技術編號：12594443
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體制造領域，特別涉及一種派工系統(tǒng)和派工方法。背景技術在一個大型半導體制造代工廠中，常常需要同時生產(chǎn)種類繁多，數(shù)量不一的芯片，而且由于不同芯片的加工制程工藝不同、加工的時間周期不同，而且交貨日期也各不相同。因此，對于大型半導體制造代工廠，廣泛使用制造執(zhí)行系統(tǒng)(ManufactureExecutionSystem,MES)，安排生產(chǎn)線中各設備進行運行生產(chǎn)。而半導體制造系統(tǒng)由于重入性和超高要求的質(zhì)量控制大大的增加了其不確定性，使得必須投入更多的在制品來保持高價值的制造設備的高利用率。在追...
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