瞬間真空提供裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種瞬間真空提供裝置，其包括：至少一腔室，其與抽真空對象的腔體連通，該腔室與腔體之間還設(shè)置有啟閉單元；真空泵，其通過管路連接腔室；真空度測量部和真空度調(diào)節(jié)部，其分別設(shè)置于管路、腔室和/或腔體上；處理控制部，其電連接真空度測量部和真空度調(diào)節(jié)部，真空度測量部實(shí)時(shí)測量腔室內(nèi)的真空度并反饋到處理控制部，處理控制部將實(shí)時(shí)測量的真空度與所需要的真空度進(jìn)行對比，不符合時(shí)控制真空度調(diào)節(jié)部將腔室內(nèi)的真空度調(diào)節(jié)到所需要的真空度。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，可以在低成本和高效率的前提下為需要真空環(huán)境的腔體獲得瞬間的真空環(huán)境，同時(shí)對于真空度的控制也更為精確。
【專利說明】
瞬間真空提供裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種真空提供裝置，具體涉及一種瞬間真空提供裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在科學(xué)研究和生產(chǎn)過程中，很多研究實(shí)驗(yàn)及工藝都在真空設(shè)備中進(jìn)行。一般真空的獲得都是使用不同的真空栗或栗組，再或者使用真空發(fā)生器等實(shí)現(xiàn)，但真空栗等都是通過較細(xì)管路連接設(shè)備，在管路上加真空控制閥，這樣真空獲得較慢，且控制很難精確，容易過沖，不能滿足一些需要瞬間真空和精確控制的科研或生產(chǎn)工藝要求。還有就是加大型真空栗組實(shí)現(xiàn)，但成本太高，真空度不可控。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種可以滿足瞬間真空要求且控制更為精確的瞬間真空提供裝置。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]瞬間真空提供裝置，其包括:
[0006]至少一腔室，其與抽真空對象的腔體連通，該腔室與腔體之間還設(shè)置有啟閉單元；
[0007]真空栗，其通過管路連接腔室；
[0008]真空度測量部，其設(shè)置于管路、腔室和/或腔體上，用于測量腔室內(nèi)的真空度；
[0009]真空度調(diào)節(jié)部，其設(shè)置于管路、腔室和/或腔體上，用于調(diào)節(jié)腔室內(nèi)的真空度；
[0010]處理控制部，其電連接真空度測量部和真空度調(diào)節(jié)部，真空度測量部實(shí)時(shí)測量腔室內(nèi)的真空度并反饋到處理控制部，處理控制部將實(shí)時(shí)測量的真空度與所需要的真空度進(jìn)行對比，不符合時(shí)控制真空度調(diào)節(jié)部將腔室內(nèi)的真空度調(diào)節(jié)到所需要的真空度。
[0011]本發(fā)明提供的瞬間真空提供裝置，設(shè)置了與抽真空對象的腔體連通的腔室、通過管路連接腔室的真空栗、設(shè)置于管路、腔室和/或腔體上的真空度測量部和真空度調(diào)節(jié)部、以及處理控制部;使用時(shí)，用真空栗提前對腔室抽真空，真空度通過處理控制部、真空度測量部和真空調(diào)節(jié)單元控制調(diào)節(jié)到所需值，然后打開啟閉單元，這時(shí)腔體的氣體會(huì)快速吸入腔室達(dá)到真空度平衡，然后關(guān)閉啟閉單元，由此獲得腔體內(nèi)瞬間的真空環(huán)境，且對真空度的控制更為精確。
[0012]因此，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，可以在低成本和高效率的前提下為需要真空環(huán)境的腔體獲得瞬間的真空環(huán)境，同時(shí)對于真空度的控制也更為精確。
[0013]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以作如下改進(jìn):
[0014]作為優(yōu)選的方案，上述的啟閉單元還與處理控制部電連接，腔室內(nèi)的真空度未達(dá)到需求時(shí)，處理控制部控制打開啟閉單元，腔體內(nèi)的空氣快速進(jìn)入腔室后，真空度測量部測量腔室內(nèi)的真空度是否達(dá)到平衡，如達(dá)到則處理控制部控制關(guān)閉啟閉單元。
[0015]采用上述優(yōu)選的方案，可以配合真空度的控制使得腔體和腔室之間的真空度快速且準(zhǔn)確地得到平衡，這是由于腔體真空度更高(更好，絕對壓力更低)，腔室和腔體平衡后，目標(biāo)腔體會(huì)獲得更高的真空度。也可以反過來加氣降低真空度，這時(shí)是要另一個(gè)腔室真空度更低(更差，絕對壓力更高)。
[0016]作為優(yōu)選的方案，上述的啟閉單元為閥門。
[0017]采用上述優(yōu)選的方案，可以便于腔室和腔體之間快速的連通和斷開。
[0018]作為優(yōu)選的方案，上述的閥門為插板閥或蝶閥。
[0019]采用上述優(yōu)選的方案，可以便于對閥門進(jìn)行控制。
[0020]作為優(yōu)選的方案，上述的腔室設(shè)置于豎直的柱形體內(nèi)。
[0021]采用上述優(yōu)選的方案，可以便于氣體的流通，使得瞬間真空度的獲得更為迅速。
【附圖說明】
[0022]圖1為本發(fā)明的瞬間真空提供裝置在一些實(shí)施方式下的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2為本發(fā)明的瞬間真空提供裝置在另一些實(shí)施方式下的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖3為本發(fā)明的瞬間真空提供裝置在另一些實(shí)施方式下的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]其中，1.腔室2.腔體3.啟閉單元4.真空栗41.管路42.真空度測量部43.真空度調(diào)節(jié)部5.處理控制部。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。
[0027]為了達(dá)到本發(fā)明的目的，如圖1所示，在本發(fā)明的瞬間真空提供裝置的其中一些實(shí)施方式中，其包括:多個(gè)腔室I，其與抽真空對象的腔體2連通，該腔室I與腔體2之間還設(shè)置有啟閉單元3，該啟閉單元3具體可以為插板閥或蝶閥等閥門，也可以為蓋體，插板閥還可以具體設(shè)置為大口徑的真空插板閥；真空栗4，其通過管路41連接腔室I;真空度測量部42，其設(shè)置于管路41上，用于測量腔室I內(nèi)的真空度;真空度調(diào)節(jié)部43，其設(shè)置于管路41上，用于調(diào)節(jié)腔室I內(nèi)的真空度;處理控制部5，其電連接真空度測量部42和真空度調(diào)節(jié)部43，真空度測量部42實(shí)時(shí)測量腔室I內(nèi)的真空度并反饋到處理控制部5，處理控制部5將實(shí)時(shí)測量的真空度與所需要的真空度進(jìn)行對比，不符合時(shí)控制真空度調(diào)節(jié)部43將腔室I內(nèi)的真空度調(diào)節(jié)到所需要的真空度。
[0028]其中，腔室I還可以根據(jù)需要僅設(shè)置為一個(gè)，而為了到達(dá)更快的目的，可以設(shè)置多個(gè)腔室I，使用時(shí)同時(shí)開啟或依次開啟多個(gè)腔室I;真空度測量部42和真空度調(diào)節(jié)部43則可以采用現(xiàn)有的真空測量裝置和真空調(diào)節(jié)裝置即可;處理控制部5則采用常用的單片機(jī)即可。另外，如圖2-3所示，真空度測量部42和真空度調(diào)節(jié)部43還可以直接設(shè)置在腔室I或者腔體2上，其可以與管路41上的真空度測量部42和真空度調(diào)節(jié)部43保持三者同時(shí)存在，三者中也可以僅設(shè)置一處以單獨(dú)存在。
[0029]本實(shí)施例提供的瞬間真空提供裝置，設(shè)置了與抽真空對象的腔體連通的腔室、通過管路連接腔室的真空栗、設(shè)置于管路上的真空度測量部和真空度調(diào)節(jié)部、以及處理控制部;使用時(shí)，用真空栗提前對腔室抽真空，真空度通過處理控制部、真空度測量部和真空調(diào)節(jié)單元控制調(diào)節(jié)到所需值，然后打開啟閉單元，這時(shí)腔體的氣體會(huì)快速吸入腔室達(dá)到真空度平衡，然后關(guān)閉啟閉單元，由此獲得腔體內(nèi)瞬間的真空環(huán)境，且對真空度的控制更為精確。因此，本實(shí)施例與現(xiàn)有技術(shù)相比，可以在低成本和高效率的前提下為需要真空環(huán)境的腔體獲得瞬間的真空環(huán)境，同時(shí)對于真空度的控制也更為精確。
[0030]為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，如圖1所示，在本發(fā)明的瞬間真空提供裝置的另一些實(shí)施方式中，在上述內(nèi)容的基礎(chǔ)上，上述的啟閉單元3還與處理控制部5電連接，腔室I內(nèi)的真空度未達(dá)到需求時(shí)，處理控制部5控制打開啟閉單元3，腔體2內(nèi)的空氣快速進(jìn)入腔室I后，真空度測量部42測量腔室I內(nèi)的真空度是否達(dá)到平衡，如達(dá)到則處理控制部5控制關(guān)閉啟閉單元3。采用該實(shí)施方式的方案，可以配合真空度的控制使得腔體和腔室之間的真空度快速且準(zhǔn)確地得到平衡，這是由于腔體真空度更高(更好，絕對壓力更低)，腔室和腔體平衡后，目標(biāo)腔體會(huì)獲得更高的真空度。也可以反過來加氣降低真空度，這時(shí)是要另一個(gè)腔室真空度更低(更差，絕對壓力更高)。
[0031]為了進(jìn)一步地優(yōu)化本發(fā)明的實(shí)施效果，如圖1所示，在本發(fā)明的瞬間真空提供裝置的另一些實(shí)施方式中，在上述內(nèi)容的基礎(chǔ)上，上述的腔室I設(shè)置于豎直的柱形體內(nèi)。采用該實(shí)施方式的方案，可以便于氣體的流通，使得瞬間真空度的獲得更為迅速。
[0032]以上所述的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.瞬間真空提供裝置，其特征在于，包括: 至少一腔室，其與抽真空對象的腔體連通，所述腔室與所述腔體之間還設(shè)置有啟閉單元； 真空栗，其通過管路連接所述腔室； 真空度測量部，其設(shè)置于所述管路、所述腔室和/或所述腔體上，用于測量所述腔室內(nèi)的真空度； 真空度調(diào)節(jié)部，其設(shè)置于所述管路、所述腔室和/或所述腔體上，用于調(diào)節(jié)所述腔室內(nèi)的真空度； 處理控制部，其電連接所述真空度測量部和所述真空度調(diào)節(jié)部，所述真空度測量部實(shí)時(shí)測量所述腔室內(nèi)的真空度并反饋到所述處理控制部，所述處理控制部將實(shí)時(shí)測量的真空度與所需要的真空度進(jìn)行對比，不符合時(shí)控制所述真空度調(diào)節(jié)部將所述腔室內(nèi)的真空度調(diào)節(jié)到所需要的真空度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的瞬間真空提供裝置，其特征在于，所述啟閉單元還與所述處理控制部電連接，所述腔室內(nèi)的真空度未達(dá)到需求時(shí)，所述處理控制部控制打開所述啟閉單元，所述腔體內(nèi)的空氣快速進(jìn)入所述腔室后，所述真空度測量部測量所述腔室內(nèi)的真空度是否達(dá)到平衡，如達(dá)到則所述處理控制部控制關(guān)閉所述啟閉單元。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的瞬間真空提供裝置，其特征在于，所述啟閉單元為閥門。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的瞬間真空提供裝置，其特征在于，所述閥門為插板閥或蝶閥。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的瞬間真空提供裝置，其特征在于，所述腔室設(shè)置于豎直的柱形體內(nèi)。
【文檔編號】G05B19/042GK105892355SQ201610200863
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年3月31日
【發(fā)明人】張德龍
【申請人】威格氣體純化科技（蘇州）股份有限公司