專利名稱：一種機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)以及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)以及方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體制造企業(yè)通常會(huì)按客戶的訂單上所要求的型號(hào)、數(shù)量和交貨時(shí)間來 進(jìn)行半導(dǎo)體器件的加工，在開始一個(gè)訂單的加工后，通常會(huì)將訂單上的半導(dǎo)體
器件總數(shù)量依照交貨時(shí)間轉(zhuǎn)換為每個(gè)機(jī)臺(tái)的目標(biāo)日產(chǎn)量、月產(chǎn)量或季度產(chǎn)量， 然后制造管理人員會(huì)監(jiān)控機(jī)臺(tái)的實(shí)際日產(chǎn)量、月產(chǎn)量或季度產(chǎn)量是否達(dá)到目標(biāo)
日產(chǎn)量、月產(chǎn)量或季度產(chǎn)量以確保能夠依照訂單按時(shí)交貨，但當(dāng)生產(chǎn)線出現(xiàn)故 障或超產(chǎn)時(shí)，可能會(huì)導(dǎo)致某些機(jī)臺(tái)某些天的日產(chǎn)量、某些月份的月產(chǎn)量或某些 季度的季度產(chǎn)量達(dá)不到或超出目標(biāo)日產(chǎn)量、月產(chǎn)量或季度產(chǎn)量，但在余下的加 工期限內(nèi)中并不會(huì)更新該目標(biāo)日產(chǎn)量、月產(chǎn)量或季度產(chǎn)量，仍然會(huì)依照該目標(biāo)
日產(chǎn)量、月產(chǎn)量或季度產(chǎn)量來監(jiān)控生產(chǎn)線的進(jìn)展，于是可能會(huì)出現(xiàn)無(wú)法按照訂 單按期交貨的事情發(fā)生，如此將會(huì)造成嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。
因此，如何提供一種機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)以及方法以避免不能通過監(jiān)控
目標(biāo)產(chǎn)量來監(jiān)控是否能按期交貨的事情發(fā)生，且大大提高機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量的精準(zhǔn) 度和實(shí)時(shí)性，已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)以及方法，通過所述系 統(tǒng)以及方法可將生產(chǎn)線的實(shí)際狀況反應(yīng)在機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量上，從而提高機(jī)臺(tái)目標(biāo) 產(chǎn)量的精準(zhǔn)度和實(shí)時(shí)性。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 一種機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)，用于處理得出 多個(gè)機(jī)臺(tái)在預(yù)設(shè)時(shí)段的目標(biāo)產(chǎn)量，該預(yù)設(shè)時(shí)段對(duì)應(yīng)一起始時(shí)間和一終止時(shí)間，該多個(gè)機(jī)臺(tái)通過一 網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)連接在一服務(wù)器上，該服務(wù)器中存儲(chǔ)有各批次晶圓 的預(yù)設(shè)交貨時(shí)間、預(yù)設(shè)下線時(shí)間、制造工藝流程及其所使用的機(jī)臺(tái)，該處理系
統(tǒng)包括計(jì)算模塊，用于依據(jù)各批次晶圓的預(yù)設(shè)交貨時(shí)間、預(yù)設(shè)下線時(shí)間、制 造工藝流程計(jì)算出各批次晶圓的每一工藝步驟對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間且將每一工藝步 驟及其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間以及其所使用的機(jī)臺(tái)存儲(chǔ)至一第 一數(shù)據(jù)庫(kù)中；記錄模塊， 用于記錄各批次晶圓的每一工藝步驟所對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間且將每一工藝步驟及其 對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間存儲(chǔ)至一第二數(shù)據(jù)庫(kù)中；第一查詢模塊，用于在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中 查詢出各批次晶圓在終止時(shí)間時(shí)的終止工藝步驟；第二查詢模塊，用于在第二 數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次晶圓在起始時(shí)間時(shí)的起始工藝步驟；統(tǒng)計(jì)模塊，用于在 第 一數(shù)據(jù)庫(kù)中統(tǒng)計(jì)所有批次晶圓在起始工藝步驟至終止工藝步驟間所對(duì)應(yīng)的各 機(jī)臺(tái)的使用次數(shù)以得到各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量；以及輸出模塊，用于輸出統(tǒng)計(jì)模塊 統(tǒng)計(jì)所得的各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量。
在上述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)中，該機(jī)臺(tái)包括清洗機(jī)臺(tái)、光刻機(jī)臺(tái)、刻 蝕機(jī)臺(tái)、氧化機(jī)臺(tái)和氣相沉積機(jī)臺(tái)。
在上述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)中，該預(yù)設(shè)時(shí)段為一天、 一個(gè)月或一個(gè)季度。
在上述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)中，各批次晶圓的第一步工藝步驟所對(duì)應(yīng) 的預(yù)設(shè)時(shí)間為其預(yù)設(shè)下線時(shí)間，各批次晶圓的最后一步工藝步驟所對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè) 時(shí)間為其預(yù)設(shè)交貨時(shí)間。
本發(fā)明還提供了一種使用上述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)進(jìn)行機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量 處理的方法，其包括以下步驟a、依據(jù)各批次晶圓的預(yù)設(shè)交貨時(shí)間、預(yù)設(shè)下線 時(shí)間、制造工藝流程計(jì)算出各批次晶圓的每一工藝步驟對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間且將每 一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間以及其所使用的機(jī)臺(tái)存儲(chǔ)至一第一數(shù)據(jù)庫(kù)中； b、記錄各批次晶圓的每一工藝步驟所對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間且將每一工藝步驟及其對(duì) 應(yīng)的實(shí)際時(shí)間存儲(chǔ)至一第二數(shù)據(jù)庫(kù)中；c、在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次晶圓在 終止時(shí)間時(shí)的終止工藝步驟；d、在第二數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次晶圓在起始時(shí)間 時(shí)的起始工藝步驟；e、在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中統(tǒng)計(jì)所有批次晶圓在起始工藝步驟至終 止工藝步驟間所對(duì)應(yīng)的各機(jī)臺(tái)的使用次數(shù)以得到各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量；以及f、輸 出統(tǒng)計(jì)模塊統(tǒng)計(jì)所得的各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量。在上述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理方法中，該機(jī)臺(tái)包括清洗機(jī)臺(tái)、光刻機(jī)臺(tái)、刻 蝕才幾臺(tái)、氧化才幾臺(tái)和氣相沉積才幾臺(tái)。
與現(xiàn)有技術(shù)中僅依據(jù)預(yù)設(shè)交貨時(shí)間和制造工藝流程來得出機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量， 從而使機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量并未與生產(chǎn)線實(shí)際狀況相關(guān)聯(lián)，進(jìn)而致使機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量不 精準(zhǔn)相比，本發(fā)明的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)以及方法先計(jì)算出各批次晶圓的每 一工藝步驟所對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間且將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間以及其所
使用的機(jī)臺(tái)存儲(chǔ)至一第一數(shù)據(jù)庫(kù)中；接著記錄各批次晶圓的每一工藝步驟所對(duì) 應(yīng)的實(shí)際時(shí)間且將每一 工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間存儲(chǔ)至一 第二數(shù)據(jù)庫(kù)中； 之后分別在第 一數(shù)據(jù)庫(kù)和第二數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次晶圓在起始和終止時(shí)間時(shí) 所對(duì)應(yīng)的起始和終止工藝步驟；然后在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中統(tǒng)計(jì)所有批次晶圓在起始
量且將其輸出，如此可將生產(chǎn)線的實(shí)際狀況反應(yīng)在機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量中，并可大大 提高機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量的精準(zhǔn)度和實(shí)時(shí)性，另外大大方便了機(jī)臺(tái)操作人員安排生產(chǎn) 以確保按期交貨。


本發(fā)明的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)以及方法由以下的實(shí)施例及附圖給出。 圖l為本發(fā)明的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)的方框圖； 圖2為本發(fā)明的^L臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
以下將對(duì)本發(fā)明的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。 參見圖l，本發(fā)明的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)1用于處理得出多個(gè)機(jī)臺(tái)在預(yù)設(shè) 時(shí)段的目標(biāo)產(chǎn)量，所述預(yù)設(shè)時(shí)段對(duì)應(yīng)一起始時(shí)間和一終止時(shí)間，所述多個(gè)機(jī)臺(tái)2 通過網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)3連接在服務(wù)器4上，所述服務(wù)器4中存儲(chǔ)有各批次晶圓的預(yù)設(shè) 交貨時(shí)間、預(yù)設(shè)下線時(shí)間、制造工藝流程及其所使用的機(jī)臺(tái)。所述機(jī)臺(tái)包括清 洗機(jī)臺(tái)、光刻機(jī)臺(tái)、刻蝕機(jī)臺(tái)、氧化機(jī)臺(tái)和氣相沉積機(jī)臺(tái)等。所述預(yù)設(shè)時(shí)段為 一天或一個(gè)月。
所述機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)1包括計(jì)算模塊10、第一數(shù)據(jù)庫(kù)11、記錄模塊12、第二數(shù)據(jù)庫(kù)13、第一查詢模塊14、第二查詢模塊15、統(tǒng)計(jì)模塊16和輸出 模塊17。以下對(duì)機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)1的上述構(gòu)件進(jìn)行詳細(xì)說明。
所述計(jì)算模塊IO用于依據(jù)各批次晶圓的預(yù)設(shè)交貨時(shí)間、預(yù)設(shè)下線時(shí)間、制 造工藝流程計(jì)算出各批次晶圓的每一工藝步驟對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間且將每一工藝步 驟及其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間以及其所使用的機(jī)臺(tái)存儲(chǔ)至第一數(shù)據(jù)庫(kù)ll中。各批次晶 圓的第 一步工藝步驟所對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間為其預(yù)設(shè)下線時(shí)間。
所述記錄模塊12用于記錄各批次晶圓的每一工藝步驟所對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間且 將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間存儲(chǔ)至第二數(shù)據(jù)庫(kù)13中。
所述第一查詢模塊14用于在第一數(shù)據(jù)庫(kù)11中查詢出各批次晶圓在終止時(shí) 間時(shí)的終止工藝步驟。
所述第二查詢模塊15用于在第二數(shù)據(jù)庫(kù)13中查詢出各批次晶圓在起始時(shí) 間時(shí)的起始工藝步驟。
所述統(tǒng)計(jì)模塊16用于在第一數(shù)據(jù)庫(kù)11中統(tǒng)計(jì)所有批次晶圓在起始工藝步 驟至終止工藝步驟間所對(duì)應(yīng)的各機(jī)臺(tái)的使用次數(shù)以得到各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量。
所述輸出模塊17用于輸出統(tǒng)計(jì)模塊16統(tǒng)計(jì)所得的各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量。在 本實(shí)施例中，所述輸出模塊17通過網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)3將各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量輸出至各對(duì) 應(yīng)的機(jī)臺(tái)以供現(xiàn)場(chǎng)人員進(jìn)行比對(duì)或監(jiān)控。
參見圖2，本發(fā)明的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理方法首先進(jìn)行步驟S20,依據(jù)各批次 晶圓的預(yù)設(shè)交貨時(shí)間、預(yù)設(shè)下線時(shí)間、制造工藝流程計(jì)算出各批次晶圓的每一 工藝步驟對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間。
接著繼續(xù)步驟S21，將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間以及其所使用的機(jī) 臺(tái)存儲(chǔ)至第一數(shù)據(jù)庫(kù)中。
接著繼續(xù)步驟S22，記錄各批次晶圓的每一工藝步驟所對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間且將 每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間存儲(chǔ)至一第二數(shù)據(jù)庫(kù)中。
接著繼續(xù)步驟S2 3 ，在第 一數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次晶圓在終止時(shí)間時(shí)的終止 工藝步驟。
接著繼續(xù)步驟S24 ，在第二數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次晶圓在起始時(shí)間時(shí)的起始 工藝步驟。
接著繼續(xù)步驟S25,在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中統(tǒng)計(jì)所有批次晶圓在起始工藝步驟至終止工藝步驟間所對(duì)應(yīng)的各機(jī)臺(tái)的使用次數(shù)以得到各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量。所述機(jī)臺(tái) 包括清洗機(jī)臺(tái)、光刻機(jī)臺(tái)、刻蝕機(jī)臺(tái)、氧化機(jī)臺(tái)和氣相沉積機(jī)臺(tái)。
接著繼續(xù)步驟S26，輸出統(tǒng)計(jì)所得的各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量。 綜上所述，本發(fā)明的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)以及方法先計(jì)算出各批次晶圓 的每一工藝步驟所對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間且將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間以及 其所使用的機(jī)臺(tái)存儲(chǔ)至一第一數(shù)據(jù)庫(kù)中；接著記錄各批次晶圓的每一工藝步驟 所對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間且將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間存儲(chǔ)至一第二數(shù)據(jù)庫(kù) 中；之后分別在第一數(shù)據(jù)庫(kù)和第二數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次晶圓在起始和終止時(shí) 間時(shí)所對(duì)應(yīng)的起始和終止工藝步驟；然后在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中統(tǒng)計(jì)所有批次晶圓在
標(biāo)產(chǎn)量且將其輸出，如此可將生產(chǎn)線的實(shí)際狀況反應(yīng)在機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量中，并可 大大提高機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量的精準(zhǔn)度和實(shí)時(shí)性，另外大大方便了機(jī)臺(tái)操作人員安排 生產(chǎn)以確保按期交貨。
權(quán)利要求
1、一種機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)，用于處理得出多個(gè)機(jī)臺(tái)在預(yù)設(shè)時(shí)段的目標(biāo)產(chǎn)量，該預(yù)設(shè)時(shí)段對(duì)應(yīng)一起始時(shí)間和一終止時(shí)間，該多個(gè)機(jī)臺(tái)通過一網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)連接在一服務(wù)器上，該服務(wù)器中存儲(chǔ)有各批次晶圓的預(yù)設(shè)交貨時(shí)間、預(yù)設(shè)下線時(shí)間、制造工藝流程及其所使用的機(jī)臺(tái)，其特征在于，該處理系統(tǒng)包括計(jì)算模塊，用于依據(jù)各批次晶圓的預(yù)設(shè)交貨時(shí)間、預(yù)設(shè)下線時(shí)間、制造工藝流程計(jì)算出各批次晶圓的每一工藝步驟對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間且將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間以及其所使用的機(jī)臺(tái)存儲(chǔ)至一第一數(shù)據(jù)庫(kù)中；記錄模塊，用于記錄各批次晶圓的每一工藝步驟所對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間且將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間存儲(chǔ)至一第二數(shù)據(jù)庫(kù)中；第一查詢模塊，用于在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次晶圓在終止時(shí)間時(shí)的終止工藝步驟；第二查詢模塊，用于在第二數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次晶圓在起始時(shí)間時(shí)的起始工藝步驟；統(tǒng)計(jì)模塊，用于在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中統(tǒng)計(jì)所有批次晶圓在起始工藝步驟至終止工藝步驟間所對(duì)應(yīng)的各機(jī)臺(tái)的使用次數(shù)以得到各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量；以及輸出模塊，用于輸出統(tǒng)計(jì)模塊統(tǒng)計(jì)所得的各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量。
2、 如權(quán)利要求l所述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)，其特征在于，該機(jī)臺(tái)包括 清洗機(jī)臺(tái)、光刻機(jī)臺(tái)、刻蝕機(jī)臺(tái)、氧化機(jī)臺(tái)和氣相沉積機(jī)臺(tái)。
3、 如權(quán)利要求l所述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)，其特征在于，該預(yù)設(shè)時(shí)段 為一天、 一個(gè)月或一個(gè)季度。
4、 如權(quán)利要求l所述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)，其特征在于，各批次晶圓 的第 一 步工藝步驟所對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間為其預(yù)設(shè)下線時(shí)間，各批次晶圓的最后一 步工藝步驟所對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間為其預(yù)設(shè)交貨時(shí)間。
5、 一種使用權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)進(jìn)行機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處 理的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟a、依據(jù)各批次晶圓的預(yù)設(shè)交貨 時(shí)間、預(yù)設(shè)下線時(shí)間、制造工藝流程計(jì)算出各批次晶圓的每一工藝步驟對(duì)應(yīng)的 預(yù)設(shè)時(shí)間且將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間以及其所使用的機(jī)臺(tái)存儲(chǔ)至一第一數(shù)據(jù)庫(kù)中；b、記錄各批次晶圓的每一工藝步驟所對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間且將每一 工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間存儲(chǔ)至一第二數(shù)據(jù)庫(kù)中；c、在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢 出各批次晶圓在終止時(shí)間時(shí)的終止工藝步驟；d、在第二數(shù)據(jù)庫(kù)中查詢出各批次 晶圓在起始時(shí)間時(shí)的起始工藝步驟；e、在第一數(shù)據(jù)庫(kù)中統(tǒng)計(jì)所有批次晶圓在起 始工藝步驟至終止工藝步驟間所對(duì)應(yīng)的各機(jī)臺(tái)的使用次數(shù)以得到各機(jī)臺(tái)的目標(biāo) 產(chǎn)量；以及f、輸出統(tǒng)計(jì)模塊統(tǒng)計(jì)所得的各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量。
6、如權(quán)利要求1所述的機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理方法，其特征在于，該機(jī)臺(tái)包括 清洗機(jī)臺(tái)、光刻機(jī)臺(tái)、刻蝕機(jī)臺(tái)、氧化機(jī)臺(tái)和氣相沉積機(jī)臺(tái)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種機(jī)臺(tái)目標(biāo)產(chǎn)量處理系統(tǒng)以及方法，用于處理得出多個(gè)機(jī)臺(tái)在由起始時(shí)間和終止時(shí)間組成的預(yù)設(shè)時(shí)段的目標(biāo)產(chǎn)量?，F(xiàn)有技術(shù)所得的目標(biāo)產(chǎn)量并未與生產(chǎn)線的實(shí)際狀況相關(guān)聯(lián)從而存在著不準(zhǔn)確的問題。本發(fā)明先得出各批次晶圓的每一工藝步驟對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間且將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)時(shí)間以及其所使用的機(jī)臺(tái)予以存儲(chǔ)；然后記錄各批次晶圓的每一工藝步驟所對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間且將每一工藝步驟及其對(duì)應(yīng)的實(shí)際時(shí)間予以存儲(chǔ)；然后分別查詢出各批次晶圓在起始和終止時(shí)間時(shí)對(duì)應(yīng)的起始和終止工藝步驟，并統(tǒng)計(jì)所有批次晶圓在該起始和終止工藝步驟間所對(duì)應(yīng)的各機(jī)臺(tái)的使用次數(shù)以得到各機(jī)臺(tái)的目標(biāo)產(chǎn)量且予以輸出。采用本發(fā)明可提高目標(biāo)產(chǎn)量的精準(zhǔn)度和實(shí)時(shí)性。
文檔編號(hào)G05B19/418GK101546186SQ20081003510
公開日2009年9月30日 申請(qǐng)日期2008年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月25日
發(fā)明者兵 楊, 磊 許 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司