本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種派工系統(tǒng)和派工方法。

背景技術(shù)：

在一個(gè)大型半導(dǎo)體制造代工廠中，常常需要同時(shí)生產(chǎn)種類繁多，數(shù)量不一的芯片，而且由于不同芯片的加工制程工藝不同、加工的時(shí)間周期不同，而且交貨日期也各不相同。因此，對(duì)于大型半導(dǎo)體制造代工廠，廣泛使用制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacture Execution System,MES)，安排生產(chǎn)線中各設(shè)備進(jìn)行運(yùn)行生產(chǎn)。

而半導(dǎo)體制造系統(tǒng)由于重入性和超高要求的質(zhì)量控制大大的增加了其不確定性，使得必須投入更多的在制品來(lái)保持高價(jià)值的制造設(shè)備的高利用率。在追求更高利用率(工廠產(chǎn)出)的時(shí)候會(huì)導(dǎo)致更多的在制品量，與之對(duì)應(yīng)的是更長(zhǎng)的生產(chǎn)周期和更大的成本。因此，幾乎所有的公司都通過(guò)派工系統(tǒng)來(lái)降低生產(chǎn)線變動(dòng)，降低在制品數(shù)量，降低生產(chǎn)周期。

但是，現(xiàn)有技術(shù)中的派工系統(tǒng)和派工方法存在在制品數(shù)量過(guò)大、生產(chǎn)周期過(guò)長(zhǎng)的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明解決的問(wèn)題是提供一種派工系統(tǒng)和派工方法，降低生產(chǎn)線中的在制品數(shù)量，縮短平均生產(chǎn)周期。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種派工系統(tǒng)，用于對(duì)半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行派工，所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)包括設(shè)備組，設(shè)備組中的設(shè)備用于對(duì)在制品執(zhí)行相應(yīng)的工藝步驟，以獲得產(chǎn)品，包括：

獲取模塊，用于根據(jù)設(shè)定的開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得限定時(shí)間；還用于獲取產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及產(chǎn)品的下線計(jì)劃表；所述獲取模塊還用于獲取與產(chǎn)品名稱和工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備工藝能力限制以及設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)以及制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)；

配置模塊，用于獲取工藝流程數(shù)據(jù)以及設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)；還與獲取模塊相連，用于根據(jù)所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)、所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表以及所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、工藝流程數(shù)據(jù)，獲得限定時(shí)間內(nèi)與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求包括與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組移動(dòng)需求量，并在所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求和所述設(shè)備工藝能力限制的限制下，根據(jù)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置；所述配置模塊還用于根據(jù)所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)和所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)；

輸出模塊，與所述配置模塊相連，用于根據(jù)所述設(shè)備落后系數(shù)，獲得與在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派；還用于將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品按在制品落后系數(shù)的大小排序，并輸出設(shè)備相對(duì)應(yīng)的派工單。

可選的，所述派工系統(tǒng)還包括：第一存儲(chǔ)模塊，與所述獲取模塊相連，用于存儲(chǔ)產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、下線計(jì)劃表、設(shè)備歷史數(shù)據(jù)以及設(shè)備工藝能力限制；所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)包括與產(chǎn)品名稱和工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)出速率和產(chǎn)出記錄；第二存儲(chǔ)模塊，與所述配置模塊相連，用于存儲(chǔ)工藝流程數(shù)據(jù)以及設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)。

可選的，所述獲取模塊包括：時(shí)間單元，用于根據(jù)設(shè)定的開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得限定時(shí)間；標(biāo)準(zhǔn)單元，與所述第一存儲(chǔ)模塊相連，用于獲取產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及產(chǎn)品的下線計(jì)劃表；設(shè)備單元，與所述第一存儲(chǔ)模塊相連，用于獲取與產(chǎn)品名稱和工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備工藝能力限制以及設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)；所述設(shè)備單元還與制造執(zhí)行系統(tǒng)相連，用于獲取制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。

可選的，所述開(kāi)始時(shí)間和所述結(jié)束時(shí)間以日為單位。

可選的，所述配置模塊包括：需求單元，與所述獲取模塊和所述第二存儲(chǔ)模塊相連，用于根據(jù)所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)、所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表以及所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、工藝流程數(shù)據(jù)，獲得與產(chǎn)品名 稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求包括與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組移動(dòng)需求量；配置單元，與所述獲取模塊、所述第二存儲(chǔ)模塊以及所述需求單元相連，在所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求和所述設(shè)備工藝能力限制的限制下，根據(jù)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)和設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置；落后單元，與所述獲取模塊和所述配置單元相連，用于根據(jù)所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)和所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)。

可選的，所述設(shè)備組移動(dòng)需求量為按日平均量。

可選的，所述需求單元包括：當(dāng)前處理器，根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，獲得設(shè)備當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟；計(jì)劃處理器，根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表，獲得未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟；匯總器：與所述當(dāng)前處理器、所述計(jì)劃處理器和所述第二存儲(chǔ)器相連，用于獲得所述工藝流程數(shù)據(jù)，還用于根據(jù)所述設(shè)備當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟以及所述未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟，結(jié)合所述工藝流程數(shù)據(jù)，獲得與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

可選的，所述配置單元包括：利用率處理器，與所述獲取模塊和所述第二存儲(chǔ)模塊相連，用于獲取設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，并根據(jù)設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)以及設(shè)備組的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，獲得與產(chǎn)品名稱、工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率；還用于在所述設(shè)備工藝能力限制下，根據(jù)所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，獲得設(shè)備利用率；優(yōu)化器，與所述利用率處理器相連，用于在所述設(shè)備工藝能力限制以及所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求的限制下，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。

可選的，所述優(yōu)化器采用規(guī)劃求解的方法獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。

可選的，所述落后單元包括：歷史移動(dòng)處理器，用于根據(jù)所述設(shè)備歷史 數(shù)據(jù)，獲得與產(chǎn)品名稱和工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備歷史移動(dòng)量；計(jì)劃移動(dòng)處理器，用于根據(jù)所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與產(chǎn)品名稱和工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量；比較器，與所述歷史移動(dòng)處理器和計(jì)劃移動(dòng)處理器相連，用于比較所述設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量和所述設(shè)備歷史移動(dòng)量的大小，獲得與產(chǎn)品名稱、工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后移動(dòng)量；落后處理器，與所述比較器和所述計(jì)劃移動(dòng)處理器相連，用于根據(jù)所述設(shè)備落后移動(dòng)量和所述設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量，獲得與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)。

可選的，所述輸出模塊包括：指派單元，與所述配置模塊200相連，用于根據(jù)所述設(shè)備落后系數(shù)，獲得與在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派；輸出單元，用于將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品按在制品落后系數(shù)的大小排序，并輸出設(shè)備相對(duì)應(yīng)的派工單。

可選的，所述指派單元用于指派與最大在制品落后系數(shù)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備處理所述在制品。

可選的，所述輸出單元用于將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品，按在制品落后系數(shù)做降序排列。

相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種派工方法，用于對(duì)半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行派工，所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)包括設(shè)備組，所述設(shè)備組中的設(shè)備用于對(duì)在制品執(zhí)行相應(yīng)的工藝步驟，以獲得產(chǎn)品，包括：

設(shè)定開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得限定時(shí)間；

獲取產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)以及產(chǎn)品的下線計(jì)劃表；

根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、所述實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)以及所述下線計(jì)劃表，獲得限定時(shí)間內(nèi)與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組的靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求；

獲取設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)、產(chǎn)品名稱、與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備工藝能力限制以及設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，結(jié)合所述設(shè)備組的靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置，所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù) 包括與產(chǎn)品名稱、工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率和產(chǎn)出記錄；

根據(jù)設(shè)備組的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)中的與產(chǎn)品名稱、工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率和產(chǎn)出記錄，結(jié)合所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)；

根據(jù)所述設(shè)備落后系數(shù)，獲得與在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派；

在完成設(shè)備指派之后，將設(shè)備端已指派的在制品按在制品落后系數(shù)的大小排序，以輸出設(shè)備相對(duì)應(yīng)的派工單，所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)所述派工單進(jìn)行派工。

可選的，所述限定時(shí)間以日為單位。

可選的，獲得限定時(shí)間內(nèi)與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組的靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求的步驟包括：獲得制造執(zhí)行系統(tǒng)的工藝流程數(shù)據(jù)；根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，獲得設(shè)備當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟；根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表，獲得未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟；基于所述設(shè)備當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟以及所述未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟，并結(jié)合所述工藝流程數(shù)據(jù)獲得限定時(shí)間內(nèi)與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

可選的，所述獲得與設(shè)備組內(nèi)設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置的步驟包括：采用規(guī)劃求解的方法獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。

可選的，所述獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置的步驟包括：基于所述設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)以及設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，獲得與產(chǎn)品名稱、工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率；獲取設(shè)備工藝能力限制，在所述設(shè)備工藝能力限制下，根據(jù)所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求以及與產(chǎn)品名稱、工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率，獲得設(shè)備組內(nèi)各個(gè)設(shè)備的設(shè)備利用率；以當(dāng)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備利用率的標(biāo)準(zhǔn)差為最小時(shí)的產(chǎn)能配置為最佳產(chǎn)能配置。

可選的，所述獲得與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)的步驟包括：基于 所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，獲得與產(chǎn)品名稱和工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備歷史移動(dòng)量；基于所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與產(chǎn)品名稱和工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量；比較所述設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量和所述設(shè)備歷史移動(dòng)量的大小，獲得與產(chǎn)品名稱、工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后移動(dòng)量；根據(jù)所述設(shè)備落后移動(dòng)量和所述設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量的比值，獲得與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)。

可選的，所述根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派的步驟包括：指派在制品落后系數(shù)最大的設(shè)備處理相應(yīng)在制品。

可選的，所述將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品按在制品落后系數(shù)的大小排序的步驟包括：將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品，按在制品落后系數(shù)做降序排列，獲得設(shè)備相應(yīng)的派工單，所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)所述派工單進(jìn)行派工。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明通過(guò)對(duì)制造執(zhí)行系統(tǒng)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)、產(chǎn)品的生產(chǎn)周期表以及設(shè)備的工藝能力限制，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。并根據(jù)限定時(shí)間內(nèi)的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，反應(yīng)獲得系統(tǒng)的運(yùn)行狀況與最佳產(chǎn)能配置偏差的設(shè)備落后系數(shù)，并將設(shè)備落后系數(shù)與在制品相關(guān)聯(lián)獲得在制品落后系數(shù)，并根據(jù)在制品落后系數(shù)排序，獲得派工單，對(duì)所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行派工。從而使制造執(zhí)行系統(tǒng)中所有設(shè)備的設(shè)備利用率平均化。在整體產(chǎn)出速率不變的情況下，縮短設(shè)備前在制品排隊(duì)的長(zhǎng)度，降低在制品數(shù)量，實(shí)現(xiàn)縮短生產(chǎn)周期的目的。

附圖說(shuō)明

圖1至圖4是本發(fā)明派工系統(tǒng)一實(shí)施例的功能框圖；

圖5至圖9是本發(fā)明派工方法一實(shí)施例的流程圖。

具體實(shí)施方式

由背景技術(shù)可知，現(xiàn)有的派工系統(tǒng)存在在制品數(shù)量過(guò)大、生產(chǎn)周期過(guò)長(zhǎng)的問(wèn)題。這是因?yàn)?，現(xiàn)有派工系統(tǒng)都著眼于局部，僅僅檢查單一設(shè)備本身，及其上下游設(shè)備的運(yùn)行情況，而對(duì)于派工系統(tǒng)的優(yōu)化僅僅著眼于對(duì)于單一設(shè)備利用率的提高，因此現(xiàn)有派工系統(tǒng)只能保證當(dāng)前設(shè)備的績(jī)效，而無(wú)法使制 造執(zhí)行系統(tǒng)中的設(shè)備利用率平均化。根據(jù)排隊(duì)理論(Queuing Theory)，當(dāng)設(shè)備利用率相差越大的時(shí)候，在制品排隊(duì)的情況越嚴(yán)重，生產(chǎn)線中的在制品數(shù)量越多。因此現(xiàn)有派工系統(tǒng)存在生產(chǎn)線中在制品數(shù)量過(guò)大，平均生產(chǎn)周期過(guò)長(zhǎng)的問(wèn)題。

為解決所述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種派工系統(tǒng)，包括：

獲取模塊，用于根據(jù)設(shè)定的開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得限定時(shí)間；還用于獲取產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及產(chǎn)品的下線計(jì)劃表；所述獲取模塊還用于獲取與產(chǎn)品名稱和工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備工藝能力限制以及設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)以及制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)；配置模塊，用于獲取工藝流程數(shù)據(jù)以及設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)；還與獲取模塊相連，用于根據(jù)所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)、所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表以及所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、工藝流程數(shù)據(jù)，獲得限定時(shí)間內(nèi)與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求包括與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組移動(dòng)需求量，并在所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求和所述設(shè)備工藝能力限制的限制下，根據(jù)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置；所述配置模塊還用于根據(jù)所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)和所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)；輸出模塊，與所述配置模塊相連，用于根據(jù)所述設(shè)備落后系數(shù)，獲得與在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派；還用于將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品按在制品落后系數(shù)的大小排序，并輸出設(shè)備相對(duì)應(yīng)的派工單。

本發(fā)明通過(guò)對(duì)制造執(zhí)行系統(tǒng)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)、產(chǎn)品的生產(chǎn)周期表以及設(shè)備的工藝能力限制，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。并根據(jù)限定時(shí)間內(nèi)的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，反應(yīng)獲得系統(tǒng)的運(yùn)行狀況與最佳產(chǎn)能配置偏差的設(shè)備落后系數(shù)，并將設(shè)備落后系數(shù)與在制品相關(guān)聯(lián)獲得在制品落后系數(shù)，并根據(jù)在制品落后系數(shù)排序，獲得派工單，對(duì)所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行派工。從而使制造執(zhí)行系統(tǒng)中所有設(shè)備的設(shè)備利用率平均化。在整體產(chǎn)出速率不變的情況下，縮短設(shè)備前在制品排隊(duì)的長(zhǎng)度，降低在制品數(shù)量，實(shí)現(xiàn)縮短生產(chǎn)周期的目的。

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說(shuō)明。

參考圖1，示出了本發(fā)明所提供派工系統(tǒng)一實(shí)施例的功能框圖。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，所述派工系統(tǒng)用于對(duì)半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行派工，所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)包括設(shè)備組，設(shè)備組中的設(shè)備用于對(duì)在制品執(zhí)行相應(yīng)的工藝步驟，以獲得產(chǎn)品。

所述派工系統(tǒng)包括：

獲取模塊100，用于根據(jù)設(shè)定的開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得限定時(shí)間；還用于獲取產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及產(chǎn)品的下線計(jì)劃表；所述獲取模塊還用于獲取與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備工藝能力限制以及設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)以及制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)

具體的，所述獲取模塊100包括：

時(shí)間單元110，用于根據(jù)設(shè)定的開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得限定時(shí)間。

需要說(shuō)明的是，所述派工系統(tǒng)需要對(duì)一定時(shí)間內(nèi)在制品和未生產(chǎn)產(chǎn)品的工藝流程步驟進(jìn)行分析，還需要對(duì)制造執(zhí)行系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備在一定時(shí)間內(nèi)的歷史數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)、分析，獲得相應(yīng)的設(shè)備運(yùn)行情況。因此需要對(duì)統(tǒng)計(jì)分析數(shù)據(jù)的時(shí)間長(zhǎng)度進(jìn)行設(shè)定。本實(shí)施例中，通過(guò)設(shè)定開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得歷史數(shù)據(jù)記錄的限定時(shí)間長(zhǎng)度。具體的，本實(shí)施例中，所述開(kāi)始時(shí)間和所述結(jié)束時(shí)間以日為單位。

標(biāo)準(zhǔn)單元120，用于獲取產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及產(chǎn)品的下線計(jì)劃表。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，所述派工系統(tǒng)還包括與所述獲取模塊100相連的第一存儲(chǔ)模塊400，用于存儲(chǔ)產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、下線計(jì)劃表、設(shè)備歷史數(shù)據(jù)以及設(shè)備工藝能力限制；所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)包括與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)出速率和產(chǎn)出記錄。

所述標(biāo)準(zhǔn)單元120與所述第一存儲(chǔ)模塊400相連，讀取所述第一存儲(chǔ)模塊400中存儲(chǔ)的所述產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及產(chǎn)品的下線計(jì)劃表。

需要說(shuō)明的是，所述產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表包括針對(duì)產(chǎn)品的每一個(gè)工藝步驟所需要使用的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)時(shí)間長(zhǎng)度，即與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期。所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表的內(nèi)容包括產(chǎn)品的生產(chǎn)計(jì)劃量，即與產(chǎn)品名稱(prodID)相對(duì)應(yīng)的生產(chǎn)計(jì)劃量。本實(shí)施例中，通過(guò)人工錄入的方式將所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述下線計(jì)劃表輸入所述第一存儲(chǔ)模塊400中。

所述獲取模塊100還包括與所述第一存儲(chǔ)模塊400相連的設(shè)備單元130，用于獲取與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備工藝能力限制以及設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)；所述設(shè)備單元130還與制造執(zhí)行系統(tǒng)相連，用于獲取制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。

繼續(xù)參考圖1，所述派工系統(tǒng)還包括與所述獲取模塊100相連的配置模塊200，用于獲取工藝流程數(shù)據(jù)以及設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)；還與獲取模塊100相連，用于根據(jù)所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)、所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表以及所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、工藝流程數(shù)據(jù)，獲得限定時(shí)間內(nèi)與產(chǎn)品名稱(prodID)以及工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求包括與產(chǎn)品名稱(prodID)以及工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組移動(dòng)需求量，并在所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求和所述設(shè)備工藝能力限制的限制下，根據(jù)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置；所述配置模塊200還用于根據(jù)所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)和所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)；

具體的，所述配置模塊200包括與所述獲取模塊100相連的需求單元210，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)以及工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，所述派工系統(tǒng)還包括與所述配置模塊200相連的第二存儲(chǔ)模塊500，用于存儲(chǔ)工藝流程數(shù)據(jù)以及設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，其中，所述工藝流程數(shù)據(jù)包括處理產(chǎn)品不同工藝步驟的設(shè)備組名稱(EQPGroup)，即與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組名稱(EQPGroup)。本實(shí)施例中，根據(jù)制造執(zhí)行系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，通過(guò)人工錄 入的方式將所述工藝流程數(shù)據(jù)輸入第二存儲(chǔ)模塊500。

結(jié)合參考圖2，圖2示出了圖1中所述需求單元210的功能框圖。

具體的，所述需求單元210包括計(jì)劃處理器211、當(dāng)前處理器212以及匯總器213。

其中，所述計(jì)劃處理器211用于根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表，獲得未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。

具體的，所述計(jì)劃處理器211與所述獲取模塊100中的所述時(shí)間單元110和所述標(biāo)準(zhǔn)單元120相連，接收限定時(shí)間內(nèi)，所述標(biāo)準(zhǔn)單元120獲得的所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述下線計(jì)劃表。所述計(jì)劃處理器211還與所述第二存儲(chǔ)模塊500相連，讀取其中存儲(chǔ)的所述工藝流程數(shù)據(jù)。所述計(jì)劃處理器211通過(guò)聯(lián)合查詢所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述下線計(jì)劃表，根據(jù)所述工藝流程數(shù)據(jù)，獲得未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。

所述當(dāng)前處理器212用于根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，獲得設(shè)備當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。

具體的，所述當(dāng)前處理器212與所述獲取模塊100中的所述時(shí)間單元110、所述標(biāo)準(zhǔn)單元120和所述設(shè)備單元130相連，接收限定時(shí)間內(nèi)所述標(biāo)準(zhǔn)單元120獲得的所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述設(shè)備單元130獲得的所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，所述當(dāng)前處理器212還與所述第二存儲(chǔ)模塊500相連，讀取其中存儲(chǔ)的所述工藝流程數(shù)據(jù)。所述當(dāng)前處理器212通過(guò)聯(lián)合查詢所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，根據(jù)所述工藝流程數(shù)據(jù)，獲得當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。

繼續(xù)參考圖1和圖2，所述需求單元210還包括與所述計(jì)劃處理器211和所述當(dāng)前處理器212相連的匯總器213，用于獲得所述工藝流程數(shù)據(jù)，還用于根據(jù)所述設(shè)備當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟以及所述未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟，結(jié)合所述工藝流程數(shù)據(jù)，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)以及工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

具體的，所述匯總器213與所述計(jì)劃處理器211相連，用于接收所述計(jì)劃處理器211獲得的未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟；所述匯總器213還與所述當(dāng)前處理器212相連，用于接收所述當(dāng)前處理器212獲得的當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。所述匯總器213還與所述第二存儲(chǔ)模塊500相連，獲取所述工藝流程步驟。所述匯總器213通過(guò)建立所述靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求與工藝序號(hào)(stepno)、設(shè)備組之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)以及工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

需要說(shuō)明的是，所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求包括與產(chǎn)品名稱(prodID)、設(shè)備組名稱(EQPGroup)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組移動(dòng)(Move)需求量，即Move(prodID,EQPGroup,stepno)。

還需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求為按日的平均量。

繼續(xù)參考圖1，所述配置模塊200還包括與所述獲取模塊100、所述第二存儲(chǔ)模塊500以及所述需求單元210相連的配置單元220，用于在所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求和所述設(shè)備工藝能力限制的限制下，根據(jù)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)和設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。

結(jié)合參考圖3，示出了圖1中所述配置單元220的功能框圖。

具體的，所述配置單元220包括利用率處理器221和所述優(yōu)化器222。

所述利用率處理器221與所述獲取模塊100和所述第二存儲(chǔ)模塊500相連，用于獲取設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，并根據(jù)設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)以及設(shè)備組的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率；還用于在所述設(shè)備工藝能力限制下，根據(jù)所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，獲得設(shè)備利用率。

具體的，所述利用率處理器221與所述設(shè)備單元130連接，接收所述設(shè)備單元130獲取的所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)包括與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率；所述利用率處理器 221還與所述第二存儲(chǔ)模塊500相連，讀取所述第二存儲(chǔ)模塊500內(nèi)存儲(chǔ)的設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)。所述利用率處理器221根據(jù)設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，查詢所述設(shè)備產(chǎn)出速率，獲得設(shè)備組內(nèi)設(shè)備相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率(Wafer Per Hour,wph)。

此外，所述利用率處理器221還與所述獲取模塊100中的設(shè)備單元130相連，接收所述設(shè)備單元130獲取的所述設(shè)備工藝能力限制，根據(jù)設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，查詢所述設(shè)備工藝能力限制，獲得設(shè)備組內(nèi)設(shè)備相對(duì)應(yīng)的設(shè)備工藝能力限制。

所述利用率處理器221還與所述需求單元210相連，接收所述需求單元210獲得的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

所述利用率處理器221根據(jù)所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求和所述設(shè)備產(chǎn)出速率wph，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的單位設(shè)備利用率u_i,k＝Move/wph。所述單位設(shè)備利用率u_i,k表示與所述產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備的利用率。

所述利用率處理器221根據(jù)所述單位設(shè)備利用率u_i,k，結(jié)合所述設(shè)備工藝能力限制，獲得所述設(shè)備利用率其中，n表示在限定時(shí)間內(nèi)，所述設(shè)備可以完成的工藝步驟種類數(shù)量。因此，所述設(shè)備利用率u_i表示在限定時(shí)間內(nèi)，對(duì)不同產(chǎn)品、不同工藝步驟，所述單位設(shè)備利用率的總和。

繼續(xù)參考圖1和圖3，所述配置單元220還包括與所述利用率處理器221相連的優(yōu)化器222，用于在所述設(shè)備工藝能力限制以及所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求的限制下，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。

需要說(shuō)明的是，所述產(chǎn)能配置表示的是對(duì)于不同產(chǎn)品、不同工藝步驟，所述設(shè)備組內(nèi)不同設(shè)備需要完成工藝步驟數(shù)量，即在限定時(shí)間內(nèi)，所述設(shè)備組移動(dòng)量在設(shè)備組內(nèi)設(shè)備中的分配情況。

本實(shí)施例中，所述優(yōu)化器222采用規(guī)劃求解的方法獲得與所述設(shè)備組內(nèi)設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。

具體的，在所述設(shè)備工藝能力限制以及所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需 求的限制下，所述優(yōu)化器222獲得不同產(chǎn)能配置下，所述設(shè)備利用率u_i的標(biāo)準(zhǔn)差：Y＝Stdev(u_i)，利用所述標(biāo)準(zhǔn)差Y表征不同產(chǎn)能配置下，所述設(shè)備組內(nèi)設(shè)備利用率的差異程度。根據(jù)排隊(duì)理論(Queueing Theory)，所述設(shè)備組內(nèi)不同設(shè)備的利用率u_i差異越小，在制品在設(shè)備前排隊(duì)的隊(duì)列越短，即當(dāng)設(shè)備組內(nèi)不同設(shè)備的設(shè)備利用率u_i的差異最小的時(shí)候，所述在制品的隊(duì)列最短。也就是說(shuō)，設(shè)備組內(nèi)不同設(shè)備的設(shè)備利用率u_i的標(biāo)準(zhǔn)差Y最小時(shí)的產(chǎn)能配置，為設(shè)備的最佳產(chǎn)能配置。因此，所述優(yōu)化器222比較不同產(chǎn)能配置下，所述設(shè)備利用率u_i的標(biāo)準(zhǔn)差，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。

繼續(xù)參考圖1，所述配置模塊200還包括落后單元230，用于根據(jù)所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)和所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)。

結(jié)合參考圖4，示出了圖1中所述落后單元230的功能框圖。

所述落后單元230包括計(jì)劃移動(dòng)處理器231、歷史移動(dòng)處理器232、比較器233和落后處理器234。

所述計(jì)劃移動(dòng)處理器231與所述配置單元220相連，接收所述配置單元220獲得的所述最佳產(chǎn)能配置，并根據(jù)所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的，所述設(shè)備的設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量(planned move)。

所述歷史移動(dòng)處理器232與所述設(shè)備單元130、所述第二存儲(chǔ)模塊500相連，接收所述設(shè)備單元130獲取的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，所述歷史數(shù)據(jù)包括所述設(shè)備的產(chǎn)出記錄，并通過(guò)讀取所述第二存儲(chǔ)模塊500中存儲(chǔ)的設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，獲得設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)出記錄。所述歷史移動(dòng)處理器232還根據(jù)所述設(shè)備的產(chǎn)出記錄，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的，所述設(shè)備的設(shè)備歷史移動(dòng)量(historical move)。

所述比較器233與所述計(jì)劃移動(dòng)處理器231和所述歷史移動(dòng)處理器232相連，比較所述設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量和所述設(shè)備歷史移動(dòng)量的大小，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后移動(dòng)量。

具體的，所述比較器233利用所述計(jì)劃移動(dòng)量和所述歷史移動(dòng)量的差值： planned move-historical move，作為落后移動(dòng)量。所述落后移動(dòng)量表征所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟的設(shè)備落后情況。

所述落后單元230還包括與所述比較器233和所述計(jì)劃移動(dòng)處理器231相連的落后處理器234，用于根據(jù)所述設(shè)備落后移動(dòng)量和所述設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量，獲得與工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)：

Lateness＝(planned move-historical move)/planned move

所述設(shè)備落后系數(shù)表示的是所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟的落后移動(dòng)量占所述計(jì)劃移動(dòng)量的比率。因此所述設(shè)備落后系數(shù)越大，說(shuō)明所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟越落后。

需要說(shuō)明的是，所述最佳產(chǎn)能配置中需要完成移動(dòng)數(shù)量的分配是與所述產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)以及設(shè)備組名稱(EQPGroup)和設(shè)備名稱(eqpID)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量，所述產(chǎn)出記錄中也是與所述產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)以及設(shè)備組名稱(EQPGroup)和設(shè)備名稱(eqpID)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備歷史移動(dòng)量。由此獲得的所述設(shè)備落后移動(dòng)量，以及設(shè)備落后系數(shù)也都是與所述產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)以及設(shè)備組名稱(EQPGroup)和設(shè)備名稱(eqpID)相對(duì)應(yīng)的。

繼續(xù)參考圖1，所述派工系統(tǒng)該包括與所述配置模塊200相連的輸出模塊300，用于根據(jù)所述設(shè)備落后系數(shù)，獲得與在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派；還用于將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品按在制品落后系數(shù)的大小排序，并輸出設(shè)備相對(duì)應(yīng)的派工單。

所述輸出模塊300包括與所述配置模塊200相連的指派單元310，用于根據(jù)所述設(shè)備落后系數(shù)，獲得與在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派。

具體的，所述指派單元310與所述配置模塊200中的落后單元230相連，接收所述落后單元230獲得的所述設(shè)備落后系數(shù)。由于所述設(shè)備落后系數(shù)是與所述產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)以及設(shè)備組名稱(EQPGroup)和設(shè)備名稱(eqpID)相對(duì)應(yīng)的。因此基于所述設(shè)備落后系數(shù)，所述落后單元 230根據(jù)所述設(shè)備組內(nèi)設(shè)備工藝能力限制和所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，建立在制品與所述設(shè)備落后系數(shù)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，獲得與所述在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)所述在制品進(jìn)行設(shè)備指派。

由于所述設(shè)備落后系數(shù)越大，說(shuō)明所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟越落后。因此，本實(shí)施例中，所述指派單元310指派與最大在制品落后系數(shù)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備處理所述在制品。

所述輸出模塊300還包括輸出單元320，用于將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品按在制品落后系數(shù)的大小排序，并輸出設(shè)備相對(duì)應(yīng)的派工單。

具體的，所述輸出單元320與所述指派單元310相連，接收所述指派單元310獲得的所述在制品的指派情況，并將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品，按在制品落后系數(shù)做降序排列，并輸出所述設(shè)備的派工單。

相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種派工方法，包括：

設(shè)定開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得限定時(shí)間；獲取產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)以及產(chǎn)品的下線計(jì)劃表；根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、所述實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)以及所述下線計(jì)劃表，獲得限定時(shí)間內(nèi)與產(chǎn)品名稱以及工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組的靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求；獲取設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)、產(chǎn)品名稱、與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備工藝能力限制以及設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，結(jié)合所述設(shè)備組的靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置，所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)包括與產(chǎn)品名稱、工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率和產(chǎn)出記錄；根據(jù)設(shè)備組的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)中的與產(chǎn)品名稱、工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率和產(chǎn)出記錄，結(jié)合所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與工藝序號(hào)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)；根據(jù)所述設(shè)備落后系數(shù)，獲得與在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派；在完成設(shè)備指派之后，將設(shè)備端已指派的在制品按在制品落后系數(shù)的大小排序，以輸出設(shè)備相對(duì)應(yīng)的派工單，所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)所述派工單進(jìn)行派工。

參考圖5，示出了本發(fā)明所提供派工方法一實(shí)施例的流程圖。

需要說(shuō)明的是，所述派工方法用于對(duì)半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行派工，所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)包括設(shè)備組，所述設(shè)備組中的設(shè)備用于對(duì)在制品執(zhí)行相應(yīng)的工藝步驟，以獲得產(chǎn)品。

首先執(zhí)行步驟S10，獲得限定時(shí)間。

具體的，設(shè)定開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得限定時(shí)間。

所述派工方法需要對(duì)一定時(shí)間內(nèi)在制品和未生產(chǎn)產(chǎn)品的工藝流程步驟進(jìn)行分析，還需要對(duì)制造執(zhí)行系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備在一定時(shí)間內(nèi)的歷史數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)、分析，獲得相應(yīng)的設(shè)備運(yùn)行情況。因此需要對(duì)統(tǒng)計(jì)分析數(shù)據(jù)的時(shí)間長(zhǎng)度進(jìn)行設(shè)定。本實(shí)施例中，通過(guò)設(shè)定開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間，獲得所述限定時(shí)間長(zhǎng)度。具體的，本實(shí)施例中，所述開(kāi)始時(shí)間和所述結(jié)束時(shí)間以日為單位。

接著執(zhí)行步驟S20，獲取產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)以及產(chǎn)品的下線計(jì)劃表。

具體的，所述產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表包括針對(duì)產(chǎn)品的每一個(gè)工藝步驟所需要使用的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)時(shí)間長(zhǎng)度，即與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期。所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表的內(nèi)容包括產(chǎn)品的生產(chǎn)計(jì)劃量，即與產(chǎn)品名稱(prodID)相對(duì)應(yīng)的生產(chǎn)計(jì)劃量。具體的，本實(shí)施例中，通過(guò)人工錄入的方式獲取所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述下線計(jì)劃表。

需要說(shuō)明的是，通過(guò)人工錄入的方式直接獲得所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述下線計(jì)劃表的做法僅為一示例，本發(fā)明對(duì)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述下線計(jì)劃表的獲取方式不做限制。本發(fā)明其他實(shí)施例中，還可以通過(guò)派工系統(tǒng)獲得所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述下線計(jì)劃表。

之后執(zhí)行步驟S30，獲得設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

具體的，根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表、所述實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)以及所述下線計(jì)劃表，獲得限定時(shí)間內(nèi)與產(chǎn)品名稱(prodID)以及工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組的靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

結(jié)合參考圖6，圖6示出了圖5中步驟S30獲得限定時(shí)間內(nèi)與產(chǎn)品名稱(prodID)以及工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組的靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求 的步驟流程圖。

首先執(zhí)行步驟S31，獲得工藝流程數(shù)據(jù)。其中，獲得制造執(zhí)行系統(tǒng)的工藝流程數(shù)據(jù)包括處理產(chǎn)品不同工藝步驟的設(shè)備組名稱(EQPGroup)，即與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組名稱(EQPGroup)。

本實(shí)施例中，所述工藝流程數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于派工系統(tǒng)中。根據(jù)制造執(zhí)行系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，通過(guò)人工錄入的方式將所述存工藝流程數(shù)據(jù)輸入第二存儲(chǔ)模塊。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，所述工藝流程數(shù)據(jù)通過(guò)存儲(chǔ)設(shè)備獲得，還以選擇直接輸入等方式獲得所述工藝流程數(shù)據(jù)，本發(fā)明對(duì)獲得工藝流程數(shù)據(jù)的方式不做限制。

接著執(zhí)行步驟S32，獲得設(shè)備當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝步驟。

具體的，根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，獲得設(shè)備當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。

本實(shí)施例中，通過(guò)聯(lián)合查詢所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，并結(jié)合所述工藝流程數(shù)據(jù)，獲得當(dāng)前在制品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。

執(zhí)行步驟S33，獲得未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。

具體的，根據(jù)所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表以及所述產(chǎn)品的下線計(jì)劃表，獲得未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。

本實(shí)施例中，通過(guò)聯(lián)合查詢所述標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)周期表和所述下線計(jì)劃表，并結(jié)合所述工藝流程數(shù)據(jù)，獲得未生產(chǎn)的產(chǎn)品在限定時(shí)間內(nèi)應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟。

執(zhí)行步驟S34，獲得設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

具體的，基于限定時(shí)間內(nèi)所述設(shè)備當(dāng)前在制品應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟以及所述未生產(chǎn)的產(chǎn)品應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)以及工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

本實(shí)施例中，匯總在限定時(shí)間內(nèi)所述設(shè)備當(dāng)前在制品應(yīng)經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟以及所述未生產(chǎn)的產(chǎn)品應(yīng)該經(jīng)過(guò)的工藝流程步驟，并根據(jù)工藝流程數(shù)據(jù)， 建立所述靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)以及設(shè)備組名稱(EQPGroup)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求。

需要說(shuō)明的是，所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求包括與產(chǎn)品名稱(prodID)、設(shè)備組名稱(EQPGroup)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組移動(dòng)(Move)需求量，即Move(prodID,EQPGroup,stepno)。且所述設(shè)備組晶體工藝產(chǎn)量需求為按日的平均量。

繼續(xù)參考圖5，步驟S40，獲得最佳產(chǎn)能配置。

具體的，獲取設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)、產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備工藝能力限制以及設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，結(jié)合所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置；所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)包括與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率和產(chǎn)出記錄。

結(jié)合參考圖7，圖7示出了圖5中步驟S40獲得最佳產(chǎn)能配置的步驟流程圖。

獲得與設(shè)備組內(nèi)設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置的步驟包括：

首先執(zhí)行步驟S41，獲得設(shè)備產(chǎn)出速率。

具體的，基于所述設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)以及設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率。

本實(shí)施例中，直接從所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中獲取所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)包括與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率。此外，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中還存儲(chǔ)有設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)。根據(jù)設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，查詢所述設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，獲得設(shè)備組內(nèi)設(shè)備相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率(Wafer Per Hour,wph)。

接著執(zhí)行步驟S42，獲得設(shè)備利用率。

具體的，獲取設(shè)備工藝能力限制，在所述設(shè)備工藝能力限制下，根據(jù)所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求以及與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno) 相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率，獲得設(shè)備組內(nèi)各個(gè)設(shè)備的設(shè)備利用率。

本實(shí)施例中，所述設(shè)備工藝能力限制事先存儲(chǔ)于所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中。根據(jù)所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求，在所述設(shè)備工藝能力限制下，獲得設(shè)備利用率。

具體的，根據(jù)所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求和所述設(shè)備的產(chǎn)出速率wph，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的單位設(shè)備利用率u_i,k＝Move/wph。所述單位設(shè)備利用率u_i,k表示與所述產(chǎn)品名稱(prodID)(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備的利用率。

進(jìn)一步，根據(jù)所述單位設(shè)備利用率u_i,k，結(jié)合所述設(shè)備工藝能力限制，獲得所述設(shè)備利用率其中，n表示在限定時(shí)間內(nèi)，所述設(shè)備可以完成的工藝步驟種類數(shù)量。因此所述設(shè)備利用率u_i表示在限定時(shí)間內(nèi)，對(duì)不同產(chǎn)品、不同工藝步驟，所述單位設(shè)備利用率的總和。

之后執(zhí)行步驟S43，優(yōu)化產(chǎn)能配置，獲得最佳產(chǎn)能配置。

具體的，以當(dāng)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備利用率的標(biāo)準(zhǔn)差為最小時(shí)的產(chǎn)能配置為最佳產(chǎn)能配置。

需要說(shuō)明的是，所述產(chǎn)能配置表示的是對(duì)于不同產(chǎn)品、不同工藝步驟，所述設(shè)備組內(nèi)不同設(shè)備需要完成工藝步驟數(shù)量，即對(duì)于不同產(chǎn)品、不同工藝步驟，需要完成移動(dòng)數(shù)量在設(shè)備組內(nèi)設(shè)備中的分配情況。

本實(shí)施例中，采用規(guī)劃求解的方法獲得與所述設(shè)備組內(nèi)設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。

具體的，在所述設(shè)備工藝能力限制以及所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求的限制下，比較不同產(chǎn)能配置下，所述設(shè)備利用率u_i的標(biāo)準(zhǔn)差：Y＝Stdev(u_i)，利用所述標(biāo)準(zhǔn)差Y表征不同產(chǎn)能配置下，所述設(shè)備組內(nèi)設(shè)備利用率的差異程度。根據(jù)排隊(duì)理論(Queueing Theory)，可以知道，當(dāng)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備利用率u_i的差異最小的時(shí)候，所述設(shè)備在制品的隊(duì)列最短，即設(shè)備組內(nèi)設(shè)備利用率u_i的標(biāo)準(zhǔn)差Y最小時(shí)的產(chǎn)能配置，為設(shè)備的最佳產(chǎn)能配置。由此獲得，在所述設(shè)備工藝能力限制以及所述設(shè)備組靜態(tài)工藝步驟產(chǎn)量需求的限制下，與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。

參考圖8，示出了采用神經(jīng)元算法模擬分析獲得的設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的利用率不對(duì)等情況與產(chǎn)品生產(chǎn)周期縮短之間的關(guān)系。其中，圖線81表示產(chǎn)品生產(chǎn)周期的縮短率，圖線82表示設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的利用率不對(duì)等情況。如圖8所示，隨著設(shè)備組內(nèi)設(shè)備利用率不對(duì)等程度的降低，產(chǎn)品生產(chǎn)周期縮短率升高。隨著設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的利用率的接近，縮短的產(chǎn)品生產(chǎn)周期越長(zhǎng)，也就是說(shuō)，設(shè)備組內(nèi)設(shè)備利用率的差異最小時(shí)的產(chǎn)能配置，是產(chǎn)品生產(chǎn)周期最短的產(chǎn)能配置。

繼續(xù)參考圖5，之后執(zhí)行步驟S50，獲得設(shè)備落后系數(shù)。

具體的，根據(jù)設(shè)備組的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)中的與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備產(chǎn)出速率和產(chǎn)出記錄，結(jié)合所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)。

結(jié)合參考圖9，圖9示出了圖5中步驟S50獲得設(shè)備落后系數(shù)的步驟流程圖。

所述獲得與工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)的步驟包括：

步驟S51，獲得設(shè)備歷史移動(dòng)量。

具體的，本實(shí)施例中，從制造執(zhí)行系統(tǒng)直接獲得設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，所述歷史數(shù)據(jù)包括所述設(shè)備的產(chǎn)出記錄?；谒鲈O(shè)備歷史數(shù)據(jù)，并結(jié)合設(shè)備和設(shè)備組關(guān)系數(shù)據(jù)，獲得設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)出記錄。

進(jìn)一步，根據(jù)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的產(chǎn)出記錄，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的，所述設(shè)備的設(shè)備歷史移動(dòng)量(historical move)。

步驟S52，獲得設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量。

具體的，基于所述最佳產(chǎn)能配置，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)和工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量(planned move)。

步驟S53，獲得設(shè)備落后移動(dòng)量。

具體的，比較所述設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量和所述設(shè)備歷史移動(dòng)量的大小，獲得與產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后移動(dòng)量。本實(shí)施例中，根據(jù)所述設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量和所述設(shè)備歷史移動(dòng)量的大小，以所述計(jì) 劃移動(dòng)量和所述歷史移動(dòng)量的差值，作為設(shè)備落后移動(dòng)量：planned move-historical move，表征所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟的設(shè)備落后情況。

步驟S54，獲得設(shè)備落后系數(shù)。

具體的，根據(jù)所述設(shè)備落后移動(dòng)量和所述設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量，獲得與工藝序號(hào)(stepno)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備落后系數(shù)。

根據(jù)所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟的設(shè)備落后移動(dòng)量和所述計(jì)劃移動(dòng)量，獲得所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟的設(shè)備落后系數(shù)：

Lateness＝(planned move-historical move)/planned move

所述設(shè)備落后系數(shù)表示的是所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟的落后移動(dòng)量占所述計(jì)劃移動(dòng)量的比率。因此所述設(shè)備落后系數(shù)越大，說(shuō)明所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟越落后。

需要說(shuō)明的是，所述最佳產(chǎn)能配置中需要完成移動(dòng)數(shù)量的分配是與所述產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)以及設(shè)備組名稱(EQPGroup)和設(shè)備名稱(eqpID)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備計(jì)劃移動(dòng)量，所述產(chǎn)出記錄中也是與所述產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)以及設(shè)備組名稱(EQPGroup)和設(shè)備名稱(eqpID)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備歷史移動(dòng)量。由此獲得的所述設(shè)備落后移動(dòng)量，以及設(shè)備落后系數(shù)也都是與所述產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)以及設(shè)備組名稱(EQPGroup)和設(shè)備名稱(eqpID)相對(duì)應(yīng)的。

繼續(xù)參考圖5，步驟S60，獲得在制品落后系數(shù)，并對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派。

具體的，根據(jù)所述設(shè)備落后系數(shù)，獲得與在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)在制品進(jìn)行設(shè)備指派。

由于所述設(shè)備落后系數(shù)是與所述產(chǎn)品名稱(prodID)、工藝序號(hào)(stepno)以及設(shè)備組名稱(EQPGroup)和設(shè)備名稱(eqpID)相對(duì)應(yīng)的。因此，基于所述設(shè)備落后系數(shù)，結(jié)合所述設(shè)備組內(nèi)設(shè)備工藝能力限制和所述制造執(zhí)行系統(tǒng)中設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，通過(guò)建立在制品與所述設(shè)備落后系數(shù)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，可以獲得與所述在制品相對(duì)應(yīng)的在制品落后系數(shù)，并根據(jù)所述在 制品落后系數(shù)的大小對(duì)所述在制品進(jìn)行設(shè)備指派。。

進(jìn)一步，由于所述設(shè)備落后系數(shù)越大，說(shuō)明所述設(shè)備對(duì)應(yīng)工藝步驟越落后，因此根據(jù)所述在制品落后系數(shù)的大小對(duì)所述在制品進(jìn)行設(shè)備指派，本實(shí)施例中，指派與最大在制品落后系數(shù)相對(duì)應(yīng)的設(shè)備處理所述在制品。

步驟S70，將設(shè)備端的在制品排序，并輸出設(shè)備相對(duì)應(yīng)的派工單。

在完成設(shè)備指派之后，將設(shè)備端已指派的在制品按在制品落后系數(shù)的大小排序，以輸出設(shè)備相對(duì)應(yīng)的派工單，所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)所述派工單進(jìn)行派工。

具體的，本實(shí)施例中，將設(shè)備端已經(jīng)指派的在制品，按在制品落后系數(shù)做降序排列，獲得設(shè)備相應(yīng)的派工單，所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)所述派工單進(jìn)行派工。

本發(fā)明所提供的半導(dǎo)體制造過(guò)程的派工方法可以但不限于采用上述半導(dǎo)體制造過(guò)程的派工系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。

綜上，本發(fā)明通過(guò)對(duì)制造執(zhí)行系統(tǒng)設(shè)備組內(nèi)設(shè)備的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)、產(chǎn)品的生產(chǎn)周期表以及設(shè)備的工藝能力限制，獲得與設(shè)備組內(nèi)的設(shè)備相對(duì)應(yīng)的最佳產(chǎn)能配置。并根據(jù)限定時(shí)間內(nèi)的設(shè)備歷史數(shù)據(jù)，反應(yīng)獲得系統(tǒng)的運(yùn)行狀況與最佳產(chǎn)能配置偏差的設(shè)備落后系數(shù)，并將設(shè)備落后系數(shù)與在制品相關(guān)聯(lián)獲得在制品落后系數(shù)，并根據(jù)在制品落后系數(shù)排序，獲得派工單，對(duì)所述半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行派工。從而使制造執(zhí)行系統(tǒng)中所有設(shè)備的設(shè)備利用率平均化。在整體產(chǎn)出速率不變的情況下，縮短設(shè)備前在制品排隊(duì)的長(zhǎng)度，降低在制品數(shù)量，實(shí)現(xiàn)縮短生產(chǎn)周期的目的。

雖然本發(fā)明披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。