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一種MOCVD設(shè)備遠程監(jiān)控系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12533997閱讀:367來源:國知局

本實用新型涉及MOCVD設(shè)備遠程監(jiān)控的技術(shù)領(lǐng)域,尤其是指一種MOCVD設(shè)備遠程監(jiān)控系統(tǒng)。



背景技術(shù):

由于之前中國地方政府對MOCVD設(shè)備采購提供了較高補貼,中國外延芯片制造商采購了較多的MOCVD設(shè)備,很多廠家具有多臺MOCVD。由于產(chǎn)能、訂單需求、設(shè)備維護、場地分配等原因,很多MOCVD設(shè)備分開獨立運行和監(jiān)控。還有部分設(shè)備停機待命,但其中共用的資源管路,例如氫氣,水管路等仍然處于工作狀態(tài),但設(shè)備無人看護。這可能會出現(xiàn)各種問題,如水、氣壓不足、危險氣體泄漏、溫度異常等問題。為了保證這些設(shè)備區(qū)域的安全,MOCVD設(shè)備的正常工作,需要工作人員時時刻刻對設(shè)備的運行及周邊情況進行觀察,工作人員的勞動強度大,易疲勞,易出現(xiàn)錯漏。

遠程監(jiān)控技術(shù)已經(jīng)日趨成熟,設(shè)備成本較低,維護容易。現(xiàn)場工控設(shè)備可以進行互聯(lián)網(wǎng)連接實現(xiàn)多種設(shè)備之間的互鎖和監(jiān)控。許多企業(yè)都要求實現(xiàn)設(shè)備的遠程監(jiān)控功能,以便于設(shè)備的管理和數(shù)據(jù)的采集分析。

MOCVD設(shè)備使用的原料很多都是有毒有害物質(zhì)或易燃易爆氣體,例如氨氣、氫氣等。發(fā)生上述氣體泄漏情況時,人員不宜直接進入現(xiàn)場處理,需要穿戴防腐裝備才能進入,延誤處理時間,容易造成損失擴大。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足與缺點,提供一種安全可靠的MOCVD設(shè)備遠程監(jiān)控系統(tǒng),能實現(xiàn)對MOCVD設(shè)備的遠程實時監(jiān)控。

為實現(xiàn)上述目的,本實用新型所提供的技術(shù)方案為:一種MOCVD設(shè)備遠程監(jiān)控系統(tǒng),主要由現(xiàn)場設(shè)備、環(huán)境檢測系統(tǒng)、集中監(jiān)控系統(tǒng)三者組成;所述現(xiàn)場設(shè)備和環(huán)境檢測系統(tǒng)分別與集中控制系統(tǒng)通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)連接,能夠通過互聯(lián)網(wǎng)遠程訪問集中監(jiān)控系統(tǒng);所述現(xiàn)場設(shè)備主要由現(xiàn)場側(cè)PLC、現(xiàn)場工控機以及網(wǎng)絡(luò)交換機組成,所述現(xiàn)場側(cè)PLC裝有通信模塊,其與現(xiàn)場工控機通過網(wǎng)線連接到網(wǎng)絡(luò)交換機;所述環(huán)境檢測系統(tǒng)主要由PLC、平板電腦、路由器、門禁、監(jiān)控攝像頭、溫度探頭、可燃氣體檢測器、氨氣檢測器、復(fù)合式火災(zāi)探測器、漏水探測器組成,所述PLC、平板電腦、路由器裝在同一箱體中,所述PLC上裝有通信模塊,其與平板電腦通過網(wǎng)線連接到路由器,所述PLC通過屏蔽電纜分別與溫度探頭、可燃氣體檢測器、氨氣檢測器、復(fù)合式火災(zāi)探測器、漏水探測器連接,所述平板電腦通過網(wǎng)線分別連接門禁及監(jiān)控攝像頭;所述集中控制系統(tǒng)主要由工控電腦、無線裝置以及交換機組成,所述交換機通過網(wǎng)線分別與工控電腦、無線裝置連接,并且連接到互聯(lián)網(wǎng),能夠通過互聯(lián)網(wǎng)與遠程電腦或手機通信,所述無線裝置配有SIM卡;所述網(wǎng)絡(luò)交換機、路由器、交換機三者通過網(wǎng)線互聯(lián),實現(xiàn)相互間的數(shù)據(jù)信號傳輸。

所述現(xiàn)場設(shè)備的現(xiàn)場側(cè)PLC型號為CJ1G-CPU44H歐姆龍,其通信模塊型號為CJ1W-ETN21。

所述環(huán)境檢測系統(tǒng)的PLC型號為CP1H-XA40DT-D歐姆龍,其通信模塊型號為CP1W-CIF41。

本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有如下優(yōu)點與有益效果:

1、保證了集中控制室對現(xiàn)場設(shè)備運行狀況和環(huán)境狀況進行安全、可靠、準確無誤的監(jiān)控,從而實現(xiàn)綜合自動化,建立網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)庫,實現(xiàn)遠程監(jiān)控功能,并且具有通信速率高、抗干擾能力強、擴展方便、通信費用低,多終端互聯(lián)監(jiān)控等優(yōu)點。

2、本實用新型的遠程監(jiān)控系統(tǒng)還具有火災(zāi)、水浸、超溫、氣體泄漏檢測等報警功能,并有門禁和遠程監(jiān)控錄像等視頻功能,能夠及時處理突發(fā)情況,極大地降低生產(chǎn)事故率,提高設(shè)備安全系數(shù),便于數(shù)據(jù)采集和報警故障分析。

附圖說明

圖1為本實用新型的MOCVD設(shè)備遠程監(jiān)控系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示,本實施例所述的MOCVD設(shè)備遠程監(jiān)控系統(tǒng),主要由現(xiàn)場設(shè)備、環(huán)境檢測系統(tǒng)、集中監(jiān)控系統(tǒng)三者組成;所述現(xiàn)場設(shè)備和環(huán)境檢測系統(tǒng)分別與集中控制系統(tǒng)通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)連接,能夠通過互聯(lián)網(wǎng)遠程訪問集中監(jiān)控系統(tǒng);所述現(xiàn)場設(shè)備主要由現(xiàn)場側(cè)PLC4、現(xiàn)場工控機3以及網(wǎng)絡(luò)交換機2組成,所述現(xiàn)場側(cè)PLC4型號為CJ1G-CPU44H歐姆龍,裝有CJ1W-ETN21通信模塊,其與現(xiàn)場工控機3通過網(wǎng)線連接到網(wǎng)絡(luò)交換機2;所述環(huán)境檢測系統(tǒng)主要由PLC11、平板電腦12、路由器10、門禁13、監(jiān)控攝像頭14、溫度探頭5、可燃氣體檢測器6、氨氣檢測器7、復(fù)合式火災(zāi)探測器8、漏水探測器9組成,所述PLC11、平板電腦12、路由器10裝在同一箱體中,所述PLC11型號為CP1H-XA40DT-D歐姆龍,裝有CP1W-CIF41通信模塊,其與平板電腦12通過網(wǎng)線連接到路由器10,所述PLC11通過屏蔽電纜分別與溫度探頭5、可燃氣體檢測器6、氨氣檢測器7、復(fù)合式火災(zāi)探測器8、漏水探測器9連接,所述平板電腦12通過網(wǎng)線分別連接門禁13及監(jiān)控攝像頭14;所述集中控制系統(tǒng)主要由工控電腦17、無線裝置15以及交換機16組成,所述交換機16通過網(wǎng)線分別與工控電腦17、無線裝置15連接,并且連接到互聯(lián)網(wǎng)18,能夠通過互聯(lián)網(wǎng)18與遠程電腦19或手機1通信,所述無線裝置配有SIM卡,可以給預(yù)設(shè)的手機號碼發(fā)送信息和接受預(yù)設(shè)指令以及4G聯(lián)網(wǎng);所述網(wǎng)絡(luò)交換機2、路由器10、交換機16三者也通過網(wǎng)線互聯(lián);上述設(shè)備都設(shè)置在同一IP地址段,能夠?qū)崿F(xiàn)相互間的數(shù)據(jù)信號傳輸,相互監(jiān)控。

MOCVD的控制系統(tǒng)比較復(fù)雜,很多精密電子元件參與控制?,F(xiàn)場溫度過高會對電子元件造成損害,當(dāng)溫度探頭5檢測到超溫,PLC11將發(fā)出停機信號給現(xiàn)場側(cè)PLC4,平板電腦12將報警信息記錄并發(fā)送到指定設(shè)備。當(dāng)發(fā)生氣體泄漏或檢測到火災(zāi)煙霧等情況時,可燃氣體檢測器6、氨氣檢測器7、復(fù)合式火災(zāi)探測器8等傳感器將檢測到的信號發(fā)給PLC11進行判斷,PLC11將發(fā)出停機信號給現(xiàn)場設(shè)備立即停機,監(jiān)控攝像頭14攝像記錄,平板電腦12將信息發(fā)送到遠程電腦19和手機1上,進行緊急情況相關(guān)處理。當(dāng)發(fā)生暴雨水浸或設(shè)備用水管道破裂時,漏水探測器9將檢測到的信號反饋給PLC11,也會對MOCVD設(shè)備及時的進行停機操作,并發(fā)送給遠程端,通知維護人員及時進行維修處理。通過門禁13和監(jiān)控攝像頭14可以有效記錄操作人員的考勤情況,防止設(shè)備應(yīng)無人查看而發(fā)生事故,并能增強設(shè)備及周邊防盜能力。發(fā)生異常時遠程電腦19和手機1可以立刻得到信息。本實用新型的遠程監(jiān)控系統(tǒng)還能夠提供給MOCVD制造商的技術(shù)人員進行遠程維護和故障排除,隨時提供技術(shù)支持,以便于生產(chǎn)效率的良好保證和減少設(shè)備故障時間和機率。此外,本實用新型的遠程監(jiān)控系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)多人同時監(jiān)控,減少操作失誤和故障損失。各種突發(fā)狀況和運行參數(shù)被記錄于工控電腦17和遠程電腦19中,以便于日后分析處理,實現(xiàn)大數(shù)據(jù)的采集。

以上所述之實施例子只為本實用新型之較佳實施例,并非以此限制本實用新型的實施范圍,故凡依本實用新型之形狀、原理所作的變化,均應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍內(nèi)。

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