基于該處理工具115與該MSA處理批次130相關(guān)聯(lián)的程度。部分的該些行為包括處理工具狀態(tài)、處理設(shè)備事件、對于約定狀態(tài)改變的響應(yīng)、對于制造廠改變的響應(yīng)、決定批次或群組織消費(fèi)時(shí)間以及特性化幫助者層級(jí)的產(chǎn)生(詳述于后)。為說明該排程代理間不同的行為，以下將比較并對比晶片MSA 518與群組批次MSA 510。
晶片MSA 518(代表，如電漿剝除工具)為給定的批次一次處理一晶片。另一方面，群組批次MSA 510(代表，如熔爐)一次處理數(shù)個(gè)批次的群組。于初始化期間，代理510、518均會(huì)要求工具狀態(tài)。通過該代理510、518所接收工具狀態(tài)是獨(dú)特的。該晶片MSA 518將依據(jù)晶片接收包含信息的工具狀態(tài)而群組批次MSA 510則依據(jù)批次群組接收工具狀態(tài)。每一個(gè)代理510、518將單獨(dú)的處理工具狀態(tài)以發(fā)現(xiàn)該機(jī)器的狀態(tài)。介于該代理510、518間的另一個(gè)不同是其處理設(shè)備事件的方式。該事件依據(jù)該機(jī)器如何處理批次而定。對于晶片機(jī)器而言，某些設(shè)備事件是以晶片為基礎(chǔ)。對應(yīng)于群組批次機(jī)器，該設(shè)備事件的一部分是以時(shí)間為基礎(chǔ)。舉例而言，當(dāng)該處理工具115幾乎完成該批次130或群組的處理時(shí)會(huì)觸發(fā)接近完成事件。于晶片級(jí)機(jī)器上，當(dāng)剩余的晶片達(dá)到給定數(shù)量時(shí)觸發(fā)該事件。于群組批次機(jī)器上，當(dāng)時(shí)間剩余達(dá)到特定的門限時(shí)觸發(fā)該事件。
該晶片MSA 518與群組批次MSA 510間的新約定的消費(fèi)時(shí)間的決定亦不相同。批次130所包含的晶片135的數(shù)量以及該處理運(yùn)作決定于晶片級(jí)機(jī)器上的消費(fèi)時(shí)間。另一方面，群組批次MSA 510利用群組消費(fèi)時(shí)間作為處理以及處理運(yùn)作。當(dāng)該排程代理接收該接近完成的事件時(shí)，該代理決定是否應(yīng)該擴(kuò)大或縮小該約定。之于晶片MSA 518，該代理518確定剩余待處理晶片的數(shù)量。其接著將依據(jù)剩余晶片數(shù)量決定剩余消費(fèi)時(shí)間。其將依據(jù)該剩余的消費(fèi)時(shí)間縮小或擴(kuò)大該約定。該群組批次MSA510接收于該接近完成事件中剩余消費(fèi)時(shí)間，其將依據(jù)該剩余消費(fèi)時(shí)間決定縮小或擴(kuò)大該約定。
可替代的，考慮圖5B的繼承層級(jí)550。該RSA對象層級(jí)552為所有RSA的基線層級(jí)。該基線RSA 522包含由所有的RSA所共享的行為。舉例而言，該基線RSA 522負(fù)責(zé)產(chǎn)生并移除約定初啟時(shí)間與終止時(shí)間警報(bào)。該基線RSA 522進(jìn)一步劃分至二個(gè)子層級(jí)專用的RSA 554與共享的RSA 556。專用的資源的典型的例示是用以負(fù)責(zé)于群組處理工具115上裝載或卸載批次130的裝載資源。此種專用的資源由專用的RSA 554代表，如該裝載RSA 558。共享的資源的典型的例示為十字標(biāo)、空卡匣、偽晶片、WFT以及MT。此種共享的資源由共享的RSA 556代表，如十字標(biāo)排程代理560、該空卡匣排程代理562、偽晶片排程代理564、WFT排程代理568、MT排程代理570。
裝載RSA 588的特性化行為的其中一種是裝載順序最佳化。每次裝載RSA 558接收到關(guān)于批次130的最早到達(dá)時(shí)間的更新的約定變更事件時(shí)，其將決定于群組中所有批次130的最佳化裝載順序，據(jù)此所有該群組相關(guān)的裝載可在最短的時(shí)間完成。裝載RSA 558的另一個(gè)特性化行為是當(dāng)該群組工作令批次130遲到時(shí)執(zhí)行卸載約定的排程。于期望的設(shè)定中，在該第一群組工作的卸載初啟時(shí)間之前該第二群組工作的所有裝載將被安排完成。因此當(dāng)該第一群組工作的卸載完成時(shí)，可初啟第二群組工作的裝載，且于第一群組中的批次130的卸載將被安排在第二群組的裝載終止時(shí)間后。然而，若該第二群組中的一個(gè)批次130無法在該第一群組工作的卸載初啟時(shí)間前于足以被裝載的時(shí)間之前到達(dá)該處理工具115，針對該批次130的裝載約定會(huì)被安排至該第一群組卸載完成之后。于此情況下，該RSA將依據(jù)于該處理工具115上處理的處理運(yùn)作的性質(zhì)而有不同的特性化行為。于一種情況中，于一種批處理工具115上處理運(yùn)作的執(zhí)行系非常接近處理路徑的末端，且該RSA總是于該卸載終止后隨即為該第一群組安排卸載約定，并接著該遲到的裝載約定被安排至該第一群組卸載之后。于其它的一些情況中，該處理運(yùn)作并不是非常接近處理路徑的末端，且沒有任何緊急的情況催促該卸載約定，因此該遲到的批次130將會(huì)被安排在該第一群組工作卸載之后裝載且該第一群組的卸載將被安排在該第二群組工作的裝載完成后。
因?yàn)閷Ｓ玫馁Y源的性質(zhì)，故對于專用的RSA 544而言，不會(huì)有移動(dòng)約定的要求以于約定之間運(yùn)送該資源。然而，由于該資源必須于處理工具115與批次130的群組間共享，因此對共享的RSA 556而言，當(dāng)二個(gè)約定被安排于二個(gè)不同的位置時(shí)必須于二個(gè)約定之間安排移動(dòng)約定。因此共享的RSA 556將具有其專屬的特性化行為以產(chǎn)生并標(biāo)示資源處理約定當(dāng)該資源的運(yùn)送有其必要時(shí)將產(chǎn)生并標(biāo)示移動(dòng)約定。共享的RSA 556還具有關(guān)于競標(biāo)產(chǎn)生與競標(biāo)確認(rèn)的特性化行為。其允許較高優(yōu)先權(quán)的處理工具115或批次130取代低重要性的處理工具115或批次130的約定。
其它特性化的RSA亦呈現(xiàn)其它的特性化行為。就WFT或MT排程代理568、570而言，其每一個(gè)均具有特性化行為以考慮關(guān)于該技術(shù)人員個(gè)人素質(zhì)(技術(shù))的限制，而破壞時(shí)間要求或交接限制。介于該WFT與MT之間的一個(gè)不同點(diǎn)是典型的MT在維修或預(yù)防性維護(hù)的期間中必須全程參與，而WFT則可能只需要該時(shí)間的一部分。舉例而言，WFT于裝載或卸載過程中必須在處理工具115處但于該處理工具115進(jìn)行處理時(shí)可執(zhí)行其它的任務(wù)?？湛ㄏ慌懦檀?62具有特性化行為因?yàn)槠湎祫?dòng)態(tài)的產(chǎn)生并于被使用后接著停止?？湛ㄏ辉谄浔挥靡源鎯?chǔ)晶片之后已不再是被共享的資源，而當(dāng)晶片自該卡匣中被移除時(shí)載運(yùn)有生產(chǎn)批次的卡匣可變回空卡匣。因?yàn)榇诵┚笾芷谛缘姆?，因此偽晶片排程代?64具有特性化行為。偽晶片系用以填充于部分要求最小裝載尺寸以正確執(zhí)行處理的批次機(jī)器的空槽中。偽晶片必須在特定次數(shù)的使用后自服務(wù)中取出且直到他們被翻新之前不能再被使用。
因此，例示實(shí)施例中的AEM 600包含一些軟件構(gòu)件，其中部份包括圖6中所示的軟件對象。其包括下列的層級(jí)●排程代理層級(jí)610，復(fù)包括●LSA 630，其依據(jù)特定的批次130的利益安排處理與相關(guān)聯(lián)的移動(dòng)約定；●MSA 650，其依據(jù)特定的機(jī)器的利益安排與其它排程代理的約定；●PM排程代(PSA)640，其依據(jù)特定的機(jī)器的利益安排特定的預(yù)防性維護(hù)以及設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證約定；●RSA 660，其安排次要資源(如十字標(biāo)、WFT、MT)的使用；●處理代理層級(jí)620，進(jìn)一步包括●批處理代(LPA)670，其執(zhí)行批處理以及移除約定；●機(jī)器處理代理(MPA)690，其執(zhí)行批次設(shè)定、批處理或群組處理以及預(yù)防性維護(hù)以及設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證約定；●預(yù)防性維護(hù)處理代理(PPA)680，其執(zhí)行預(yù)防性維護(hù)以及設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證約定；●資源處理代理(RPA)685，其執(zhí)行特定資源約定(機(jī)器裝載資源的裝載與卸載，資源移動(dòng)、資源利用)；以及●批次初啟代理層級(jí)602，還包括●匱乏避免批次初啟代(SALSA)605，其適時(shí)的釋放批次以避免瓶頸匱乏；以及●排定的釋放批次初啟代理(SRLSA)615，其依據(jù)預(yù)設(shè)的排程釋放批次。
于替代的實(shí)施例中可利用其它的層級(jí)。
如前所述，該SALSA代理605決定何時(shí)新批次130被是放置該制造廠的處理流程中。更詳而言之，該SALSA代理605監(jiān)視于處理流程中的在制品(WIP)并識(shí)別出于處理流程中一個(gè)或多個(gè)產(chǎn)生瓶頸的工作站。該SALSA代理605計(jì)算用以表示接近每一個(gè)瓶頸工作站的制品數(shù)量的WIP值并于評(píng)估期間決定所推估出的該WIP值是否降低至控制限度以下。當(dāng)于評(píng)估期間所推估出的該WIP值降低至控制限度以下時(shí)，釋放選定數(shù)量的額外的制品置該制造線中。于部分實(shí)施例中，該SALSA代理605甚至決定選定數(shù)量的額外的制品的一個(gè)或多個(gè)產(chǎn)品類型。
該AEM 600還包含于幫助者層級(jí)中的一些軟件構(gòu)件(未圖標(biāo))，其由軟件代理265所利用以實(shí)現(xiàn)其功能。這些其它的構(gòu)件大致上可歸類如下●計(jì)算器，用以計(jì)算不同的量(如批次預(yù)算計(jì)算器、最少消費(fèi)時(shí)間計(jì)算器、競標(biāo)成本計(jì)算器)；●安排者，用以安排不同的事件(如移動(dòng)安排者)；●收聽者，用以偵測并報(bào)告選定事件的發(fā)生或狀態(tài)的改變(如批次收聽者、競標(biāo)收聽者)；●警報(bào)時(shí)鐘，其提供時(shí)間(真實(shí)或模擬的時(shí)間)予AEM 500的構(gòu)件且能夠?yàn)樘囟ǖ臅r(shí)間或期間以及待喚醒的收聽者設(shè)定警報(bào)；以及●轉(zhuǎn)換器，其提供接口予其它型態(tài)的制造設(shè)備，如MES、EI、AMHS，其可例如為●MES轉(zhuǎn)換器，其與MES間產(chǎn)生接口以執(zhí)行MES處理。如追蹤輸入/輸出批次或機(jī)器、使批次停擺等等；●EI轉(zhuǎn)換器，其發(fā)送指令置設(shè)備接口(如下載處方、要求工具狀態(tài)等等)以及通過設(shè)備事件派遣者接收來自設(shè)備接口的事件信息；●AMHS轉(zhuǎn)換器，其發(fā)送移動(dòng)指令至該AMHS并來自該AMHS的移動(dòng)狀態(tài)更新；以及●通知轉(zhuǎn)換器，其發(fā)送不同形式的通知(如屏幕、呼叫器、電子郵件等等)至制造廠人員(如WFT)。
表1列出用于本發(fā)明的一特定實(shí)施例中由代理使用的幫助者層級(jí)構(gòu)件。
表1.通過軟件代理所呼叫的幫助者層級(jí)對象





于此特定的實(shí)施例中，是利用對象導(dǎo)向程序化環(huán)境技術(shù)予以實(shí)現(xiàn)。于對象導(dǎo)向計(jì)算的專門術(shù)語中，軟件“代理”為自主、主動(dòng)物件。以其指令集為前提，軟件代理可相應(yīng)于區(qū)域狀況采取自主行動(dòng)，借以產(chǎn)生適當(dāng)?shù)南到y(tǒng)行為。本發(fā)明提出代理增強(qiáng)系統(tǒng)，其定義、設(shè)定以及部署自主且可移動(dòng)的軟件代理，以模仿并提升于半導(dǎo)體制造設(shè)備中實(shí)際的代理的功能，該半導(dǎo)體制造設(shè)備可例如為制造廠工作人員、物料、設(shè)備資源等等。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可了解代理或其它軟件對象可包括一個(gè)或多個(gè)軟件對象。于此所使用的術(shù)語“對象”應(yīng)將其理解成軟件對象，且可由其它軟件對象所組成。相反的，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可了解單一對象的功能可與其它功能相結(jié)合。應(yīng)了解到，前述與分離的對象相關(guān)聯(lián)的功能可結(jié)合至單一對象相關(guān)聯(lián)的功能中。
于此的詳細(xì)說明中的某些部分就軟件執(zhí)行的處理而論必然的會(huì)涉及計(jì)算系統(tǒng)或計(jì)算裝置的內(nèi)存中數(shù)據(jù)位的運(yùn)作符號(hào)表示。該些描述與表示系由此技術(shù)中的人士所利用最有效率的傳達(dá)其工作的本質(zhì)予其它本領(lǐng)域技術(shù)人員的手段。該處理與運(yùn)作要求物理量的物理操作。盡管并非必要，通常，該些量具有可用以存儲(chǔ)、轉(zhuǎn)換、結(jié)合、比較以及其它的操作的電、磁或光學(xué)信號(hào)等形式。有時(shí)為了方便說明，更主要是為了共通習(xí)慣的原因，而將該些信號(hào)稱之為位、值、組件、符號(hào)、特性、術(shù)語、數(shù)字等等。
然而，須銘記于心的是，所有這些或相同的數(shù)與與適當(dāng)?shù)牧慨a(chǎn)生關(guān)聯(lián)而僅為了方便而應(yīng)用于此些量中。貫穿本說明書的內(nèi)容，除非特別的交代或其它顯而易見的方式，這些關(guān)于電子裝置或于傳送或顯示裝置中的動(dòng)作或處理的描述，是指操作與轉(zhuǎn)換由部分電子裝置的存儲(chǔ)單元中的物理(電、磁或光學(xué))量所代表的數(shù)據(jù)成其它同樣由該存儲(chǔ)單元中的物理量所代表的資料。表示該些描述的術(shù)語的例示為處理、計(jì)算機(jī)處理、計(jì)算、決定、顯示等等，但不以此為限。
另需注意者，本發(fā)明的軟件執(zhí)行的型態(tài)典型的依據(jù)某些程序存儲(chǔ)媒介的形式予以編碼或于某些類型的傳送媒介上執(zhí)行。該程序存儲(chǔ)媒介可為磁性(軟盤或硬盤)或光學(xué)(如光盤只讀存儲(chǔ)器或CD ROM)，亦可為只讀或隨機(jī)存取的存儲(chǔ)媒介。同樣的，該傳送媒介可為雙絞線、同軸電纜、光纖或一些其它公知適用的傳送媒介。本發(fā)明并不受限于任何假定綜上所述，前述所揭露的特定實(shí)施例僅用以例示，對于具有因本發(fā)明的教示而獲得利益的本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，本發(fā)明可輕易的通過不同但等效的方式修改與實(shí)施。此外，除后述的權(quán)利要求范圍外，并不意圖限定于此處所顯示的詳細(xì)結(jié)構(gòu)或設(shè)計(jì)。明顯的，前述所揭露的特定實(shí)施例可予以替換或修改且所有的變更均包含于后述權(quán)利要求范圍的范圍中。因此，本發(fā)明的保護(hù)請求如后述的申請專利范圍所列。
權(quán)利要求
1.一種于自動(dòng)化制造環(huán)境中的處理流程，其特征在于多個(gè)制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)；以及代表該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)的代理裝置(265)系用以安排該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)的第一子集消費(fèi)通過該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)的第二子集所提供的處理資源(420)，該代理裝置通過被代表的實(shí)體(115、130、320、420)的類型予以特性化。
2.如權(quán)利要求1所述的處理流程，其中該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)包括下列的至少一者處理工具(115)；該處理工具(115)的預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證(320)；該處理工具(115)所利用的處理資源(420)；以及于該處理工具(115)上所處理的批次(130)。
3.如權(quán)利要求1所述的處理流程，其中該代理裝置包括用以代表該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)的排程裝置以及用以代表該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)的代表處理裝置的至少一者。
4.如權(quán)利要求1所述的處理流程，其中該代理裝置包括用以代表處理工具(115)的裝置、用以代表批次(130)的裝置、用以代表預(yù)防性維護(hù)程序(320)的裝置以及用以代表資源(420)的裝置的至少一者。
5.如權(quán)利要求1所述的處理流程，其中該代理裝置復(fù)通過該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)所表示的特性予以特性化。
6.一種自動(dòng)制造環(huán)境，包含多個(gè)制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)，其包括多個(gè)處理工具(115)；多個(gè)該處理工具(115)的預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證(320)；多個(gè)該處理工具(115)所利用的處理資源(420)；以及多個(gè)于該處理工具(115)上所處理的批次(130)；以及計(jì)算系統(tǒng)，其包括多個(gè)用以于該處理工具(115)上安排并執(zhí)行動(dòng)作的機(jī)器代理(650、690)；多個(gè)用以安排于該處理工具(115)上處理的批次(130)并執(zhí)行動(dòng)作以幫助于該處理工具(115)上批次(130)的處理的批次代理(630、670)；多個(gè)用以通過該處理工具(115)安排處理資源(420)的利用并執(zhí)行動(dòng)作以幫助由該處理工具(115)所利用的處理資源(420)的資源代理(660、685)；以及多個(gè)用以于該處理工具(115)上安排并執(zhí)行預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證(320)的預(yù)防性維護(hù)代理(640、680)。
7.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該機(jī)器代理(650、690)包括用以于該處理工具(115)上安排動(dòng)作的機(jī)器排程代理(650)以及用以于該處理工具(115)上執(zhí)行安排的動(dòng)作的機(jī)器處理代理(690)的至少一者。
8.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該多個(gè)機(jī)器代理(650、690)系依據(jù)下列的至少一者予以特性化該處理工具(115)處理晶片(135)、批次(130)、批次(130)之群組(batch)或晶片(135)的群組其中之一；該處理工具(115)連續(xù)的或接續(xù)的處理晶片(135)、批次(130)或群組其中之一；用于處理工具(115)的接口數(shù)量；用于處理工具(115)的接口系輸入、輸出或輸入/輸出其中之一；用于處理工具(115)的容器(chamber)系連續(xù)或并行的使用其中之一；是否該處理工具(115)可拘束預(yù)防性維護(hù)；于處理工具(115)中的容器的數(shù)量；是否該處理工具(115)包括內(nèi)部存儲(chǔ)單元；是否該處理工具(115)當(dāng)處理另一批次(130)或群組可將批次(130)或群組織處理予以排列；該處理工具(115)要求裝載及/或卸載其中之一；以及是否該處理工具(115)要求資源(420)，且如果要求時(shí)，是否該些資源(420)系為專用資源或共享資源。
9.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該批次代理(630、670)包括批次排程代理(630)以及批處理代理(670)的至少一者。
10.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該批次排程代理(630)以及批處理代理(670)的至少一者系通過該批次所表示的優(yōu)先權(quán)、產(chǎn)品或產(chǎn)品族的至少一者予以特性化。
11.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該資源代理(660、685)包括資源排程代理(660)以及資源處理代理(685)的至少一者。
12.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該預(yù)防性維護(hù)代理(640、680)包括預(yù)防性維護(hù)排程代理(640)以及預(yù)防性維護(hù)處理代理(680)的至少一者。
13.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)制造環(huán)境，復(fù)包含多個(gè)批次初啟代理(605、615)。
14.一種自動(dòng)制造環(huán)境，包含多個(gè)制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)，其包括多個(gè)處理工具(115)；多個(gè)該處理工具(115)的預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證(320)；多個(gè)該處理工具(115)所利用的處理資源(420)；以及多個(gè)于該處理工具(115)上所處理的批次(130)；以及計(jì)算系統(tǒng)，其包括多個(gè)用以于該處理工具(115)上為該預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證(320)、處理資源(420)以及批次(130)安排動(dòng)作的排程代理(610)；以及多個(gè)用以執(zhí)行該安排的動(dòng)作的處理代理(620)。
15.如權(quán)利要求14所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該排程代理(610)以及處理代理(620)的至少一者系依據(jù)該實(shí)體所表示的性質(zhì)予以特性化。
16.如權(quán)利要求14所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該排程代理(610)包括下列的至少一者用以于該處理工具(115)上安排動(dòng)作的機(jī)器排程代理(650)；用以于該處理工具(115)上安排處理批次(130)的批次排程代理(630)；用以于該處理工具(115)上安排預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證(320)的預(yù)防性維護(hù)排程代理(640)；以及用以安排由該處理工具(115)所利用的處理資源(420)的資源排程代理(660)。
17.如權(quán)利要求14所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該處理代理(620)包括下列的至少一者用以于該處理工具(115)上執(zhí)行安排的動(dòng)作的機(jī)器處理代理(690)；用以于該處理工具(115)上執(zhí)行動(dòng)作以幫助該批次(130)的處理的批處理代理(670)；用以執(zhí)行動(dòng)作以幫助該處理工具(115)處理資源(420)的利用的資源處理代理(685)；以及多個(gè)用以于該處理工具(115)上執(zhí)行預(yù)防性維護(hù)與設(shè)備質(zhì)量驗(yàn)證(320)之預(yù)防性維護(hù)處理代理(680)。
18.如權(quán)利要求14所述的自動(dòng)制造環(huán)境，其中該軟件代理(265)包括批次初啟代理(602)。
全文摘要
一種利用特性化、自主的主動(dòng)軟件代理以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化制造環(huán)境的裝置以及方法，該軟件代理(agents)(265)通過其所代表的實(shí)體類型以及于處理流程中所執(zhí)行的功能予以特性化。該裝置包括處理流程，該處理流程包含多個(gè)制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)以及多個(gè)用以安排該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)的第一子集的軟件代理(610)，該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)的第一子集系用以消費(fèi)由該制造區(qū)域?qū)嶓w(115、130、320、420)的第二子集所提供的處理資源。該方法包括例示該軟件代理(265)并接著允許該軟件代理(265)依據(jù)程序化運(yùn)作。
文檔編號(hào)G06F9/46GK1628273SQ02829058
公開日2005年6月15日 申請日期2002年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月31日
發(fā)明者G·瑪塔, S·C·奈特里斯, L·D·巴托, Y·李 申請人:先進(jìn)微裝置公司