智能操作裝置資源分配系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明針對(duì)用于同時(shí)測(cè)試多個(gè)半導(dǎo)體元件(諸如，集成電路)的系統(tǒng)和方法。
【背景技術(shù)】
[0002]自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)通常用于測(cè)試制造的半導(dǎo)體元件，諸如，集成電路等。該測(cè)試系統(tǒng)通常包括與操作裝置耦接的測(cè)試器。操作裝置是一種放置工具，其將測(cè)試器件(DUT)(諸如，集成電路)放置在操作裝置內(nèi)的測(cè)試站。測(cè)試器發(fā)送指令到操作裝置，諸如，分倉(cāng)揀選信息、開(kāi)始/停止信號(hào)等，以用于進(jìn)行DUT的測(cè)試。測(cè)試器也耦接到DUT以檢測(cè)并存儲(chǔ)測(cè)試的結(jié)果，以報(bào)告給操作人員。
[0003]工業(yè)系統(tǒng)將一個(gè)測(cè)試器連接到一個(gè)操作裝置。通常操作裝置可以利用操作裝置內(nèi)的八到三十二個(gè)測(cè)試站同時(shí)測(cè)試集成電路。然而，測(cè)試器更常常限于一個(gè)到八個(gè)測(cè)試通道。對(duì)于高引腳數(shù)器件，測(cè)試器的容量常常進(jìn)一步降低到兩個(gè)或四個(gè)通道，或者，甚至可能限制到單個(gè)通道。測(cè)試器的這樣的限制導(dǎo)致浪費(fèi)了操作裝置容量的至少50-75%。
[0004]操作裝置是昂貴的，每一個(gè)成本為數(shù)十萬(wàn)美元，并且當(dāng)前在上述的條件下增加吞吐量要求增加操作裝置的數(shù)目。因此，期望提供更有效以及更成本有效的增加自動(dòng)電路測(cè)試的方式同時(shí)以最少的修改利用現(xiàn)有的測(cè)試技術(shù)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]根據(jù)本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施例，提供了一種用于同時(shí)測(cè)試多個(gè)半導(dǎo)體元件的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括:多個(gè)測(cè)試器，每一個(gè)包括處理器和存儲(chǔ)器、測(cè)試器側(cè)接駁板、以及測(cè)試器通信端口，所述處理器和存儲(chǔ)器被配置來(lái)存儲(chǔ)以及執(zhí)行用于完成測(cè)試所述多個(gè)半導(dǎo)體元件中的一個(gè)半導(dǎo)體元件的控制信號(hào)；操作裝置，其具有多個(gè)測(cè)試站、操作裝置側(cè)接駁板、以及操作裝置通信端口，每一個(gè)測(cè)試站被配置來(lái)接收所述多個(gè)半導(dǎo)體元件中的一個(gè)；以及控制器，其位于所述多個(gè)測(cè)試器以及所述操作裝置外部，并且通過(guò)所述測(cè)試器以及操作裝置通信端口與所述操作裝置和所述多個(gè)測(cè)試器中的每一個(gè)通信，其中所述操作裝置和所述多個(gè)測(cè)試器中的每一個(gè)之間的通信通過(guò)所述控制器進(jìn)行，并且所述多個(gè)測(cè)試器中的每一個(gè)經(jīng)由所述測(cè)試器側(cè)接駁板，通過(guò)操作裝置側(cè)接駁板，連接到所述多個(gè)半導(dǎo)體元件中的相應(yīng)一個(gè)。
[0006]根據(jù)本公開(kāi)的另一個(gè)實(shí)施例，提供了一種用于同時(shí)測(cè)試多個(gè)半導(dǎo)體元件的方法，所述方法包括:將多個(gè)測(cè)試器以及操作裝置連接到外部控制器，每一個(gè)所述測(cè)試器包括處理器和存儲(chǔ)器，被配置來(lái)存儲(chǔ)和執(zhí)行用于完成所述多個(gè)半導(dǎo)體元件中的一個(gè)的測(cè)試的控制信號(hào)，所述操作裝置具有多個(gè)測(cè)試站，每一個(gè)測(cè)試站被配置來(lái)接收所述多個(gè)半導(dǎo)體元件中的一個(gè)；輸入所述多個(gè)半導(dǎo)體元件到所述操作裝置，所述半導(dǎo)體元件中的每一個(gè)被分配到單個(gè)測(cè)試器；經(jīng)由所述控制器從所述多個(gè)測(cè)試器發(fā)送控制信號(hào)到所述操作裝置，以進(jìn)行相應(yīng)的半導(dǎo)體元件的測(cè)試；以及在相應(yīng)分配的測(cè)試器完成測(cè)試之后，從所述操作裝置輸出每一個(gè)所述多個(gè)半導(dǎo)體元件。
【附圖說(shuō)明】
[0007]通過(guò)示例的方式示出本發(fā)明，并且本發(fā)明不受附圖中示出的其實(shí)施例的限制，在附圖中，相同的附圖標(biāo)記表示類似的元件。圖中的元件出于簡(jiǎn)化和清楚的目的而示出，并且并不必然按比例繪制。顯然，某些垂直尺寸已經(jīng)被相對(duì)于某些水平尺寸放大。
[0008]在附圖中:
[0009]圖1是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于同時(shí)測(cè)試多個(gè)集成電路的系統(tǒng)的示意性框圖；以及
[0010]圖2是用于操作圖1的系統(tǒng)的用戶界面的實(shí)施例的屏幕截圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]參考附圖，其中在若干附圖中使用相同的附圖標(biāo)記來(lái)指定相同的元件，圖1中示出用于同時(shí)測(cè)試多個(gè)半導(dǎo)體元件(諸如，集成電路)(未示出)的系統(tǒng)10。優(yōu)選地，所述測(cè)試包括通過(guò)以不同信號(hào)電平連接或者探測(cè)集成電路的觸點(diǎn)執(zhí)行的若干電測(cè)試，并且可以包括在不同類型的環(huán)境(包括，低/高溫度、低/高壓力、或低/高濕度等)下的測(cè)試。在系統(tǒng)10內(nèi)也可以執(zhí)行其它測(cè)試,諸如,機(jī)械測(cè)試等?！巴瑫r(shí)地”,其僅僅意指集成電路的測(cè)試與一個(gè)或多個(gè)其它集成電路的測(cè)試交迭。不需要全部集成電路的測(cè)試都同時(shí)開(kāi)始和結(jié)束，但是如果期望的話，也可以如此。
[0012]系統(tǒng)10包括操作裝置12，其具有多個(gè)位于其中的測(cè)試站14，每一個(gè)測(cè)試站被配置來(lái)接收多個(gè)集成電路中的一個(gè)。測(cè)試站14可以包括單獨(dú)的被環(huán)境控制的腔室，以用于變化的溫度、壓力、或濕度等，但是這不是必須的。代替地，測(cè)試站14可以全部經(jīng)受相同的環(huán)境條件，并且各測(cè)試站14不需要形成為分立的單獨(dú)腔室。測(cè)試站14僅需要包括用于容納集成電路的區(qū)域以及進(jìn)行期望的測(cè)試所須的任何插槽或探針等。
[0013]操作裝置12還優(yōu)選包括機(jī)器人設(shè)備(未示出)，諸如，拾取及放置機(jī)器、傳送裝置、或機(jī)器臂等，以用于移動(dòng)集成電路到不同測(cè)試站14和從測(cè)試站移出集成電路。然而，也構(gòu)思用戶可以手動(dòng)放置集成電路到操作裝置12的相應(yīng)的測(cè)試站14中。在一優(yōu)選實(shí)施例中，用戶輸入集成電路到操作裝置12，其自動(dòng)地分配集成電路到測(cè)試站14以用于測(cè)試，以及在完成時(shí)，根據(jù)測(cè)試結(jié)果，將集成電路自動(dòng)地從操作裝置12輸出(S卩，集成電路被分倉(cāng)以用于封裝或丟棄)。
[0014]優(yōu)選地，操作裝置12可以是可商業(yè)獲得的高并行性類型，諸如，可以從DeltaDesign獲得的CASTLE (多至x9并行性)或MATRIX (矩陣)(多至x32并行性)。
[0015]系統(tǒng)10還包括多個(gè)測(cè)試器16，其每一個(gè)至少包括CPU或處理器18以及存儲(chǔ)器20，被配置來(lái)存儲(chǔ)以及與處理器18 —起執(zhí)行用于完成集成電路中的一個(gè)集成電路的測(cè)試的控制信號(hào)。這樣的控制信號(hào)可以包括分倉(cāng)(揀選)指令、測(cè)試參數(shù)、或開(kāi)始/停止信號(hào)等。每一個(gè)測(cè)試器16可以還包括顯示器以及輸入裝置(未示出)，用于由用戶操作測(cè)試器16。然而，如下面將更詳細(xì)地描述的，系統(tǒng)10可以將測(cè)試器16的控制集中化，從而使得顯示和輸入裝置可以不是對(duì)于每一個(gè)單獨(dú)的測(cè)試器16都必須的。
[0016]優(yōu)選地，測(cè)試器16基本上彼此類似的或一致，以易于使用以及使通信和報(bào)告簡(jiǎn)單化。然而，根據(jù)本發(fā)明也可以使用不同的測(cè)試器16。
[0017]系統(tǒng)10還包括控制器22，其位于測(cè)試器16和操作裝置12的外部?？刂破?2可以是例如，服務(wù)器或獨(dú)立計(jì)算機(jī)等?？刂破?2經(jīng)由例如，相應(yīng)的測(cè)試器通信端口 24和操作裝置通信端口 26，與操作裝置12和所述多個(gè)測(cè)試器16中的每一個(gè)通信。測(cè)試器通信端口和操作裝置通信端口 24、26可以是有線的和/或無(wú)線的端口，但是優(yōu)選測(cè)試器通信端口和操作裝置通信端口 24、26被配置用于線纜連接到控制器22，優(yōu)選地，通過(guò)通用接口連接總線(GPIB)(即，IEEE-488規(guī)范)和適當(dāng)?shù)木€纜28。然而，對(duì)于控制器22、測(cè)試器16和操作裝置12之間的通信，可以指定如已知的其它線纜類型和/或協(xié)議。
[0018]因此，每一個(gè)測(cè)試器16和操作裝置12之間的通信通過(guò)控制器22進(jìn)行。也就是說(shuō)，來(lái)自測(cè)試器16的用于執(zhí)行集成電路的測(cè)試的控制信號(hào)通過(guò)控制器22集中(funnel)以用于分配到操作裝置12。如果必要，將控制器22配置為將來(lái)自測(cè)試器16的控制信號(hào)格式化或以另外的方式轉(zhuǎn)換為適當(dāng)格式以用于發(fā)送到操作裝置12。以這樣的方式，測(cè)試器16不必利用與操作裝置12相同的語(yǔ)言和/或協(xié)議發(fā)布控制信號(hào)?？刂破?2還可以轉(zhuǎn)發(fā)附加的信息，連同控制信號(hào)，到操作裝置12，諸如，發(fā)布的測(cè)試器16的標(biāo)識(shí)、可對(duì)其應(yīng)用控制信號(hào)的集成電路的標(biāo)識(shí)、以及進(jìn)行適當(dāng)?shù)臏y(cè)試程序所需的信息等。
[0019]類似地，可以通過(guò)操作裝置12提供反饋信號(hào)到控制器22，控制器22路由反饋信號(hào)，并優(yōu)選地，格式化或以另外的方式轉(zhuǎn)換反饋信號(hào)以用于發(fā)送到適當(dāng)?shù)臏y(cè)試器16。反饋信號(hào)可以包括，例如，測(cè)試站14信息、開(kāi)始/停止指示、環(huán)境條件等。
[0020]優(yōu)選地，控制器22包括，或耦接到，顯示器(未示出)和用戶輸入(未示出)，其可以是與集成有顯示器或鍵盤等的觸摸屏等。這允許用戶從單個(gè)位置，而不是在每一個(gè)單獨(dú)的測(cè)試器16處，監(jiān)視和控制集成電路的測(cè)試。例如，對(duì)于這目的，可以采用諸如圖2中示出的用戶界面。在圖2中示出的屏幕截圖100中，用戶可以從控制器22設(shè)置操作裝置12的類型和標(biāo)識(shí)，測(cè)試器