氣路界面顯示方法和系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別是涉及一種氣路界面顯示方法和系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002] 半導(dǎo)體制造設(shè)備中，執(zhí)行工藝時(shí)，通常用到很多不同種類的工藝氣體。工藝氣 體進(jìn)入工藝腔室，在上電極的作用下形成等離子體用于進(jìn)行刻蝕、PVD(PhysicalVapor D巧osition,物理氣相沉積）、CVD(化emicalVaporD巧osition,化學(xué)氣相沉積）等工藝，因 此，氣路系統(tǒng)是工藝腔室的一個(gè)重要輔助系統(tǒng)，通常氣路系統(tǒng)包括擺閥、干泉、分子泉、氣路 管道和MFC(MassFlowController,氣體流量控制器）等裝置。通過對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備設(shè) 置特定的控制軟件，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備配備的氣體名稱、氣體流量、閥口狀態(tài)等信息的 實(shí)時(shí)顯示，不同工藝需求的半導(dǎo)體制造設(shè)備，氣體的配備不同，其區(qū)別主要包括；氣體個(gè)數(shù)、 氣體種類、是否為特性氣體等。
[0003] 目前，氣體管路界面顯示如圖1所示（W16路氣體為例），當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)備配備 的氣體種類發(fā)生變化時(shí)，如半導(dǎo)體制造設(shè)備只需配置前6路氣體時(shí)，需要手動(dòng)修改XML配置 文件，W實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備所需配備的氣體的名稱、是否存在Purge閥、是否已連接等 屬性進(jìn)行修改，并通過解析該配置文件獲取相關(guān)信息，將氣體管路信息通過界面顯示出來 (如圖2所示）。由于當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)備需要配備的氣體種類發(fā)生改變時(shí)，需要修改XML配 置文件并通過讀取該配置文件獲取相關(guān)信息，才能將氣體管路信息顯示出來，因此，耗時(shí)較 長，在時(shí)間和空間上造成了一定的浪費(fèi)；并且，當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)備需要配備的氣體種類較少 時(shí)，界面邊緣處的提示信息很難起到提示作用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 基于此，有必要針對(duì)現(xiàn)有氣路系統(tǒng)顯示半導(dǎo)體制造設(shè)備配置的氣體相關(guān)信息耗時(shí) 較長的問題，提供一種氣路界面顯示方法和系統(tǒng)。
[0005] 為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的提供的一種氣路界面顯示方法，包括如下步驟：
[0006] 步驟S100,根據(jù)上位機(jī)所能配備的氣體種類總數(shù)和下位機(jī)所需氣體種類數(shù)，計(jì)算 步長參數(shù)，并在氣路界面中第一路氣體管路的位置顯示所需氣體種類中第一種氣體的氣體 管路信息；
[0007] 步驟S200,檢測(cè)所述步長參數(shù)，當(dāng)所述步長參數(shù)大于或等于預(yù)設(shè)值時(shí)，控制所述氣 路界面中氣體管路的位置W所述步長參數(shù)為間隔，均勻顯示所述所需氣體種類中其他氣體 的所述氣體管路信息。
[0008] 其中，所述預(yù)設(shè)值的取值為2。
[0009] 其中，所述步驟S200包括如下步驟：
[0010] 步驟S210,檢測(cè)所述步長參數(shù)；
[0011] 步驟S220,當(dāng)所述步長參數(shù)大于或等于所述預(yù)設(shè)值時(shí)，控制所述氣路界面中第1 加所述步長參數(shù)路氣體管路的位置顯示所述所需氣體種類中第二種氣體的所述氣體管路 信息；
[0012] 步驟S230,將N的值增大所述步長參數(shù)，將Μ的值增大1 ;其中，N為整數(shù)，且初始 值為1與所述步長參數(shù)之和；Μ為整數(shù)，初始值為2 ;
[0013] 步驟S240,控制所述氣路界面中所述第Ν路氣體管路的位置顯示所述所需氣體種 類中第Μ種氣體的所述氣體管路信息。
[0014] 其中，所述步驟S200還包括如下步驟：
[0015] 步驟S250,檢測(cè)所述氣路界面是否顯示全部所述所需氣體種類的所述氣體管路信 息；
[0016] 步驟S260,當(dāng)所述氣路界面未顯示全部所述所需氣體種類的所述氣體管路信息 時(shí)，返回執(zhí)行所述步驟S230,直至所述氣路界面顯示全部所述所需氣體種類的所述氣體管 路信息。
[0017] 其中，所述步驟S100包括如下步驟：
[0018] 讀取所述上位機(jī)所能配備的所述氣體種類總數(shù)和所述所需氣體種類數(shù)；
[0019] 根據(jù)：
計(jì)算所述步長參數(shù)。
[0020] 其中，還包括如下步驟：
[0021] 檢測(cè)所述步長參數(shù)，當(dāng)所述步長參數(shù)小于所述預(yù)設(shè)值時(shí)，控制所述氣路界面中所 述氣體管路的位置依次顯示所述所需氣體種類中各氣體的所述氣體管路信息。
[0022] 相應(yīng)的，為實(shí)現(xiàn)上述氣路界面顯示方法，本發(fā)明還提供了一種氣路界面顯示系統(tǒng)， 包括下位機(jī)通道、計(jì)算控制模塊和檢測(cè)處理模塊，其中：
[0023] 所述下位機(jī)通道，設(shè)置在下位機(jī)工藝腔室的通道中，用于標(biāo)識(shí)工藝腔室的所需氣 體種類數(shù)；
[0024] 所述計(jì)算控制模塊，用于根據(jù)上位機(jī)所能配備的氣體種類總數(shù)和下位機(jī)所需氣體 種類數(shù)，計(jì)算步長參數(shù)，并在氣路界面中第一路氣體管路的位置顯示所需氣體種類中第一 種氣體的氣體管路信息；
[00巧]所述檢測(cè)處理模塊，用于檢測(cè)所述步長參數(shù)，當(dāng)所述步長參數(shù)大于或等于預(yù)設(shè)值 時(shí)，控制所述氣路界面中氣體管路的位置W所述步長參數(shù)為間隔，均勻顯示所述所需氣體 種類中其他氣體的所述氣體管路信息。
[0026] 其中，所述檢測(cè)處理模塊包括第一檢測(cè)單元、第一控制單元、第一設(shè)置單元和第二 控制單元，其中：
[0027] 所述第一檢測(cè)單元，用于檢測(cè)所述步長參數(shù)；
[0028] 所述第一控制單元，用于當(dāng)所述步長參數(shù)大于或等于所述預(yù)設(shè)值時(shí)，控制所述氣 路界面中第1加所述步長參數(shù)路氣體管路的位置顯示所述所需氣體種類中第二種氣體的 所述氣體管路信息；
[0029] 所述第一設(shè)置單元，用于將Ν的值增大所述步長參數(shù)，將Μ的值增大1;其中，Ν為 整數(shù)，且初始值為1與所述步長參數(shù)之和；Μ為整數(shù)，初始值為2 ;
[0030] 所述第二控制單元，用于控制所述氣路界面中所述第Ν路氣體管路的位置顯示所 述所需氣體種類中第Μ種氣體的所述氣體管路信息。
[0031] 其中，所述檢測(cè)處理模塊還包括第二檢測(cè)單元和第Η控制單元，其中：
[0032] 所述第二檢測(cè)單元，用于檢測(cè)所述氣路界面是否顯示全部所述所需氣體種類的所 述氣體管路信息；
[0033] 所述第Η控制單元，用于當(dāng)所述氣路界面未顯示全部所述所需氣體種類的所述氣 體管路信息時(shí)，返回執(zhí)行所述第一設(shè)置單元，直至所述氣路界面顯示全部所述所需氣體種 類的所述氣體管路信息。
[0034] 其中，所述計(jì)算控制模塊包括讀取單元和計(jì)算單元，其中：
[0035] 所述讀取單元，用于讀取所述上位機(jī)所能配備的所述氣體種類總數(shù)和所述所需氣 體種類數(shù)；
[0036] 所述計(jì)算單元，用于根據(jù)：
，計(jì)算所述步長參數(shù)。
[0037] 其中，還包括第二處理模塊，其中：
[0038] 所述第二處理模塊，用于當(dāng)所述步長參數(shù)小于所述預(yù)設(shè)值時(shí)，控制所述氣路界面 中所述氣體管路的位置依次顯示所述所需氣體種類中各氣體的所述氣體管路信息。
[0039] 本發(fā)明提供的氣路界面顯示方法和系統(tǒng)，通過在下位機(jī)工藝腔室的通道中增加下 位機(jī)通道，讀取下位機(jī)通道標(biāo)識(shí)的所需氣體種類數(shù)，并根據(jù)上位機(jī)所能配備的氣體種類總 數(shù)和下位機(jī)所需氣體種類數(shù)，計(jì)算步長參數(shù)。并在氣路界面中第一路氣體管路的位置顯示 所需氣體種類中第一種氣體的氣體管路信息。當(dāng)步長參數(shù)大于或等于預(yù)設(shè)值時(shí)，控制氣路 界面中氣體管路的位置W步長參數(shù)為間隔，均勻顯示所需氣體種類中其他氣體的氣體管路 信息。其通過在下位機(jī)工藝腔室的通道增加下位機(jī)通道，并由讀取下位機(jī)通道標(biāo)識(shí)的所需 氣體種類數(shù)，代替讀取XML配置文件的過程，有效減少了上位機(jī)存儲(chǔ)XML配置文件的空間和 讀取XML配置文件的時(shí)間的浪費(fèi)，同時(shí)根據(jù)所需氣體種類數(shù)，控制氣路界面中的氣體管路 自動(dòng)均勻排布，有效解決了現(xiàn)有的氣路界面邊緣處的提示信息不能很好地起到提示作用的 問題。
【附圖說明】
[0040] 圖1為現(xiàn)有的16路氣路界面顯示示意圖；
[0041] 圖2為現(xiàn)有的6路氣路界面顯示示意圖；
[0042] 圖3為氣路界面顯示方法一具體實(shí)施例流程圖；
[0043] 圖4為氣路界面顯示方法另一具體實(shí)施例流程圖；
[0044] 圖5為采用氣路界面顯示方法另一具體實(shí)施例后的