1.一種制造設(shè)備診斷輔助裝置，具備：
數(shù)據(jù)收集裝置，該數(shù)據(jù)收集裝置始終或間歇地對配置于一個制造設(shè)備內(nèi)的多個監(jiān)視對象裝置、或者分散配置于多個制造設(shè)備的多個監(jiān)視對象裝置各自的數(shù)據(jù)進(jìn)行收集和記錄；
數(shù)據(jù)解析裝置，該數(shù)據(jù)解析裝置對所述數(shù)據(jù)收集裝置所記錄的數(shù)據(jù)進(jìn)行解析；以及
顯示裝置，該顯示裝置顯示所述數(shù)據(jù)解析裝置的解析過程及解析結(jié)果，
所述制造設(shè)備診斷輔助裝置的特征在于，
所述數(shù)據(jù)解析裝置具備：
數(shù)據(jù)解析范圍設(shè)定單元，該數(shù)據(jù)解析范圍設(shè)定單元利用數(shù)據(jù)項目和時間來設(shè)定所述數(shù)據(jù)收集裝置所記錄的數(shù)據(jù)的解析范圍；
數(shù)據(jù)分組化單元，該數(shù)據(jù)分組化單元從所述數(shù)據(jù)收集裝置輸入由所述數(shù)據(jù)解析范圍設(shè)定單元設(shè)定的范圍的數(shù)據(jù)，對各數(shù)據(jù)進(jìn)行基于收集到該數(shù)據(jù)的監(jiān)視對象裝置的規(guī)格及使用條件的分類、以及基于該數(shù)據(jù)所表示的物理量的分類，由此對從所述數(shù)據(jù)收集裝置輸入的數(shù)據(jù)進(jìn)行分組；
特征量提取單元，該特征量提取單元提取由所述數(shù)據(jù)分組化單元進(jìn)行分組后的數(shù)據(jù)的各項目中的特征量；
異?，F(xiàn)象特定單元，該異?，F(xiàn)象特定單元在組內(nèi)和組間分別對所述特征量提取單元提取到的各數(shù)據(jù)項目的特征量進(jìn)行比較，在存在有表示出與其他不同的現(xiàn)象的數(shù)據(jù)項目的情況下，將該數(shù)據(jù)項目特定為異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項目；以及
檢定單元，該檢定單元對所述異常現(xiàn)象特定單元所特定的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項目與其他數(shù)據(jù)項目之間是否存在有意差進(jìn)行檢定，在存在有意差的情況下，將被設(shè)為異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項目的數(shù)據(jù)項目判定為異常現(xiàn)象項目。
2.如權(quán)利要求1所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述數(shù)據(jù)分組化單元在組間將各組內(nèi)的數(shù)據(jù)項目數(shù)設(shè)為相同，對各數(shù)據(jù)項目附加組內(nèi)數(shù)據(jù)編號用于組內(nèi)識別，并附加組編號用于組間識別。
3.如權(quán)利要求1或2所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述特征量提取單元對原始數(shù)據(jù)、以及過濾原始數(shù)據(jù)后獲得的信號與原始數(shù)據(jù)的偏差這兩個，計算同一種類的特征量。
4.如權(quán)利要求1至3的任一項所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述異常現(xiàn)象特定單元進(jìn)行下述動作：
在同一組內(nèi)的數(shù)據(jù)項目間對特征量進(jìn)行比較，在關(guān)于特征量的大小，存在與其他數(shù)據(jù)項目相比具有規(guī)定比率以上的差的數(shù)據(jù)項目的情況下，將該數(shù)據(jù)項目特定為第1等級的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項目，
在監(jiān)視對象裝置中共通的數(shù)據(jù)項目在多個組均被特定為第1等級的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項目的情況下，將該數(shù)據(jù)項目特定為第2等級的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項目。
5.如權(quán)利要求4所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述檢定單元進(jìn)行下述動作：
關(guān)于所述異?，F(xiàn)象特定單元中被特定為第1等級的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項目的數(shù)據(jù)項目，在該數(shù)據(jù)項目的特征量和同一組內(nèi)的其他數(shù)據(jù)項目的特征量之間進(jìn)行統(tǒng)計檢定，當(dāng)兩者之間在規(guī)定的有意水準(zhǔn)下不存在有意差這一虛無假設(shè)被廢棄時，將該數(shù)據(jù)項目特定為第1等級的異?，F(xiàn)象項目，
在該數(shù)據(jù)項目也是第2等級的異?，F(xiàn)象候補(bǔ)項目的情況下，當(dāng)監(jiān)視對象裝置中共通的其他組的數(shù)據(jù)項目也屬于第1等級的異?，F(xiàn)象項目時，將該數(shù)據(jù)項目特定為第2等級的異?，F(xiàn)象項目。
6.如權(quán)利要求1至5的任一項所述的制造設(shè)備診斷輔助裝置，其特征在于，
所述數(shù)據(jù)解析裝置在一系列數(shù)據(jù)解析結(jié)束后，由所述數(shù)據(jù)解析范圍設(shè)定單元來變更數(shù)據(jù)的解析范圍的時間，基于變更后的范圍的數(shù)據(jù)，再次執(zhí)行一系列的數(shù)據(jù)解析。