專利名稱：恒溫裝置以及恒溫方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體加工設備的溫度控制，由其涉及刻蝕機、CVD等半導體加工設備 的高精度恒溫控制。
背景技術：
現(xiàn)有的恒溫裝置利用熱交換原理，保證半導體加工設備在特殊工作區(qū)域的溫度恒 定。以刻蝕機為例，隨刻蝕工藝的變化，在上片和預處理階段，半導體加工設備所產生的負 荷差別很大，負荷的波動經(jīng)常在500 4000W?？涛g機要求在負荷波動及切換工況下，恒溫 裝置也要能夠做到快速響應并達到穩(wěn)定。目前刻蝕機對溫度控制精度要求達到士 1°C?，F(xiàn) 有恒溫裝置的恒溫方式為熱交換方式，即載冷劑在恒溫裝置與刻蝕機之間形成了一個閉環(huán) 連接，恒溫裝置的恒溫直接對象是閉環(huán)管路中的載冷劑，經(jīng)過精確恒溫后，在刻蝕機腔體內 進行熱交換，從而保證刻蝕機腔體內部溫度的恒定。名稱為“恒溫液循環(huán)裝置及該裝置的溫度控制方法”的第200610141440. 0號中國 專利公開了一種在恒溫液循環(huán)裝置中減小外部裝置熱負荷變動引起的循環(huán)液溫度變化幅 度，使外部裝置的性能穩(wěn)定化。利用水泵來輸送恒溫循環(huán)液，在外部裝置的連接循環(huán)液配管 中設置流量傳感器、用于檢測從該管路來的循環(huán)液的送出溫度和循環(huán)液的返回溫度，按照 根據(jù)這些輸出而求出的外部裝置的熱負荷，利用控制器來控制循環(huán)液的流量和溫度。該控 制在送出和返回溫度的差小于設置值的情況下，利用循環(huán)液溫度控制來適應該熱負荷；在 該溫度差大于設定值的情況下，除了上述溫度控制外，還對外部裝置的配管增加循環(huán)液流 量，使其適應上述熱負荷。但是利用進出口的溫差和出口流量來計算外部熱負荷只能建立在理論基礎上，進 出口的2個溫度傳感器本身就存在相對誤差，所以無法在大負荷變化的刻蝕工藝中保證精 確恒溫，由于刻蝕工藝在上片和預處理階段的頻繁切換，半導體加工設備所產生的負荷差 別很大，在設計之初就考慮到溫度控制裝置的平衡最大負荷能力為4000W at 20°C，相應的 制冷功率指標也提升為4500W。如果要滿足精確恒溫條件，滿足冷熱平衡的條件，需要將溫 度控制裝置中的熱平衡加熱器功率定為4000W。日本SMC公司所研制的HRZ系列就按照此 理念進行設計，定頻壓縮機的恒定制冷量的輸出，將來自刻蝕機的回水溫度冷卻，由于恒定 制冷量輸出，將經(jīng)過蒸發(fā)器的載冷劑溫度降低3 4°C，再通過水箱加熱器進行精確恒溫， 該設計下的加熱功率和制冷功率消耗的較大，提升了溫度控制裝置的整機功耗，故此項專 利技術已不能完全適應目前刻蝕工藝的新需求。

發(fā)明內容
有鑒于現(xiàn)有技術的上述缺陷，本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種高精度恒溫 裝置以及方法，其在變負荷工況下能夠對上述載冷劑溫度變化有良好的相應性，提高溫度 的穩(wěn)定性。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種恒溫裝置，其具有用泵來輸送載冷劑的管路，形成所述載冷劑的循環(huán)流路，在所述循環(huán)流路中，所述載冷劑先經(jīng)制冷裝置進行制冷然后 經(jīng)加熱裝置進行加熱以到達所需的預定溫度。所述恒溫裝置還包括設在所述加熱裝置之前 的加熱器溫度傳感器，其用于測得進入所述加熱裝置之前的載冷劑的溫度；設在所述制冷 裝置與所述加熱裝置之間的混合裝置，其混合未經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑與經(jīng)過所述制冷 裝置的載冷劑，并將經(jīng)混合的載冷劑輸送至所述加熱裝置；控制器，根據(jù)所述進入加熱裝置 之前的載冷劑的溫度與所述加熱裝置的入口溫度設定值的差，由所述混合裝置控制流經(jīng)所 述制冷裝置的載冷劑的流量。較佳地，所述混合裝置為三通閥，當所述進入加熱裝置的載冷劑的溫度大于所述 加熱裝置入口溫度設定值時，所述控制器使得所述三通閥的開度增大，由此流經(jīng)所述制冷 裝置的載冷劑的流量增大，當所述進入加熱裝置的載冷劑的溫度小于所述加熱裝置入口溫 度設定值時，所述控制器使得所述三通閥的開度減小，由此流經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑的 流量減少。較佳地，所述制冷裝置包括蒸發(fā)器和壓縮機，所述壓縮機送出的制冷劑與流經(jīng)所 述蒸發(fā)器的載冷劑進行熱交換，對所述經(jīng)過制冷裝置的載冷劑進行制冷。較佳地，所述壓縮機為數(shù)碼渦旋式壓縮機。較佳地，所述循環(huán)流路的入口包括入口溫度傳感器，以將測得的未經(jīng)所述恒溫裝 置處理的載冷劑的溫度反饋給所述控制器，并且當所述未經(jīng)恒溫裝置處理的載冷劑的溫度 大于所述預定溫度時，所述控制器將所述壓縮機的制冷輸出量控制為最小。較佳地，所述蒸發(fā)器的出口還包括蒸發(fā)器出口溫度傳感器以測得所述蒸發(fā)器的出 口溫度，其中根據(jù)所述預定溫度設置所述壓縮機的吸氣溫度預定值，并且所述控制器根據(jù) 所述吸氣溫度預定值與所述蒸發(fā)器出口溫度的差來控制所述壓縮機的制冷輸出量。本發(fā)明還提供一種恒溫方法，所述方法利用泵來輸送載冷劑，形成所述載冷劑的 循環(huán)流路，在所述循環(huán)流路中，所述載冷劑先經(jīng)制冷裝置進行制冷然后經(jīng)加熱裝置進行加 熱以到達所需的預定溫度。所述恒溫方法包括1)獲得進入所述加熱裝置之前的所述載冷 劑的溫度，并且設置所述加熱裝置的入口溫度設定值；幻根據(jù)進入所述加熱裝置之前的載 冷劑的溫度與所述加熱裝置入口溫度設定值的差，通過混合未經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑與 經(jīng)過所述制冷裝置的載冷劑，來調節(jié)進入所述加熱裝置的載冷劑的溫度。較佳地，所述步驟2、中通過三通閥來混合未經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑與經(jīng)過所 述制冷裝置的載冷劑從而調節(jié)所述進入加熱裝置之前的載冷劑的溫度，其中，當所述進入 加熱裝置之前的載冷劑的溫度大于所述加熱裝置入口溫度設定值時，增大所述三通閥的開 度，由此流經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑的流量增大；當所述進入加熱裝置之前的載冷劑的溫 度小于所述加熱裝置入口溫度設定值時，減小所述三通閥開度，由此流經(jīng)所述制冷裝置的 載冷劑的流量減少。較佳地，所述制冷裝置包括蒸發(fā)器和壓縮機，所述壓縮機送出的制冷劑與流經(jīng)所 述蒸發(fā)器的載冷劑進行熱交換，從而對所述經(jīng)過制冷裝置的載冷劑進行所述制冷。較佳地，所述壓縮機為數(shù)碼渦旋式壓縮機。較佳地，包括獲得位于所述循環(huán)流路的入口處的載冷劑的溫度，當所述位于所述 循環(huán)流路的入口處的載冷劑的溫度大于所述預定溫度時，將所述壓縮機的制冷輸出量設為最小。
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較佳地，包括獲得所述蒸發(fā)器的出口溫度，其中根據(jù)所述預定溫度設置所述壓縮 機的吸氣溫度設定值，根據(jù)所述吸氣溫度設定值與所述蒸發(fā)器出口溫度的差來控制所述壓 縮機的制冷量。根據(jù)進入加熱裝置的溫度設定值與實際載冷劑溫度的差，使用電控混流三通閥裝 置對進入加熱裝置前的載冷劑進行初級恒溫，提高整機恒溫精度。


參考下文較佳實施例的描述以及附圖，可最佳地理解本發(fā)明及其目的與優(yōu)點，其 中圖1為根據(jù)本發(fā)明的恒溫裝置的結構示意圖；圖2為使用所述恒溫裝置進行恒溫控制的控制原理圖；圖3為溫度控制流程圖；圖4為變負荷工況下的恒溫精度；圖5為無負荷工況下的恒溫精度；圖6為各負荷工況下的壓縮機能效比。
具體實施例方式參見本發(fā)明實施例的附圖，下文將更詳細地描述本發(fā)明。然而，本發(fā)明可以以許多 不同的形式實現(xiàn)，并且不應解釋為受在此提出之實施例的限制。相反，提出這些實施例是為 了達成充分及完整公開，并且使本技術領域的技術人員完全了解本發(fā)明的范圍。圖1為根據(jù)本發(fā)明的恒溫裝置100的結構示意圖。如圖1所示，恒溫裝置100具 有用泵101來輸送載冷劑的管路。泵101使得載冷劑由外部裝置(未示)從節(jié)點m流入 恒溫裝置100，經(jīng)恒溫處理后再從節(jié)點N3流回所述外部裝置，從而形成載冷劑的循環(huán)流路。 載冷劑(第一載冷劑)從節(jié)點m進入所述恒溫裝置100，并且在節(jié)點N2處，所述載冷劑分 為兩路，其中一路直接流至電控混流三通閥103(下文將詳述)，另一路(第二載冷劑)經(jīng)由 蒸發(fā)器105降溫成為第二載冷劑后流至三通閥103。節(jié)點m與節(jié)點N2之間設有溫度傳感 器Si，以將自外部裝置的第一載冷劑的溫度Tl反饋至控制器107。蒸發(fā)器105與壓縮機109形成閉環(huán)連接，由此壓縮機109的制冷劑與蒸發(fā)器105中 的第一載冷劑發(fā)生熱交換，從而使得第一載冷劑降溫而成為第二載冷劑。此外，蒸發(fā)器105 與壓縮機109之間設有蒸發(fā)器出口溫度傳感器S2，已將測得的所述制冷閉環(huán)連接中載冷劑 的溫度T2，并反饋至控制器107。下文將詳述壓縮機的結構以及工作方式。蒸發(fā)器105和 壓縮機109為制冷裝置的例子。第一載冷劑與第二載冷劑在三通閥103中混合后形成第三載冷劑。第三載冷劑輸 送至水箱111，并由其中的加熱器113進行加熱。水箱111與三通閥103之間設有加熱器溫 度傳感器S3，以檢測第三載冷劑的溫度T3，并將其反饋給控制器107。水箱111和加熱器 113為加熱裝置的例子。經(jīng)加熱后的第三載冷劑形成為第四載冷劑，并且經(jīng)由水泵101從節(jié)點N3輸出恒溫 裝置100。節(jié)點N3處設有口溫度傳感器S4,以檢測第四載冷劑的溫度T4，即恒溫裝置最終 恒溫的溫度，并反饋至控制器107。
控制器107中儲存有各溫度傳感器反饋的溫度，并且可對控制器107設置恒溫裝 置100要到達的預定溫度。此外，三通閥103、壓縮機109、及加熱器113分別包括PID控制 器。由此，控制器107根據(jù)各溫度傳感器反饋的溫度與所述預定溫度之間的差別，對三通閥 103、壓縮機109、及加熱器113的PID控制器進行PID控制，并最終控制經(jīng)恒溫的載冷劑的溫度?，F(xiàn)具體描述電控混流三通閥103。三通閥103帶有步進驅動單元，其接收PID控 制器發(fā)出的控制信號，旋轉驅動三通閥開合角的位移，對三通閥103的開度進行控制。三通 閥103影響單位時間內的流入蒸發(fā)器103的載冷劑(第一載冷劑)的流量，從而決定壓縮 機109的制冷量的高低。當溫度T3高于在控制器107中設定的水箱入口溫度設定值時，三 通閥103開度增大，流經(jīng)蒸發(fā)器105的第一載冷劑的流量由此增大，從而增加載冷劑與制冷 劑之間的換熱量。當T3低于所述水箱入口溫度設定值時，三通閥103開度減小，流經(jīng)蒸發(fā) 器105的第一載冷劑的流量由此減小，降低載冷劑與制冷劑之間的換熱量。三通閥103采 用的是反饋PID控制器，將控制器107將所述水箱入口溫度設定值在三通閥103的PID控 制器中設為設定值，通過水箱入溫度傳感器S3采集第三載冷劑的溫度T3 (實際值)反饋給 控制器107，得到設定值與實際值的偏差作為三通閥103的PID控制器的輸入?，F(xiàn)具體描述壓縮機109。壓縮機，作為制冷量輸出執(zhí)行器，因可靠性高和冷量輸出 寬而聞名，但其缺點在于不能頻繁啟停，重啟后的溫度穩(wěn)定需要較長時間，不利于控溫。本 發(fā)明中，壓縮機109選了數(shù)碼渦旋壓縮機對整機制冷量輸出的進行閉環(huán)控制。選用數(shù)碼渦 旋壓縮機作為制冷執(zhí)行件，該款壓縮機與標準型壓縮機最大的區(qū)別在于，該壓縮機的制冷 量可通過外部電磁閥對內部活塞提升組件的控制，當外部電磁閥關閉時，數(shù)碼渦旋壓縮機 和標準型壓縮機一樣工作，制冷量達到100%。當外部電磁閥打開時，兩個渦旋盤稍微脫離。 此時壓縮機無制冷劑被壓縮，從而無制冷量的輸出。此時壓縮機功率降低至總功率的30%， 其通電情況下的最小開啟為一個IOS周期內的10%，故解決壓縮機頻繁停機引起溫度波動 的現(xiàn)象發(fā)生?，F(xiàn)參考圖3描述恒溫裝置100的操作。當節(jié)點附處的溫度Tl小于恒溫裝置100要到達的預定溫度時，例如比所述預定 溫度低2°C，控制器107控制壓縮機109開啟最小制冷輸出量(例如10% )，保證不影響溫 控精度下的最小冷量輸出。由于節(jié)點m處的溫度Tl小于恒溫裝置100要到達的預定溫度， 由此可將壓縮機109的制冷輸出量調節(jié)為最小，而達到節(jié)省功耗的目的。此時加熱器113 的PID控制開啟，將預定溫度作為設定值，通過出口溫度傳感器S4采集第四載冷劑的溫度 T4反饋給控制器107，得到設定值與實際值的偏差作為加熱器PID控制器的輸入。該狀態(tài) 下，加熱器113控制開啟、壓縮機109輸出最小化。當節(jié)點m處的溫度Tl小于恒溫裝置100要到達的預定溫度時，例如比所述預定 溫度高2V，控制器107關閉加熱器的PID控制器，并且開啟壓縮機109的PID控制器，并通 過當前的所述預定溫度對照壓縮機109的吸氣溫度表，將合適吸氣溫度點作為吸氣溫度設 定值。三通閥103的開度會影響流經(jīng)蒸發(fā)器105的載冷劑的量，進而使得所述制冷閉環(huán)回 路中的溫度T2發(fā)生變化。由此，也會影響吸氣溫度的高低，所以需要根據(jù)溫度T2選擇合適 的吸氣溫度。具體地，通過蒸發(fā)器出口溫度傳感器S2測得的溫度T2反饋給控制器107，得 到所述吸氣溫度設定值與實際值的偏差作為壓縮機PID控制器的輸入從而控制壓縮機109的制冷輸出量。由此，通過控制壓縮機109的制冷量保證壓縮機吸氣口溫度不至于過高，當 壓縮機實際吸氣溫度高于壓縮機吸氣溫度設定值時，PID控制器調節(jié)壓縮機功率輸出占空 比增大，當實際壓縮機吸氣溫度低于壓縮機吸氣溫度設定值時，PID控制器調節(jié)壓縮機功率 輸出占空比減小。該狀態(tài)下，加熱器控制關閉、壓縮機控制開啟。當外負荷功率突然增大，可能導致三通閥103、壓縮機109的PID控制的跟隨性降 低。當水箱入口溫度T3大于所述水箱入口溫度設定值的士 0.3°C時，開啟加熱器的PID控 制，保證設備出口溫度小于士0.5°C，該狀態(tài)為大范圍切換的極端狀態(tài)，恒溫裝置100在此 狀態(tài)下已經(jīng)作了三段PID同時開啟的精確恒溫，保證出口端精度。圖4、5為兩種負荷下的控溫精度，圖6為兩種負荷下的能耗情況，在非極端負荷下 的功耗維持在整機功率的40%。由圖4 6可見，根據(jù)本發(fā)明的恒溫裝置可在在保證精度 的同時，大幅度降低電耗輸出。本發(fā)明具有如下優(yōu)點。(1)根據(jù)進入加熱裝置的溫度設定值與實際載冷劑溫度的差，使用電控混流三通 閥裝置對進入加熱裝置前的載冷劑進行初級恒溫，提高整機恒溫精度。(2)由于載冷劑入在進入加熱裝置之前進行了初級恒溫，使得載冷劑溫度與設定 溫度之間差距減小，可降低加熱裝置的電功率，從而較節(jié)能。(3)通過三通閥可對蒸發(fā)器熱交換的載冷劑流量進行控制，并根據(jù)流經(jīng)蒸發(fā)器的 載冷劑的流量來控制數(shù)碼渦旋式壓縮機的制冷量輸出，從而使壓縮機系統(tǒng)的性能得到顯著 改善，并在低負荷下節(jié)省大量能耗。(4)根據(jù)載冷劑的溫度，對壓縮機進行安全控制。這里本發(fā)明的描述和應用是說明性的，并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實施例 中。這里所披露的實施例的變形和改變是可能的，對于那些本領域的普通技術人員來說實 施例的替換和等效的各種部件是公知的。本領域技術人員應該清楚的是，在不脫離本發(fā)明 的精神或本質特征的情況下，本發(fā)明可以以其他形式、結構、布置、比例，以及用其他元件、 材料和部件來實現(xiàn)。在不脫離本發(fā)明范圍和精神的情況下，可以對這里所披露的實施例進 行其他變形和改變。
權利要求
1.一種恒溫裝置，其具有用泵來輸送載冷劑的管路，形成所述載冷劑的循環(huán)流路，在所 述循環(huán)流路中，所述載冷劑先經(jīng)制冷裝置進行制冷然后經(jīng)加熱裝置進行加熱以到達所需的 預定溫度，其特征在于，還包括設在所述加熱裝置之前的加熱器溫度傳感器，其用于測得進入所述加熱裝置之前的載 冷劑的溫度；設在所述制冷裝置與所述加熱裝置之間的混合裝置，其混合未經(jīng)所述制冷裝置的載冷 劑與經(jīng)過所述制冷裝置的載冷劑，并將經(jīng)混合的載冷劑輸送至所述加熱裝置；控制器，根據(jù)所述進入加熱裝置之前的載冷劑的溫度與所述加熱裝置的入口溫度設定 值的差，由所述混合裝置控制流經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑的流量。
2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述混合裝置為三通閥，當所述進入加熱裝 置的載冷劑的溫度大于所述加熱裝置入口溫度設定值時，所述控制器使得所述三通閥的開 度增大，由此流經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑的流量增大，當所述進入加熱裝置的載冷劑的溫 度小于所述加熱裝置入口溫度設定值時，所述控制器使得所述三通閥的開度減小，由此流 經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑的流量減少。
3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述制冷裝置包括蒸發(fā)器和壓縮機，所述壓 縮機送出的制冷劑與流經(jīng)所述蒸發(fā)器的載冷劑進行熱交換，對所述經(jīng)過制冷裝置的載冷劑 進行制冷。
4.如權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述壓縮機為數(shù)碼渦旋式壓縮機。
5.如權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述循環(huán)流路的入口包括入口溫度傳感器， 以將測得的未經(jīng)所述恒溫裝置處理的載冷劑的溫度反饋給所述控制器，并且當所述未經(jīng)恒 溫裝置處理的載冷劑的溫度大于所述預定溫度時，所述控制器將所述壓縮機的制冷輸出量 控制為最小。
6.如權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述蒸發(fā)器的出口還包括蒸發(fā)器出口溫度 傳感器以測得所述蒸發(fā)器的出口溫度，其中根據(jù)所述預定溫度設置所述壓縮機的吸氣溫度 預定值，并且所述控制器根據(jù)所述吸氣溫度預定值與所述蒸發(fā)器出口溫度的差來控制所述 壓縮機的制冷輸出量。
7.—種恒溫方法，所述方法利用泵來輸送載冷劑，形成所述載冷劑的循環(huán)流路，在所述 循環(huán)流路中，所述載冷劑先經(jīng)制冷裝置進行制冷然后經(jīng)加熱裝置進行加熱以到達所需的預 定溫度，其特征在于，1)獲得進入所述加熱裝置之前的所述載冷劑的溫度，并且設置所述加熱裝置的入口溫 度設定值；2)根據(jù)進入所述加熱裝置之前的載冷劑的溫度與所述加熱裝置入口溫度設定值的差， 通過混合未經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑與經(jīng)過所述制冷裝置的載冷劑，來調節(jié)進入所述加熱 裝置的載冷劑的溫度。
8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述步驟2)中通過三通閥來混合未經(jīng)所 述制冷裝置的載冷劑與經(jīng)過所述制冷裝置的載冷劑從而調節(jié)所述進入加熱裝置之前的載 冷劑的溫度，其中，當所述進入加熱裝置之前的載冷劑的溫度大于所述加熱裝置入口溫度 設定值時，增大所述三通閥的開度，由此流經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑的流量增大；當所述進 入加熱裝置之前的載冷劑的溫度小于所述加熱裝置入口溫度設定值時，減小所述三通閥開度，由此流經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑的流量減少。
9.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述制冷裝置包括蒸發(fā)器和壓縮機，所述壓 縮機送出的制冷劑與流經(jīng)所述蒸發(fā)器的載冷劑進行熱交換，從而對所述經(jīng)過制冷裝置的載 冷劑進行所述制冷。
10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，所述壓縮機為數(shù)碼渦旋式壓縮機。
11.如權利要求9所述的方法，其特征在于，包括獲得位于所述循環(huán)流路的入口處的載 冷劑的溫度，當所述位于所述循環(huán)流路的入口處的載冷劑的溫度大于所述預定溫度時，將 所述壓縮機的制冷輸出量設為最小。
12.如權利要求9所述的方法，其特征在于，包括獲得所述蒸發(fā)器的出口溫度，其中根 據(jù)所述預定溫度設置所述壓縮機的吸氣溫度設定值，根據(jù)所述吸氣溫度設定值與所述蒸發(fā) 器出口溫度的差來控制所述壓縮機的制冷量。
全文摘要
一種恒溫裝置，本發(fā)明提供了一種恒溫裝置，包括設在所述加熱裝置之前的加熱器溫度傳感器，其用于測得進入所述加熱裝置之前的載冷劑的溫度；設在所述制冷裝置與所述加熱裝置之間的混合裝置，其混合未經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑與經(jīng)過所述制冷裝置的載冷劑，并將經(jīng)混合的載冷劑輸送至所述加熱裝置；控制器，其根據(jù)所述進入加熱裝置之前的載冷劑的溫度與所述加熱裝置的入口溫度設定值的差，經(jīng)由所述混合裝置控制流經(jīng)所述制冷裝置的載冷劑的流量。根據(jù)進入加熱裝置的溫度設定值與實際載冷劑溫度的差，使用電控混流三通閥裝置對進入加熱裝置前的載冷劑進行初級恒溫，提高整機恒溫精度。
文檔編號G05D23/01GK102096423SQ20091020026
公開日2011年6月15日 申請日期2009年12月10日 優(yōu)先權日2009年12月10日
發(fā)明者卜榮翔 申請人:上海微電子裝備有限公司