硅片烘烤的控制方法、控制裝置及其控制系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種硅片烘烤的控制方法，包括：獲取至少一個烘箱的烘烤結(jié)束時間，每個所述烘烤結(jié)束時間分別與每個所述烘箱對應(yīng)；按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間；將所述當前時間與每個所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間進行對比；當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，則控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警。本發(fā)明的技術(shù)方案中提供的硅片烘烤的控制方法以及控制裝置和控制系統(tǒng)中，將不同烘箱的烘烤時間集中管理，方便工程人員進行監(jiān)控和管理。
【專利說明】硅片烘烤的控制方法、控制裝置及其控制系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片烘烤的控制方法、控制裝置及其控制系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路制造工藝中，常常需要進行將硅片放入烘烤的操作。不同工藝和不同產(chǎn)品需要進行的烘烤的方式和烘烤時長不同，使得現(xiàn)有的烘箱設(shè)備種類不一，操作方式也各不相同，監(jiān)控方式也不同。并且，在實際的工廠設(shè)置中，由于不同的烘烤所處的工藝階段不同，不同的烘箱很可能位于不同的產(chǎn)房。
[0003]目前傳統(tǒng)的方式中在烘烤過程中針對每個烘箱設(shè)定定時器，每個定時器設(shè)定不同烘烤時間以監(jiān)控對應(yīng)的烘箱。這樣的方式，不便于對位于不同位置的不同類型的烘箱的烘烤工藝進行實時監(jiān)控，不利于生產(chǎn)的進行。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對傳統(tǒng)方式中，不同烘箱單獨控制不利于生產(chǎn)進行的問題，本發(fā)明提供一種硅片烘烤的控制方法，包括:
[0005]獲取至少一個烘箱的烘烤結(jié)束時間，每個所述烘烤結(jié)束時間分別與每個所述烘箱對應(yīng)；
[0006]按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間；
[0007]將所述當前時間與每個所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間進行對比；
[0008]當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，則控制與與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警。
[0009]在其中一個實施例中，所述獲取烘箱的結(jié)束時間的步驟包括:
[0010]分別獲取用戶輸入的每個所述烘箱的烘烤時長和烘烤開始時間；
[0011 ] 根據(jù)所述烘烤時長和烘烤開始時間計算出對應(yīng)烘箱的所述烘烤結(jié)束時間。
[0012]在其中一個實施例中，所述方法還包括:
[0013]當不存在所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，則返回至所述按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間的步驟。
[0014]在其中一個實施例中，所述當烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警的步驟為:
[0015]當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，生成控制指令，并將所述控制指令發(fā)送至控制電路，所述控制電路通過所述控制指令控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱的報警器報警。
[0016]本發(fā)明還提供了一種硅片烘烤控制裝置，所述裝置包括:
[0017]烘烤結(jié)束時間獲取模塊，用于獲取至少一個烘箱的烘烤結(jié)束時間，每個所述烘烤結(jié)束時間分別與每個所述烘箱對應(yīng)；
[0018]當前時間獲取模塊，用于按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間；
[0019]時間對比模塊，用于將所述當前時間與每個烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間進行對比；
[0020]控制指令生成模塊，用于當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，生成控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警的指令。
[0021]在其中一個實施例中，所述烘烤結(jié)束時間獲取模塊還包括:
[0022]烘烤時長獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱的烘烤時長；
[0023]烘烤開始時間獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱進行烘烤的開始時間；
[0024]計算模塊，用于根據(jù)每個所述烘烤時長單元中的烘烤時長和當前時間計算出對應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時間。
[0025]本發(fā)明另提供了一種硅片烘烤的控制系統(tǒng)，包括硅片烘烤控制裝置、控制電路和多個與烘箱對應(yīng)的報警器；所述硅片烘烤控制裝置包括:
[0026]烘烤結(jié)束時間獲取模塊，用于獲取至少一個烘箱的烘烤結(jié)束時間，每個所述烘烤結(jié)束時間分別與每個所述烘箱對應(yīng)；
[0027]當前時間獲取模塊，用于按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間；
[0028]時間對比模塊，用于將所述當前時間與每個烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間進行對比；
[0029]控制指令生成模塊，用于當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，生成控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警的指令；
[0030]所述控制電路與所屬硅片烘烤裝置連接，用于接收所述指令，通過所述指令控制與所述烘箱對應(yīng)的報警器報警。
[0031]在其中一個實施例中，所述烘烤結(jié)束時間獲取模塊還包括:
[0032]烘烤時長獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱的烘烤時長；
[0033]烘烤開始時間獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱進行烘烤的開始時間；
[0034]計算模塊，用于根據(jù)每個所述烘烤時長單元中的烘烤時長和當前時間計算出對應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時間。
[0035]本發(fā)明的技術(shù)方案中提供的硅片烘烤的控制方法以及控制裝置和控制系統(tǒng)中，將不同烘箱的烘烤時間集中管理，方便工程人員進行監(jiān)控和管理。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0036]圖1為一個實施例中提供的硅片烘烤的控制方法的流程圖；
[0037]圖2為一個實施例中提供的硅片烘烤的控制方法的實施原理圖；
[0038]圖3是一個實施例中提供的硅片烘烤的控制系統(tǒng)的方框圖。

【具體實施方式】
[0039]圖1是本實施例提供的硅片烘烤的控制方法的流程圖。具體的，所述硅片烘烤的控制方法的步驟包括:
[0040]執(zhí)行步驟SllO:獲取至少一個烘箱的烘烤結(jié)束時間，每個所述烘烤結(jié)束時間分別與每個所述烘箱對應(yīng)；
[0041]執(zhí)行步驟S120:按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間；
[0042]執(zhí)行步驟S130:將所述當前時間與每個所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間進行對比；
[0043]當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，
[0044]則執(zhí)行步驟S140:控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警。
[0045]圖2所示為本實施提供的烘烤的控制方法的實施原理示意圖。如圖2所示，由硅片烘烤的控制系統(tǒng)發(fā)送指令給控制電路，以控制不同的烘箱上的報警器。其中，每個烘箱分別對應(yīng)一個報警器，如烘箱I對應(yīng)報警器1，烘箱2對應(yīng)報警器2，……，(其它依此類推)。所述硅片烘烤的控制方法主要利用主線程控制若干子線程的多線程技術(shù)進行。
[0046]以下結(jié)合圖1和圖2，詳細介紹本實施提供的所述硅片烘烤的控制方法的具體實施情況。具體如下:
[0047]執(zhí)行步驟SllO:獲取至少一個烘箱的烘烤結(jié)束時間，每個所述烘烤結(jié)束時間分別與每個所述烘箱對應(yīng)；
[0048]在本實施例中，主線程將所獲取的某個烘箱對應(yīng)的結(jié)束時間依次存放入一個存儲數(shù)組，同時對應(yīng)所述結(jié)束時間在所述存儲數(shù)組中的地址對應(yīng)建立一個子線程。相應(yīng)的，每個子線程即對應(yīng)一個進行烘烤工藝的烘箱。
[0049]執(zhí)行步驟S120:按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間；
[0050]在本實施例中，所述當前時間為計算機上的時間，在其它實施例中，所述當前時間也可以為按固定頻率記錄次數(shù)的計算線程的當前次數(shù)。
[0051]所述獲取當前時間的操作由主線程控制完成。具體的，所述主線程中設(shè)置當前時間單元，并按照一定周期去獲取當前時間，并實時更新記錄在當前時間單元。
[0052]所述周期可以設(shè)置為0.0ls?ls，具體可為運行主線程的CPU周期的整數(shù)倍。
[0053]具體的，本實施例中，進行步驟SllO的同時也在進行步驟S120。得到所述烘箱的結(jié)束時間的方式為:操作人員對應(yīng)烘箱輸入所述烘箱的烘烤時長，主線程再根據(jù)所述烘烤時長和當前時間計算得到所述結(jié)束時間。
[0054]其中，所述當前時間也處于實時變化之中，具體為開始啟動所述烘箱的烘烤的當前時間。相應(yīng)的，所述結(jié)束時間也實時變化，具體為開始啟動所述烘箱的烘烤時的當前時間和烘烤時長計算得到的結(jié)束時間。
[0055]執(zhí)行步驟S130:將所述當前時間與每個所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間進行對比；
[0056]所述主線程周期性的被觸發(fā)進行當前時間與每個所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間的對比，其中，所述主線程每次獲取并更新一次當前時間就進行一次對比。每次對比為依次比較當前時間和存儲在存儲數(shù)組中的結(jié)束時間，并判斷當前時間和所述結(jié)束時間是否相同。
[0057]當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同，則執(zhí)行步驟S140:控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警。
[0058]所述控制烘箱報警的方式為與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱所對應(yīng)的子線程的輸出指令傳輸?shù)娇刂齐娐?，使所述控制電路觸發(fā)所述烘箱對應(yīng)的報警器發(fā)出提醒音。
[0059]每個子線程對應(yīng)一個烘箱，所述子線程的輸出與子線程對應(yīng)的烘箱所對應(yīng)的指令，且通過通訊線程傳輸?shù)娇刂齐娐?，同時，所述子線程結(jié)束運行，并且，所述子線程對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間也不再參與與當前時間的對比。
[0060]所述控制電路根據(jù)從通訊線程接受到的子線程的指令，觸發(fā)所述子線程所對應(yīng)的烘箱上的報警器。
[0061]本實施例提供的硅片烘烤的控制方法中，將不同烘箱的烘烤時間集中管理，方便工程人員進行監(jiān)控和管理。
[0062]在本實施例中，采用將所述烘箱的結(jié)束時間放入主線程控制的存儲單元中，然后周期性的依次和當前時間比較的方式，不需要在每個子線程中設(shè)置變量，節(jié)省硬件資源和減少運行時間。
[0063]另外，本實施例中，還可以在輸入結(jié)束時間的時候，同時輸入相對應(yīng)的娃片的相關(guān)信息，同時傳入服務(wù)器中的數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，便于工程人員同一管理和統(tǒng)計。
[0064]基于上述硅片烘烤的控制方法，本實施例提供了一種硅片烘烤的控制系統(tǒng)，如圖3所示。
[0065]所述硅片烘烤的控制系統(tǒng)包括烘烤結(jié)束時間獲取模塊901、當前時間獲取模塊902、時間對比模塊903、控制指令生成模塊904、控制電路905和報警器906。
[0066]所述烘烤結(jié)束時間獲取模塊901用于獲取烘箱的結(jié)束時間，至少為一個，分別對應(yīng)不同的烘箱。
[0067]所述當前時間獲取模塊902用于周期性的獲取當前時間。
[0068]所述時間對比模塊903用于周期性的比較每個所述烘烤結(jié)束時間獲取模塊901中的結(jié)束時間和當前時間獲取模塊902中的當前時間，并判斷所述結(jié)束時間和當前時間是否相同；
[0069]所述控制指令生成模塊904用于在判斷所述結(jié)束時間和當前時間相同時，發(fā)出指令給控制電路905，使所述控制電路905觸發(fā)所述結(jié)束時間對應(yīng)的所述烘箱上的報警器906
發(fā)出提醒音。
[0070]本實施例中，所述烘烤結(jié)束時間獲取模塊901包括烘烤時長獲取模塊和計算模塊。其中，所述烘烤時長獲取模塊用于分別獲取每個所述烘箱的烘烤時長；所述計算模塊，用于根據(jù)每個所述烘烤時長獲取模塊中的烘烤時長和當前時間計算出對應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時間。
[0071]所述控制指令生成模塊904在判斷所述結(jié)束時間和當前時間相同后，還用于繼續(xù)進行周期性的比較其它所述結(jié)束時間和當前時間，并判斷其它所述結(jié)束時間和當前時間是否相同。其中，所述當前時間獲取模塊902周期性的獲取當前時間的周期與所述比較判斷單元周期性的依次比較當前時間和所述時間的周期是同步的。
[0072]以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片烘烤的控制方法，其特征在于，包括: 獲取至少一個烘箱的烘烤結(jié)束時間，每個所述烘烤結(jié)束時間分別與每個所述烘箱對應(yīng)； 按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間； 將所述當前時間與每個所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間進行對比； 當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，則控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警。
2.如權(quán)利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述獲取烘箱的結(jié)束時間的步驟包括: 分別獲取用戶輸入的每個所述烘箱的烘烤時長和烘烤開始時間； 根據(jù)所述烘烤時長和烘烤開始時間計算出對應(yīng)烘箱的所述烘烤結(jié)束時間。
3.如權(quán)利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述方法還包括: 當不存在所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，則返回至所述按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間的步驟。
4.如權(quán)利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述當烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警的步驟為: 當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，生成控制指令，并將所述控制指令發(fā)送至控制電路，所述控制電路通過所述控制指令控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱的報警器報警。
5.一種硅片烘烤的控制裝置，其特征在于，所述裝置包括: 烘烤結(jié)束時間獲取模塊，用于獲取至少一個烘箱的烘烤結(jié)束時間，每個所述烘烤結(jié)束時間分別與每個所述烘箱對應(yīng)； 當前時間獲取模塊，用于按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間； 時間對比模塊，用于將所述當前時間與每個烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間進行對比； 控制指令生成模塊，用于當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，生成控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警的指令。
6.如權(quán)利要求5所述的控制裝置，其特征在于，所述烘烤結(jié)束時間獲取模塊還包括: 烘烤時長獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱的烘烤時長； 烘烤開始時間獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱進行烘烤的開始時間； 計算模塊，用于根據(jù)每個所述烘烤時長單元中的烘烤時長和當前時間計算出對應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時間。
7.一種硅片烘烤的控制系統(tǒng)，其特征在于，包括硅片烘烤控制裝置、控制電路和多個與烘箱對應(yīng)的報警器；所述硅片烘烤控制裝置包括: 烘烤結(jié)束時間獲取模塊，用于獲取至少一個烘箱的烘烤結(jié)束時間，每個所述烘烤結(jié)束時間分別與每個所述烘箱對應(yīng)； 當前時間獲取模塊，用于按照預(yù)設(shè)時間間隔獲取當前時間； 時間對比模塊，用于將所述當前時間與每個烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間進行對比； 控制指令生成模塊，用于當所述烘箱對應(yīng)的烘烤結(jié)束時間與所述當前時間相同時，生成控制與當前時間相同的所述烘烤結(jié)束時間所對應(yīng)的烘箱報警的指令； 所述控制電路與所屬硅片烘烤裝置連接，用于接收所述指令，通過所述指令控制與所述烘箱對應(yīng)的報警器報警。
8.如權(quán)利要求7所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，所述烘烤結(jié)束時間獲取模塊還包括: 烘烤時長獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱的烘烤時長； 烘烤開始時間獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱進行烘烤的開始時間； 計算模塊，用于根據(jù)每個所述烘烤時長單元中的烘烤時長和當前時間計算出對應(yīng)烘箱的所述結(jié)束時間。
【文檔編號】G05B19/418GK104423346SQ201310390935
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】顧漢玉 申請人:華潤賽美科微電子(深圳)有限公司