1.一種用于進(jìn)行半導(dǎo)體工具維護(hù)的方法，所述方法包括：
將便攜式電子設(shè)備拴連到半導(dǎo)體處理工具，由此所述便攜式電子設(shè)備連接到所述半導(dǎo)體工具，使得能夠在所述半導(dǎo)體工具和所述便攜式電子設(shè)備之間傳輸數(shù)據(jù)；
經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述半導(dǎo)體處理工具提供用于所述半導(dǎo)體處理工具的維護(hù)的指令；以及
在所述半導(dǎo)體處理工具上實(shí)現(xiàn)所述維護(hù)指令。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述便攜式電子設(shè)備是平板電腦。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述拴連是經(jīng)由無線連接的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述拴連是經(jīng)由硬連線連接的。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，用于維護(hù)的所述指令包括控制所述半導(dǎo)體工具的功能的指令，所述功能選自：加壓半導(dǎo)體處理室、關(guān)閉前體流、加電或斷電設(shè)備、以及打開室門。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其還包括所述半導(dǎo)體工具向所述便攜式電子設(shè)備發(fā)送遙測數(shù)據(jù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述遙測數(shù)據(jù)涉及所述半導(dǎo)體工具的性能或維護(hù)操作的進(jìn)展。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述遙測通過被顯示或通過被可聽地傳送而經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備被輸出。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其還包括將所述遙測數(shù)據(jù)經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備傳送到另一電子設(shè)備。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述便攜式電子設(shè)備包括用于半導(dǎo)體工具選擇和控制的用戶界面。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述遙測數(shù)據(jù)包括關(guān)于花費(fèi)在半導(dǎo)體工具維護(hù)任務(wù)的時(shí)間的數(shù)據(jù)以及關(guān)于延遲和問題的信息。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述提供和實(shí)現(xiàn)包括：
(a)經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具上的維護(hù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作，其中所述維護(hù)包括至少第一任務(wù)和第二任務(wù)；
(b)利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費(fèi)在所述維護(hù)上的時(shí)間，其中花費(fèi)在所述維護(hù)上的所述時(shí)間包括至少花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的時(shí)間和花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的時(shí)間；
(c)利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(d)響應(yīng)于(c)經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(e)響應(yīng)于(c)并利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間；
(f)利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(g)響應(yīng)于(f)經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(h)響應(yīng)于(f)并利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間；以及
(i)將花費(fèi)在所述半導(dǎo)體工具的所述維護(hù)上的所述時(shí)間、花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間以及花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間從所述便攜式電子設(shè)備輸出到相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。
13.一種用于半導(dǎo)體工具維護(hù)的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：
半導(dǎo)體工具；和
拴連到所述半導(dǎo)體處理工具的便攜式電子設(shè)備，由此所述便攜式電子設(shè)備通信地耦合到所述半導(dǎo)體工具，使得能夠在所述半導(dǎo)體工具和所述便攜式電子設(shè)備之間傳輸數(shù)據(jù)，所述便攜式電子設(shè)備包括顯示器、用戶輸入界面、和通信地耦合到所述顯示器和所述用戶輸入界面的處理器，所述處理器被配置為操作所述便攜式電子設(shè)備，以用于經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述半導(dǎo)體處理工具提供用于所述半導(dǎo)體處理工具的維護(hù)的指令，以在所述半導(dǎo)體處理工具上實(shí)現(xiàn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其還包括與相關(guān)聯(lián)的所述便攜式電子設(shè)備通信地耦合的服務(wù)器設(shè)備。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述便攜式電子設(shè)備是平板電腦。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述拴連是經(jīng)由無線連接的。
17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中，用于維護(hù)的所述指令包括控制所述半導(dǎo)體工具的功能的指令，所述功能選自：加壓半導(dǎo)體處理室、關(guān)閉前體流、加電或斷電設(shè)備、以及打開室門。
18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其還包括向所述便攜式電子設(shè)備發(fā)送遙測數(shù)據(jù)的所述半導(dǎo)體工具。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中所述便攜式電子設(shè)備包括用于半導(dǎo)體工具選擇和控制的用戶界面。
20.根據(jù)權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中所述提供和實(shí)現(xiàn)包括：
(a)經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備確定用戶正在執(zhí)行與半導(dǎo)體工具上的維護(hù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作，其中所述維護(hù)包括至少第一任務(wù)和第二任務(wù)；
(b)利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費(fèi)在所述維護(hù)上的時(shí)間，其中花費(fèi)在所述維護(hù)上的所述時(shí)間包括至少花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的時(shí)間和花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的時(shí)間；
(c)利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(d)響應(yīng)于(c)經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第一任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(e)響應(yīng)于(c)并利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間；
(f)利用所述便攜式電子設(shè)備確定所述用戶正在執(zhí)行與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的至少一個(gè)動(dòng)作；
(g)響應(yīng)于(f)經(jīng)由所述便攜式電子設(shè)備向所述用戶提供與所述第二任務(wù)相關(guān)聯(lián)的指令；
(h)響應(yīng)于(f)并利用所述便攜式電子設(shè)備跟蹤花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間；以及
(i)將花費(fèi)在所述半導(dǎo)體工具的所述維護(hù)上的所述時(shí)間、花費(fèi)在所述第一任務(wù)上的所述時(shí)間以及花費(fèi)在所述第二任務(wù)上的所述時(shí)間從所述便攜式電子設(shè)備輸出到相關(guān)聯(lián)的計(jì)算設(shè)備。