專利名稱：質量流量控制器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明提供了一種質量流量控制器，具體涉及一種用于對氣體的質量流量進行精
密測量和控制的儀器。
背景技術：
隨著生產技術的發(fā)展，對質量流量控制器的要求越來越高?，F(xiàn)有的質量流量控制 器在耐腐蝕性，控制精度，響應時間，重復精度和控制氣流的穩(wěn)定性等方面難以滿足生產所 需的越來越高的要求。現(xiàn)有的質量流量控制器普遍采用非金屬材料密封，缺點是一方面非 金屬材料易老化，可靠性低；另一方面耐腐蝕性能力有限，不能用于有較強腐蝕性的氣體， 應用范圍窄。另外，現(xiàn)有的質量流量控制器的控制精度，響應時間，重復精度和控制氣流的 穩(wěn)定性等重要參數指標都受壓力的影響，僅在較小的壓力范圍內適用。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術中的缺陷，設計一種新型耐腐蝕、控制精度高的 質量流量控制器。 為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術方案是一種質量流量控制器，包括殼體和與殼體 緊密螺接的本體，殼體內部設置有支架， 一流量傳感器和電路板分別與支架螺紋連接，本體 內設有氣體通道，一電磁閥固定在本體上部，其中，所述流量傳感器和電磁閥分別與氣體通 道相通，本體內有一壓力傳感器，壓力傳感器位于本體內的氣體通道上，氣體的流通量根據 流量傳感器和壓力傳感器的數值進行調整。 其中，所述流量傳感器和電磁閥均采用金屬密封圈密封。 其中，所述氣體通道內安裝有層流器，層流器采用金屬密封圈密封，所述流量傳感 器與層流器相通。 其中，所述電路板包括運算和控制電路。 其中，所述所述氣體通道內層流器的前端連接有一分流器，分流器采用金屬密封 圈密封。 其中，所述層流器內安裝有一 網狀膜。 本發(fā)明的優(yōu)點和有益效果在于采用了全金屬密封的方式，使得質量流量控制器 耐腐蝕能力強，能應用于有較強腐蝕性的氣體測量，應用范圍廣。
控制器的裝配圖； 控制器中通道的示意圖； 控制器中接頭的示意圖； 控制器中層流器的示意圖； 控制器的原理

圖1是依照本發(fā)明實施例的質量流量
圖2是依照本發(fā)明實施例的質量流量
圖3是依照本發(fā)明實施例的質量流量
圖4是依照本發(fā)明實施例的質量流量
圖5是依照本發(fā)明實施例的質量流量
圖6是依照本發(fā)明實施例的質量流量控制器的分解的立體示意圖。
圖中 1 :氣體通道；2 :電路板；3 :流量傳感器；4 :壓力傳感器；5 :殼體；6 :分流器；7 :層 流器；8、接頭；9、支架；10、支撐架；11、螺釘；12、電磁閥；13、金屬密封圈；14、本體；15 :網狀膜。
具體實施例方式
下面結合附圖和實施例，對本發(fā)明的具體實施方式
作進一步描述。以下實施例僅
用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術方案，而不能以此來限制本發(fā)明的保護范圍。 本發(fā)明具體實施的技術方案是 如圖1、圖6所示，一種質量流量控制器，包括殼體5和與殼體5緊密螺接的本體 14，殼體5內部設置有支架9和支撐架IO，流量傳感器3與支架9螺紋連接，電路板2與支 架9和支撐架10分別螺紋連接，本體14內設有氣體通道1 (如圖2所示)，電磁閥12固定 在本體14上部，流量傳感器3和電磁閥12分別與氣體通道1相通，流量傳感器3和電磁閥 12均采用金屬密封圈13密封，使得質量流量控制器耐腐蝕能力強，本體內有壓力傳感器4， 壓力傳感器4位于本體14內的氣體通道1上部，氣體通道1內安裝有分流器6，分流器6的 前端連接有層流器7 (如圖4所示)，層流器7內有網狀膜15，氣體流過網狀膜15后，網狀 膜15與分流器6保證氣體按層流狀流動，電路板2包括運算和控制電路，氣體本體14前部 為接頭8(如圖3所示)。 本質量流量控制器的工作原理是通過在質量流量控制器的入口安裝高精度的壓 力傳感器4，進行測量出氣體的壓力值，壓力傳感器所測得的壓力值輸送到電路板2上，通 過電路板2的CPU運算，對流量傳感器3測得的信號進行修正，流量傳感器3測得流量信號 先送入放大器放大，放大后的值與設定值進行比較，再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門， 控制流過通道的流量使用之與設定的流量相等。 本實施例的優(yōu)點在于，減少了壓力變化對質量流量控制器的影響，提高了控制精 度，并增強了質量流量控制器的耐腐蝕性，從而使本發(fā)明的質量流量控制器應用范圍很廣。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人 員來說，在不脫離本發(fā)明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾 也應視為本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
一種質量流量控制器，包括殼體和與殼體緊密螺接的本體，殼體內部設置有支架，一流量傳感器和電路板分別與支架螺紋連接，本體內設有氣體通道，一電磁閥固定在本體上部，其特征在于，所述流量傳感器和電磁閥分別與氣體通道相通，所述本體內有一壓力傳感器，壓力傳感器位于本體內的氣體通道上，氣體的流通量根據流量傳感器和壓力傳感器的數值進行調整。
2. 如權利要求1所述的質量流量控制器，其特征在于，所述流量傳感器和電磁閥均采 用金屬密封圈密封。
3. 如權利要求1或2所述的質量流量控制器，其特征在于，所述氣體通道內安裝有層流 器，所述層流器采用金屬密封圈密封，所述流量傳感器與層流器相通。
4. 如權利要求1或2所述的質量流量控制器，其特征在于，所述電路板包括運算和控制 電路。
5. 如權利要求3所述的質量流量控制器，其特征在于，所述所述氣體通道內層流器的 前端連接有一層分流器，所述分流器采用金屬密封圈密封。
6. 如權利要求3所述的質量流量控制器，其特征在于，所述層流器內安裝有一網狀膜。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于氣體的質量流量控制器，包括殼體和與殼體緊密螺接的本體，殼體內部設置有支架，一流量傳感器和電路板分別與支架螺紋連接，本體內設有氣體通道，一電磁閥固定在本體上部，所述流量傳感器和電磁閥分別與氣體通道相通，所述本體內有一壓力傳感器，壓力傳感器位于本體內的氣體通道上，氣體的流通量根據流量傳感器和壓力傳感器的數值進行調整。本質量流量控制器屬于壓力不敏感型，全金屬密封結構，耐腐蝕，應用范圍廣。
文檔編號G05D7/06GK101714003SQ20091023844
公開日2010年5月26日 申請日期2009年11月20日 優(yōu)先權日2009年11月20日
發(fā)明者牟昌華, 蘇乾益 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司