技術總結
將半導體工具維護操作集成到移動設備上，以使技術人員能夠更精確地執(zhí)行半導體工具維護，并使得能夠更準確地分析數(shù)據(jù)，從而改進維護程序以更具可重復性、一致性和高效性。經(jīng)由便攜式電子設備遠程控制半導體工具的維護操作減少了檢修半導體工具所需的時間，從而提高了生產(chǎn)量。

技術研發(fā)人員：羅杰·帕特里克;黃鐘河;西蒙·戈瑟蘭;文森特·王;羅納德·拉姆納林;尼爾·K·牛頓;穆克什·沙哈;克爾溫·霍弗斯特恩;鮑勃·阿倫斯;馬爾科·莫拉
受保護的技術使用者：朗姆研究公司
文檔號碼：201580054950
技術研發(fā)日：2015.10.06
技術公布日：2017.05.31