專(zhuān)利名稱：質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種自動(dòng)檢驗(yàn)數(shù)字型氣體質(zhì)量流量控制器的裝置，尤其涉及一種質(zhì) 量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
目前，檢驗(yàn)質(zhì)量流量控制器大都采用人工定時(shí)記錄各個(gè)點(diǎn)的精度，根據(jù)記錄的 數(shù)據(jù)進(jìn)行手工計(jì)算得到這臺(tái)質(zhì)量流量控制器的精度、線性以及重復(fù)性的圖標(biāo)。這樣做大 大浪費(fèi)了人力物力，結(jié)果可靠性和生產(chǎn)效率也因此大大降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可靠性高、效率高的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng) 和方法。本發(fā)明的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)，包括檢驗(yàn)氣路，所述檢驗(yàn)氣路包括 氣源和減壓裝置，所述的減壓裝置之后的檢驗(yàn)氣路上依次連接有質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元 和待檢驗(yàn)的質(zhì)量流量控制器，所述質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元和質(zhì)量流量控制器分別設(shè)有數(shù) 字通訊單元，并分別通過(guò)串口與計(jì)算機(jī)連接。本發(fā)明的上述的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行質(zhì)量流量控制器檢驗(yàn)的方 法，包括步驟首先，設(shè)定相關(guān)的參數(shù)，包括在質(zhì)量流量控制器的量程內(nèi)設(shè)置多個(gè)讀取點(diǎn)，并 設(shè)置各點(diǎn)的讀取次數(shù)和讀取間隔時(shí)間；之后，分別讀取質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元在每個(gè)讀取點(diǎn)的流量值，并將該值與質(zhì) 量流量控制器設(shè)定的讀取點(diǎn)的值進(jìn)行比較；然后，根據(jù)檢測(cè)的數(shù)據(jù)計(jì)算相應(yīng)的精度、線性、重復(fù)性的值，并繪制圖表和打 印。由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明所述的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng) 檢驗(yàn)系統(tǒng)和方法，由于檢驗(yàn)氣路上依次連接有質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元和待檢驗(yàn)的質(zhì)量流 量控制器，質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元和質(zhì)量流量控制器分別設(shè)有數(shù)字通訊單元，并分別通 過(guò)串口與計(jì)算機(jī)連接?？梢岳脭?shù)字通訊技術(shù)完成對(duì)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行自動(dòng)檢驗(yàn)，該 方法突破了傳統(tǒng)的手工記錄、等待數(shù)據(jù)、計(jì)算最終結(jié)果的方法，大大提高了結(jié)果可靠性 和生產(chǎn)效率。


圖1為本發(fā)明中質(zhì)量流量控制器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)，其較佳的具體實(shí)施方式
如圖2所 示，包括檢驗(yàn)氣路，檢驗(yàn)氣路包括氣源和減壓裝置，所述的減壓裝置之后的檢驗(yàn)氣路上 依次連接有質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元和待檢驗(yàn)的質(zhì)量流量控制器，所述質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量 單元和質(zhì)量流量控制器分別設(shè)有數(shù)字通訊單元，并分別通過(guò)串口與計(jì)算機(jī)連接。本發(fā)明的上述的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行質(zhì)量流量控制器檢驗(yàn)的方 法，其較佳的具體實(shí)施方式
如圖3所示，包括步驟首先，設(shè)定相關(guān)的參數(shù)，包括在質(zhì)量流量控制器的量程內(nèi)設(shè)置多個(gè)讀取點(diǎn)，并 設(shè)置各點(diǎn)的讀取次數(shù)和讀取間隔時(shí)間；之后，分別讀取質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元在每個(gè)讀取點(diǎn)的流量值，并將該值與質(zhì) 量流量控制器設(shè)定的讀取點(diǎn)的值進(jìn)行比較；然后，根據(jù)檢測(cè)的數(shù)據(jù)計(jì)算相應(yīng)的精度、線性、重復(fù)性的值，并繪制圖表和打 印。所述質(zhì)量流量控制器的量程內(nèi)的多個(gè)讀取點(diǎn)可以包括25%, 50%, 75%處的點(diǎn)。所述質(zhì)量流量控制器的量程內(nèi)的多個(gè)讀取點(diǎn)的設(shè)定順序可以為25%, 50%, 75%, 75%, 50%, 25%。所述的讀取次數(shù)大于或等于1次。本發(fā)明的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)，是一種針對(duì)數(shù)字型氣體質(zhì)量流量的 精度，線性，重復(fù)性檢測(cè)的裝置。利用數(shù)字通訊技術(shù)完成了對(duì)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行自動(dòng) 檢驗(yàn)，該方法突破了傳統(tǒng)的手工記錄、等待數(shù)據(jù)，計(jì)算最終結(jié)果的方法。大大提高了生 產(chǎn)效率。下面對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述首先介紹一下質(zhì)量流量控制器的工作原理和測(cè)量原理工作原理質(zhì)量流量控制器(MFCs)用于對(duì)氣體質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量及控 制。其測(cè)量及控制精度不受一定范圍的氣壓及溫度變化影響。質(zhì)量流量計(jì)(MFMs)用于 對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。如圖1所示，質(zhì)量流量控制器包括分流器、傳感器、電路板及調(diào)節(jié)閥等部分。分流器、傳感器及電路板的測(cè)量部分組成了質(zhì)量流量控制器的流量測(cè)量單元， 它們也組成了質(zhì)量流量計(jì)。調(diào)節(jié)閥與電路板的控制部分組成了質(zhì)量流量控制器的控制單元，它們只存在于 質(zhì)量流量控制器中。因此，每臺(tái)質(zhì)量流量控制器都包含一臺(tái)質(zhì)量流量計(jì)。測(cè)量原理氣流由傳感器一分為二氣體的一部分流入傳感器，其質(zhì)量流量的 實(shí)際大小由傳感器測(cè)量；氣體的其它部分流過(guò)分流器，其大小由分流器限制。分流器的規(guī)格與量程范圍的大小成比例。傳感器輸出的電壓與流經(jīng)傳感器的氣體質(zhì)量流量大小成正比，該流量的大小與 分流器的設(shè)計(jì)有關(guān)，與通過(guò)質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器的總流量成正比。電路板放大了傳感器測(cè)得的信號(hào)并將其線性化，所以電路板的輸出值也就是顯示值，與通過(guò)質(zhì)量流量控制器或質(zhì)量流量計(jì)的氣體的質(zhì)量流量大小成比例。輸出信號(hào)為 0-5V電壓當(dāng)信號(hào)為零時(shí)，表示沒(méi)有氣體流過(guò)；當(dāng)信號(hào)為5V時(shí)，表示流過(guò)的氣體質(zhì)量 流量達(dá)到滿量程。滿量程為設(shè)計(jì)及標(biāo)定時(shí)的最大質(zhì)量流量大小。根據(jù)上面對(duì)工作原理和測(cè)量原理的描述，可以看出流量檢測(cè)輸出和設(shè)定信號(hào)的 輸入均可以從電路板獲得。本發(fā)明設(shè)計(jì)了一個(gè)自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)，通過(guò)獲得的流量檢測(cè)信號(hào) 和軟件設(shè)定來(lái)完成自動(dòng)完成。具體的氣路實(shí)現(xiàn)如圖2所示，在減壓器的后端接質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元(DHI)， 然后接質(zhì)量流量控制器(MFC)產(chǎn)品。其中質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元和質(zhì)量流量控制器都可以進(jìn)行數(shù)字通訊，并分別與 計(jì)算機(jī)連接。通過(guò)串口通訊可實(shí)時(shí)獲取MFC的流量檢測(cè)數(shù)據(jù)和DHI的流量檢測(cè)數(shù)據(jù)。 這樣就省去了人工定時(shí)記錄瞬時(shí)流量值的工作，直接用計(jì)算機(jī)來(lái)進(jìn)行，進(jìn)行反復(fù)多次測(cè) 量取值后，完成對(duì)質(zhì)量流量控制器的數(shù)據(jù)記錄，接下來(lái)的步驟就是利用記錄的數(shù)據(jù)自動(dòng) 計(jì)算質(zhì)量流量控制器的精度、線性和重復(fù)性。最后將結(jié)果的圖表直接通過(guò)打印機(jī)輸出。 這樣又省去了人工根據(jù)記錄的數(shù)據(jù)計(jì)算質(zhì)量流量控制器的精度、線性和重復(fù)性。如圖3所示，具體的檢測(cè)步驟包括首先，設(shè)定相關(guān)的參數(shù)為了保證最終數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確度，一般不會(huì)只讀取一遍從0%到100%的數(shù)據(jù)，作為 最終結(jié)果的計(jì)算依據(jù)，所以在這里要設(shè)置讀取數(shù)據(jù)的遍數(shù)，一般不少于1遍；對(duì)于需要 讀取的25%，50%, 75%各點(diǎn)，也需要設(shè)置各點(diǎn)的讀取次數(shù)和讀取間隔時(shí)間。之后，對(duì)流量計(jì)分別設(shè)定為25%，50%, 75%。分別讀取DHI在設(shè)定為25%， 50%, 75%各點(diǎn)的值，并記錄此時(shí)DHI的流量讀數(shù)。注對(duì)于流量計(jì)設(shè)定順序?yàn)?5%，50%, 75%, 75%, 50%, 25%從0%到 0%為一個(gè)完整的檢測(cè)過(guò)程。此文檔所說(shuō)的讀取數(shù)據(jù)的遍數(shù)就是上述的檢測(cè)過(guò)程。一遍 為一個(gè)完整的檢測(cè)過(guò)程。根據(jù)檢測(cè)的數(shù)據(jù)計(jì)算相應(yīng)的精度，線性，重復(fù)性的值，然后繪制圖表，最后通 過(guò)打印機(jī)打印圖表。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于 此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或 替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)，包括檢驗(yàn)氣路，所述檢驗(yàn)氣路包括氣源和 減壓裝置，其特征在于，所述的減壓裝置之后的檢驗(yàn)氣路上依次連接有質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè) 量單元和待檢驗(yàn)的質(zhì)量流量控制器，所述質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元和質(zhì)量流量控制器分別 設(shè)有數(shù)字通訊單元，并分別通過(guò)串口與計(jì)算機(jī)連接。
2.—種權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行質(zhì)量流量控制器檢驗(yàn)的 方法，其特征在于，包括步驟首先，設(shè)定相關(guān)的參數(shù)，包括在質(zhì)量流量控制器的量程內(nèi)設(shè)置多個(gè)讀取點(diǎn)，并設(shè)置 各點(diǎn)的讀取次數(shù)和讀取間隔時(shí)間；之后，分別讀取質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元在每個(gè)讀取點(diǎn)的流量值，并將該值與質(zhì)量流 量控制器設(shè)定的讀取點(diǎn)的值進(jìn)行比較；然后，根據(jù)檢測(cè)的數(shù)據(jù)計(jì)算相應(yīng)的精度、線性、重復(fù)性的值，并繪制圖表和打印。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的進(jìn)行質(zhì)量流量控制器檢驗(yàn)的方法，其特征在于，所述質(zhì)量流 量控制器的量程內(nèi)的多個(gè)讀取點(diǎn)包括25%, 50%, 75%處的點(diǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的進(jìn)行質(zhì)量流量控制器檢驗(yàn)的方法，其特征在于，所述質(zhì)量流 量控制器的量程內(nèi)的多個(gè)讀取點(diǎn)的設(shè)定順序?yàn)?5%, 50%, 75%, 75%, 50%, 25%。
5.根據(jù)權(quán)利要求2、3或4所述的進(jìn)行質(zhì)量流量控制器檢驗(yàn)的方法，其特征在于，所 述的讀取次數(shù)大于或等于1次。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)檢驗(yàn)系統(tǒng)和方法，在檢驗(yàn)氣路上依次連接有質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元和待檢驗(yàn)的質(zhì)量流量控制器，質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量單元和質(zhì)量流量控制器分別設(shè)有數(shù)字通訊單元，并分別通過(guò)串口與計(jì)算機(jī)連接。可以利用數(shù)字通訊技術(shù)完成對(duì)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行自動(dòng)檢驗(yàn)，該方法突破了傳統(tǒng)的手工記錄、等待數(shù)據(jù)、計(jì)算最終結(jié)果的方法，大大提高了結(jié)果可靠性和生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G05B23/02GK102023634SQ201010547150
公開(kāi)日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2010年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月16日
發(fā)明者吳薇, 楊宇, 趙迪 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司