專利名稱：半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)階段半導(dǎo)體器件已經(jīng)廣泛應(yīng)用在生產(chǎn)、生活的方方面面，并極大地提高了生產(chǎn)效率，方便和豐富了人民的生活。生產(chǎn)半導(dǎo)體器件需要半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，簡單的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)可以只包括一臺半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和相應(yīng)的控制器；復(fù)雜的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)通常包括多臺半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和對應(yīng)的工業(yè)自動化系統(tǒng)。請參閱圖1，圖1是現(xiàn)有技術(shù)的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)是一個簡單的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)；所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)包括半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備12和控制所述生產(chǎn)設(shè)備12的控制器121。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備12用于對工件，例如對半導(dǎo)體襯底進(jìn)行半導(dǎo)體加工工藝。所述控制器121用于控制所述生產(chǎn)設(shè)備12執(zhí)行所述半導(dǎo)體加工工藝，并同時采集所述生產(chǎn)設(shè)備12的狀態(tài)信息。工藝人員可以通過所述控制器121輸出設(shè)備獲得所述生產(chǎn)設(shè)備12的狀態(tài)信息。請參閱圖2，圖2是現(xiàn)有技術(shù)的另一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)是一個較為復(fù)雜的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)包括多個生產(chǎn)設(shè)備22/23/24和一個工業(yè)自動化系統(tǒng)25。所述多個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備22/23/24分別用于執(zhí)行包括薄膜沉積、薄膜刻蝕和半導(dǎo)體器件檢測等半導(dǎo)體加工工藝。所述工業(yè)自動化系統(tǒng)25包括工業(yè)自動化系統(tǒng)終端21和多個控制器221/231/241，所述多個控制器221/231/241與所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端21相連。所述多個控制器221/231/241分別對應(yīng)控制所述多個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備22/23/24。所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端21用于向所述多個控制器221/231/241發(fā)出控制指令，所述控制器221/231/241根據(jù)接收到的控制指令控制對應(yīng)的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備22/23/24執(zhí)行相應(yīng)的半導(dǎo)體加工工藝。所述控制器221/231/241同時采集對應(yīng)的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備22/23/24的狀態(tài)信息。并將所述狀態(tài)信息發(fā)送到所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端21。所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端21還包括一輸出裝置211，所述輸出裝置211用于輸出所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端21收集到的狀態(tài)信息。工藝人員可以通過所述輸出裝置獲得各個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備22/23/24的各種狀態(tài)信息。然而，現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中，當(dāng)工藝人員需要了解各個生產(chǎn)設(shè)備的狀態(tài)信息時，需要來到所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的控制器中的顯示設(shè)備前或來到所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端的輸出裝置前才能獲得所需的狀態(tài)信息。如此不利于工藝人員隨時掌握半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)生產(chǎn)狀況。因此，有必要研發(fā)一種能夠使得工藝人員隨時掌握生產(chǎn)狀況的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)不利于工藝人員隨時掌握半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)生產(chǎn)狀況，因此，本發(fā)明提供一種能解決上述問題的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)。一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其包括生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)，所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)用于控制所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)進(jìn)一步包括無線通信模塊，所述無線通信模塊用于與移動終端設(shè)備通信。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)具有所述無線通信模塊，所述無線通信模塊可以與移動終端設(shè)備通信，如此，只要工藝人員具有一移動終端設(shè)備就可以與所述無線通信模塊進(jìn)行通信，從而通過所述移動終端設(shè)備獲得半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的各種狀態(tài)信息，使得工藝人員能夠隨時隨地了解所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)狀況，大大方便工藝人員的工作。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)的一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是現(xiàn)有技術(shù)的另一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)第一實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)第二實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)不利于工藝人員隨時掌握半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)生產(chǎn)狀況；為解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，本發(fā)明提供一能夠使得工藝人員方便地掌握生產(chǎn)狀況的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)包括生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)，所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)用于控制所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)進(jìn)一步包括無線通信模塊，所述無線通信模塊用于與移動終端設(shè)備通信。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)具有所述無線通信模塊，所述無線通信模塊可以與移動終端設(shè)備通信，如此，只要工藝人員具有一移動終端設(shè)備就可以與所述無線通信模塊進(jìn)行通信，從而通過所述移動終端設(shè)備獲得半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的各種狀態(tài)信息，使得工藝人員能夠隨時隨地了解所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)狀況，大大方便工藝人員的工作。為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施例的限制。請參閱圖3，圖3是本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)第一實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)3包括半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32和生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)31。所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)31與所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32連接并控制所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32執(zhí)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32可以是沉積設(shè)備，如所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32為低壓化學(xué)氣相沉積沉積(LPCVD)設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積沉積(PECVD)設(shè)備或金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備；所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32也可以是刻蝕(Etching)設(shè)備；所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32還可以是檢測設(shè)備、激光劃線設(shè)備等設(shè)備。
所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)31包括控制器321和無線通信模塊322。所述控制器321與所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32連接并控制所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32執(zhí)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝。所述控制器321同時采集所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32的各種狀態(tài)信息，其中所述狀態(tài)信息包括設(shè)備狀態(tài)信息、工藝參數(shù)信息、工藝執(zhí)行進(jìn)度信息等信息；所述設(shè)備狀態(tài)信息包括表示所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32或其部件所處的工作狀態(tài)的信息，如所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32處于待機(jī)狀態(tài)，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32處于工作狀態(tài)和所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32或其部件處以出錯故障狀態(tài)等；所述工藝參數(shù)信息包括表示所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32正在執(zhí)行的半導(dǎo)體工藝的工藝參數(shù)設(shè)定值信息，正在執(zhí)行的半導(dǎo)體工藝的工藝參數(shù)實時實際值信息；如在化學(xué)氣相沉積工藝中所述工藝參數(shù)信息包括反應(yīng)氣體的流量和溫度、反應(yīng)腔中氣體壓力、待處理襯底的溫度和工藝時間等信息，在刻蝕工藝中所述工藝參數(shù)信息包括反應(yīng)氣體的流量和溫度、反應(yīng)腔中氣體壓力、射頻發(fā)生器功率、待處理襯底的溫度和工藝時間等信息；所述工藝執(zhí)行進(jìn)度信息包括半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32正在的工藝步驟信息，工藝步驟的執(zhí)行完成程度信息，工藝出錯信息等，如在化學(xué)氣相沉積工藝中所述工藝執(zhí)行進(jìn)度信息包括薄膜沉積厚度信息等，在刻蝕工藝中所述工藝執(zhí)行進(jìn)度信息包括刻蝕深度等信息。所述無線通信模塊322用于與移動終端設(shè)備30進(jìn)行通信。所述無線通信模塊322優(yōu)選的為一移動通信模塊，所述無線通信模塊322通過移動通信網(wǎng)絡(luò)與所述移動終端設(shè)備30進(jìn)行通信，其中移動終端設(shè)備30可以是移動電話、PDA或平板型電腦等移動終端設(shè)備30 ；在本實施方式中，所述移動終端設(shè)備30為移動電話。所述無線通信模塊321還可以是藍(lán)牙通信模塊或無線局域網(wǎng)通信模塊，所述移動終端設(shè)備30為對應(yīng)的藍(lán)牙通信設(shè)備終端或無線局域網(wǎng)通信終端。所述無線通信模塊322與所述控制器321連接，所述控制器321通過所述無線通信模塊322向所述移動終端設(shè)備30發(fā)送各種信息和指令，同時接收來自所述移動終端設(shè)備30的各種信息和指令。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)3還進(jìn)一步包括一信號天線323。所述信號天線323與所述無線通信模塊322通過一信號線324連接。所述信號天線323用于發(fā)射所述無線通信模塊322無線信號；所述信號天線323同時接收無線信號，并將信號傳輸至所述無線通信模塊322 ;所述信號線324用于在所述信號天線323與所述無線通信模塊322之間傳輸信號信
肩、O所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)3的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32由于電磁環(huán)境具有較高的要求，因此，所述生產(chǎn)設(shè)備32通常被安裝在一電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中，如，所述生產(chǎn)設(shè)備32被安裝在電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房或半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中。此時，優(yōu)選的，所述信號天線323安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間外。如此所述信號天線323發(fā)出的無線信號不會對所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間產(chǎn)生電磁污染?？蛇x的，所述控制器321和所述無線通信模塊322可以安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中；或所述控制器321安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中，所述無線通信模塊322安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間外。進(jìn)一步的，特別是所述無線通信模塊322安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中時，所述信號線324為一電磁屏蔽的信號線。所述電磁屏蔽的信號線324可防止在所述信號天線323與所述無線通信模塊322之間傳輸信號時出現(xiàn)電磁泄露，進(jìn)一步減少所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中的電磁污染發(fā)生的可能性。以下將對所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)3的工作過程進(jìn)行描述；在所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)3的工作過程中，工藝人員隨身攜帶所述移動終端設(shè)備30。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32啟動并處于待機(jī)狀態(tài)，工藝人員通過所述控制器321控制所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32執(zhí)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，然后所述工藝人員可以離開所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32。所述控制器321同時采集所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32的各種狀態(tài)信息。所述控制器321通過所述無線通信模塊321將所述狀態(tài)信息發(fā)送到所述工藝人員隨身攜帶的移動終端設(shè)備30。如此，所述工藝人員可以通過所述移動終端設(shè)備30隨時了解所述生產(chǎn)設(shè)備32的各種狀態(tài)信息。優(yōu)選的，所述控制器321將采集到的所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32的各種狀態(tài)信息區(qū)分為實時信息和非實時信息，其中實時信息可以包括所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32或其部件的出錯故障狀態(tài)信息，半導(dǎo)體加工工藝執(zhí)行完成信息，工藝報錯信息等緊急信息或其他需要工藝人員實時掌握的信息，所述非實時信息可以包括工藝設(shè)定參數(shù)信息、工藝實際參數(shù)信息、工藝執(zhí)行進(jìn)度信息等不需要工藝人員實時掌握的信息；當(dāng)采集到實時信息時，所述控制器321即實時的通過所述無線通信模塊322將所述實時信息發(fā)送到所述移動終端設(shè)備30，如此，工藝人員就能夠及時獲得是信息；當(dāng)采集到非實時信息時，所述控制器321定時通過所述無線通信模塊322將所述非實時信息發(fā)送到所述移動終端設(shè)備30。優(yōu)選的，工藝人員也可以通過所述移動終端設(shè)備30向所述控制器321發(fā)送控制指令，所述控制指令包括要求所述控制器321控制所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32改變其設(shè)備狀態(tài)，如使得所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32從待機(jī)狀態(tài)改變?yōu)閳?zhí)行半導(dǎo)體加工工藝狀態(tài)；所述控制指令也可以包括要求所述控制器321控制所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32改變其工藝參數(shù)設(shè)定值，停止執(zhí)行某一工藝步驟等；所述控制指令還包括要求所述控制器321即時向所述移動終端設(shè)備30發(fā)送最新采集到的全部或某一特定的狀態(tài)信息以方便工藝人員主動獲知并掌握所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32的各種狀態(tài)信息。根據(jù)所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32的各種狀態(tài)信息，工藝人員如需要改變所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32工作狀態(tài)、工藝參數(shù)等，工藝人員也可以通過所述移動終端設(shè)備30向所述控制器321發(fā)送相應(yīng)的控制指令；所述控制器321接收到所述控制指令后控制所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備32執(zhí)行相應(yīng)操作。請參閱圖4，圖4是本發(fā)明半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)第二實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)4包括若干個生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)45。所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)45與所述若干個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備連接，所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)45控制所述若干半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備執(zhí)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝。所述若干個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備可以均為沉積設(shè)備，如所述若干個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備均為低壓化學(xué)氣相沉積沉積(LPCVD)設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積沉積(PECVD)設(shè)備或金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備；所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備也可以均為刻蝕(Etching)設(shè)備；所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備還可以均為檢測設(shè)備或激光劃線設(shè)備等設(shè)備；所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備還可以是其他半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備；所述若干個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備還可以是上述各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的任意集合。在本實施方式中，所述若干個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備包括一個沉積設(shè)備42、一個刻蝕設(shè)備43和一個檢測設(shè)備44。所述沉積設(shè)備42用于在半導(dǎo)體器件上沉積薄膜，所述刻蝕設(shè)備43用于在半導(dǎo)體器件上刻蝕孔洞或溝槽，所述檢測設(shè)備用于檢測半導(dǎo)體器件的各種參數(shù)，如薄膜沉寂的厚度和薄膜沉積的均勻性，半導(dǎo)體器件上刻蝕的孔洞或溝槽的深度等特性。所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)45包括工業(yè)自動化系統(tǒng)和無線通信模塊412。所述工業(yè)自動化系統(tǒng)包括若干個控制器和一工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41。所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41與所述若干個控制器連接；所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41接收所述若干個控制器發(fā)來的信息；所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41還用于向所述若干個控制器發(fā)出控制指令；所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41還包括一輸出設(shè)備411，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41通過所述輸出設(shè)備輸出所述其獲得的各種信息。所述若干個控制器分別與所述若干個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備連接；所述控制器根據(jù)所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41的控制指令控制對應(yīng)的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備執(zhí)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝。同時，所述若干個控制器分別采集對應(yīng)的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的各種狀態(tài)信息，并將所述各種狀態(tài)信息傳輸至所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41 ;其中，所述狀態(tài)信息包括設(shè)備狀態(tài)信息、工藝參數(shù)信息、工藝執(zhí)行進(jìn)度信息等信息；所述設(shè)備狀態(tài)信息包括表示所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備或其部件所處的工作狀態(tài)的信息，如所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備處于待機(jī)狀態(tài)，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備處于工作狀態(tài)和所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備或其部件處以出錯故障狀態(tài)等；所述工藝參數(shù)信息包括表示所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備正在執(zhí)行的半導(dǎo)體工藝的工藝參數(shù)設(shè)定值信息，正在執(zhí)行的半導(dǎo)體工藝的工藝參數(shù)實時實際值信息；如在化學(xué)氣相沉積工藝中所述工藝參數(shù)信息包括反應(yīng)氣體的流量和溫度、反應(yīng)腔中氣體壓力、待處理襯底的溫度和工藝時間等信息，在刻蝕工藝中所述工藝參數(shù)信息包括反應(yīng)氣體的流量和溫度、反應(yīng)腔中氣體壓力、射頻發(fā)生器功率、待處理襯底的溫度和工藝時間等信息；所述工藝執(zhí)行進(jìn)度信息包括半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備正在的工藝步驟信息，工藝步驟的執(zhí)行完成程度信息，工藝出錯信息等，如在化學(xué)氣相沉積工藝中所述工藝執(zhí)行進(jìn)度信息包括薄膜沉積厚度信息等，在刻蝕工藝中所述工藝執(zhí)行進(jìn)度信息包括刻蝕深度等信息。在本實施方式中，所述若干個控制器包括一第一控制器421、第二控制器431和第三控制器441。其中，所述第一控制器421與所述沉積設(shè)備42連接；所述第二控制器431與所述刻蝕設(shè)備43連接；所述第三控制器441與所述檢測設(shè)備44連接。所述無線通信模塊412與所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41連接，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41通過所述無線通信模塊412向移動終端設(shè)備40發(fā)送各種信息和指令和接收來自所述移動終端設(shè)備40的各種信息和指令。所述無線通信模塊412用于與所述移動終端設(shè)備40進(jìn)行通信。所述無線通信模塊412優(yōu)選的為一移動通信模塊，所述無線通信模塊412通過移動通信網(wǎng)絡(luò)與所述移動終端設(shè)備40進(jìn)行通信，其中所述移動終端設(shè)備40可以是移動電話、PDA或平板型電腦等移動終端設(shè)備40 ;在本實施方式中，所述移動終端設(shè)備40為移動電話。所述無線通信模塊412還可以是藍(lán)牙通信模塊或無線局域網(wǎng)通信模塊，所述移動終端設(shè)備40為對應(yīng)的藍(lán)牙通信設(shè)備終端或無線局域網(wǎng)通信終端。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)4還進(jìn)一步包括一信號天線413。所述信號天線412與所述無線通信模塊412通過一信號線414連接。所述信號天線413用于發(fā)射所述無線通信模塊412無線信號，并接收無線信號，將所述信號傳輸至所述無線通信模塊412 ;所述信號線414用于在所述信號天線413與所述無線通信模塊412之間傳輸信號信息。所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)4的生產(chǎn)設(shè)備42/43/44由于電磁環(huán)境具有較高的要求，因此，所述生產(chǎn)設(shè)備42/43/44通常被安裝在一電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中，如，所述生產(chǎn)設(shè)備42/43/44被安裝在電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房或半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中。此時優(yōu)選的，所述信號天線413安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間外。如此所述信號天線413發(fā)出的無線信號不會對所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間產(chǎn)生電磁污染。可選的，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)和所述無線通信模塊412可以安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中；或，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中，所述無線通信模塊412安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間外。進(jìn)一步的，特別是所述無線通信模塊412安裝在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中時，所述信號線414為一電磁屏蔽的信號線。所述電磁屏蔽的信號線414可防止在所述信號天線413與所述無線通信模塊412之間傳輸信號時出現(xiàn)電磁泄露，進(jìn)一步減少所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間中的電磁污染發(fā)生的可能性。以下將對所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)4的工作過程進(jìn)行描述；在所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)4的工作過程中，工藝人員隨身攜帶所述無線通信終端設(shè)備40。所述工業(yè)自動化系統(tǒng)控制所述若干個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備42/43/44啟動并處于待機(jī)狀態(tài)，工藝人員通過所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41控制所述若干個半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備42/43/44執(zhí)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，然后所述工藝人員可以離開所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端42。所述第一控制器421、所述第二控制器431和所述第三控制器441分別對應(yīng)采集所述沉積設(shè)備42、所述刻蝕設(shè)備43和所述檢測設(shè)備44的各種狀態(tài)信息。所述第一控制器421、所述第二控制器431和所述第三控制器441將采集到的狀態(tài)信息傳輸?shù)剿龉I(yè)自動化系統(tǒng)終端41。所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41通過所述無線通信模塊412將所述狀態(tài)信息發(fā)送到所述工藝人員隨身攜帶的移動終端設(shè)備40。如此，所述工藝人員可以通過所述移動終端設(shè)備40隨時了解所述沉積設(shè)備42、所述刻蝕設(shè)備43和所述檢測設(shè)備44的各種狀態(tài)信息。優(yōu)選的，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41將采集到的所述沉積設(shè)備42、所述刻蝕設(shè)備43和所述檢測設(shè)備44的各種狀態(tài)信息區(qū)分為實時信息和非實時信息；當(dāng)采集到實時信息時，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41即實時地通過所述無線通信模塊412將所述實時信息發(fā)送到所述移動終端設(shè)備40，如此，使得工藝人員能夠及時獲得實時信息；當(dāng)采集到非實時信息時，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41定時通過所述無線通信模塊412將所述非實時信息發(fā)送到所述移動終端設(shè)備40。工藝人員也可以通過所述移動終端設(shè)備40向所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41發(fā)送控制指令，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41根據(jù)所述控制指令向所述第一控制器421、第二控制器431和第三控制器441發(fā)出相應(yīng)的控制指令。根據(jù)所述若干半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的各種狀態(tài)信息，工藝人員如需要改變所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備42/43/44工作狀態(tài)、工藝參數(shù)等的時候，工藝人員可以通過所述移動終端設(shè)備30向所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41發(fā)送相應(yīng)的控制指令；所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端41根據(jù)所述控制指令向所述第一控制器421、第二控制器431和第三控制器441發(fā)出相應(yīng)的控制指令。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本發(fā)明的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)通過設(shè)置所述無線通信模塊與工藝人員隨身攜帶的移動終端設(shè)備進(jìn)行通信，使得工藝人員的能夠方便地了解所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的各種狀態(tài)信息；同時，工藝人員還可以通所述移動終端設(shè)備向所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)發(fā)送控制指令以控制所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)作，減輕所述工藝人員的勞動強(qiáng)度和工作便利性。本發(fā)明中，所述無線通信模塊為一移動通信模塊，使移動通信模塊可以通過移動通信網(wǎng)絡(luò)與所述移動終端設(shè)備進(jìn)行通信，使得所述工藝人員通過覆蓋面最廣的移動通信網(wǎng)絡(luò)獲得所述半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的各種狀態(tài)信息，消除了空間上的局限性。所述信號天線設(shè)置在所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間外，可以防止所述信號天線的無線信號電磁污染所述電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間。雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其包括生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)，所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)用于控制所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，其特征在于:所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)進(jìn)一步包括無線通信模塊，所述無線通信模塊用于與移動終端設(shè)備通信。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述無線通信模塊為一移動通信模塊，所述移動通信模塊通過移動通信網(wǎng)絡(luò)與所述移動終端設(shè)備通信。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述移動終端設(shè)備為一移動電話。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)包括控制所述生產(chǎn)設(shè)備的控制器，所述無線通信模塊與所述控制器連接，所述控制器收集所述生產(chǎn)設(shè)備的狀態(tài)信息。所述控制器將收集到的狀態(tài)信息全部或部分通過所述無線通信模塊發(fā)送至所述移動終端設(shè)備。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)包括多個所述生產(chǎn)設(shè)備，所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)還包括一工業(yè)自動化系統(tǒng)，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)包括工業(yè)自動化系統(tǒng)終端和多個控制器，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端和所述多個控制器相互連接并通信，所述多個控制器分別對應(yīng)控制所述多個生產(chǎn)設(shè)備，所述無線通信模塊與所述工工業(yè)自動化系統(tǒng)終端連接，所述控制器收集對應(yīng)生產(chǎn)設(shè)備的狀態(tài)信息，并將所述狀態(tài)信息傳輸至所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端，所述工業(yè)自動化系統(tǒng)終端將收集到的狀態(tài)信息全部或部分通過所述無線通信模塊發(fā)送至所述移動終端設(shè)備。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述狀態(tài)信息包括設(shè)備狀態(tài)信息、工藝參數(shù)信息和/或工藝執(zhí)行進(jìn)度信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述狀態(tài)信息包括實時信息和非實時信息，所述無線通信模塊定時向所述移動終端發(fā)送所述非實時信息，所述無線通信模塊實時發(fā)送所述實時信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述無線通信模塊進(jìn)一步接受從所述移動終端發(fā)送來的控制信號；所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)根據(jù)所述控制信號執(zhí)行控制操作。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述控制信號包括控制生產(chǎn)設(shè)備改變設(shè)備狀態(tài)、改變工藝參數(shù)或執(zhí)行一半導(dǎo)體工藝的控制信號。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述控制信號包括要求所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)通過所述無線通信模塊向所述移動終端發(fā)送所述全部或某一特定狀態(tài)信息。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述無線通信模塊外接一信號天線，所述信號天線用于發(fā)射或接受無線信號；至少所述生產(chǎn)設(shè)備設(shè)置在一電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)空間內(nèi)，至少所述信號天線設(shè)置在所述半導(dǎo)體生產(chǎn)空間外。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:半導(dǎo)體生產(chǎn)空間為電磁屏蔽的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠房或生產(chǎn)車間。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述無線通信模塊設(shè)置在所述半導(dǎo)體生產(chǎn)空間內(nèi)，所述信號天線與所述無線通信模塊之間通過一電磁屏蔽線連接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，所述半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)包括生產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)，所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)用于控制所述生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝，所述生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)進(jìn)一步包括無線通信模塊，所述無線通信模塊用于與移動終端設(shè)備通信。本發(fā)明的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)能夠方便工藝人員了解半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)的狀態(tài)。
文檔編號G05B19/418GK103076772SQ20121055904
公開日2013年5月1日 申請日期2012年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月20日
發(fā)明者蘇育家 申請人:光達(dá)光電設(shè)備科技(嘉興)有限公司