專利名稱：掩模交易系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過(guò)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模(photomask)的交易的掩模交易系統(tǒng)及其方法。
伴隨著半導(dǎo)體裝置的高度集成化及微小化，用于曝光的光掩模也趨于高度集成化及微小化。掩模被作為在晶片上曝光半導(dǎo)體裝置的圖案(デバイスパタ一ン，器件圖)的底版使用，在掩模上也印刷器件圖。作為在掩模上繪制器件圖的方式提出了現(xiàn)有的兩種方式。一種為利用激光、電子束等微米級(jí)的探針依次繪制器件圖的方法(以下稱為依次繪制方式)。另一種為作為底板在掩模上預(yù)先準(zhǔn)備應(yīng)該實(shí)現(xiàn)的圖案，數(shù)十毫米區(qū)域一并形成圖案的方式(以下稱為整體繪制方式)。
上述兩種繪制方式的繪制原理完全不同，因此在繪制準(zhǔn)備方法和繪制時(shí)間等上顯示了完全不同的特征。因此，在制造掩模時(shí)分別使用這兩種繪制方式的情況下，即使在掩模的功能上能得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但掩模的繳納期限和價(jià)格會(huì)產(chǎn)生很大的差別。不限于繪制方式，在掩模制造時(shí)的處理方式上，即使在掩模的功能上能得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但也會(huì)存在掩模的繳納期限及價(jià)格的好否相反，以及根據(jù)掩模的制造枚數(shù)不同制造所須時(shí)間的早晚及/或制造所須費(fèi)用的高低相反的情況。但是，以往的掩模交易方法中，這種信息的詳細(xì)內(nèi)容在掩模購(gòu)買者與掩模銷售者之間互通，若考慮勞動(dòng)力和時(shí)間在現(xiàn)實(shí)中是困難的。
本發(fā)明鑒于以往技術(shù)的問(wèn)題點(diǎn)，其目的在于根據(jù)掩模購(gòu)買者與掩模銷售者之間密切的信息交換，提供一種可以更合乎掩模購(gòu)買者意愿的掩模制造訂購(gòu)的掩模交易系統(tǒng)及方法。
本發(fā)明的第2方面為用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模的系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括購(gòu)買中介部，通過(guò)網(wǎng)絡(luò)對(duì)掩模購(gòu)買者交換信息；制造訂購(gòu)存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)包含上述購(gòu)買中介部輸入的掩模的規(guī)格及數(shù)量等的掩模制造訂購(gòu)信息；繳納期限信息存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)包括掩模制造狀態(tài)與掩模繳納期限之間關(guān)系的繳納期限信息；流水線信息存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)包括在掩模制造工廠中制作掩模時(shí)，用于進(jìn)行存在雖然在掩模的功能上得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但因?yàn)橹圃烀稊?shù)不同制造所須時(shí)間的早晚則相反的情況的多種處理方式的各個(gè)處理流水線相關(guān)的信息的流水線信息；計(jì)算部，響應(yīng)上述掩模制作訂購(gòu)，參照上述繳納期限信息及上述流水線信息，算出使用上述多種處理方式的每種的情況下每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限；以及處理方式選擇部，通過(guò)上述購(gòu)買中介部，向掩模購(gòu)買者傳送上述每枚掩模制品的預(yù)定交納期限，使其選擇執(zhí)行上述多種處理方式的任意一種。
本發(fā)明的第3方面為用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模的系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括購(gòu)買中介部，通過(guò)網(wǎng)絡(luò)對(duì)掩模購(gòu)買者交換信息；制造訂購(gòu)存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)包含上述購(gòu)買中介部輸入的掩模的規(guī)格及數(shù)量等的掩模制造訂購(gòu)信息；價(jià)格信息存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)包括掩模制造狀態(tài)與掩模價(jià)格之間關(guān)系的價(jià)格信息；流水線信息存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)包括在掩模制造工廠中制作掩模時(shí)，用于進(jìn)行存在雖然在掩模的功能上得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但因?yàn)橹圃烀稊?shù)不同制造所須費(fèi)用的多少則相反的多種處理方式的每個(gè)處理流水線相關(guān)的信息的流水線信息；
計(jì)算部，回應(yīng)上述掩模制作訂購(gòu)，參照上述價(jià)格信息及上述流水線信息，算出使用上述多種處理方式的每種的情況下每枚掩模制品的預(yù)定價(jià)格；以及處理方式選擇部，通過(guò)上述購(gòu)買中介部，向掩模購(gòu)買者傳送上述每枚掩模制品的預(yù)定價(jià)格，使其選擇執(zhí)行上述多種處理方式的任意一種。
本發(fā)明的第4到第6方面為分別利用上述第1至第3方面的系統(tǒng)進(jìn)行掩模交易的方法。
而且，本發(fā)明的實(shí)施方式中包括各種階段的發(fā)明，在被公開的多個(gè)構(gòu)成要件中根據(jù)適當(dāng)?shù)慕M合提取得到各項(xiàng)發(fā)明。例如，實(shí)施方式中所示的，從全構(gòu)成要件中省略幾個(gè)構(gòu)成要件而將發(fā)明提取的情況下，在實(shí)施該被提取的發(fā)明時(shí)可以用眾所周知的慣用技術(shù)適當(dāng)?shù)匮a(bǔ)充省略部分。
圖2是表示使用

圖1所示的系統(tǒng)進(jìn)行的掩模交易方法的流程的流程圖。
圖3表示的是輸入掩模制作訂購(gòu)信息時(shí)，向掩模購(gòu)買者顯示的畫面。
圖4表示的是進(jìn)行掩模制作及選擇繪制方式時(shí)，對(duì)掩模購(gòu)買者顯示的畫面。
圖5表示的是在圖4所示的畫面中選擇「依次繪制方式」或「整體繪制方式」時(shí)，向掩模購(gòu)買者顯示的畫面。
圖6表示的是在圖5所示的畫面中掩模購(gòu)買者輸入「文件名稱」，選擇「OK」時(shí)，向掩模購(gòu)買者顯示的畫面。
圖7是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式相關(guān)的用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模的系統(tǒng)、掩模購(gòu)買者一端的終端及掩模制造工廠之間關(guān)系的方塊圖。
圖8表示的是圖7所示的實(shí)施方式中，進(jìn)行掩模制作及選擇繪制方式時(shí)，對(duì)掩模購(gòu)買者顯示的畫面。符號(hào)說(shuō)明12網(wǎng)絡(luò)14使用者終端20掩模交易系統(tǒng)的主機(jī)裝置22購(gòu)買代理(購(gòu)買中介部)24銷售代理(銷售中介部)26接受訂購(gòu)部28計(jì)算部30處理方式選擇部32制作指示部40數(shù)據(jù)庫(kù)42制作訂購(gòu)文件44繳納期限信息文件46價(jià)格信息文件48流水線信息文件60掩模制造工廠在依次繪制方式中，直到開始繪制掩模的準(zhǔn)備中，只需要進(jìn)行從半導(dǎo)體裝置設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)向繪制用數(shù)據(jù)的形式變換。因此，半導(dǎo)體裝置設(shè)計(jì)完了開始到能開始掩模的繪制的時(shí)間很短。另外，掩模的圖案繪制所需時(shí)間，因?yàn)橐来卫L制微細(xì)的圖案所以會(huì)非常長(zhǎng)。由于繪制的生產(chǎn)率不佳，一枚掩模所花費(fèi)的繪制裝置的成本增多。
另外，在整體繪制方式中，直到開始繪制掩模的準(zhǔn)備中，需要從半導(dǎo)體裝置設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)制作掩模的底版。因此，與依次繪制方式相比在繪制準(zhǔn)備上所花費(fèi)的時(shí)間較長(zhǎng)，用于制作底版的費(fèi)用也是必須的。另一方面，圖案繪制所需時(shí)間，由于可以一并進(jìn)行較大區(qū)域的曝光，會(huì)很短。而且，由于繪制的生產(chǎn)率高，一枚掩模所花費(fèi)的繪制裝置的成本減少。
以下總結(jié)各繪制方式的特征?！浮箖?nèi)的為相對(duì)的缺點(diǎn)。
制作底版繪制時(shí)間一枚掩模所需裝置費(fèi)用依次繪制方式不需要 「長(zhǎng)」 「高」整體繪制方式 「需要」短 低從掩模繳納期限的角度看，上表中的制作底版與繪制時(shí)間2個(gè)項(xiàng)目之間有關(guān)聯(lián)。依次繪制方式及整體繪制方式各自擁有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)和一個(gè)缺點(diǎn)。從掩模費(fèi)用的角度看，上表中的繪制時(shí)間與裝置費(fèi)用2個(gè)項(xiàng)目之間有關(guān)聯(lián)。也是各繪制裝置分別具有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)和一個(gè)缺點(diǎn)。如此，無(wú)論使用哪一個(gè)繪制方式繪制掩模，都不能單一性的決定繳納期限及費(fèi)用是否有利。
而且，關(guān)于掩模的繳納期限還受到在掩模制造工廠所具有的其他掩模制作訂購(gòu)的數(shù)量、掩模制造工廠的各步驟的混雜情況的影響。對(duì)于掩模的價(jià)格也一樣，訂購(gòu)多枚同一種掩模時(shí)，利用整體繪制方式，因?yàn)槭沟玫装尜M(fèi)用分散，故制作底版的負(fù)擔(dān)相對(duì)降低。因此，期望為何種繪制方式，不能單純考慮繪制方式自身的性能，也要考慮其他必要因素復(fù)雜地相互糾纏的可能性。
以下參照?qǐng)D面對(duì)基于這種見(jiàn)解所構(gòu)成的本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。而且，在以下的說(shuō)明中，關(guān)于具有大致相同功能及組成的構(gòu)成要素，付與相同的符號(hào)，僅在必要情況做重復(fù)說(shuō)明。
圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式相關(guān)的用于交易半導(dǎo)體裝置制造用的光掩模的系統(tǒng)、掩模購(gòu)買者的終端及掩模制造工廠之間關(guān)系的方塊圖。
在本實(shí)施方式中，掩模交易系統(tǒng)的主機(jī)裝置(假想工廠)20被設(shè)置在通過(guò)網(wǎng)絡(luò)12，特別是互聯(lián)網(wǎng)(公眾通信線路網(wǎng))的傳送線路，利用由個(gè)人電腦等構(gòu)成的使用者終端14，可以存取信息的場(chǎng)所。因此，主機(jī)裝置20，即主機(jī)計(jì)算機(jī)(Web服務(wù)器、應(yīng)用服務(wù)器、數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器)，設(shè)有作為針對(duì)掩模購(gòu)買者(顧客用戶或代理營(yíng)業(yè)員)進(jìn)行信息交換窗口的購(gòu)買代理(購(gòu)買中介部)22，其與網(wǎng)絡(luò)12連接。另外，主機(jī)裝置20還設(shè)有，作為針對(duì)掩模制造銷售者的掩模制造工廠60進(jìn)行信息交換的窗口構(gòu)成的銷售代理(銷售中介部)24，將該銷售代理24與到掩模制造工廠60的專用線路62連接。而且，圖中符號(hào)16、18分別表示調(diào)制解調(diào)器、連接服務(wù)器。
主機(jī)裝置20中附設(shè)數(shù)據(jù)庫(kù)40，在數(shù)據(jù)庫(kù)40中形成制造訂購(gòu)文件42、繳納期限信息文件44、價(jià)格信息文件46及流水線信息文件48。在制作訂購(gòu)文件42中存儲(chǔ)通過(guò)購(gòu)買代理22輸入的包括掩模制品名稱、數(shù)量及規(guī)格等信息的掩模制作訂購(gòu)信息。而且，掩模購(gòu)買者與掩模銷售者之間預(yù)先設(shè)定掩模制品名稱及制品號(hào)碼的情況，可以用掩模制品的名稱及號(hào)碼代替掩模的規(guī)格的信息。繳納期限信息文件44中存儲(chǔ)包括掩模制作狀態(tài)與掩模的繳納期限之間關(guān)系的繳納期限信息。價(jià)格信息文件46中存儲(chǔ)包含掩模制作狀態(tài)與掩模價(jià)格之間關(guān)系的價(jià)格信息。
流水線信息文件48中，存儲(chǔ)通過(guò)銷售代理24隨時(shí)(例如接受掩模制作訂購(gòu)后)輸入的與掩模制造工廠60的制造流水線相關(guān)的流水線信息。在流水線信息中包括，分別執(zhí)行依次繪制方式及整體繪制方式的處理流水線(裝置)的狀態(tài)、混雜狀況、停止預(yù)定和其他處理裝置、檢查裝置等的狀態(tài)、混雜狀況、停止預(yù)定及成品率等信息。另外，流水線信息中還包括，掩模制造工廠60的繪制處理裝置中過(guò)去處理的與掩模相關(guān)的繪制經(jīng)歷。依次繪制方式及整體繪制方式，雖然在掩模的性能上能得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但在掩模的繳納期限及價(jià)格的好否上，或根據(jù)掩模的制作枚數(shù)不同，制造所需時(shí)間的早晚及/或制作所需費(fèi)用的高低上會(huì)存在正反的情況。
利用數(shù)據(jù)庫(kù)40中所存儲(chǔ)的上述信息，為實(shí)現(xiàn)掩模購(gòu)買者與掩模銷售者之間的中介，主機(jī)裝置20設(shè)有接受訂購(gòu)部26、計(jì)算部28、處理方式選擇部30、制造指示部32。接受訂購(gòu)部26通過(guò)購(gòu)買代理22接受掩模購(gòu)買者輸入的上述掩模制作訂購(gòu)信息。計(jì)算部28則響應(yīng)掩模制作訂購(gòu)，參照上述繳納期限信息、價(jià)格信息及流水線信息，算出使用上述依次繪制方式與整體繪制方式的每種時(shí)，每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限、預(yù)定價(jià)格以及每枚掩模預(yù)定繳納期限的準(zhǔn)確度。將代表算出的預(yù)定繳納期限、預(yù)定價(jià)格及預(yù)定繳納期限的準(zhǔn)確度的信息，通過(guò)購(gòu)買代理22向購(gòu)買者傳送，并被用于通過(guò)處理方式選擇部30選擇依次繪制方式及整體繪制方式中的任意一種。制作指示部32，在處理方式選擇部30中選擇了處理方式，且接受訂購(gòu)部26中選擇了進(jìn)行掩模的制作的情況下，通過(guò)銷售代理24向掩模制造工廠60傳送掩模制作訂購(gòu)的信息。
在掩模制造工廠60中，掩模的制造流水線由計(jì)算機(jī)等構(gòu)成的制造流水線管理部64進(jìn)行管理。對(duì)于掩模交易系統(tǒng)的主機(jī)裝置20，掩模制造工廠60僅用計(jì)算機(jī)等構(gòu)成的數(shù)據(jù)管理部66連接。制造流水線管理部64數(shù)據(jù)管理部66連接到共同的工廠數(shù)據(jù)庫(kù)68上。在工廠數(shù)據(jù)庫(kù)68中，存儲(chǔ)掩模交易系統(tǒng)的主機(jī)裝置20間交換的信息，即包括上述掩模購(gòu)買者輸入的掩模制作訂購(gòu)信息、分別實(shí)施依次繪制方式及整體繪制方式的處理流水線(裝置)相關(guān)的信息的流水線信息等。
圖2是表示使用圖1所示的系統(tǒng)進(jìn)行的掩模交易方法的流程的流程圖。以下參照?qǐng)D2對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式相關(guān)的掩模交易方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，掩模購(gòu)買者通過(guò)網(wǎng)絡(luò)12將使用者終端14與掩模交易系統(tǒng)的主機(jī)裝置20連接。在此，若連接中必須設(shè)定ID及密碼，在主機(jī)裝置20中，可以只有合同關(guān)系中的特定使用者可以訪問(wèn)。其次，掩模購(gòu)買者將包含掩模制品名稱、數(shù)量及規(guī)格等信息的掩模制作訂購(gòu)，通過(guò)購(gòu)買代理22輸入到接受訂購(gòu)部26(步驟G1)。接受訂購(gòu)部26將已輸入的掩模制作訂購(gòu)，存儲(chǔ)于數(shù)據(jù)庫(kù)40的制作訂購(gòu)文件42中。
圖3表示的是輸入掩模制作訂購(gòu)信息時(shí)，向掩模購(gòu)買者顯示的畫面。在圖3中，「制品名稱」在掩模購(gòu)買者與掩模制造工廠60之間預(yù)先設(shè)定掩模制品名稱及制品號(hào)碼的情況下可以使用。即根據(jù)情況，可以用掩模制品名稱和制品號(hào)碼代替掩模規(guī)格的信息。另外，「數(shù)據(jù)規(guī)?！古c「芯片尺寸」是掩模規(guī)格的一部分。圖3所示畫面中若選擇「回答要求」，這些信息將通過(guò)連接服務(wù)器18向主機(jī)裝置20傳送。
輸入掩模制作訂購(gòu)信息，接受訂購(gòu)部26判斷是否能夠制作制作訂購(gòu)的掩模。不能制作掩模時(shí)，將該意思向掩模購(gòu)買者傳達(dá)，交易不成立。由于這一點(diǎn)不是本實(shí)施方式的特征點(diǎn)，在此省略說(shuō)明?？梢灾谱餮谀r(shí)，接受訂購(gòu)部26向掩模制造工廠60查詢掩模制造流水線相關(guān)的流水線信息。
響應(yīng)來(lái)自接受訂購(gòu)部26的查詢，通過(guò)銷售代理24從掩模制造工廠60輸入最新的流水線信息(步驟G2)，籍此更新流水線信息文件44中的流水線信息。在流水線信息中，包括用于分別執(zhí)行依次繪制方式及整體繪制方式的處理流水線(裝置)的狀態(tài)、混雜狀況、停止預(yù)定以及其他處理裝置、檢查裝置等的狀態(tài)、混雜狀況、停止預(yù)定及成品率等信息。另外，流水線信息中還包括，掩模制造工廠60的繪制處理裝置中過(guò)去是否處理過(guò)與掩模制作訂購(gòu)相應(yīng)的掩模的繪制經(jīng)歷。而且繳納期限信息文件44及價(jià)格信息文件46中存儲(chǔ)包含掩模制作狀態(tài)與掩模繳納期限及價(jià)格之間關(guān)系的繳納期限信息及價(jià)格信息。
接著，計(jì)算部28參照上述繳納期限信息、價(jià)格信息及最新的流水線信息，計(jì)算出在分別使用依次繪制方式及整體繪制方式時(shí)，每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限、預(yù)定價(jià)格及每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限的準(zhǔn)確度(步驟G3)。在此，計(jì)算分別使用依次繪制方式及整體繪制方式的情況中，每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限及其準(zhǔn)確度的方式如下所述。
首先，利用依次繪制方式時(shí)，制作掩模所需時(shí)間為下述時(shí)間的總和，T1繪制等待時(shí)間(120h)；T2NG掩模的步驟平均滯留時(shí)間(80h)；T3NG掩模的再繪制平均等待時(shí)間(100h)；T4繪制以外的步驟平均時(shí)間(150h)。從這些參數(shù)預(yù)想繳納期限，但已有的掩模制作，即使如以往技術(shù)所敘述的那樣進(jìn)行，因?yàn)榘殡S微小化的成品率惡化，進(jìn)行1次繪制得到佳品的可能性很低。制作步驟中變?yōu)镹G時(shí)，用于從繪制進(jìn)行的繳納期限上產(chǎn)生很大的區(qū)別。為了預(yù)測(cè)正確的繳納期限，必須預(yù)測(cè)每次繪制的繳納期限。
第1次的繪制中，得到佳品時(shí)的繳納期限為(T1+T4)＝270h＝11日，另外，步驟中變?yōu)镹G時(shí)為(T1+T2+T3+T4)＝470h＝20日，第2次的掩模也變?yōu)镹G時(shí)，進(jìn)行第3次繪制，繳納期限為(T1+T2+T3+T2+T3+T4)＝670h＝28日。
另外，使用整體繪制方式時(shí)，已接受訂購(gòu)的掩模，根據(jù)必須用初版物重新制作底版還是用再版中已存在的底版，繳納期限及價(jià)格會(huì)不同。必須用初版制作底版的情況，制作掩模所需時(shí)間為下列時(shí)間的總和，T11底版準(zhǔn)備時(shí)間(240h)；T2NG掩模的步驟平均滯留時(shí)間(80h)；T13NG掩模的再繪制平均等待時(shí)間(5h)；T4繪制以外的步驟平均時(shí)間(150h)。同樣可以依據(jù)這些參數(shù)等計(jì)算每次繪制的繳納期限。第1次繪制得到佳品的繳納期限為(T11+T4)＝390h＝16日，第2次繪制為(T11+T2+T13+T4)＝475h＝20日，第3次繪制為(T11+T2+T13+T2+T13+T4)＝560h＝23日。
接著，計(jì)算部30緊接預(yù)定繳納期限的計(jì)算，對(duì)預(yù)定繳納期限的準(zhǔn)確度進(jìn)行計(jì)算。此時(shí)，計(jì)算部30參照流水線信息文件44內(nèi)的流水線信息所包含的掩模制品的成品率。例如，依次繪制方式的成品率為35％，希望為3枚掩模時(shí)，3枚均一次完成的概率為35％的3次方即概率為4％。若3枚中有2枚為佳品則概率為23％。若3枚中有1枚為佳品則概率為44％。若3枚均為次品則概率為28％。實(shí)際上，在第1次的繪制中，雖然所希望的3枚掩模的其中1枚為可繳納制品的可能性高，但可知2、3枚可用的可能性低。在使用依次繪制方式及整體繪制方式的整個(gè)過(guò)程中，每枚已接受制作訂購(gòu)的掩模及每次繪制都要進(jìn)行這種預(yù)定繳納期限的準(zhǔn)確度計(jì)算。
代表用上述狀態(tài)計(jì)算出的預(yù)定繳納期限、預(yù)定價(jià)格及預(yù)定繳納期限的準(zhǔn)確度的信息，由處理方式選擇部30，通過(guò)購(gòu)買代理22向掩模購(gòu)買者傳送(步驟G4)。掩模購(gòu)買者基于傳送的計(jì)算結(jié)果，選擇是否使掩模制作進(jìn)行執(zhí)行依次繪制方式及整體繪制方式的哪一種(步驟G5)。
圖4表示的是進(jìn)行掩模制作及選擇繪制方式時(shí)，對(duì)掩模購(gòu)買者顯示的畫面。如圖4所示，在該畫面中，一同顯示了分別使用依次繪制方式及整體繪制方式時(shí)每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限(這里為所需日數(shù))及繪制次數(shù)。另外，作為代表每枚掩模的預(yù)定繳納期限的準(zhǔn)確度的信息，準(zhǔn)確度最高的繳納期限用黑體字表示。并且，將1枚掩模制品的價(jià)格與2枚以后的價(jià)格(追加單價(jià))用每枚的預(yù)定價(jià)格表示。而且，為整體繪制方式時(shí)，1枚掩模制品的價(jià)格中包括制作底版的費(fèi)用，因此，底版已經(jīng)存在的情況下，掩模制品的價(jià)格為從1枚開始的追加單價(jià)。還有，在圖4的畫面中，若選擇「詳細(xì)」，則顯示預(yù)定繳納期限的準(zhǔn)確度的更詳細(xì)信息及預(yù)定價(jià)格的總計(jì)額的內(nèi)容。
掩模購(gòu)買者對(duì)傳送的計(jì)算結(jié)果不滿意時(shí)，在圖4所示的畫面中選擇「討論其他工廠」(步驟G6)，則掩模交易不成立。而且，此時(shí)主機(jī)裝置20可以設(shè)定自動(dòng)切換從掩模制造工廠60向其他掩模制造銷售者或掩模制造工廠的連接。另外，在圖4所示的畫面中若選擇「依次繪制方式」或「整體繪制方式」，顯示在圖5所示的畫面。
如圖5所示，在該畫面中，向掩模購(gòu)買者顯示與掩模制作訂購(gòu)對(duì)應(yīng)的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的發(fā)送地址。如果在圖5所示的畫面中掩模購(gòu)買者輸入「文件名稱」，選擇「OK」(步驟G8)，則顯示如圖6所示的畫面。圖6所示的畫面為定貨確認(rèn)畫面，此處再次選擇「OK」(步驟G8)，完成正式的定貨。而且，圖5及圖6所示的畫面中若選擇「取消」，則掩模交易不成立。
主機(jī)裝置20將確認(rèn)后的掩模制作訂購(gòu)與預(yù)定繳納期限及預(yù)定價(jià)格一起存儲(chǔ)于制作訂購(gòu)文件42中。而且，制作指示部32通過(guò)銷售代理24，向掩模制造工廠60的數(shù)據(jù)管理部66傳送掩模制作訂購(gòu)。數(shù)據(jù)管理部66一接收掩模制作訂購(gòu)，就在所選擇方式的繪制處理流水線的等待隊(duì)列中追加該掩模制作訂購(gòu)信息(步驟G9)。
另外，圖1所示的實(shí)施方式中，雖然掩模交易系統(tǒng)的主機(jī)裝置20僅與1個(gè)掩模制造工廠60連接，但也有將多個(gè)掩模制造工廠并聯(lián)或串聯(lián)地主機(jī)裝置20連接的可能。還有，掩模交易系統(tǒng)的主機(jī)裝置20僅與1個(gè)掩模制造工廠60連接時(shí)，掩模制造工廠60的數(shù)據(jù)管理部66與掩模交易系統(tǒng)的主機(jī)裝置20可以一體化。
圖7為表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式相關(guān)的用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模的系統(tǒng)、掩模購(gòu)買者一側(cè)的終端與掩模制造工廠之間關(guān)系的方塊圖。在該實(shí)施方式中，主機(jī)裝置20上連接有3個(gè)掩模制造工廠60a、60b、60c。而且，主機(jī)裝置20與各掩模制造工廠60a、60b、60c之間的關(guān)系與圖1所示的構(gòu)成相同。
本實(shí)施方式中，在圖3所示的畫面中若選擇「回答要求」，代替圖4所示的畫面而出現(xiàn)圖8所示的畫面。而且，雖然在圖8所示的畫面中，作為預(yù)定價(jià)格只顯示了總和價(jià)格，但若在該畫面中選擇「詳細(xì)」，也會(huì)顯示圖4所示的畫面中顯示的1枚的價(jià)格和追加單價(jià)等的詳細(xì)信息。在圖8所示的畫面中，掩模購(gòu)買者可以選擇繳納期限及價(jià)格的任意一個(gè)為優(yōu)先項(xiàng)目。圖8顯示了選擇繳納期限作為優(yōu)先項(xiàng)目的情形。掩模購(gòu)買者根據(jù)這些顯示的信息，可以選擇與自己的條件最合適的掩模制造工廠及繪制方式。
在上述實(shí)施方式中，依次繪制方式及整體繪制方式雖然在掩模的性能上能得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但在掩模的繳納期限及價(jià)格的好否上，或根據(jù)掩模的制作枚數(shù)不同制造所需時(shí)間的快慢及/或制作所需費(fèi)用的高低上會(huì)存在正好相反的情況。但是，繪制方式以外的處理方式中，若存在與該條件適合的處理方式，本發(fā)明同樣可以適用。
另外，在本發(fā)明的精神范疇中，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以想到的各種變化及修改，這些變化及修改均屬于本發(fā)明的范圍。
如上所述，采用本發(fā)明，可以提供一種依據(jù)掩模購(gòu)買者與掩模販賣者之間密切的信息交換，實(shí)現(xiàn)更合乎掩模購(gòu)買者意愿的掩模制作訂購(gòu)的掩模交易系統(tǒng)及方法。
權(quán)利要求
1.一種用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模的系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括購(gòu)買中介部，用于通過(guò)網(wǎng)絡(luò)對(duì)掩模購(gòu)買者交換信息；制造訂購(gòu)存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包含通過(guò)上述購(gòu)買中介部輸入的掩模的規(guī)格及數(shù)量的掩模制造訂購(gòu)信息；繳納期限信息存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包括掩模制造狀態(tài)與掩模繳納期限之間關(guān)系的繳納期限信息；價(jià)格信息存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包括掩模制造狀態(tài)與掩模價(jià)格之間關(guān)系的價(jià)格信息；流水線信息存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包括在掩模制造工廠中制作掩模時(shí)，進(jìn)行雖然在掩模的功能上得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但掩模的繳納期限及價(jià)格的好否相反的多種處理方式的各個(gè)處理流水線相關(guān)的信息的流水線信息；計(jì)算部，用于響應(yīng)上述掩模制作訂購(gòu)，參照上述繳納期限信息、上述價(jià)格信息及上述流水線信息，算出使用上述多種處理方式的每個(gè)的掩模制品的預(yù)定繳納期限及預(yù)定價(jià)格；以及處理方式選擇部，用于通過(guò)上述購(gòu)買中介部，向掩模購(gòu)買者傳送上述掩模制品的預(yù)定交納期限及預(yù)定價(jià)格，使其選擇執(zhí)行上述多種處理方式的任意一種。
2.權(quán)利要求1中所述的掩模交易系統(tǒng)，其特征在于，上述多個(gè)處理方式包括具有根據(jù)掩模制作枚數(shù)制作所需時(shí)間的快慢相反情況的處理方式；上述計(jì)算部計(jì)算在分別使用上述多個(gè)處理方式時(shí)每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限；上述處理方式選擇部，通過(guò)購(gòu)買中介部向掩模購(gòu)買者傳送每枚掩模的預(yù)定繳納期限。
3.如權(quán)利要求2中所述的掩模交易系統(tǒng)，其特征在于，上述計(jì)算部計(jì)算出上述每枚掩模的預(yù)定繳納期限的準(zhǔn)確度，上述處理方式選擇部則通過(guò)購(gòu)買中介部，向掩模購(gòu)買者傳送代表每枚掩模的預(yù)定繳納期限準(zhǔn)確度的信息。
4.如權(quán)利要求1中所述的掩模交易系統(tǒng)，其特征在于，上述多個(gè)處理方式，包括具有根據(jù)掩模制作枚數(shù)的不同制作所需費(fèi)用的高低相反情況的處理方式；上述計(jì)算部計(jì)算出在分別使用上述多個(gè)處理方式情況下，每枚掩模制品的預(yù)定價(jià)格；上述處理方式選擇部，通過(guò)購(gòu)買中介部向上述掩模購(gòu)買者傳送上述每枚掩模的預(yù)定價(jià)格。
5.一種用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模的系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括購(gòu)買中介部，用于通過(guò)網(wǎng)絡(luò)對(duì)掩模購(gòu)買者交換信息；制造訂購(gòu)存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包含通過(guò)上述購(gòu)買中介部輸入的掩模的規(guī)格及數(shù)量的掩模制造訂購(gòu)信息；繳納期限信息存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包括掩模制造狀態(tài)與掩模繳納期限之間關(guān)系的繳納期限信息；流水線信息存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包括在掩模制造工廠中制作掩模時(shí)，進(jìn)行雖然在掩模的功能上得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但因?yàn)橹圃烀稊?shù)不同制造所須時(shí)間的快慢相反的多種處理方式的各個(gè)處理流水線相關(guān)的信息的流水線信息；計(jì)算部，用于響應(yīng)上述掩模制作訂購(gòu)，參照上述繳納期限信息及上述流水線信息，算出使用上述多種處理方式的每種時(shí)每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限；以及處理方式選擇部，用于通過(guò)上述購(gòu)買中介部，向上述掩模購(gòu)買者傳送上述每枚掩模制品的預(yù)定交納期限，使其選擇執(zhí)行上述多種處理方式的任意一種。
6.一種用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模的系統(tǒng)，其特征在于，該系統(tǒng)包括購(gòu)買中介部，用于通過(guò)網(wǎng)絡(luò)對(duì)掩模購(gòu)買者交換信息；制造訂購(gòu)存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包含通過(guò)上述購(gòu)買中介部輸入的掩模的規(guī)格及數(shù)量的掩模制造訂購(gòu)信息；價(jià)格信息存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包括掩模制造狀態(tài)與掩模價(jià)格之間關(guān)系的價(jià)格信息；流水線信息存儲(chǔ)部，用于存儲(chǔ)包括在掩模制造工廠中制作掩模時(shí)，進(jìn)行雖然在掩模的功能上得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但因?yàn)橹圃烀稊?shù)不同制造所須費(fèi)用的高低相反的多種處理方式的各個(gè)處理流水線相關(guān)的信息的流水線信息；計(jì)算部，響應(yīng)上述掩模制作訂購(gòu)，參照上述價(jià)格信息及上述流水線信息，算出使用上述多種處理方式的每種時(shí)每枚掩模制品的預(yù)定價(jià)格；以及處理方式選擇部，通過(guò)上述購(gòu)買中介部，向上述掩模購(gòu)買者傳送上述每枚掩模制品的預(yù)定價(jià)格，使其選擇執(zhí)行上述多種處理方式的任意一種。
7.如權(quán)利要求1～6中任意一項(xiàng)所述的掩模交易系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步設(shè)有與掩模銷售者進(jìn)行信息交換的銷售中介部，輸入上述掩模制作訂購(gòu)后，通過(guò)上述銷售中介部根據(jù)輸入的上述處理流水線相關(guān)的信息更新上述流水線信息。
8.如權(quán)利要求1～6中任意一項(xiàng)所述的掩模交易系統(tǒng)，其特征在于，上述多個(gè)處理方式包括，依次繪制掩模圖案的第1處理方式和用底版整體繪制掩模圖案的第2處理方式。
9.一種用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模，利用具有通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與掩模購(gòu)買者進(jìn)行信息交換的購(gòu)買中介部的系統(tǒng)的掩模交易方法，其特征在于，該方法包括存儲(chǔ)通過(guò)上述購(gòu)買中介部輸入的包含掩模規(guī)格及數(shù)量的掩模制作訂購(gòu)信息的步驟；存儲(chǔ)包含掩模的制作狀態(tài)與掩模繳納期限之間關(guān)系的繳納期限信息的步驟；存儲(chǔ)包含掩模的制作狀態(tài)與掩模價(jià)格之間關(guān)系的價(jià)格信息的步驟；存儲(chǔ)包含在掩模制造工廠中制作掩模時(shí)，進(jìn)行雖然在掩模的功能上得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但掩模的繳納期限及價(jià)格的好否相反的多種處理方式的各個(gè)處理流水線相關(guān)的信息的流水線信息的步驟；響應(yīng)上述掩模制作訂購(gòu)，參照上述繳納期限信息、價(jià)格信息及上述流水線信息，計(jì)算出分別使用上述多個(gè)處理方式時(shí)掩模制品的預(yù)定繳納期限以及預(yù)定價(jià)格的步驟；以及通過(guò)上述購(gòu)買中介部，向掩模購(gòu)買者傳送上述掩模制品的預(yù)定繳納期限及預(yù)定價(jià)格，使其選擇執(zhí)行上述多種處理方式的任意一種的步驟。
10.如權(quán)利要求9中所述的掩模交易方法，其特征在于，上述多個(gè)處理方式包括具有根據(jù)掩模制作枚數(shù)的不同制作所需時(shí)間的早晚相反情況的處理方式；上述掩模交易方法還包括計(jì)算出分別使用上述多個(gè)處理方式時(shí)每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限的步驟；以及通過(guò)上述購(gòu)買中介部向上述掩模購(gòu)買者傳送每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限的步驟。
11.如權(quán)利要求10中所述的掩模交易方法，其特征在于，還包括計(jì)算出上述每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限準(zhǔn)確度的步驟；以及通過(guò)上述購(gòu)買中介部向上述掩模購(gòu)買者傳送代表每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限準(zhǔn)確度的信息的步驟。
12.如權(quán)利要求9中所述的掩模交易方法，其特征在于，上述多個(gè)處理方式包括具有根據(jù)掩模制作枚數(shù)的不同制作所需費(fèi)用的高低相反情況的處理方式；上述掩模交易方法還包括計(jì)算出分別使用上述多個(gè)處理方式時(shí)每枚掩模制品的預(yù)定價(jià)格的步驟；以及通過(guò)上述購(gòu)買中介部向上述掩模購(gòu)買者傳送每枚掩模制品的預(yù)定價(jià)格的步驟。
13.一種用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模，利用設(shè)置有通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與掩模購(gòu)買者進(jìn)行信息交換的購(gòu)買中介部的系統(tǒng)進(jìn)行的掩模交易方法，其特征在于，該方法包括通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與掩模購(gòu)買者進(jìn)行信息交換的步驟；存儲(chǔ)通過(guò)上述購(gòu)買中介部輸入的包含掩模規(guī)格及數(shù)量的掩模制作訂購(gòu)信息的步驟；存儲(chǔ)包含掩模的制作狀態(tài)與掩模繳納期限之間關(guān)系的繳納期限信息的步驟；存儲(chǔ)包含在掩模制造工廠中制作掩模時(shí)，進(jìn)行存在雖然在掩模的功能上得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但因?yàn)橹圃烀稊?shù)不同制造所須時(shí)間的快慢相反的多種處理方式的各個(gè)處理流水線相關(guān)的信息的流水線信息的步驟；響應(yīng)上述掩模制作訂購(gòu)，參照上述繳納期限信息及上述流水線信息，計(jì)算出分別使用上述多個(gè)處理方式時(shí)每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限的步驟；通過(guò)上述購(gòu)買中介部，向上述掩模購(gòu)買者傳送上述每枚掩模制品的預(yù)定繳納期限，使其選擇執(zhí)行上述多種處理方式的任意一種的步驟。
14.一種用于交易制造半導(dǎo)體裝置用的光掩模，利用設(shè)置有通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與掩模購(gòu)買者進(jìn)行信息交換的購(gòu)買中介部的系統(tǒng)進(jìn)行的掩模交易方法，其特征在于，該方法包括通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與掩模購(gòu)買者進(jìn)行信息交換的步驟；存儲(chǔ)通過(guò)上述購(gòu)買中介部輸入的包含掩模規(guī)格及數(shù)量的掩模制作訂購(gòu)信息的步驟；存儲(chǔ)包含掩模的制作狀態(tài)與掩模價(jià)格之間關(guān)系的價(jià)格信息的步驟；存儲(chǔ)包含在掩模制造工廠中制作掩模時(shí)，進(jìn)行存在雖然在掩模的功能上得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但因?yàn)橹圃烀稊?shù)不同制造所須費(fèi)用的高低相反的多種處理方式的各個(gè)處理流水線相關(guān)的信息的流水線信息的步驟；響應(yīng)上述掩模制作訂購(gòu)，參照上述價(jià)格信息及流水線信息，計(jì)算出分別使用上述多個(gè)處理方式時(shí)每枚掩模制品的預(yù)定價(jià)格的步驟；以及通過(guò)上述購(gòu)買中介部，向掩模購(gòu)買者傳送上述每枚掩模制品的預(yù)定價(jià)格，使其選擇執(zhí)行上述多種處理方式的任意一種的步驟。
15.如權(quán)利要求9至14中任意一項(xiàng)所述的掩模交易方法，其特征在于，上述系統(tǒng)還設(shè)置有與掩模銷售者進(jìn)行信息交換的銷售中介部；上述掩模交易方法還包括，輸入上述掩模制作訂購(gòu)信息后，通過(guò)上述銷售中介部根據(jù)輸入的上述處理流水線相關(guān)的信息更新上述流水線信息的步驟。
16.如權(quán)利要求9至14中任意一項(xiàng)所述的掩模交易方法，其特征在于，上述多個(gè)處理方式包括依次繪制掩模圖案的第1處理方式和用底版整體繪制掩模圖案的第2處理方式。
全文摘要
本發(fā)明的掩模交易系統(tǒng)及方法，根據(jù)掩模購(gòu)買者與掩模銷售者之間密切的信息交換，可以訂購(gòu)制作更符合掩模購(gòu)買者意愿的掩模。掩模交易系統(tǒng)的主機(jī)裝置20，具有通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與購(gòu)買者進(jìn)行信息交換的購(gòu)買代理22和與銷售者進(jìn)行信息交換的銷售代理24。形成存儲(chǔ)雖然在掩模的功能上得到實(shí)質(zhì)相同的結(jié)果，但掩模的繳納期限及價(jià)格的好否相反的多種處理方式的各個(gè)處理流水線相關(guān)的信息的流水線信息的流水線信息文件48。計(jì)算部28計(jì)算出分別使用多種處理方式時(shí)掩模制品的預(yù)定繳納期限及預(yù)定價(jià)格。通過(guò)處理方式選擇部30并借助購(gòu)買代理22將計(jì)算出的結(jié)果提供給掩模購(gòu)買者。
文檔編號(hào)G06Q30/02GK1410927SQ0214275
公開日2003年4月16日 申請(qǐng)日期2002年9月20日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月21日
發(fā)明者姜帥現(xiàn), 池永修 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝