專(zhuān)利名稱(chēng)：用于自動(dòng)化制造環(huán)境的代理人反應(yīng)式調(diào)度的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及自動(dòng)化制造環(huán)境，特別是涉及自動(dòng)化制造環(huán)境中的調(diào)度(scheduling)。

背景技術(shù)：
因應(yīng)科技日趨成長(zhǎng)的需要以及普遍為世界所接受的先進(jìn)電子裝置而對(duì)大規(guī)模、復(fù)雜的集成電路產(chǎn)生史無(wú)前例的需求。在極度競(jìng)爭(zhēng)的半導(dǎo)體工業(yè)中，其產(chǎn)品必須盡可能在最有效率的設(shè)計(jì)、制造和銷(xiāo)售方法下進(jìn)行。隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展，其制造技術(shù)的改善也必須同步成長(zhǎng)。為了符合上述的要求而孕育出許多有關(guān)材料和工藝設(shè)備的先進(jìn)科技，以及明顯增加集成電路設(shè)計(jì)的數(shù)量。上述的進(jìn)步還必須同時(shí)有效應(yīng)用計(jì)算機(jī)的資源以及其它高精密度的設(shè)備，其不僅有助于產(chǎn)品的設(shè)計(jì)和制造而且也有助于制造過(guò)程中的調(diào)度、控制和自動(dòng)化。
首先觀察從現(xiàn)代半導(dǎo)體裝置所制造的集成電路或微形芯片，其含有許多構(gòu)造或特性，且一般僅具有數(shù)微米的尺寸。其制造過(guò)程通常涉及許多經(jīng)過(guò)一系列制造工具所處理的晶圓(wafer)。制造過(guò)程中通過(guò)半導(dǎo)體晶圓上材料層的添加、移除，和/或處理而產(chǎn)生集成電路。其制造大致上包括下列四種基本步驟 ·以各種不同的材料在晶圓上沉積或添加薄層以制造半導(dǎo)體組件； ·添加的薄層的圖案化或特定部分的移除； ·經(jīng)添加層的開(kāi)口在晶圓特定部分進(jìn)行摻雜(doping)或置入特定量的摻雜物(dopants)；以及 ·材料的熱處理或加熱及冷卻而使處理后晶圓產(chǎn)生所需要的效果。
雖然僅四種基本的操作，但根據(jù)特定的制造過(guò)程可組合成數(shù)百種不同的方法。例如，請(qǐng)看Peter Van Zant的微芯片的半導(dǎo)體工藝操作指南(Microchip FabricationA Practical Guide to SemiconductorProcessing)(麥格羅希爾出版公司，1997年第三版)(國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)書(shū)號(hào)0-07-067250-4)。各種制造工具可執(zhí)行上述四種基本操作中的一種或多種。根據(jù)整體的工藝進(jìn)行該四種基本的操作而最后產(chǎn)生半導(dǎo)體裝置的成品。
然而，控制制造該集成電路的半導(dǎo)體工廠(chǎng)是一項(xiàng)相當(dāng)嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。半導(dǎo)體工廠(chǎng)(fab)的制造程序相當(dāng)復(fù)雜，半導(dǎo)體工廠(chǎng)同時(shí)可制造40,000片以上的晶圓，以及制造100種或以上不同類(lèi)型的零件。通過(guò)半導(dǎo)體制造工廠(chǎng)(或fab)的每一片晶圓可能需通過(guò)300次以上的加工步驟，而其中許多步驟可能在同一臺(tái)機(jī)器內(nèi)進(jìn)行。一間大型工廠(chǎng)可能有500臺(tái)計(jì)算機(jī)控制的機(jī)器進(jìn)行該晶圓的加工。半導(dǎo)體制造工廠(chǎng)的加工路線(xiàn)、調(diào)度和材料追蹤，即使在計(jì)算機(jī)化控制系統(tǒng)的幫助之下，仍然是一項(xiàng)極為艱巨和復(fù)雜的工作。
有效管理例如制造半導(dǎo)體芯片的設(shè)備需要對(duì)其制造過(guò)程進(jìn)行各種的監(jiān)控。例如，現(xiàn)存原材料的追蹤、制造進(jìn)程的狀態(tài)以及每個(gè)工藝步驟的機(jī)器和工具的狀態(tài)和可用性。一項(xiàng)最重要的決定是在一特定時(shí)間內(nèi)選擇哪個(gè)批次(lot)在哪臺(tái)機(jī)器中進(jìn)行加工。此外，大部分用于制造過(guò)程中的機(jī)器需要例行預(yù)防維護(hù)(PM)和設(shè)備鑒定(Qual)程序，以及其它定期的診斷和修復(fù)工作。上述工作必須在不妨礙正常工藝的情況下進(jìn)行。
自動(dòng)化″制造執(zhí)行系統(tǒng)″(MES)為達(dá)成上述工作的一種方法。自動(dòng)化MES可讓用戶(hù)在最低限制下綜觀制造環(huán)境內(nèi)的機(jī)器和工具的狀態(tài)或″實(shí)體″并進(jìn)行操作。此外，制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)通過(guò)制造過(guò)程可迅速處理或追蹤各批次(lot)或制造進(jìn)程(work-in-process)，而得以用最有效率的方法管理其資源。在制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)之下，用戶(hù)可輸入有關(guān)制造進(jìn)程和實(shí)體狀態(tài)的請(qǐng)求數(shù)據(jù)。例如，當(dāng)用戶(hù)在一特定工藝上進(jìn)行預(yù)防維護(hù)(PM)時(shí)，操作者可將預(yù)防維護(hù)(PM)所需性能登錄在制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)內(nèi)而更新儲(chǔ)存在制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)有關(guān)該實(shí)體的狀態(tài)的資料?；蛘撸绻麥?zhǔn)備對(duì)該實(shí)體進(jìn)行修理或維護(hù)時(shí)，操作者可將其數(shù)據(jù)輸入至制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)，而可在其后被登錄為備用之前避免繼續(xù)使用該實(shí)體。
雖然MES系統(tǒng)已足夠追蹤各批次和機(jī)器，但仍存有許多缺點(diǎn)，其最明顯者為被動(dòng)、缺乏預(yù)先的調(diào)度方式，以及無(wú)法支持高度自動(dòng)化工廠(chǎng)的作業(yè)。目前的MES系統(tǒng)大部分依賴(lài)制造人員監(jiān)控工廠(chǎng)狀態(tài)以及在特定時(shí)間激活其作業(yè)活動(dòng)。例如，一批次必須在晶圓廠(chǎng)工程師(WFT)發(fā)布適當(dāng)?shù)腗ES指令之后才能開(kāi)始進(jìn)行加工。并且，在加工之前，晶圓廠(chǎng)工程師(WFT)必須及早規(guī)劃以在機(jī)器可供使用時(shí)對(duì)該機(jī)器內(nèi)的現(xiàn)存產(chǎn)品發(fā)布MES指令而從自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)中取得該批次。如果WFT取得該批次的速度不夠迅速，或未在最早的適當(dāng)時(shí)間激活其工藝時(shí)，則該機(jī)器會(huì)發(fā)生閑置的現(xiàn)象而影響生產(chǎn)效率。
一般自動(dòng)化MES具有上述的缺點(diǎn)，故特別強(qiáng)調(diào)WFT對(duì)制造過(guò)程中的作業(yè)效率的重要性。WFT執(zhí)行許多關(guān)鍵性的功能。舉例而言，WFT在其注意力及時(shí)間允許之下啟動(dòng)調(diào)度、輸送和加工作業(yè)。他們必須做出調(diào)度決定，例如繼續(xù)進(jìn)行該未完成群組產(chǎn)品的工作、或等待其它批次作業(yè)、或執(zhí)行預(yù)防維護(hù)(PM)或設(shè)備鑒定程序而非上述的批次加工。WFT為執(zhí)行無(wú)附加價(jià)值的MES事務(wù)，以及運(yùn)用被動(dòng)性的一般工廠(chǎng)控制系統(tǒng)。在本文中，″被動(dòng)(passive)″一詞意指必須通過(guò)WFT激活的控制操作系統(tǒng)，而不是自行開(kāi)始或自行激活的控制操作系統(tǒng)。
然而，通過(guò)WFT的操作方式也無(wú)可避免地存在一些缺點(diǎn)。一位優(yōu)秀WFT和一位不合格WFT之間所得到的操作結(jié)果有極大的差異。一位WFT通常同時(shí)監(jiān)控多種工具和多個(gè)批次的工藝，故無(wú)法將注意力集中于個(gè)別的批次或工具。此外，由于現(xiàn)代化制造工藝流程的產(chǎn)量和復(fù)雜性使WFT無(wú)法預(yù)見(jiàn)或防止由上游作業(yè)引起的下游作業(yè)的瓶頸或短缺。WFT的換班、休息空檔及休假日而產(chǎn)生的無(wú)效率或機(jī)器的閑置均會(huì)對(duì)制造工藝流程造成負(fù)面影響。自動(dòng)化MES越倚賴(lài)WFT，WFT在工藝中所可能造成的缺點(diǎn)也越多。
目前晶圓廠(chǎng)的控制系統(tǒng)均屬于被動(dòng)性，并且無(wú)法進(jìn)行高度的自動(dòng)化作業(yè)。該系統(tǒng)極度倚賴(lài)WFT及其它員工進(jìn)行工廠(chǎng)狀態(tài)的監(jiān)控、應(yīng)付各種產(chǎn)生的變化、迅速?zèng)Q定物流的決策，以及定時(shí)激活和協(xié)調(diào)工廠(chǎng)的各種控制活動(dòng)。這些WFT扮演缺乏主動(dòng)元素的工廠(chǎng)控制系統(tǒng)的代理人(agent)的角色。其結(jié)果為，這種高度競(jìng)爭(zhēng)的半導(dǎo)體工業(yè)極度倚賴(lài)這些代理人的可用性、生產(chǎn)力、技術(shù)水平以及其一致性。WFT必須監(jiān)控及操作工廠(chǎng)內(nèi)位于各種工藝中的許多工具。他們被迫必須在工具、工藝、材料處理系統(tǒng)以及各種工廠(chǎng)控制系統(tǒng)之間扮演多任務(wù)的角色。當(dāng)工廠(chǎng)產(chǎn)能提高以及引入更復(fù)雜的工藝時(shí)，若不同時(shí)提高人員或系統(tǒng)的能力將無(wú)法符合其所增加的復(fù)雜性和產(chǎn)量的要求。WFT對(duì)上游和下游作業(yè)、工具狀態(tài)、制造進(jìn)程以及資源可用性的能見(jiàn)度是有限的。
然而，關(guān)鍵性物流決策經(jīng)常僅根據(jù)此部分由工廠(chǎng)控制系統(tǒng)提供的有限及過(guò)期信息。WFT將大量時(shí)間花費(fèi)于系統(tǒng)的互動(dòng)、監(jiān)控工廠(chǎng)事件和狀態(tài)的改變，以及其它無(wú)附加價(jià)值的功能，例如，制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)的登錄。當(dāng)工程師在換班而暫時(shí)無(wú)法進(jìn)行監(jiān)控和協(xié)調(diào)時(shí)將會(huì)中斷工廠(chǎng)的作業(yè)。盡管工程師竭盡其所能、充分利用可用的工機(jī)具，仍會(huì)對(duì)其他關(guān)鍵的工廠(chǎng)評(píng)量方法造成沖擊，其包括循環(huán)時(shí)間、庫(kù)存量、工廠(chǎng)產(chǎn)量及其混合。由于在工藝區(qū)間(intrabay)的材料處理需要將12寸晶圓輸送至新的300毫米的晶圓廠(chǎng)中，因此增加了額外的復(fù)雜性。在傳統(tǒng)的工廠(chǎng)控制系統(tǒng)之下無(wú)法提供這種層次的詳細(xì)調(diào)度及執(zhí)行控制。
本發(fā)明的目的在于解決或至少降低上述一種或全部的問(wèn)題。


發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的各個(gè)方面和實(shí)施例為提供自動(dòng)化制造環(huán)境的調(diào)度的方法和裝置。在一實(shí)施例中，一種方法包括偵測(cè)工藝流程中的預(yù)設(shè)事件的發(fā)生(occurrence)；通知該發(fā)生事件的軟件調(diào)度代理人；以及從軟件調(diào)度代理人對(duì)所偵測(cè)預(yù)設(shè)事件的響應(yīng)中進(jìn)行調(diào)度活動(dòng)。其它具體例包括執(zhí)行上述方法的程序化計(jì)算系統(tǒng)，以及以上述方法的執(zhí)行命令編碼的計(jì)算機(jī)可讀取程序儲(chǔ)存介質(zhì)。又另一實(shí)施例中，本發(fā)明包括自動(dòng)化制造環(huán)境，其包括一種工藝流程和一種計(jì)算系統(tǒng)。該計(jì)算系統(tǒng)進(jìn)一步包括多個(gè)常駐性軟件調(diào)度代理人，該軟件調(diào)度代理人在工藝流程中可對(duì)其所反應(yīng)的多個(gè)預(yù)設(shè)事件發(fā)出調(diào)度活動(dòng)的命令。



本發(fā)明可通過(guò)參考下列的說(shuō)明并配合附圖而獲得了解，其類(lèi)似組件有相同的參考編號(hào)，其圖標(biāo)為 圖1為根據(jù)本發(fā)明一特定實(shí)施例的部分工藝流程設(shè)計(jì)和作業(yè)的示意圖； 圖2為分別選自圖1中計(jì)算機(jī)裝置的硬件和軟件架構(gòu)的部分方框示意圖； 圖3為執(zhí)行圖1的特定裝置的示意圖，即，半導(dǎo)體制造設(shè)備的一部分工藝流程，以及資源消耗的指定調(diào)度的方法； 圖4為已登記約定的計(jì)劃表的示意圖； 圖5為已登記約定的三種有關(guān)計(jì)劃表的示意性說(shuō)明； 圖6A及圖6B為改變已登記的約定以利用盡早開(kāi)始時(shí)間的示意性說(shuō)明；以及 圖7A及圖7B為改變已登記的約定以調(diào)節(jié)先前無(wú)法預(yù)期的過(guò)長(zhǎng)時(shí)間已登記約定的兩種狀況示意性說(shuō)明。
本發(fā)明可允許有各種不同的改良和變化，其特定實(shí)施例顯示于圖標(biāo)的范例中，并在本文中詳細(xì)說(shuō)明。然而，應(yīng)了解本發(fā)明并非僅局限于此處所舉出的特定實(shí)施例，相反的，其所有的改良、相等物及替代方案均屬于附錄的本發(fā)明權(quán)利要求范圍的精神和范疇內(nèi)。

具體實(shí)施例方式 本發(fā)明的說(shuō)明實(shí)施例詳述如下。為清楚起見(jiàn)，說(shuō)明中并未包括實(shí)際作業(yè)中的全部特性。在任何實(shí)際實(shí)施例的作業(yè)過(guò)程中應(yīng)該清楚，為了達(dá)到用戶(hù)特定的目標(biāo)必須做出許多執(zhí)行上的特殊決定，例如，必須符合系統(tǒng)上相關(guān)及商業(yè)上相關(guān)的限制，而形成各種相互不同的執(zhí)行作業(yè)程序。此外，應(yīng)了解在進(jìn)行該作業(yè)的努力過(guò)程中即使復(fù)雜而且費(fèi)時(shí)，也只是受益于本揭示的本領(lǐng)域技術(shù)人員的例行工作。
圖1為根據(jù)本發(fā)明一特定實(shí)施例的部分工藝流程100而設(shè)計(jì)和作業(yè)的示意圖。工藝流程100為制造半導(dǎo)體組件。然而，本發(fā)明可應(yīng)用于其它類(lèi)型的工藝中。因此，上述工藝流程100中所述批次130的晶圓135一般稱(chēng)之為″工件(work pieces)″。全部具體例中所需的工藝工具(process tools)115和任何工藝操作并不必然和制造半導(dǎo)體組件有關(guān)。然而，為了使本發(fā)明更清楚和易于了解之便，本文的實(shí)施例中仍保留半導(dǎo)體制造術(shù)語(yǔ)作為本發(fā)明的說(shuō)明。
工藝流程100的說(shuō)明部分包括兩個(gè)平臺(tái)105，每個(gè)平臺(tái)105包括一個(gè)和工藝工具115相通信的計(jì)算機(jī)裝置110。平臺(tái)105間以通信聯(lián)機(jī)(communications link)120相互連接。在說(shuō)明實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)裝置110和通信聯(lián)機(jī)120包含一個(gè)較大的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)部分，例如，一個(gè)網(wǎng)絡(luò)125。圖1中的工藝工具115為最后被制成集成電路裝置的晶圓135的工藝批次130。工藝流程100還包括為清楚之便未顯示于圖中的制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)和自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)的部分，以及其它整合控制系統(tǒng)。AMHS負(fù)責(zé)″處理″工藝批次130和平臺(tái)105以及工藝流程100中其它位置間的輸送工作。
如上所述，計(jì)算機(jī)裝置110通過(guò)通信聯(lián)機(jī)120的連接可為較大計(jì)算機(jī)系統(tǒng)125的一部分。上述作業(yè)的示例性計(jì)算機(jī)系統(tǒng)可包括局域網(wǎng)(LANs)、廣域網(wǎng)(WANs)、系統(tǒng)局域網(wǎng)(SANs)、企業(yè)網(wǎng)絡(luò)或甚至互聯(lián)網(wǎng)。該計(jì)算機(jī)系統(tǒng)125為利用聯(lián)網(wǎng)的客戶(hù)機(jī)/服務(wù)器(client/server)架構(gòu)，但其它實(shí)施例中也可利用點(diǎn)對(duì)點(diǎn)式(peer-to-peer)架構(gòu)。因此，在某些實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)裝置110可直接相互連接。通信聯(lián)機(jī)120例如可為無(wú)線(xiàn)、同軸電纜、光纖電纜或雙絞線(xiàn)。該計(jì)算機(jī)系統(tǒng)125和通信聯(lián)機(jī)120將執(zhí)行特定的工作以及任何本領(lǐng)域技術(shù)人員所要求的任務(wù)。該計(jì)算機(jī)系統(tǒng)125可利用任何本領(lǐng)域所熟知的適當(dāng)通信協(xié)議，例如，傳輸控制協(xié)議/網(wǎng)際協(xié)議(TCP/IP)。
圖2為計(jì)算機(jī)裝置110的硬件和軟件架構(gòu)的部分方框示意圖。未顯示硬件和軟件架構(gòu)的某些方面(例如，個(gè)人卡(individual cards)、基本輸入/輸出系統(tǒng)、輸入/輸出驅(qū)動(dòng)器等)。為清楚之故省略上述方面，而可使本發(fā)明更為突顯。然而，正如受益于本揭示的本領(lǐng)域技術(shù)人員所了解，計(jì)算機(jī)裝置110的軟件和硬件架構(gòu)將包括許多該類(lèi)型的例行工作。
在說(shuō)明實(shí)施例中，計(jì)算機(jī)裝置110為一種應(yīng)用基于UNIX操作系統(tǒng)200的工作站，但本發(fā)明并不受此限制。該計(jì)算機(jī)裝置110可在任何類(lèi)型的電子計(jì)算裝置中實(shí)現(xiàn)，例如，筆記本電腦、臺(tái)式計(jì)算機(jī)、迷你計(jì)算機(jī)、大型主機(jī)計(jì)算機(jī)、或超級(jí)計(jì)算機(jī)。在其它實(shí)施例中，該計(jì)算機(jī)裝置110甚至可為嵌入工藝工具115的處理器或控制器。本發(fā)明并非僅局限于基于UNIX的操作系統(tǒng)。也可能應(yīng)用其它不同的操作系統(tǒng)(例如，以WindowsTM、LinuxTM、或DOS為基礎(chǔ))。本發(fā)明并非僅局限于該計(jì)算機(jī)裝置110中作為特定用途的特性。
該計(jì)算機(jī)裝置110還包括一個(gè)通過(guò)總線(xiàn)系統(tǒng)215連接儲(chǔ)存器210的處理器205。一般儲(chǔ)存器210包括至少一個(gè)硬盤(pán)(未顯示)及隨機(jī)存取內(nèi)存(RAM)(亦未顯示)。在某些實(shí)施例中，該計(jì)算機(jī)裝置110還可包括可移除式儲(chǔ)存器，例如，光盤(pán)230、軟盤(pán)驅(qū)動(dòng)器235或其它類(lèi)型，例如，磁帶(未顯示)或ZIP盤(pán)(未顯示)。該計(jì)算機(jī)裝置110包括一臺(tái)顯示器240、鍵盤(pán)245及鼠標(biāo)250，其和相關(guān)的用戶(hù)接口軟件255包含一個(gè)用戶(hù)接口260。說(shuō)明實(shí)施例中的用戶(hù)接口260為一種圖形用戶(hù)接口(GUI)，但其并非是本發(fā)明的實(shí)際操作中所必須。
在說(shuō)明實(shí)施例中，各計(jì)算機(jī)裝置110包括儲(chǔ)存在儲(chǔ)存器210內(nèi)的軟件代理人(software agent)265。注意除了計(jì)算機(jī)裝置110外該軟件代理人265可置于工藝流程100中的任何位置。本發(fā)明的重點(diǎn)(situs)并不著重軟件代理人265的放置位置。同時(shí)還應(yīng)注意，軟件代理人265的位置并不重要，因?yàn)橛行┯?jì)算機(jī)裝置110可能具有多個(gè)軟件代理人265，而有些計(jì)算機(jī)裝置110則無(wú)任何軟件代理人265。因此，計(jì)算機(jī)裝置110和工藝工具115之間并不需要有一對(duì)一的對(duì)應(yīng)關(guān)系。至少有一計(jì)算機(jī)裝置110具有一種分別屬于諸如WORKSTREAMTM以及自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)的自動(dòng)化MES的軟件組件270、280。如同軟件代理人265，該軟件組件270、280可置于工藝流程100中的任何位置。
現(xiàn)在參考圖1和圖2，軟件代理人265分別代表某些″制造區(qū)域?qū)嶓w″(manufacturing domain entity)，例如，一個(gè)批次130、一種資源、一項(xiàng)預(yù)防維護(hù)(PM)和一項(xiàng)設(shè)備鑒定(Qual)。工藝工具115可為一種制造晶圓135某些部分的制造工具，即，晶圓135的分層、圖樣化、摻雜或熱處理。該工藝工具115或可為用于測(cè)定工藝流程100各部分性能的方法上的工具。綜合而言，軟件代理人265通過(guò)其制造工藝負(fù)責(zé)晶圓135的批次130的有效調(diào)度和控制。為有助于該目的的達(dá)成，軟件代理人265分別以MES和AMHS的軟件組件270、280為接口，并且整合其它現(xiàn)有工廠(chǎng)控制系統(tǒng)(未顯示)。適當(dāng)?shù)能浖砣?65還可通過(guò)由軟件所執(zhí)行的設(shè)備接口(EI)(未顯示)以作為工藝工具115和其它設(shè)備的接口。如同受益于本揭示的本領(lǐng)域技術(shù)人員所了解，執(zhí)行特定接口和整合的方法根據(jù)MES、AMHS、以及其它工廠(chǎng)控制系統(tǒng)的組成和構(gòu)造而定。
本發(fā)明所關(guān)注者是，軟件代理人265為根據(jù)其各自的制造區(qū)域?qū)嶓w而以反應(yīng)的方式進(jìn)行調(diào)度、激活、以及執(zhí)行作業(yè)。綜合而言，該軟件代理人265在進(jìn)行其它工藝時(shí)以特定合格的工藝工具115預(yù)先為各批次130的一種或多種作業(yè)包括輸送及所需的資源進(jìn)行調(diào)度，如下述的進(jìn)一步討論。這包括做出最適當(dāng)?shù)臎Q定，例如，不等待一即將到來(lái)的批次130即進(jìn)行另一尚未完成的群組的作業(yè)，以及找機(jī)會(huì)安排預(yù)防維護(hù)(″PM″)程序或設(shè)備鑒定(″Qual″)以符合規(guī)定。軟件代理人265進(jìn)行例如該批次的輸送及加工、制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)事務(wù)的處理、監(jiān)視加工及輸送的調(diào)度和激活作業(yè)，以及對(duì)未調(diào)度活動(dòng)或偏離已調(diào)度的活動(dòng)做出反應(yīng)。此外，在說(shuō)明實(shí)施例中，為了協(xié)調(diào)工藝流程100的性能，軟件代理人265可配置成一種允許用戶(hù)影響其行為的方式。
在此說(shuō)明實(shí)施例中，軟件代理人265以其呈現(xiàn)的制造區(qū)域?qū)嶓w進(jìn)行分類(lèi)。根據(jù)其作業(yè)方式有許多不同類(lèi)型的調(diào)度代理人265。圖3的說(shuō)明實(shí)施例中其主要調(diào)度代理人265包括下列的類(lèi)型 ·代表晶圓135的批次130進(jìn)行調(diào)度作業(yè)的批次調(diào)度代理人(LSA)305； ·代表工藝工具115進(jìn)行調(diào)度作業(yè)的機(jī)器調(diào)度代理人(MSA)310； ·代表預(yù)防維護(hù)及設(shè)備鑒定(未顯示)的進(jìn)行調(diào)度作業(yè)的PM調(diào)度代理人(PMSA)315；以及 ·代表按照資源(未顯示)進(jìn)行調(diào)度作業(yè)的資源調(diào)度代理人(RSA)。
然而，除上述之外還可增加或以其它代理人替代之。說(shuō)明實(shí)施例中的各種調(diào)度代理人265的角色和功能將在下述做更詳細(xì)的說(shuō)明。
這些作業(yè)中某些為根據(jù)本發(fā)明的反應(yīng)式調(diào)度，即，對(duì)例如工藝流程100的發(fā)生事件做出反應(yīng)。在一特定具體例中，其包括 ·在一例如工藝流程100的工藝流程中偵測(cè)一預(yù)設(shè)事件的發(fā)生； ·將該發(fā)生事件通知訂閱(subscribing)軟件調(diào)度代理人，例如，LSA305、MSA310、PMSA315或RSA320；以及 ·對(duì)預(yù)設(shè)事件的偵測(cè)結(jié)果做出一種反應(yīng)式的活動(dòng)調(diào)度。
該預(yù)設(shè)事件及反應(yīng)式活動(dòng)調(diào)度將以特定的方式執(zhí)行。多種示例性的事件及反應(yīng)式調(diào)度活動(dòng)將在下述中詳細(xì)地說(shuō)明。
此類(lèi)反應(yīng)式調(diào)度涉及是否得知工藝流程100內(nèi)所發(fā)生的事件。在這一方面，軟件代理人265對(duì)其他未顯示的軟件組件做出的反應(yīng)稱(chēng)之為″發(fā)布者(publishers)″(或稱(chēng)之為″通知者(notifiers)″)以及″訂閱者(subscribers)″。代理人產(chǎn)生訂閱一種或多種通知者的聽(tīng)者(listeners)。當(dāng)工廠(chǎng)內(nèi)發(fā)生改變時(shí)，通知者將″發(fā)布″事件至其訂閱的聽(tīng)者。聽(tīng)者輪流呼叫其訂閱軟件代理人265。例如，當(dāng)產(chǎn)生機(jī)器調(diào)度代理人(MSA)時(shí)，該代理人將產(chǎn)生觀察特定機(jī)器事件的機(jī)器聽(tīng)者。MSA負(fù)責(zé)接收任何發(fā)生在一特定機(jī)器內(nèi)的變化。例如，如果該機(jī)器發(fā)生變化時(shí)，發(fā)布者會(huì)將該事件發(fā)布至其全部的聽(tīng)者。然后該機(jī)器聽(tīng)者將有關(guān)的事件通知其訂閱MSA。該訂閱MSA將對(duì)其做出適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)。
更具體地說(shuō)，當(dāng)產(chǎn)生軟件代理人265時(shí)，其將產(chǎn)生聽(tīng)者并通過(guò)為事件發(fā)布者增加聽(tīng)者以訂閱該發(fā)布事件。聽(tīng)者以適當(dāng)?shù)姆椒ㄊ管浖砣?65能對(duì)工藝流程100中的事件做出反應(yīng)。下述表1列舉應(yīng)用于說(shuō)明實(shí)施例中的相關(guān)軟件代理人265、其所產(chǎn)生的聽(tīng)者，以及其功能的說(shuō)明。通過(guò)聽(tīng)者和通知者的利用發(fā)布者和預(yù)約者的方式為本領(lǐng)域所熟知的技術(shù)，并且可應(yīng)用任何其它適當(dāng)?shù)募夹g(shù)。
表1 軟件代理人和其相關(guān)聽(tīng)者軟件代理人相關(guān)聽(tīng)者預(yù)約的理由RSA(例如，資源裝載代理人)設(shè)備事件聽(tīng)者聽(tīng)取來(lái)自設(shè)備接口的事件。該事件可包括開(kāi)始裝載、開(kāi)始充填、完成裝載、完成充填等。機(jī)器聽(tīng)者聽(tīng)取發(fā)生于機(jī)器的MES事件。例如，聽(tīng)取進(jìn)行作業(yè)的機(jī)器及是否運(yùn)作正常。工藝操作聽(tīng)者聽(tīng)取工藝操作內(nèi)的變化，因其可能影響機(jī)器的處理能力。工藝聽(tīng)者聽(tīng)取工藝內(nèi)的變化，因其可能影響機(jī)器的處理能力。警報(bào)聽(tīng)者聽(tīng)取設(shè)定于調(diào)度活動(dòng)開(kāi)始或結(jié)束時(shí)的警報(bào)信號(hào)。調(diào)度公布聽(tīng)者聽(tīng)取未開(kāi)始的調(diào)度命令所“發(fā)布”的時(shí)間間隔。約定狀態(tài)改變聽(tīng)者聽(tīng)取其它可能影響該計(jì)劃表的任何調(diào)度計(jì)劃表上的相關(guān)命令。LSA警報(bào)聽(tīng)者聽(tīng)取設(shè)定于調(diào)度活動(dòng)開(kāi)始或結(jié)束時(shí)的警報(bào)信號(hào)。批次聽(tīng)者聽(tīng)取發(fā)生于批次上的MES事件，例如，產(chǎn)品的改變、優(yōu)先級(jí)的改變、晶圓數(shù)以及其它等。AMHS聽(tīng)者聽(tīng)取以L(fǎng)SA為代表的批次位置內(nèi)的變化。約定狀態(tài)改變聽(tīng)者聽(tīng)取其它可能影響該計(jì)劃表的任何調(diào)度計(jì)劃表上的相關(guān)命令。MSA警報(bào)聽(tīng)者聽(tīng)取設(shè)定于調(diào)度活動(dòng)開(kāi)始或結(jié)束時(shí)的警報(bào)信號(hào)。工藝操作聽(tīng)者聽(tīng)取工藝操作內(nèi)的變化，因其可能影響機(jī)器的處理能力。機(jī)器聽(tīng)者聽(tīng)取發(fā)生于機(jī)器的MES事件。例如，聽(tīng)取進(jìn)行作業(yè)的機(jī)器。約定狀態(tài)改變聽(tīng)者聽(tīng)取其它可能影響該計(jì)劃表的任何調(diào)度計(jì)劃表上的相關(guān)命令。反應(yīng)室聽(tīng)者聽(tīng)取發(fā)生于反應(yīng)室內(nèi)的MES事件，例如，停機(jī)時(shí)間、PM或品質(zhì)測(cè)試。工藝聽(tīng)者聽(tīng)取工藝內(nèi)的變化，因其可能影響機(jī)器的處理能力。設(shè)備事件聽(tīng)者聽(tīng)取來(lái)自設(shè)備接口的事件。該事件可包括載體到達(dá)機(jī)器入口、工藝開(kāi)始、工藝將結(jié)束、載體離開(kāi)等。PM調(diào)度代反應(yīng)室聽(tīng)聽(tīng)取發(fā)生于反應(yīng)室內(nèi)的MES事件，例如，停 理人(PMSA)者機(jī)時(shí)間、PM或品質(zhì)測(cè)試。機(jī)器聽(tīng)者聽(tīng)取發(fā)生于機(jī)器的MES事件。例如，聽(tīng)取機(jī)器何時(shí)不可用。品質(zhì)測(cè)試信息聽(tīng)者聽(tīng)取任何新的或已刪除的品質(zhì)測(cè)試信息。PM信息聽(tīng)者聽(tīng)取任何新的或已刪除的PM信息。約定狀態(tài)改變聽(tīng)者追蹤任何可能影響其計(jì)劃表的約定的變化。
表1可明顯看出，其中所列舉的軟件代理人265可聽(tīng)取可能影響其計(jì)劃表的約定變化。例如，配合表1研究圖5(在下面做更詳細(xì)的討論)。圖5說(shuō)明各種代理人的計(jì)劃表內(nèi)(TOOL1的MSA、LOT1的LSA、一種PMSA、一種RSA)所含的不同命令(SETUP1、LOT1、MOVE1、TOOL1、PM、QUAL等)。圖5還說(shuō)明該計(jì)劃表之間相對(duì)應(yīng)的約定。例如，MSA計(jì)劃表含一種工藝命令LOT1，其對(duì)應(yīng)LSA計(jì)劃表上的工藝命令TOOL1。這兩種命令事實(shí)上指兩種不同實(shí)體(即，分別為MSA和LSA)針對(duì)兩種不同實(shí)體(即，區(qū)段LOT1及工藝工具TOOL1)的相同事件(即，TOOL1上的LOT1工藝)。
現(xiàn)在參考圖3和圖5，當(dāng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)約定(例如，LOT1、TOOL1)時(shí)，這次約定本身含有一群聽(tīng)者，例如圖3中的聽(tīng)者256、358。當(dāng)改變約定而想通知其它軟件代理人265時(shí)，聽(tīng)者會(huì)被加入該約定中。在此情況之下，MSA計(jì)劃表370上的批次工藝約定LOT1含有一種當(dāng)改變工藝約定LOT1時(shí)可通過(guò)通知者354而通知LSA305的聽(tīng)者356。另一方面，批次約定TOOL1含有一種當(dāng)其改變時(shí)可通過(guò)通知者352通知MSA310的聽(tīng)者358。如果MSA310改變其工藝約定LOT1時(shí)，這次約定的改變將通知LSA305并且其將因此而修改命令TOOL1。因此，聽(tīng)者能使軟件代理人265和相關(guān)的約定同步。同時(shí)，軟件代理人265在適當(dāng)狀況下可對(duì)該預(yù)定事件的調(diào)度做出反應(yīng)，然后在其它軟件代理人265所建立的改變下隨時(shí)更新其計(jì)劃表。
當(dāng)軟件代理人265對(duì)約定的改變做出反應(yīng)時(shí)，其將小心處理該相關(guān)的約定。在某些情況中，兩種軟件代理人265不宜同時(shí)處理其各自相關(guān)的約定。因此，單獨(dú)一種軟件代理人265負(fù)責(zé)處理其各自的相關(guān)約定，然后其將促使相關(guān)命令的軟件代理人265處理其各自的相關(guān)約定。例如在圖5中，LSA305含有一種其后跟隨著批次工藝約定TOOL1的移動(dòng)約定MOVE1。如果已到達(dá)移動(dòng)約定MOVE1的結(jié)束時(shí)間但約定仍未結(jié)束時(shí)，則警報(bào)聽(tīng)者會(huì)通知LSA305。(″警報(bào)″為一種聽(tīng)取事件的類(lèi)型，其將在下面進(jìn)一步討論)。LSA305然后通過(guò)可設(shè)定時(shí)間長(zhǎng)短的方式延長(zhǎng)移動(dòng)約定MOVE1的時(shí)間，并同時(shí)移動(dòng)批次工藝約定TOOL1以適應(yīng)延長(zhǎng)時(shí)間的移動(dòng)約定MOVE1。
在此同時(shí)，MSA310的警報(bào)聽(tīng)者將發(fā)出批次工藝約定TOOL1的開(kāi)始已到達(dá)的通知。當(dāng)批次LOT1若已到達(dá)工藝工具115時(shí)由于LSA305可做出最佳的測(cè)定，故LSA305在延長(zhǎng)移動(dòng)約定之后可移動(dòng)批次工藝約定TOOL1的開(kāi)始時(shí)間。MSA310將等待其約定狀態(tài)改變聽(tīng)者(appointmentstate change listener)的批次工藝約定移動(dòng)的通知，并尋找其相對(duì)的批次工藝約定，而因此使其移動(dòng)。在此情況之下，MSA310將忽略其本身開(kāi)始時(shí)間的警報(bào)。雖然未顯示在圖中，批次130、工藝工具115、資源，以及預(yù)防維護(hù)(PM)和設(shè)備鑒定(Qual)全部均有其相對(duì)的″工藝″代理人，其雖然也未顯示在圖中，但是在發(fā)生需要處理的特定事件時(shí)將會(huì)接到調(diào)度代理人的通知。
為了促進(jìn)其預(yù)應(yīng)式(proactive)和反應(yīng)式(reactive)的職責(zé)，軟件代理人265維持其調(diào)度″約定″的計(jì)劃表，例如示意性說(shuō)明于圖4中的計(jì)劃表。圖4示意性說(shuō)明一種含有關(guān)于約定信息的計(jì)劃表，例如，針對(duì)許多批次130的工藝工具115。″約定″為工藝工具115在一特定時(shí)間內(nèi)所執(zhí)行的工藝操作，其介于約定開(kāi)始時(shí)間(TS)和約定結(jié)束時(shí)間(TE)之間。在說(shuō)明實(shí)施例中，該約定被登錄于″約定窗口(commitmentwindows)″(CW)，或由最早工藝開(kāi)始時(shí)間(EST)及最晚輸送時(shí)間(LDTP)所定義的時(shí)間窗口(time windows)內(nèi)。預(yù)約批次130到達(dá)工藝工具115的時(shí)間不晚于EST，而工藝工具115完成該工藝的時(shí)間不晚于LDT。然而應(yīng)注意，本發(fā)明的實(shí)際上并不必須使用約定窗口。
在圖4中，工藝工具115已分別登錄批次Lot1至Lot4的命令A(yù)PP1至APP4。因此，下列為L(zhǎng)ot1至Lot4的計(jì)劃表化信息 Lot1APP1[t10，t12]，CW1[t8，t14] Lot2APP2[t13，t15]，CW2[t9，t16] Lot3APP3[t5，t7]，CW3[t2，t11] Lot4APP4[t3，t4]，CW4[t1，t6] 在此說(shuō)明實(shí)施例中應(yīng)注意，有多個(gè)約定窗口為相互重疊，但其約定則未相互重疊。只要不和其它約定重疊，約定可在其約定窗口范圍內(nèi)移動(dòng)，或可被延長(zhǎng)、縮短、取消和重新調(diào)度，其將在下面詳細(xì)討論。然而，在某些實(shí)施例中，部分命令可能有重疊的情況。
因此，回顧圖3，通過(guò)例如調(diào)度代理人305、310的各個(gè)調(diào)度代理人所維護(hù)的約定，例如工藝約定375，以預(yù)應(yīng)的方式登錄于例如計(jì)劃表385、370的計(jì)劃表上。然而應(yīng)注意，并非全部的約定都是工藝約定。當(dāng)工藝約定375被登錄時(shí)，LSA305進(jìn)行移動(dòng)約定的調(diào)度而將批次130移動(dòng)至最新登錄的工藝約定375的位置。例如，再次參考圖1，假設(shè)已調(diào)度的工藝約定375為使第一工藝工具115上處理的批次130從端口140出來(lái)并到達(dá)第二工藝工具115的端口145。則負(fù)責(zé)調(diào)度批次130的各個(gè)LSA305移動(dòng)在起點(diǎn)和終點(diǎn)的位置之間，例如，第一工藝工具115的端口140和第二工藝工具115的端口145之間。
圖5示意性地說(shuō)明維持三種不同類(lèi)型實(shí)體的三種相關(guān)計(jì)劃表—批次130、工藝工具115以及預(yù)防維護(hù)(PM)——其上登錄有不同類(lèi)型的約定。在圖5的說(shuō)明中，當(dāng)與圖4的說(shuō)明相比較時(shí)，其已知計(jì)劃表的全部約定均合并在單一的時(shí)間軸(timeline)。為便于結(jié)尾以及避免說(shuō)明上不必要的混亂，故省略各別約定的約定窗口。圖5的說(shuō)明特別針對(duì) ·工藝工具TOOL1通過(guò)MSA維持的工藝工具TOOL1的計(jì)劃表，其包括設(shè)定(例如，SETUP1、SETUP2)；批次工藝約定(例如，LOT1、LOT2、LOT3)；預(yù)防維護(hù)(例如，PM)和設(shè)備鑒定(例如，QUAL)的約定的登錄； ·批次LOT1通過(guò)LSA維持的批次LOT1的計(jì)劃表，其登錄有移動(dòng)約定(例如，MOVE1、MOVE2、MOVE3、MOVE4、MOVE5)和批次工藝約定(例如，TOOL1、TOOL2)；以及 ·通過(guò)PMSA維持的預(yù)防維護(hù)(PM)的計(jì)劃表，其登錄有預(yù)防維護(hù)(例如，PM)和設(shè)備鑒定(例如，QUAL)約定。
另外還可登錄其它不同類(lèi)型的約定。例如，如果工藝工具TOOL1停止工作，即不再進(jìn)行加工處理時(shí)，可登錄″停機(jī)約定(downtimeappointment)″在其計(jì)劃表上以表示其進(jìn)入等待修理的時(shí)間。圖5的計(jì)劃表中的各個(gè)約定代表一種事件，其軟件代理人265根據(jù)其代表的制造領(lǐng)域?qū)嶓w首先主動(dòng)進(jìn)行調(diào)度。
一次約定，例如圖3中的工藝約定375，在任何特定時(shí)間均以多種″狀態(tài)″之一的類(lèi)型存在，或具有一種特定的″狀態(tài)″。在說(shuō)明實(shí)施例中該狀態(tài)可為 ·暫時(shí)性——該約定已產(chǎn)生，但仍未登錄(其將在下面進(jìn)一步討論)； ·未就緒——已登錄該暫時(shí)性約定，但仍未準(zhǔn)備執(zhí)行； ·就緒——和該命令有關(guān)的批次130已到達(dá)其登錄的工藝工具115； ·活動(dòng)中——已到達(dá)約定的開(kāi)始時(shí)間且所有的參與者均已就緒； ·活動(dòng)中的預(yù)防維護(hù)/設(shè)備鑒定—已到達(dá)PM約定的后續(xù)設(shè)備鑒定部分的開(kāi)始時(shí)間； ·處理中——已開(kāi)始調(diào)度活動(dòng)，即，工藝工具115已確認(rèn)其開(kāi)始的約定，或已開(kāi)始預(yù)防維護(hù)或改備檢定； ·預(yù)防維護(hù)/設(shè)備鑒定處理中——已開(kāi)始PM隨后的設(shè)備鑒定部分； ·接近完成——根據(jù)預(yù)設(shè)的參數(shù)(例如，剩余工藝時(shí)間、晶圓計(jì)數(shù))該命令已接近完成； ·完成——已完成處理； ·取消——在進(jìn)入工藝狀態(tài)之前從計(jì)劃表中移除該登錄的約定；以及 ·放棄——在工藝狀態(tài)的處理過(guò)程中中止該命令。
暫時(shí)性約定在其登錄而進(jìn)入未就緒狀態(tài)之前仍保持暫時(shí)的狀態(tài)。在批次130到達(dá)工藝工具115之前該約定仍為未就緒。然后該約定保持就緒狀態(tài)直至到達(dá)命令的開(kāi)始時(shí)間為止。然后該約定變?yōu)橛行顟B(tài)(即，開(kāi)始執(zhí)行命令)，直至工藝工具115已確認(rèn)其已開(kāi)始進(jìn)行處理為止。一旦該約定進(jìn)行處理時(shí)，其狀態(tài)一直持續(xù)至接近完成為止，然后完成全部的工作。如果該約定在進(jìn)入工藝狀態(tài)之前從計(jì)劃表中移除，其將從該系統(tǒng)中″取消″和移除。一旦進(jìn)入工藝狀態(tài)，如果停止其處理將″放棄″該約定。完成約定或放棄約定在從系統(tǒng)中被移除之前仍將繼續(xù)其原來(lái)的狀態(tài)。
然而，根據(jù)本發(fā)明的軟件代理人265還可對(duì)其源自于工藝流程100中的各個(gè)制造區(qū)域?qū)嶓w的事件進(jìn)行反應(yīng)式調(diào)度。影響命令改變的軟件代理人265的反應(yīng)式調(diào)度特色為最先的預(yù)應(yīng)式調(diào)度。然而，其并非本發(fā)明的實(shí)際上所必須的。例如，在一特定實(shí)施例中，軟件代理人265反應(yīng)機(jī)器失效的調(diào)度活動(dòng)可導(dǎo)致機(jī)器停止作業(yè)，并且需要一段修理該機(jī)器的停機(jī)時(shí)間。由于通常無(wú)法事先預(yù)測(cè)何時(shí)發(fā)生機(jī)器失效，故此類(lèi)事件通常不是任何的預(yù)應(yīng)性調(diào)度約定。
更特別的是，軟件代理人265通常對(duì)發(fā)生在工藝流程100中的不同事件產(chǎn)生反應(yīng)。這些事件已事先經(jīng)過(guò)確認(rèn)，即，為已″預(yù)定″，故可清楚定義反應(yīng)該事件的適當(dāng)活動(dòng)。該適當(dāng)?shù)男袆?dòng)決定于許多的因素，其不僅和制造領(lǐng)域的類(lèi)型有關(guān)，也和事件的類(lèi)型有關(guān)。在說(shuō)明實(shí)施例中，其預(yù)定事件被歸類(lèi)為下列三種類(lèi)型之一約定狀態(tài)改變、工廠(chǎng)狀態(tài)改變或?qū)儆谝环N警報(bào)事件。
當(dāng)例如調(diào)度代理人305、310的軟件代理人265改變一項(xiàng)例如工藝約定375的約定時(shí)通常會(huì)發(fā)生狀態(tài)的改變。軟件代理人265可改變約定狀態(tài)、延長(zhǎng)或縮短約定、取消約定、轉(zhuǎn)移約定、或執(zhí)行計(jì)劃表的其它操作或計(jì)劃表上的約定。當(dāng)一次約定被改變時(shí)，軟件代理人265會(huì)做出適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)。例如，當(dāng)工藝約定375延遲時(shí)MSA310可延長(zhǎng)其計(jì)劃表370上工藝約定375的調(diào)度期間。LSA305通過(guò)延長(zhǎng)其計(jì)劃表385上相對(duì)的工藝約定375反應(yīng)該改變以保持兩種計(jì)劃表370、385的工藝約定375的同步。改變約定狀態(tài)可包括，例如，取消約定、延長(zhǎng)約定、縮短約定、放棄約定、改變約定狀態(tài)、轉(zhuǎn)移約定，以及進(jìn)入更新窗口(window updates)。
當(dāng)例如工藝流程100的工廠(chǎng)狀態(tài)改變時(shí)通常發(fā)生工廠(chǎng)狀態(tài)的改變。工廠(chǎng)狀態(tài)改變的事件可源自MES270(見(jiàn)圖2)、AMHS280(見(jiàn)圖2)，或源自工藝工具115的設(shè)備接口(EI，未顯示)。工廠(chǎng)狀態(tài)改變可包括改變批次到期日、被暫時(shí)擱置的批次、改變工藝或一批次的工藝操作、改變批次的位置、一到達(dá)機(jī)器端口的載體等。對(duì)每一項(xiàng)工廠(chǎng)狀態(tài)的改變而言均視為一項(xiàng)″預(yù)定事件″，因此軟件代理人265隨之做出反應(yīng)。示例性的工廠(chǎng)狀態(tài)改變可包括停機(jī)時(shí)間的發(fā)生(downtime occurrence)、一部正待命的機(jī)器、正進(jìn)行PM/Qual偵測(cè)、反應(yīng)室退出(chamber goingdown)、離開(kāi)機(jī)器的批次、一項(xiàng)完成的移動(dòng)，以及一件完工的晶圓。
在此特定實(shí)施例中，當(dāng)一特定警報(bào)終了時(shí)則發(fā)生警報(bào)事件。當(dāng)收到一種警報(bào)事件時(shí)代理人即產(chǎn)生反應(yīng)——例如，當(dāng)批次約定已到達(dá)結(jié)束時(shí)間時(shí)。如果機(jī)器代理人未收到約定已結(jié)束的通知時(shí)，則機(jī)器代理人將根據(jù)約定總期限的可調(diào)整比例延長(zhǎng)該約定。約定一經(jīng)延長(zhǎng)，機(jī)器代理人將根據(jù)該新而可預(yù)測(cè)終了時(shí)間的約定傳送一個(gè)新的警報(bào)。一次約定事件可為，例如，發(fā)出一種約定開(kāi)始的警報(bào)或發(fā)出一種約定結(jié)束的警報(bào)。
應(yīng)注意，有些事件并未事先規(guī)劃或可預(yù)期。例如，除非在已調(diào)度PM或Qual期間內(nèi)，否則沒(méi)有可靠方法可確切知道一機(jī)器或反應(yīng)室何時(shí)可開(kāi)始作業(yè)。這些事件中有些是可預(yù)期的。例如，由于移動(dòng)是經(jīng)過(guò)調(diào)度的，因此若一區(qū)段130已到達(dá)工藝工具115的端口145時(shí)必可得知。因此，一些實(shí)施例選擇對(duì)該類(lèi)事件的調(diào)度不反應(yīng)，而以假設(shè)其符合調(diào)度的主動(dòng)調(diào)度取代之，并且僅在不符合調(diào)度時(shí)才進(jìn)行調(diào)度反應(yīng)。應(yīng)注意，其它實(shí)施例可能對(duì)此處說(shuō)明之外的事件進(jìn)行調(diào)度反應(yīng)，或取代之。
直到發(fā)生任何特定事件才執(zhí)行的調(diào)度反應(yīng)需根據(jù)該事件的性質(zhì)以及，在某種程度上，根據(jù)特定的作業(yè)而定。一般而言，典型的調(diào)度反應(yīng)包括在調(diào)度和登錄之前改變約定，例如，圖3中的工藝約定375。登錄的工藝約定以及PM/Qual約定可被轉(zhuǎn)移、延長(zhǎng)、放棄、縮短、取消，以及重新調(diào)度。批次工藝約定被修改時(shí)，可根據(jù)需要修改移動(dòng)和設(shè)定約定。在此說(shuō)明實(shí)施例中，這些約定的修改由LSA305或MSA310負(fù)責(zé)執(zhí)行。
例如，可轉(zhuǎn)移登錄的工藝約定，其可能導(dǎo)致登錄的移動(dòng)約定被取消、放棄或重新調(diào)度。約定可視為″一串珠子″。已存在的約定當(dāng)需要調(diào)整調(diào)度的變化時(shí)，可在其各自的約定窗口內(nèi)前后移動(dòng)時(shí)間(即，圖4和圖5中的″右″或″左″)。在此說(shuō)明實(shí)施例中，為了簡(jiǎn)化其邏輯，任何方向均不允許約定被轉(zhuǎn)移超過(guò)其緊鄰的約定。
考慮當(dāng)一批次130的批次工藝約定較預(yù)期為早完成的情況。這可提供MSA310一種稱(chēng)之為″提早開(kāi)始″的反應(yīng)式調(diào)度的機(jī)會(huì)。由于圖3中的MSA310為閑置，故MSA310將嘗試使下一個(gè)約定提前至較早的時(shí)間并且立即激活。當(dāng)批次130提前完成工藝約定時(shí)，MSA310則提前下一個(gè)調(diào)度約定的時(shí)間而獲得盡早開(kāi)始的益處。LSA305對(duì)提早完成工藝約定的事件則有不同的反應(yīng)。
這種情況顯示在圖6A中，其中目前時(shí)間tc位于約定窗口CW1內(nèi)緊鄰約定APP1旁。然后緊鄰的約定APP1向左轉(zhuǎn)移，或提早時(shí)間，故可立刻開(kāi)始其工藝。如果下一個(gè)登錄約定無(wú)法轉(zhuǎn)移至目前的開(kāi)始時(shí)間，MSA310將尋找任何其它可使約定窗口開(kāi)始于當(dāng)前時(shí)間或提早的登錄約定。如果其中登錄約定之一在不使任何其它登錄約定導(dǎo)致取消之下可被移動(dòng)至即刻開(kāi)始的時(shí)間位置，則該登錄約定則將以″跳過(guò)(jumpover)″的方式移動(dòng)，并且其它登錄約定亦將依所要求的方式移動(dòng)。這種情況顯示在圖6B中，其中目前時(shí)間tc的提供者(provider)為處于閑置狀態(tài)，其下一個(gè)登錄約定APP1為位于約定窗口CW1之外，但第三個(gè)登錄約定APP3則落于約定窗口CW3之內(nèi)。因此，第三個(gè)命令A(yù)PP3為執(zhí)行一種″跳過(guò)″作業(yè)，其跳過(guò)約定為APP1和APP2，且約定APP1向右轉(zhuǎn)移至緊接約定APP3的較晚激活時(shí)間位置。
上述二種情況中，受影響批次130的LSA305收到約定已改變的通知。其開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間的差異對(duì)調(diào)度活動(dòng)也做適當(dāng)?shù)母淖儭＠?，如果登錄約定往左轉(zhuǎn)移時(shí)，較早激活時(shí)間意指其批次130必須比目前提供的移動(dòng)調(diào)度較早到達(dá)。反之，較晚激活時(shí)間意指其批次130必須較晚移動(dòng)。上述任何一種情況，改變后的移動(dòng)可適當(dāng)?shù)赝瓿膳?30的正確到達(dá)時(shí)間。
還必須考慮目前約定比預(yù)期時(shí)間長(zhǎng)或必須立刻進(jìn)行一項(xiàng)約定的軟件代理人265的調(diào)度反應(yīng)。當(dāng)LSA305和MSA310登錄約定時(shí)同時(shí)設(shè)定一種約定程序結(jié)束時(shí)可獲得通知的″結(jié)束警報(bào)(end-time alarm)″(未顯示)。當(dāng)該工作完成時(shí)，調(diào)度代理人305、310可接獲通知而結(jié)束該警報(bào)。因此，如果發(fā)出警報(bào)，則調(diào)度代理人305、310即知道該約定仍未在該調(diào)度時(shí)間內(nèi)完成，此即表示需要延長(zhǎng)該約定。
圖7A和圖7B說(shuō)明兩種此類(lèi)的情況。其已合并各約定的時(shí)間軸，并且和圖5的計(jì)劃表相同已省略其約定窗口。在圖7A中，移動(dòng)約定MOVE3有比預(yù)期長(zhǎng)的時(shí)間，因此MOVE4、MOVE5和APP2約定被往后移動(dòng)以適應(yīng)該較長(zhǎng)的時(shí)間。在圖7B中，約定APP3需要比預(yù)期長(zhǎng)的時(shí)間，因此APP4和APP5的時(shí)間被往后移動(dòng)。應(yīng)注意在圖7A和圖7B中所說(shuō)明的兩種改變情況，其約定窗口必須有足夠容納該改變約定的寬度。否則，某些約定將因此被取消。
從上述范例可了解，調(diào)度反應(yīng)將根據(jù)情況而改變。一般而言，在此說(shuō)明的實(shí)施例中， 針對(duì)一項(xiàng)預(yù)定事件可能發(fā)生下列的調(diào)度活動(dòng) ·放棄一項(xiàng)正在進(jìn)行中的調(diào)度約定； ·在其開(kāi)始之前取消一項(xiàng)調(diào)度約定； ·安排一項(xiàng)新的約定； ·開(kāi)始一項(xiàng)調(diào)度約定； ·延長(zhǎng)一項(xiàng)調(diào)度約定的時(shí)間； ·縮短一項(xiàng)調(diào)度約定的時(shí)間； ·轉(zhuǎn)移一項(xiàng)調(diào)度約定至較早或較晚的時(shí)間； ·改變約定窗口； ·改變約定屬性(例如，傳送開(kāi)始時(shí)間，保留傳送時(shí)間等)； ·設(shè)定一項(xiàng)警報(bào)； ·取消一項(xiàng)警報(bào)；以及 ·改變一項(xiàng)約定的狀態(tài)。
″預(yù)定事件″喚起一項(xiàng)約定狀態(tài)改變的調(diào)度反應(yīng)可包括 ·取消一次約定； ·延長(zhǎng)一次約定； ·縮短一的約定； ·放棄一次約定； ·改變一次約定狀態(tài)； ·轉(zhuǎn)移一次約定； ·未預(yù)期載體的到達(dá)； ·更新輸送時(shí)間； ·更新裝載時(shí)間； ·更新卸載時(shí)間； ·一批次加入一群組； ·一批次離開(kāi)一群組； ·從一群組取消一批次；以及 ·更新約定窗口。
對(duì)工廠(chǎng)狀態(tài)的改變而言，該預(yù)定事件可能為例如 ·偵測(cè)停機(jī)時(shí)間； ·機(jī)器何時(shí)可供使用； ·進(jìn)行PM/Qual的偵測(cè)； ·反應(yīng)室退出或跟進(jìn)(coming up)； ·改變機(jī)器容量； ·改變機(jī)器類(lèi)型； ·增加一種工藝； ·增加一種工藝操作； ·改變批次工藝； ·置批次于暫停狀態(tài)； ·批次離開(kāi)暫停狀態(tài)； ·改變批次優(yōu)先級(jí)； ·改變批次到期日； ·改變批次晶圓數(shù)目； ·改變批次工藝操作；以及 ·一批次離開(kāi)或到達(dá)機(jī)器。
以及對(duì)一項(xiàng)警報(bào)事件而言，該預(yù)定事件可為 ·在約定開(kāi)始時(shí)發(fā)出警報(bào)；以及 ·在約定結(jié)束時(shí)發(fā)出警報(bào)。
應(yīng)注意，上述的內(nèi)容僅為說(shuō)明的目的，且并未涵蓋全部可能的實(shí)施例。即使相同預(yù)定事件在不同實(shí)施例中也可能以特殊方式執(zhí)行，故其有各種不同的變化。其特色為，根據(jù)該事件喚起的調(diào)度反應(yīng)，將利用結(jié)合或選擇的條件進(jìn)行其活動(dòng)。表2至5分別列舉本發(fā)明一特定作業(yè)的機(jī)器、批次、PM和資源調(diào)度代理人的預(yù)定事件、其類(lèi)型以及其調(diào)度反應(yīng)活動(dòng)。
表2、表3和表5為一種或多種裝載/卸載作業(yè)和約定，以及充填/排出作業(yè)和約定。此揭示具有本領(lǐng)域技術(shù)人員所了解的優(yōu)點(diǎn)，一些執(zhí)行批次群組工藝操作的工藝工具115其多數(shù)個(gè)工藝批次130是在同一群組內(nèi)進(jìn)行處理。該工藝工具115有些是利用裝載、充填、排出和卸載的步驟。例如，一工藝工具115可能從工具I/O端口(未顯示)至工具內(nèi)部?jī)?chǔ)存處(也未顯示)先裝載所有群組的參與者，即，工藝批次130。通常此類(lèi)工藝工具115具有多個(gè)I/O端口，并且裝載/卸載作業(yè)也在該群組內(nèi)進(jìn)行。在所有群組的參與者被裝載之后，工藝工具115執(zhí)行改變?nèi)航M作業(yè)而在工藝確實(shí)開(kāi)始之前從內(nèi)部?jī)?chǔ)存處移動(dòng)該批參與者進(jìn)入例如爐管內(nèi)(未顯示)。在工藝工具115完成該批工藝操作之后，將該批參與者排出，例如，從爐管返回內(nèi)部?jī)?chǔ)存處。最后當(dāng)批次130準(zhǔn)備移動(dòng)至I/O端口時(shí)，則進(jìn)行一系列群組卸載作業(yè)。
表2也適用于被″鎖定(locked)″的約定。為避免非預(yù)期的約定轉(zhuǎn)移，本說(shuō)明實(shí)施例應(yīng)用一種約定鎖定機(jī)制。一般而言，當(dāng)一工藝批次130開(kāi)始從來(lái)源位置至工藝工具115的最后移動(dòng)時(shí)，其不接受一項(xiàng)通過(guò)取消或轉(zhuǎn)移約定至右側(cè)的躍過(guò)在其前的新約定，或時(shí)間延后。為避免發(fā)生上述情況，當(dāng)工藝批次130開(kāi)始其最后移動(dòng)時(shí)，MSA將″鎖定″該批次工藝約定。雖然如此，該鎖定的約定有時(shí)確實(shí)需被轉(zhuǎn)移。例如，假設(shè)兩次約定被登錄在特定工藝工具115的計(jì)劃表上，并且第一項(xiàng)正在執(zhí)行的約定為處于第二次工藝約定130已開(kāi)始最后移動(dòng)至工藝工具115的過(guò)程中時(shí)。由于第二次約定為處于其″最后″移動(dòng)至工藝工具115的階段，故因此被鎖定。如果第一次約定作業(yè)時(shí)間長(zhǎng)而必須延長(zhǎng)時(shí)，則必須先轉(zhuǎn)移第二次約定，方可延長(zhǎng)第一次約定的時(shí)間。因此，被鎖定的第二次約定即使一般不期望其發(fā)生，也必須被轉(zhuǎn)移。然而，一般而言，為避免約定被轉(zhuǎn)移或取消，故在某種情況下其可被″鎖定″。表2 MSA的調(diào)度反應(yīng)活動(dòng)事件事件類(lèi)型調(diào)度反應(yīng)活動(dòng)偵測(cè)停機(jī)時(shí)間工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)停機(jī)事件表示機(jī)器目前無(wú)法用于工藝或在處理過(guò)程中發(fā)生錯(cuò)誤。若MSA偵測(cè)發(fā)現(xiàn)機(jī)器目前無(wú)法用于工藝，則MSA將放棄和縮短任何正進(jìn)行處理的批次工藝命令。然后在放棄批次工藝命令之后，或卸載約定之后，其將登錄一項(xiàng)停機(jī)約定。若因處理過(guò)程錯(cuò)誤而發(fā)生停機(jī)事件，則MSA在工藝或卸載約定的批次工藝約定之后將登錄一項(xiàng)停機(jī)約定。可能時(shí)，和停機(jī)約定重疊的登錄工藝約定被轉(zhuǎn)移至稍后的時(shí)間，或被取消。偵測(cè)可用機(jī)器工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)完成任何PM、Qual活動(dòng)或停機(jī)約定。如有可能，轉(zhuǎn)移及激活機(jī)器計(jì)劃表上的下一項(xiàng)約定。偵測(cè)PM/Qual工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)在任何約定活動(dòng)之后登錄PM/Qual約定。和PM/Qual約定重疊的任何登錄約定被轉(zhuǎn)移至PM/Qual約定之后。取消任何無(wú)法轉(zhuǎn)移的重疊登錄約定。反應(yīng)室退出偵測(cè)工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)取消機(jī)器或反應(yīng)室全部仍未激活的未就緒約定。反應(yīng)室跟進(jìn)偵測(cè)工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)根據(jù)新的處理速率使任何約定縮短至預(yù)期的完成時(shí)間，可能時(shí)，往右轉(zhuǎn)移、或時(shí)間延后。在調(diào)度開(kāi)始時(shí)批次并非位于端口警報(bào)狀態(tài)改變?nèi)襞巍氨Ａ簟睓C(jī)器端口，MSA將等待至LSA延長(zhǎng)其移動(dòng)約定。移動(dòng)約定的延長(zhǎng)將使LSA向右轉(zhuǎn)移批次約定。MSA則對(duì)該批次約定的轉(zhuǎn)移做出適當(dāng)反應(yīng)。若批次未保留端口，則取消該約定。批次到達(dá)機(jī)器端口工廠(chǎng)狀態(tài)改變(EI)若批次到達(dá)正確位置，若其不是群組約定的參與者，則MSA將啟用該約定。若該約定為群組約定參與者，則MSA將使該約定就緒。若為閑置機(jī)器而約定為啟用狀態(tài)，則MSA將開(kāi)始處理該約定。(注意當(dāng)全部參與者已到達(dá)機(jī)器時(shí)，一群組約定參與者將被啟用。)若批次到達(dá)正確機(jī)器但錯(cuò)誤端口，則MSA將檢查其它批次是否保留該端口。若其它批次保留該端口，則MSA將為該批次指定下一個(gè)可用端口。若到達(dá)批次的約定為啟用中，則MSA將開(kāi)始處理該約定。若批次到達(dá)錯(cuò)誤的機(jī)器，則MSA將檢查其它批次是否保留該端口。若其它批次保留該端口，則MSA將為該批次指定下一個(gè)可用端口。然后機(jī)器將為剛到達(dá)的批次登錄一項(xiàng)約定。任何重疊的約定將被轉(zhuǎn)移至一延后的時(shí)間。若該重疊約定無(wú)法被轉(zhuǎn)移至延后的時(shí)間，則該約定將被取消。批次工藝約定延遲警報(bào)狀態(tài)改變?nèi)襞喂に嚰s定延遲時(shí)，則延長(zhǎng)時(shí)間并且轉(zhuǎn)移任何重疊登錄約定至右側(cè)，或時(shí)間延后。若任何重疊登錄約定無(wú)法轉(zhuǎn)移至右側(cè)并且該約定未被鎖定時(shí)，則將其取消。若約定被鎖定并且無(wú)法轉(zhuǎn)移至右側(cè)時(shí)，則將延長(zhǎng)該約定的約定窗口至可發(fā)生轉(zhuǎn)移為止。批次工藝提早完成工廠(chǎng)狀態(tài)改變(EI)若批次工藝約定較預(yù)期提早完成，則縮短并完成該約定，以及可能時(shí)，將下一項(xiàng)約定的時(shí)間提早。若下一項(xiàng)約定無(wú)法轉(zhuǎn)移至目前時(shí)間，則其將激活該約定。偵測(cè)接近完成批次工藝工廠(chǎng)狀態(tài)改變(EI)MSA計(jì)算批次的工藝時(shí)間。若其將提早結(jié)束，則該約定被縮短至新的結(jié)束時(shí)間，并且后續(xù)任何的約定均被向左轉(zhuǎn)移，或時(shí)間提早。若約定將較晚完成，則將該約定延長(zhǎng)至新的結(jié)束時(shí)間，并且任何重疊約定被轉(zhuǎn)移至較晚時(shí)間或?qū)⑵淙∠?。取消批次約定約定狀態(tài)改變?nèi)籼幚碇谢蚪咏瓿?，則放棄該約定，或若仍未就緒，則取消該約定。約定經(jīng)取消之后，轉(zhuǎn)移下一次約定至較早時(shí)間，盡可能減少約定之間的空隙。批次離開(kāi)機(jī)器端口工廠(chǎng)狀態(tài)改變(EI)若批次在離開(kāi)時(shí)仍繼續(xù)進(jìn)行處理時(shí)，則放棄其約定并且提前轉(zhuǎn)移結(jié)束時(shí)間。盡可能提前下一次約定的時(shí)間。約定向右轉(zhuǎn)移約定狀態(tài)改變將約定轉(zhuǎn)移至右側(cè)。若無(wú)法轉(zhuǎn)移至右側(cè)，除非其被鎖定，否則將其取消。若為鎖定時(shí)，取消任何阻擋向右轉(zhuǎn)移的約定。
表3適用于″供料作業(yè)(feeder operations)″。在局部自動(dòng)化晶圓廠(chǎng)內(nèi)，軟件代理人265僅調(diào)度及控制一部分的工藝操作。因此，晶圓廠(chǎng)內(nèi)僅有次工藝工具115是在軟件代理人265的控制之下，且晶圓廠(chǎng)并非完全在該系統(tǒng)的控制之下。這些通過(guò)軟件代理人265控制的工藝操作稱(chēng)為″控制工藝操作″。在各控制工藝操作即將開(kāi)始之前，控制工藝操作的處理時(shí)間的可調(diào)整比例可產(chǎn)生一系列的″供料″作業(yè)。供料約定被用于測(cè)定已事先調(diào)度的約定的最早開(kāi)始時(shí)間。更特別的是，供料約定被用于當(dāng)LSA已事先調(diào)度，而供料作業(yè)仍未到達(dá)實(shí)際的工藝工具115的調(diào)度時(shí)間。供料約定是用于代表供料作業(yè)時(shí)間以相等于各自供料作業(yè)的循環(huán)時(shí)間所進(jìn)行的工藝活動(dòng)。
表3也可稱(chēng)為″最大移動(dòng)(maxMove)″約定。對(duì)一供料作業(yè)而言，在批次130開(kāi)始處理最后供料作業(yè)之前仍無(wú)法測(cè)知執(zhí)行最后供料作業(yè)的特定工藝工具115。一次″最大移動(dòng)″約定代表從最后供料工藝工具115至控制工藝工具115的輸送活動(dòng)。在一實(shí)施例中，最大移動(dòng)約定的時(shí)間為來(lái)自最后供料工藝工具平臺(tái)105和控制工藝工具平臺(tái)105之間的最差輸送時(shí)間實(shí)例。當(dāng)激活最后供料約定時(shí)，可得知實(shí)際工藝工具115所執(zhí)行的最后供料作業(yè)，因此，最大移動(dòng)約定將被移動(dòng)約定或一系列移動(dòng)約定所取代。
表3更進(jìn)一步可稱(chēng)為″索價(jià)請(qǐng)求(bid request)″。在說(shuō)明實(shí)施例中，工藝流程100應(yīng)用一套協(xié)議進(jìn)行約定的調(diào)度，其以″索價(jià)請(qǐng)求″作為開(kāi)始。LSA305發(fā)布一項(xiàng)″索價(jià)請(qǐng)求″的信息至可作業(yè)的MSA310。MSA310傳遞一次或多次約定至LSA305。LSA305可從許多這類(lèi)的索價(jià)中選擇其一，其結(jié)果一般為一次或多數(shù)次的″約定″，該約定是有關(guān)于執(zhí)行LSA305的作業(yè)以搜尋晶圓135的批次130。然而應(yīng)注意，其它協(xié)議可能應(yīng)用于沒(méi)有″索價(jià)請(qǐng)求″的地方。因此，索價(jià)請(qǐng)求為一種執(zhí)行上的特殊情況，并非所有實(shí)施例中均有之。表3 LSA的反應(yīng)式調(diào)度活動(dòng)事件事件類(lèi)型反應(yīng)式調(diào)度活動(dòng)發(fā)出移動(dòng)約定的約定結(jié)束時(shí)間警報(bào)警報(bào)事件警報(bào)指示已到達(dá)移動(dòng)約定的調(diào)度結(jié)束時(shí)間。LSA決定是否延長(zhǎng)移動(dòng)約定。若移動(dòng)為源自機(jī)器端口，則延長(zhǎng)移動(dòng)約定可清除端口。否則，移動(dòng)約定延長(zhǎng)一定比例的原始調(diào)度時(shí)間(即，25％)至達(dá)到最大延長(zhǎng)比例為止(即，175％)。當(dāng)達(dá)到最大延長(zhǎng)比例時(shí)，放棄該約定。若已延長(zhǎng)移動(dòng)約定，將后續(xù)登錄約定的時(shí)間延后。然后，設(shè)定該延長(zhǎng)移動(dòng)約定的新結(jié)束時(shí)間警報(bào)。發(fā)出供料約定的約定結(jié)束時(shí)間警報(bào)警報(bào)事件警報(bào)指示已到達(dá)供料約定的調(diào)度結(jié)束時(shí)間。LSA以可調(diào)整比例延長(zhǎng)該約定。任何后續(xù)供料約定(若有時(shí))將縮短至此供料約定延長(zhǎng)的數(shù)量(供料時(shí)間無(wú)法縮短到少于作業(yè)的工藝時(shí)間)。不得已時(shí)，最后供料約定后的約定將轉(zhuǎn)移至較晚時(shí)間。移動(dòng)約定到達(dá)約定開(kāi)始時(shí)間警報(bào)事件警報(bào)指示已發(fā)生特定移動(dòng)約定的調(diào)度開(kāi)始時(shí)間。若其未啟用則LSA將啟用該約定，并且將開(kāi)始AMHS的移動(dòng)。若為一批次約定前的最后移動(dòng)約定，則LSA將要求MSA保留端口并鎖定該約定。其還將適當(dāng)?shù)馗驴傒斔蜁r(shí)間及剩余輸送時(shí)間。然后LSA將產(chǎn)生一項(xiàng)約定結(jié)束時(shí)間警報(bào)。供料約定到達(dá)約定開(kāi)始時(shí)間警報(bào)事件警報(bào)指示已發(fā)生特定供料約定的調(diào)度開(kāi)始時(shí)間。若其未啟用則LSA將啟用該約定。然后LSA將產(chǎn)生一項(xiàng)約定結(jié)束時(shí)間警報(bào)。取消批次約定約定狀態(tài)改變LSA取消批次約定及任何與批次約定有關(guān)的未啟用移動(dòng)。其也將取消全部與批次約定有關(guān)的裝載和卸載約定，以及需要時(shí)適當(dāng)取消任何警報(bào)。然后LSA再安排該被取消約定。延長(zhǎng)批次約定約定狀態(tài)改變當(dāng)批次約定作業(yè)過(guò)長(zhǎng)時(shí)MSA激活此項(xiàng)改變。LSA對(duì)改變的反應(yīng)為在批次工藝約定延長(zhǎng)后向右轉(zhuǎn)移全部約定，或時(shí)間延后。然后其將批次約定延長(zhǎng)到特定的時(shí)間。放棄批次約定約定狀態(tài)改變當(dāng)批次工藝受阻時(shí)MSA激活此項(xiàng)改變。LSA將約定狀態(tài)改變成放棄、暫停該批次，以及在取消全部約定之后安排移動(dòng)約定到排序器或儲(chǔ)存處。放棄卸載約定約定狀態(tài)改變LSA將卸載約定狀態(tài)改變成放棄。放棄裝載約定約定狀態(tài)改變LSA將裝載約定狀態(tài)改變成放棄。處理批次約定約定狀態(tài)改變當(dāng)已開(kāi)始批次工藝時(shí)MSA激活此項(xiàng)改變。LSA將約定改變成處理狀態(tài)，通知批次工藝代理人開(kāi)始處理該約定。處理裝載約定約定狀態(tài)改變LSA將約定改變成處理狀態(tài)，并通知批次工藝代理人。處理卸載約定約定狀態(tài)改變LSA將約定改變成處理狀態(tài)，并通知批次工藝代理人。批次約定完成約定狀態(tài)改變當(dāng)批次已完成工藝時(shí)MSA激活此項(xiàng)改變，并在適當(dāng)時(shí)機(jī)縮短此約定。LSA將通知工藝代理人、將狀態(tài)改變?yōu)橥瓿?、確保已控制移動(dòng)約定已調(diào)度，否則，其將產(chǎn)生一次新約定。激活下一次約定。裝載約定完成約定狀態(tài)改變LSA將通知工藝代理人，并將狀態(tài)改變?yōu)橥瓿?。激活下一次約定。卸載約定完成約定狀態(tài)改變LSA將通知工藝代理人，并將狀態(tài)改變?yōu)橥瓿?。激活下一次約定。移動(dòng)約定完成約定狀態(tài)改變LSA將使約定完成，在適當(dāng)時(shí)機(jī)可能縮短約定。其也將取消結(jié)束時(shí)間警報(bào)，以適當(dāng)?shù)馗螺斔烷_(kāi)始時(shí)間，以及激活下一次約定。批次約定接近完成約定狀態(tài)改變當(dāng)其收到批次工藝已接近完成的設(shè)備事件狀態(tài)時(shí)，MSA即激活此項(xiàng)改變。LSA將約定狀態(tài)改變成接近完成。然后其將安排該次控制移動(dòng)約定，并在適當(dāng)時(shí)機(jī)喚起下一個(gè)工藝操作的調(diào)度。向左轉(zhuǎn)移批次約定約定狀態(tài)改變LSA將嘗試向左移動(dòng)批次約定，或時(shí)間提早。若無(wú)法向左轉(zhuǎn)移，系統(tǒng)將取消全部未啟用的移動(dòng)、裝載及卸載約定，然后取消該批次約定。向左轉(zhuǎn)移裝載約定約定狀態(tài)改變LSA將嘗試向左移動(dòng)裝載約定。若無(wú)法向左轉(zhuǎn)移，系統(tǒng)將取消全部未啟用的移動(dòng)約定、取消卸載/裝載約定、取消批次約定。向左轉(zhuǎn)移卸載約定約定狀態(tài)改變LSA將嘗試向左移動(dòng)卸載約定。若無(wú)法向左轉(zhuǎn)移，系統(tǒng)將取消全部未啟用的移動(dòng)約定、取消卸載/裝載約定，以及取消批次約定。向右轉(zhuǎn)移批次約定約定狀態(tài)改變LSA將檢查第一次約定是否為移動(dòng)約定。若為移動(dòng)約定并且未啟用或在機(jī)器或機(jī)器端口上，其將轉(zhuǎn)移移動(dòng)約定使其到達(dá)批次約定或裝載約定的起點(diǎn)(若為啟用移動(dòng)約定，其將終點(diǎn)延長(zhǎng)至批次約定或裝載約定的起點(diǎn))。然后其將任何先前約定向右轉(zhuǎn)移。若系統(tǒng)無(wú)法向右轉(zhuǎn)移約定，其將取消全部未啟用的移動(dòng)約定、任何裝載/卸載約定，以及批次約定。向右轉(zhuǎn)移裝載約定約定狀態(tài)改變LSA將檢查先前約定是否為移動(dòng)約定。若為移動(dòng)約定并且未啟用或在機(jī)器或機(jī)器端口上，其將轉(zhuǎn)移移動(dòng)約定使其到達(dá)批次約定或裝載約定的起點(diǎn)(若為啟用移動(dòng)約定，其將終點(diǎn)延長(zhǎng)至裝載約定的起點(diǎn))。然后其將任何先前約定向右轉(zhuǎn)移。若系統(tǒng)無(wú)法向右轉(zhuǎn)移約定，其將取消全部未啟用的移動(dòng)約定、任何裝載/卸載約定，以及批次約定。向右轉(zhuǎn)移卸載約定約定狀態(tài)改變LSA將向右轉(zhuǎn)移約定。若系統(tǒng)無(wú)法向右轉(zhuǎn)移約定，其將取消該批次約定，其將取消和批次約定有關(guān)的全部移動(dòng)、裝載及卸載約定?？s短批次批次約定狀態(tài)改變LSA將批次約定縮短至特定時(shí)間，并且提早轉(zhuǎn)移后續(xù)移動(dòng)約定的時(shí)間?？s短裝載約定約定狀態(tài)改變LSA將裝載約定縮短至特定時(shí)間?？s短卸載約定約定狀態(tài)改變LSA將卸載約定縮短至特定時(shí)間。完成未調(diào)度移動(dòng)工廠(chǎng)狀態(tài)改變(AMHS)若批次目前位置是在機(jī)器端口，則系統(tǒng)將取消除批次約定之外的全部約定。批次約定僅在屬于不同機(jī)器的約定情況下才被取消。若該約定屬于不同機(jī)器，LSA將取消全部約定并等待MSA喚起跨越調(diào)度。否則，系統(tǒng)將決定該批次回到下一個(gè)工藝約定終點(diǎn)的所需時(shí)間。若批次仍可到達(dá)其工藝開(kāi)始時(shí)間，則系統(tǒng)將重新安排適當(dāng)?shù)囊苿?dòng)約定。若批次無(wú)法到達(dá)開(kāi)始時(shí)間，其將取消全部移動(dòng)、裝載、卸載及批次約定，并且將激活調(diào)度。更新批次約定的約定窗口約定狀態(tài)改變LSA將適當(dāng)?shù)馗屡渭s定的約定窗口。約定窗口代表批次一已知約定的最早開(kāi)始時(shí)間及最晚輸送時(shí)間。若較晚處理一約定并且新結(jié)束時(shí)間超過(guò)該約定的最晚輸送時(shí)間，則更新其約定窗口。更新裝載約定的裝約定狀態(tài)改變LSA將在裝載約定上適當(dāng)?shù)馗卵b載開(kāi)始時(shí)間以及剩余裝載時(shí)間。載時(shí)間完成錯(cuò)誤移動(dòng)約定狀態(tài)改變?nèi)襞文壳拔恢檬窃跈C(jī)器端口，則系統(tǒng)將取消除批次約定之外的全部約定。批次約定僅在屬于不同機(jī)器的約定情況下才被取消。若該約定屬于不同機(jī)器，LSA將取消全部約定并等待MSA喚起跨越調(diào)度。否則，系統(tǒng)將決定該批次回到下一個(gè)工藝約定終點(diǎn)的所需時(shí)間。若批次仍可到達(dá)其原始工藝開(kāi)始時(shí)間，則系統(tǒng)將重安排適當(dāng)?shù)囊苿?dòng)約定。若批次無(wú)法到達(dá)開(kāi)始時(shí)間，其將取消全部移動(dòng)、裝載、卸載及批次約定，并且將激活調(diào)度。批次到期日改變工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)若批次具有激活的工藝約定，則在目前約定或跟隨卸載約定(若存在時(shí))之后取消該約定。若約定處于“接近完成”狀態(tài)以及下一個(gè)工藝操作不是控制作業(yè)，或工藝中無(wú)下一個(gè)作業(yè)，則在目前批次工藝約定之后安排一項(xiàng)移動(dòng)約定。否則，嘗試下一個(gè)工藝操作的調(diào)度。若批次具有激活的移動(dòng)約定，并且該移動(dòng)為至一機(jī)器端口目標(biāo)，則跟隨裝載約定(若存在時(shí))及跟隨批次工藝約定之后取消該約定。否則，在移動(dòng)約定及重安排目前工藝操作之后取消全部的約定。若批次已激活供料約定，則在供料約定及重新安排下一個(gè)工藝操作之后取消全部約定。若批次已激活裝載約定，則在跟隨批次約定或裝載約定(若存在時(shí))之后取消該約定。若批次已激活卸載約定，則在目前時(shí)間之后取消該約定。若下一個(gè)作業(yè)不是控制作業(yè)，或已無(wú)任何作業(yè)，則在卸載約定之后安排一移動(dòng)約定。再安排下一個(gè)工藝操作。若無(wú)激活的約定，則取消全部未來(lái)的約定，并且再安排目前的工藝操作。批次暫停工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)若批次正進(jìn)行處理，則在已移動(dòng)約定之后取消該約定。若批次正移動(dòng)至控制機(jī)器端口，則一旦該批次到達(dá)機(jī)器端口立刻在移動(dòng)及安排移動(dòng)至最近儲(chǔ)存處之后取消全部約定。若正處理卸載約定，則在安排已移動(dòng)之后取消全部約定。若正處理供料約定，則縮短及放棄該約定，然后在供料約定之后取消全部的約定。若正處理裝載約定，則除卸載約定之外取消全部的約定。然后其將安排已移動(dòng)約定。若批次具有激活的工藝約定，并且其在處理或接近完成，則允許其繼續(xù)完成。若下一項(xiàng)約定為卸載約定，則取消全部后續(xù)約定并在卸載后安排移動(dòng)。若下一項(xiàng)約定為移動(dòng)約定，則取消其和后續(xù)的約定并安排另外的移動(dòng)。若無(wú)后續(xù)約定，則在工藝約定后安排移動(dòng)。若已激活批次約定但仍未處理或完成，則將其縮短和放棄。若下一項(xiàng)約定為卸載約定，則取消后續(xù)的約定并安排一移動(dòng)約定。若下一項(xiàng)約定為移動(dòng)約定，則將其取消并安排另外的移動(dòng)約定。若無(wú)下一項(xiàng)約定，則安排一項(xiàng)移動(dòng)約定。若批次在供料約定內(nèi)，則將其縮短和放棄，并且取消全部后續(xù)的約定。若批次在裝載約定內(nèi)并且在處理狀態(tài)，則取消其后批次工藝約定。左移其跟隨的卸載約定，并且取消全部后續(xù)的約定。在卸載約定之后安排一移動(dòng)約定(兩者對(duì)RSA激活的約定改變反應(yīng)在稍后將提早轉(zhuǎn)移)。若仍未處理裝載約定，則取消其約定和后續(xù)約定，并安排一移動(dòng)約定。若批次在卸載約定內(nèi)，則取消全部后續(xù)的約定并且在卸載約定之后安排一項(xiàng)移動(dòng)約定。若批次在移動(dòng)約定內(nèi)并且已開(kāi)始移動(dòng)，則取消全部后續(xù)約定。若為移動(dòng)至一機(jī)器端口，則安排后續(xù)輸送批次離開(kāi)機(jī)器端口的移動(dòng)。若批次在仍未開(kāi)始的移動(dòng)約定上，則放棄移動(dòng)約定并且取消全部后續(xù)約定。工藝改變工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)若批次具有激活的工藝約定，則在目前約定或隨后的卸載約定(若存在時(shí))之后取消約定。若約定在”接近完成”狀態(tài)，并且下一個(gè)工藝操作不是控制作業(yè)或無(wú)下一個(gè)作業(yè)在工藝內(nèi)，則在目前批次工藝約定后安排一項(xiàng)移動(dòng)約定。若約定接近完成，并且下一個(gè)作業(yè)為一控制作業(yè)，則嘗試安排下一個(gè)工藝操作。若批次具有已激活的移動(dòng)約定，并且為移動(dòng)至機(jī)器端口目標(biāo)，則在隨后的裝載和卸載約定(若存在時(shí))及隨后批次工藝約定之后取消約定。否則，在移動(dòng)約定之后取消全部約定，并且重新安排目前工藝操作。若批次具有激活的供料約定，則在供料約定之后取消全部約定，并且重新安排下一個(gè)工藝操作以及任何前述的供料約定。若批次具有激活的裝載約定，則在隨后卸載約定之后取消約定。若批次具有激活的卸載約定，則在目前時(shí)間之后取消約定。若下一個(gè)作業(yè)不是控制作業(yè)或不再有任何作業(yè)，則在卸載約定之后安排一項(xiàng)移動(dòng)約定。重新安排下一個(gè)工藝操作。若無(wú)激活的約定，則取消全部未來(lái)的約定，并且再安排目前的工藝操作。工藝操作改變工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)LSA將移除全部未啟用約定。然后LSA將檢查該新工藝操作是否為控制或供料工藝操作。若為供料工藝操作，則其代理人將安排下一個(gè)工藝操作。若為控制工藝操作并且代理人無(wú)此工藝操作的約定，則其將安排此工藝操作。若批次具有激活的工藝約定，則在目前約定或隨后的卸載約定(若存在時(shí))之后取消約定。若約定在“接近完成”狀態(tài)，并且下一個(gè)工藝操作不是控制作業(yè)或無(wú)下一個(gè)作業(yè)在工藝內(nèi)，則在目前批次工藝約定之后安排一項(xiàng)移動(dòng)約定。若約定接近完成，并且下一個(gè)作業(yè)為一控制作業(yè)，則嘗試安排下一個(gè)工藝操作。若批次具有已激活的移動(dòng)約定，并且為移動(dòng)至機(jī)器端口目標(biāo)，則在隨后的裝載和卸載約定(若存在時(shí))及隨后批次工藝約定之后取消約定。否則，在移動(dòng)約定之后取消全部約定，并且重新安排目前工藝操作。若批次具有激活的供料約定，則在供料約定之后取消全部約定，并且重新安排下一個(gè)工藝操作以及任何前述的供料約定。若批次具有激活的裝載約定，則在隨后卸載約定之后取消約定。若批次具有激活的卸載約定，則在目前時(shí)間之后取消約定。若下一個(gè)作業(yè)不是控制作業(yè)或不再有任何作業(yè)，則在卸載約定之后安排一項(xiàng)移動(dòng)約定。重新安排下一個(gè)工藝操作。若無(wú)激活的約定，則取消全部未來(lái)的約定，并且再安排目前的工藝操作。減少晶圓數(shù)目工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)若減少批次的晶圓數(shù)目，則MSA在其計(jì)劃表上縮短仍未開(kāi)始的批次約定。MSA將嘗試將約定縮短至適當(dāng)量。MSA取消任何無(wú)法縮短的未開(kāi)始批次約定。LSA接著對(duì)MSA產(chǎn)生的約定改變根據(jù)其改變的情況做出反應(yīng)。增加晶圓數(shù)目工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)若增加批次的晶圓數(shù)目，則MSA在其計(jì)劃表上延長(zhǎng)仍未開(kāi)始的批次約定。MSA將嘗試將約定延長(zhǎng)至適當(dāng)量。MSA取消任何無(wú)法延長(zhǎng)的未開(kāi)始批次約定。LSA接著對(duì)MSA產(chǎn)生的約定改變根據(jù)其改變的情況做出反應(yīng)。批次終止工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)系統(tǒng)將取消該批次的全部約定。批次移入工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)若批次移動(dòng)至一區(qū)段(segment)的非初次供料作業(yè)的供料作業(yè)，則LSA將調(diào)整約定的結(jié)束時(shí)間至該作業(yè)的目前時(shí)間加上工藝時(shí)間。然后其將設(shè)定一項(xiàng)結(jié)束時(shí)間警報(bào)。若供料作業(yè)為最后供料，則LSA將以適當(dāng)移動(dòng)約定取代其最大移動(dòng)約定，并且更新剩余的輸送時(shí)間。批次移出工廠(chǎng)狀態(tài)改變?nèi)舾淖兣蔚淖鳂I(yè)為一種供料作業(yè)，則LSA將完全縮短供料約定及取消后續(xù)供料及最大移動(dòng)約定，并且安排下一個(gè)作業(yè)及任何前述的供料約定。若改變批次的作業(yè)為一種控制作業(yè)，則不采取任何行動(dòng)(下一個(gè)作業(yè)將已調(diào)度于接近完成)。若改變批次的作業(yè)為一種正常(不是控制或供料)作業(yè)，則LSA將安排該批次改變的作業(yè)。實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求表(ERF)狀態(tài)改變工廠(chǎng)狀態(tài)改變(MES)ERF含有如何處理一特定批次的特別指示。ERF可附加或從一批次移除，并且當(dāng)其發(fā)生時(shí)將通知LSA。LSA將通知各批次工藝約定的MSA，并對(duì)約定狀態(tài)改變做出后續(xù)反應(yīng)(若批次無(wú)法和任何未來(lái)可能參與的整批約定相比較時(shí))?？缭脚渭s定工廠(chǎng)狀態(tài)改變產(chǎn)生一項(xiàng)索價(jià)請(qǐng)求(bid request)及一項(xiàng)約定改變聽(tīng)者，并返回至MSA。(此為對(duì)一個(gè)置于機(jī)器端口上的未調(diào)度批次的反應(yīng)。)機(jī)器通知一段時(shí)間間隔約定狀態(tài)改變LSA將決定是否能改善在新的時(shí)間間隔的作業(yè)的工藝約定。若可改善，則LSA取消該約定并且通知一項(xiàng)委托約定信息以嘗試為該已通知時(shí)間間隔再安排約定。
表4 PM調(diào)度代理人的反應(yīng)式調(diào)度活動(dòng)事件事件類(lèi)型反應(yīng)式調(diào)度活動(dòng)取消PM/Qual約定約定狀態(tài)改變?nèi)∠鸓M約定并且再調(diào)度。延長(zhǎng)PM/Qual約定約定狀態(tài)改變當(dāng)PM約定時(shí)間過(guò)長(zhǎng)時(shí)MSA激活此項(xiàng)改變。PMSA將通過(guò)轉(zhuǎn)移全部約定至已延長(zhǎng)的PM工藝約定右側(cè)以反應(yīng)此項(xiàng)改變。取消并重新安排無(wú)法被轉(zhuǎn)移的約定。然后其將延長(zhǎng)PM約定至特定的時(shí)間。放棄PM/Qual約定約定狀態(tài)改變當(dāng)PM工藝受阻時(shí)MSA激活此項(xiàng)改變。MSA將約定狀態(tài)改變成放棄。PMSA將重新安排約定。處理PM/Qual約定約定狀態(tài)改變當(dāng)MSA得知PM已開(kāi)始時(shí)MSA激活此項(xiàng)改變。MSA將約定改變至處理狀態(tài)。完成PM/Qual約定約定狀態(tài)改變當(dāng)PM已完成處理時(shí)MSA激活此項(xiàng)改變，并且適當(dāng)時(shí)可縮短該約定。PMSA將通知工藝代理人、改變至完成狀態(tài)，并且以目前機(jī)器上晶圓數(shù)或目前時(shí)間更新最后發(fā)生的PM。使PM約定激活PM/Qual約定狀態(tài)改變當(dāng)?shù)竭_(dá)跟隨Qual開(kāi)始時(shí)間時(shí)MSA激活此項(xiàng)改變。PMSA將約定改變至“啟用”狀態(tài)。使PM約定處理PM/Qual約定狀態(tài)改變當(dāng)其接收的工廠(chǎng)狀態(tài)改變指出PM約定的Qual部分已開(kāi)始時(shí)，MSA激活此項(xiàng)改變。PMSA將約定改變至處理PM/Qual狀態(tài)。向左轉(zhuǎn)移PM/Qual約定約定狀態(tài)改變PMSA嘗試將PM約定移動(dòng)至左側(cè)。若其無(wú)法向左側(cè)轉(zhuǎn)移，則系統(tǒng)將取消該約定并將其重新安排。向右轉(zhuǎn)移PM/Qual約定約定狀態(tài)改變PMSA嘗試將PM約定移動(dòng)至右側(cè)。若其無(wú)法向右側(cè)轉(zhuǎn)移，則系統(tǒng)將取消該約定并將其重新安排?？s短PM/Qual約定約定狀態(tài)改變PMSA將PM約定縮短至特定的時(shí)間。更新PM/Qual約定的約定窗口約定狀態(tài)改變更新PM約定的約定窗口。該約定窗口代表一已知約定的PM最早開(kāi)始時(shí)間以及最晚輸送時(shí)間。跨越PM/Qual約定約定狀態(tài)改變?nèi)舸嬖跁r(shí)，取消計(jì)劃表內(nèi)的PM約定。然后其將產(chǎn)生一項(xiàng)索價(jià)請(qǐng)求及約定改變聽(tīng)者，并將其送返MSA。此為對(duì)已開(kāi)始的未調(diào)度PM做出的反應(yīng)。偵測(cè)MES機(jī)器事件工廠(chǎng)狀態(tài)改變PMSA將在依賴(lài)此事件的任何PM或Qual內(nèi)適當(dāng)?shù)馗略撌录陌l(fā)生數(shù)目。然后其將進(jìn)行因事件發(fā)生所引發(fā)的目前未調(diào)度在其計(jì)劃表上的PM或Qual。在機(jī)器上完成批次工藝工廠(chǎng)狀態(tài)改變PMSA將重新評(píng)估根據(jù)材料處理計(jì)數(shù)而調(diào)度的全部PM或Qual的約定窗口。若其為無(wú)效約定窗口，而若PM或Qual調(diào)度在新窗口內(nèi)則PMSA將更新約定窗口，或其將取消現(xiàn)存的約定并且在新窗口內(nèi)重新調(diào)度。其也將根據(jù)材料處理數(shù)目調(diào)度已到達(dá)引發(fā)點(diǎn)以及事先仍未調(diào)度的任何PM或Qual。發(fā)出警報(bào)警報(bào)事件PMSA將安排已到達(dá)其引發(fā)點(diǎn)以及事先仍未調(diào)度的任何以時(shí)間為基礎(chǔ)的PM或Qual。表5 資源調(diào)度代理人的反應(yīng)式調(diào)度活動(dòng)事件事件類(lèi)型反應(yīng)式調(diào)度活動(dòng)約定開(kāi)始時(shí)間裝載(卸載)約定發(fā)出警報(bào)警報(bào)事件此警報(bào)表示已到達(dá)特定裝載(卸載)約定的調(diào)度開(kāi)始時(shí)間。若其未激活，則資源約定調(diào)度者將激活該約定。需要時(shí)，其也將產(chǎn)生一項(xiàng)約定結(jié)束時(shí)間警報(bào)。資源約定調(diào)度者將通知工藝代理人開(kāi)始處理該約定。約定開(kāi)始時(shí)間排出約定發(fā)出警報(bào)警報(bào)事件此警報(bào)表示已到達(dá)特定排出約定的調(diào)度開(kāi)始時(shí)間。若其未激活，則資源約定調(diào)度者將激活該約定。需要時(shí)，其也將產(chǎn)生一項(xiàng)約定結(jié)束時(shí)間警報(bào)。資源約定調(diào)度者將通知工藝代理人開(kāi)始處理該約定。約定結(jié)束時(shí)間裝載(卸載)約定發(fā)出警報(bào)警報(bào)事件此警報(bào)表示已到達(dá)特定裝載(卸載)約定的調(diào)度結(jié)束時(shí)間。資源約定調(diào)度者將以原始調(diào)度時(shí)間比例(例如，25％)延長(zhǎng)該約定直至已達(dá)最大延長(zhǎng)比例為止(例如，175％)。約定延長(zhǎng)之前，后續(xù)登錄約定可被轉(zhuǎn)移至較晚的時(shí)間。然后為延長(zhǎng)的裝載(卸載)約定設(shè)定新的結(jié)束時(shí)間警報(bào)。約定結(jié)束時(shí)間充填約定發(fā)出警報(bào)警報(bào)事件此警報(bào)表示已到達(dá)特定排出約定的調(diào)度結(jié)束時(shí)間。資源約定調(diào)度者將以原始調(diào)度時(shí)間比例(即，25％)延長(zhǎng)該約定直至已達(dá)最大延長(zhǎng)比例為止(即，175％)。約定延長(zhǎng)之前，后續(xù)登錄約定可被轉(zhuǎn)移至較晚的時(shí)間。然后為延長(zhǎng)的排出約定設(shè)定新的結(jié)束時(shí)間警報(bào)。機(jī)器成批約定改變約定狀態(tài)改變當(dāng)相關(guān)機(jī)器成批約定已到達(dá)開(kāi)始時(shí)間時(shí)，MSA激活此項(xiàng)改變。RSA將改變目前排出約定的成啟用狀態(tài)相關(guān)約定成啟用狀態(tài)，并且為激活的排出約定設(shè)定一項(xiàng)新的結(jié)束時(shí)間警報(bào)。機(jī)器成批約定改變成處理狀態(tài)約定狀態(tài)改變當(dāng)機(jī)器成批約定已確實(shí)開(kāi)始時(shí)，MSA激活此項(xiàng)改變。排出約定仍將保持啟用狀態(tài)。機(jī)器成批約定改變成完成狀態(tài)約定狀態(tài)改變當(dāng)相關(guān)機(jī)器成批約定的工藝已確實(shí)完成時(shí)，MSA激活此項(xiàng)改變。RSA將改變相關(guān)排出約定的約定狀態(tài)至完成狀態(tài)。批次裝載(卸載)約定轉(zhuǎn)移至較晚時(shí)間約定狀態(tài)改變當(dāng)批次裝載約定被轉(zhuǎn)移至較晚時(shí)間時(shí)，LSA激活此項(xiàng)改變。RSA將重新安排其相關(guān)裝載約定，并且需要時(shí)轉(zhuǎn)移其計(jì)劃表上的其它約定。若該約定具有開(kāi)始時(shí)間警報(bào)，則進(jìn)行警報(bào)的更新。機(jī)器成批約定向右轉(zhuǎn)移至較晚時(shí)間約定狀態(tài)改變當(dāng)機(jī)器成批約定轉(zhuǎn)移至較晚時(shí)間時(shí)，MSA從批次調(diào)度計(jì)劃表上激活此項(xiàng)改變或相關(guān)的改變。RSA將相關(guān)的充填和排出命令轉(zhuǎn)移至較晚的時(shí)間。也可能轉(zhuǎn)移計(jì)劃表上的其它約定?？s短機(jī)器成批約定約定狀態(tài)改變當(dāng)縮短機(jī)器成批約定時(shí)，MSA激活此項(xiàng)改變。若未啟用排出約定時(shí)，RSA將相關(guān)排出約定轉(zhuǎn)移至較早的時(shí)間，否則其將縮短該排出約定?？赡苄韪屡懦黾s定的開(kāi)始時(shí)間警報(bào)或結(jié)束時(shí)間警報(bào)。延長(zhǎng)機(jī)器成批約定約定狀態(tài)改變當(dāng)延長(zhǎng)機(jī)器成批約定時(shí)，MSA激活此項(xiàng)改變。若未啟用排出約定時(shí)，RSA將相關(guān)排出約定轉(zhuǎn)移至較晚的時(shí)間，否則其將延長(zhǎng)該排出約定?？赡苄韪屡懦黾s定的開(kāi)始時(shí)間警報(bào)或結(jié)束時(shí)間警報(bào)。開(kāi)始裝載工廠(chǎng)狀態(tài)設(shè)備接口(EI)通知RSA已開(kāi)始裝載。RSA根改變(EI)據(jù)裝載的批次為預(yù)期或非預(yù)期而做出反應(yīng)。若全部批次均為預(yù)期，但裝載順序不同于計(jì)劃表上的約定，則RSA將重新安排其裝載約定以及其參與者。載體到達(dá)工廠(chǎng)狀態(tài)改變EI通知RSA一載體已到達(dá)。若其攜帶預(yù)期的批次，則RSA將改變相關(guān)資源裝載批次約定狀態(tài)至就緒狀態(tài)。裝載更新工廠(chǎng)狀態(tài)改變?cè)诮荧@EI通知之后，若相關(guān)裝載約定不是成批工作中的第一項(xiàng)，則RSA將先縮短先前的裝載約定，并且將隨后的裝載約定移至較早的開(kāi)始時(shí)間，先前裝載約定的狀態(tài)將被改變至完成狀態(tài)。先前裝載約定的結(jié)束時(shí)間警報(bào)將被取消。PMSA將下一項(xiàng)裝載約定改變至啟用狀態(tài)。裝載完成工廠(chǎng)狀態(tài)改變?cè)诮荧@EI通知已完成裝載之后，RSA將縮短相關(guān)的裝載約定、取消結(jié)束時(shí)間警報(bào)以及將最后裝載約定的約定狀態(tài)改變成完成狀態(tài)。開(kāi)始改變EI事件在接獲EI通知已開(kāi)始充填之后，RSA將充填約定狀態(tài)改變成處理狀態(tài)。完成改變EI事件在接獲EI通知已完成一項(xiàng)改變之后，RSA將縮短充填約定、取消結(jié)束時(shí)間警報(bào)以及將充填約定狀態(tài)改變成完成狀態(tài)。若有一些隨后的卸載約定，其將卸載約定移至較早的開(kāi)始時(shí)間，并且開(kāi)始該卸載約定。開(kāi)始排出EI事件在接獲EI通知已開(kāi)始排出時(shí)，RSA將該排出約定狀態(tài)改變成處理狀態(tài)。開(kāi)始卸載EI事件在接獲EI通知已開(kāi)始卸載時(shí)，RSA將第一項(xiàng)卸載約定狀態(tài)改變成處理狀態(tài)。卸載更新EI事件在接獲EI通知時(shí)，則更新一項(xiàng)卸載約定。若相關(guān)卸載約定不是卸載開(kāi)始事件中的最后一項(xiàng)約定，則RSA將縮短相關(guān)的卸載約定、取消其結(jié)束時(shí)間警報(bào)，并且將其狀態(tài)改變成完成狀態(tài)。然后RSA將下一項(xiàng)卸載約定移至較早的時(shí)間，并且開(kāi)始處理下一項(xiàng)卸載約定。若相關(guān)卸載約定為卸載開(kāi)始事件中的最后一項(xiàng)約定，則RSA將等待卸載完成事件。卸載完成EI事件在接獲EI通知已完成卸載時(shí)，則RSA將縮短該卸載約定、取消其結(jié)束時(shí)間警報(bào)，并且將約定狀態(tài)改變成完成狀態(tài)。開(kāi)始未預(yù)期卸載EI事件在接獲EI通知已開(kāi)始一項(xiàng)未預(yù)期卸載時(shí)(即，下一項(xiàng)約定不是一項(xiàng)卸載約定或輸送順序和調(diào)度不同)，則RSA將改變?cè)撘颜{(diào)度的卸載約定，并且啟用第一次約定。可轉(zhuǎn)移重疊的約定至較晚的時(shí)間，或?qū)⑵淙∠ｉ_(kāi)始未預(yù)期裝載EI事件在接獲EI通知已開(kāi)始一項(xiàng)未預(yù)期裝載時(shí)(即，下一次約定不是一項(xiàng)裝載約定或輸送順序和調(diào)度不同)，若窗體中有一批次不是下一項(xiàng)充填約定的參與者之一時(shí)，則RSA將批次窗體及成批ID傳遞至MSA以求得到適當(dāng)?shù)捻憫?yīng)。若全部批次在下一項(xiàng)充填約定內(nèi)，但輸送順序和調(diào)度約定不同，則RSA將重新安排裝載約定。
應(yīng)注意，當(dāng)?shù)卿浖s定被轉(zhuǎn)移、取消、縮短、延長(zhǎng)及重新調(diào)度時(shí)，其可通過(guò)工藝流程以及特別是計(jì)劃表而產(chǎn)生改變。通過(guò)單一軟件代理人設(shè)置該項(xiàng)改變，但一項(xiàng)改變的約定可被登錄在多個(gè)計(jì)劃表上。此改變其后必須和其它軟件代理人相聯(lián)系，故可分別更新其計(jì)劃表。工藝流程中其它類(lèi)型的事件也是如此。
在此說(shuō)明實(shí)施例中，本發(fā)明為利用面向?qū)ο蟪绦蛟O(shè)計(jì)(OOP)的技術(shù)，但本發(fā)明也可能運(yùn)用非面向?qū)ο蟮募夹g(shù)。軟件代理人265如對(duì)象般執(zhí)行，并且是智能的，以及具有狀態(tài)察覺(jué)的能力，此外還能獨(dú)立激活以達(dá)成特定目標(biāo)的行為。其行為極為單純，并且可通過(guò)腳本和屬性進(jìn)行部分設(shè)定。該行為的設(shè)計(jì)是為了達(dá)到選定的目標(biāo)，例如，達(dá)到一指定批次到期日、達(dá)到一預(yù)定的品質(zhì)、最大化機(jī)器的利用效率，以及機(jī)會(huì)性(opportunistic)預(yù)防維護(hù)的調(diào)度。幫助類(lèi)(helper class)對(duì)象是其軟件代理人265在工藝流程100中能委派各種責(zé)任或提供有用服務(wù)的各種對(duì)象。上述的發(fā)布者和聽(tīng)者也屬于一種幫助類(lèi)對(duì)象。
因此，此處某些部分的詳細(xì)說(shuō)明是以涉及計(jì)算器系統(tǒng)或計(jì)算裝置的內(nèi)存內(nèi)數(shù)據(jù)位上，以符號(hào)表示操作的方式來(lái)呈現(xiàn)其軟件的執(zhí)行過(guò)程。這些說(shuō)明及描述是本領(lǐng)域的技術(shù)人員可最有效傳遞其工作材料至其它的本領(lǐng)域的技術(shù)人員的方法。其工藝和操作需要對(duì)物理量的物理操作。雖非必要，然而這些物理量通常為可用于儲(chǔ)存、輸送、結(jié)合、比較及其它操作方式的電性、磁性或光學(xué)信號(hào)的形式。其已證明在一般的應(yīng)用上該信號(hào)可利用位、值、元素、符號(hào)、字母、術(shù)語(yǔ)、數(shù)目，或類(lèi)似方法加以表示。
然而，必須牢記，上述全部及類(lèi)似名詞和適當(dāng)?shù)奈锢砹坑嘘P(guān)，并且僅作為其定量時(shí)便于標(biāo)示的方法。除非特別說(shuō)明或已非常明確，本發(fā)明全部揭示的說(shuō)明均指一電子裝置的動(dòng)作及工藝，其所操作及轉(zhuǎn)變的數(shù)據(jù)代表某些電子裝置內(nèi)存入其它儲(chǔ)存器，或者傳輸或顯示的裝置內(nèi)的物理(電、磁或光學(xué))量。描述此類(lèi)名詞的范例可為不具局限性的″處理″、″估計(jì)″、″計(jì)算″、″決定″、″顯示″等詞。
應(yīng)注意本發(fā)明軟件的執(zhí)行方面一般是編碼在某種形式的程序儲(chǔ)存介質(zhì)或在某類(lèi)型的傳輸介質(zhì)上實(shí)現(xiàn)。此程序儲(chǔ)存介質(zhì)可為磁性(例如，軟盤(pán)驅(qū)動(dòng)器或硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器)或光學(xué)(例如，只讀光盤(pán)存儲(chǔ)器，或″CD ROM″)儲(chǔ)存介質(zhì)，并可為只讀或隨機(jī)存取。相同地，傳輸介質(zhì)可為雙絞線(xiàn)、同軸電纜、光纖、或本領(lǐng)域所熟知的其它合適的傳輸介質(zhì)。本發(fā)明非僅限于上述所說(shuō)明的方面。
在此為上述的詳細(xì)說(shuō)明做一結(jié)論。上述所揭示的特定實(shí)施例僅供說(shuō)明的用途，因?yàn)閷?duì)于獲益于此處所揭露的內(nèi)容的本領(lǐng)域技術(shù)人員而言本發(fā)明可具有不同的改良和操作方法。應(yīng)注意，上述討論中未述及的其它方法也可運(yùn)用在其它的實(shí)施例中。此外，除了下述權(quán)利要求范圍之外，本發(fā)明并非僅局限于所述的細(xì)部構(gòu)造和設(shè)計(jì)的范圍內(nèi)。因此可清楚地了解，上述所揭示的特定實(shí)施例可加以改變或改良，而所有此類(lèi)變化均視為屬于本發(fā)明的范圍和精神內(nèi)。因此，下述所說(shuō)明的權(quán)利要求范圍涵蓋了本發(fā)明所尋求的專(zhuān)利權(quán)保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種用于自動(dòng)化制造環(huán)境內(nèi)的調(diào)度方法，包括
偵測(cè)工藝流程(100)中的預(yù)設(shè)事件的發(fā)生；
將發(fā)生的事件通知軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)；以及
響應(yīng)所測(cè)得的預(yù)設(shè)事件，通過(guò)軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)以反應(yīng)式的方式調(diào)度一個(gè)動(dòng)作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中偵測(cè)預(yù)設(shè)事件的發(fā)生包括偵測(cè)未事先規(guī)劃的事件或未預(yù)期的事件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中偵測(cè)預(yù)設(shè)事件的發(fā)生包括偵測(cè)約定狀態(tài)的改變、工廠(chǎng)狀態(tài)的改變以及警報(bào)事件其中之一的發(fā)生。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中偵測(cè)預(yù)定事件包括偵測(cè)約定的取消、約定的延長(zhǎng)、約定的縮短、約定的放棄、成為啟用的約定、約定接近完成、約定的完成、約定的轉(zhuǎn)移、約定的跨越以及約定窗口的更新、偵測(cè)發(fā)生停機(jī)時(shí)間、機(jī)器變?yōu)榭捎?、PM/Qual被偵測(cè)、反應(yīng)室退出、一反應(yīng)室變?yōu)榭捎?、機(jī)器容量改變、機(jī)器類(lèi)型改變、一種工藝的增加、一種工藝操作的增加、一批次到達(dá)機(jī)器、批次工藝改變、批次置于暫停狀態(tài)、批次離開(kāi)暫停狀態(tài)、批次優(yōu)先級(jí)改變、批次到期日改變、批次晶圓數(shù)目改變、批次工藝操作改變、一批次離開(kāi)機(jī)器、一種在約定開(kāi)始時(shí)發(fā)出的警報(bào)以及一種在約定結(jié)束時(shí)發(fā)出的警報(bào)的上述至少一個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中將發(fā)生的事件通知軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)包括
傳送發(fā)生事件的指示至發(fā)布者(352)；
從發(fā)布者(352)發(fā)布該發(fā)生事件至訂閱的聽(tīng)者(358)；以及
從訂閱的聽(tīng)者(358)呼叫其軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中反應(yīng)式調(diào)度活動(dòng)包括放棄一項(xiàng)正在進(jìn)行中的調(diào)度約定、在其開(kāi)始之前取消一項(xiàng)調(diào)度約定、安排一項(xiàng)新的約定、開(kāi)始一項(xiàng)調(diào)度約定、延長(zhǎng)一項(xiàng)調(diào)度約定的時(shí)間、縮短一項(xiàng)調(diào)度約定的時(shí)間、轉(zhuǎn)移一項(xiàng)調(diào)度約定、增加新的工藝容量、刪除舊的工藝容量、設(shè)定一項(xiàng)警報(bào)、取消一項(xiàng)警報(bào)，以及改變一項(xiàng)約定的狀態(tài)的上述至少一個(gè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其進(jìn)一步包括預(yù)先調(diào)度一種和預(yù)設(shè)事件有關(guān)的命令。
8.一種在自動(dòng)化制造環(huán)境中調(diào)度的裝置，此裝置包括
偵測(cè)工藝流程(100)中預(yù)設(shè)事件發(fā)生的裝置
將發(fā)生的事件通知軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)的裝置；以及
響應(yīng)所測(cè)得的預(yù)設(shè)事件，通過(guò)軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)以反應(yīng)式的方式調(diào)度一個(gè)動(dòng)作的裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中偵測(cè)預(yù)設(shè)事件發(fā)生的裝置包括偵測(cè)未事先規(guī)劃的事件或未預(yù)期的事件的裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中偵測(cè)預(yù)設(shè)事件發(fā)生的裝置包括偵測(cè)約定狀態(tài)的改變、工廠(chǎng)狀態(tài)的改變以及警報(bào)事件的裝置。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中偵測(cè)預(yù)設(shè)事件發(fā)生的手段包括用于偵測(cè)約定的取消、約定的延長(zhǎng)、約定的縮短、約定的放棄、成為啟用的約定、約定接近完成、約定的完成、約定的轉(zhuǎn)移、約定的跨越以及約定窗口的更新、偵測(cè)發(fā)生停機(jī)時(shí)間、機(jī)器變?yōu)榭捎?、PM/Qual被偵測(cè)、反應(yīng)室退出、一反應(yīng)室變?yōu)榭捎?、機(jī)器容量改變、機(jī)器類(lèi)型改變、一種工藝的增加、一種工藝操作的增加、一批次到達(dá)機(jī)器、批次工藝改變、批次置于暫停狀態(tài)、批次離開(kāi)暫停狀態(tài)、批次優(yōu)先級(jí)改變、批次到期日改變、批次晶圓數(shù)目改變、批次工藝操作改變、一批次離開(kāi)機(jī)器、在約定開(kāi)始時(shí)發(fā)出的警報(bào)以及一種在約定結(jié)束時(shí)發(fā)出的警報(bào)的上述至少一個(gè)的裝置。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中將發(fā)生的事件通知軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)的裝置包括
傳送發(fā)生事件的指示至發(fā)布者(352)的裝置；
從發(fā)布者(352)發(fā)布該發(fā)生事件至訂閱聽(tīng)者(358)的裝置；以及
從訂閱聽(tīng)者(358)呼叫其軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)的裝置。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中反應(yīng)式調(diào)度行動(dòng)的裝置包括用于放棄一項(xiàng)正在進(jìn)行中的調(diào)度約定、在其開(kāi)始之前取消一項(xiàng)調(diào)度約定、安排一項(xiàng)新的約定、開(kāi)始一項(xiàng)調(diào)度約定、延長(zhǎng)一項(xiàng)調(diào)度約定的時(shí)間、縮短一項(xiàng)調(diào)度約定的時(shí)間、轉(zhuǎn)移一項(xiàng)調(diào)度約定、增加新的工藝容量、刪除舊的工藝容量、設(shè)定一項(xiàng)警報(bào)、取消一項(xiàng)警報(bào)，以及改變一項(xiàng)約定的狀態(tài)的上述至少一個(gè)的裝置。
14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其進(jìn)一步包括預(yù)先調(diào)度一種和預(yù)設(shè)事件有關(guān)的約定的裝置。
15.一種自動(dòng)化制造環(huán)境，其包括
一種工藝流程(100)；以及
一種計(jì)算系統(tǒng)，其包括置于其中的多個(gè)軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)，該軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)能夠在工藝流程(100)的活動(dòng)中響應(yīng)多個(gè)預(yù)設(shè)事件并以反應(yīng)式的方式進(jìn)行約定調(diào)度。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的自動(dòng)化制造環(huán)境，其進(jìn)一步包括多個(gè)能在工藝流程(100)中偵測(cè)一種預(yù)設(shè)事件發(fā)生的發(fā)布者(352)及訂閱者(358)，并且能將發(fā)生的事件通知其中一個(gè)軟件調(diào)度代理人(265)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的自動(dòng)化制造環(huán)境，其進(jìn)一步包括一種制造執(zhí)行系統(tǒng)(270)以及一種自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(280)中的至少一個(gè)。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的自動(dòng)化制造環(huán)境，其中該計(jì)算系統(tǒng)是一種局域網(wǎng)、廣域網(wǎng)、系統(tǒng)局域網(wǎng)、內(nèi)聯(lián)網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)的一部分中的至少一個(gè)。
19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的自動(dòng)化制造環(huán)境，其中該工藝流程(100)包括一間半導(dǎo)體制造工廠(chǎng)的一部分。
全文摘要
本發(fā)明披露了一種用于自動(dòng)化制造環(huán)境中調(diào)度的方法和裝置。該方法包括偵測(cè)工藝流程(100)中的預(yù)設(shè)事件的發(fā)生；將發(fā)生的事件通知軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)；以及響應(yīng)所測(cè)得的預(yù)設(shè)事件，通過(guò)軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)以反應(yīng)式的方式調(diào)度一個(gè)動(dòng)作。該裝置是自動(dòng)化的制造環(huán)境，其包括一個(gè)工藝流程(100)和一個(gè)計(jì)算系統(tǒng)。該計(jì)算系統(tǒng)進(jìn)一步包括置于其中的多個(gè)軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)，該軟件調(diào)度代理人(305，310，315，320)能夠在工藝流程(100)的活動(dòng)中響應(yīng)多個(gè)預(yù)設(shè)事件并以反應(yīng)式的方式進(jìn)行約定調(diào)度。
文檔編號(hào)G06Q50/00GK1625722SQ0282887
公開(kāi)日2005年6月8日 申請(qǐng)日期2002年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月30日
發(fā)明者G·馬塔, S·C·內(nèi)特爾斯, L·D·巴爾托, Y·利 申請(qǐng)人:先進(jìn)微裝置公司