專利名稱：上位控制裝置、下位控制裝置、畫面操作權(quán)授予方法及存儲(chǔ)了畫面操作權(quán)授予程序的存儲(chǔ)介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種控制在用于控制基板處理裝置或者輸送裝置的下 位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群的操作權(quán)的授予的上位控制 裝置、要求畫面的操作的下位控制裝置、畫面的操作權(quán)授予方法以及存 儲(chǔ)畫面操作權(quán)授予程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。
背景技術(shù)：
一直以來，提供如下系統(tǒng)，其通過在無塵室內(nèi)設(shè)置對(duì)基板實(shí)施規(guī)定 的處理的多個(gè)基板處理裝置以及輸送基板的輸送裝置，并且，將控制多
個(gè)基板處理裝置以及輸送裝置的下位PC ( Personal Computer:個(gè)人計(jì) 算機(jī))分別設(shè)置在無塵室內(nèi)的各裝置的附近，并且，在無塵室外設(shè)置上 位PC,上位PC與下位PC經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)交換信息，由此使用上位PC遙控 地控制基板處理。根據(jù)該系統(tǒng)，通過上位PC進(jìn)行遙控操作，盡可能抑
制人進(jìn)出無塵室，由此可以將無塵室內(nèi)的污染保持于最小限度。
在這種遙控控制系統(tǒng)中，上位PC的顯示部和下位PC的顯示部， 共有地顯示相同的畫面群，在正常動(dòng)作中，上位PC具有畫面的操作權(quán)， 在無塵室內(nèi)的各裝置發(fā)生了異常時(shí)等處于特別狀況時(shí)，下位PC會(huì)從上 位PC臨時(shí)被授予同畫面的操作權(quán)(例如，參照日本特開2004-348605 號(hào)公報(bào))。
但是，根據(jù)現(xiàn)有的系統(tǒng)，可以將畫面的操作權(quán)交給上位PC或者下 位PC中的任一方，但是具有畫面的操作權(quán)的PC僅限于一臺(tái)。因而， 在一個(gè)PC具有操作權(quán)時(shí)，無法使用其他PC操作在其他PC上顯示的 畫面，即使向其他PC通知了畫面的操作要求，到畫面的操作權(quán)移交到 其他的PC為止，操作人員必須等待很久，因而效率低。
進(jìn)而，近年來，在群構(gòu)造的系統(tǒng)中包含的基板處理裝置的數(shù)量有增加的傾向。因此，具有畫面的操作權(quán)的PC以外的下位PC的數(shù)目增加， 即使是在這些下位PC想操作畫面時(shí)，從畫面的操作權(quán)被轉(zhuǎn)移到本機(jī)為 止還需要等很久。其結(jié)果，操作人員必須去具有畫面操作權(quán)的PC (通 常是上位PC)所在的地方來操作該P(yáng)C的畫面，是非常不便的。
特別地，在使被導(dǎo)入工廠內(nèi)的系統(tǒng)過渡到穩(wěn)定的量產(chǎn)體制的前階 段，預(yù)想將無塵室內(nèi)的各裝置(基板處理裝置和輸送裝置)作為評(píng)價(jià)機(jī) 發(fā)揮功能時(shí)，產(chǎn)生例如基板碰撞到輸送裝置等在各裝置產(chǎn)生各種異常的
情況。此時(shí)，與在上位PC進(jìn)行遙控操作相比，通過操作在各裝置的附 近配置的下位PC的畫面，更容易并有效地在確認(rèn)各裝置的狀態(tài)的同時(shí)
控制各裝置的動(dòng)作。

發(fā)明內(nèi)容
在此，本發(fā)明提供一種控制對(duì)要求畫面操作的下位控制裝置是否授 予特定的畫面群的操作權(quán)的上位控制裝置、要求畫面操作的下位控制裝 置、畫面操作權(quán)授予方法以及存儲(chǔ)了畫面操作權(quán)授予程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。
即，為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種上位控 制裝置，其經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)連接具有能夠顯示用于操作基板處理裝置的畫面群 的顯示部的第一下位控制裝置、和具有能夠顯示用于操作輸送裝置的畫 面群的顯示部的第二下位控制裝置，并具有能夠顯示在上述第一下位控 制裝置的顯示部被顯示的畫面群和在第二下位控制裝置的顯示部被顯 示的畫面群的顯示部，且控制上述第一下位控制裝置以及上述第二下位 控制裝置。
該上位控制裝置具備畫面數(shù)據(jù)庫，其分別存儲(chǔ)在上述第一下位控制 裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群以及在上述第二下位控制裝置的顯示 部上能夠顯示的畫面群；畫面確定部，其根據(jù)從上述第一下位控制裝置或
者上述第二下位控制裝置中的任一個(gè)發(fā)送來的畫面的IMt要求，從在上述 畫面數(shù)據(jù)庫中存儲(chǔ)的多個(gè)畫面群中確定要求了上述操作的畫面群；操作權(quán) 判斷部，其判斷由上述畫面確定部確定出的畫面群的操作權(quán)是否分配給 上述要求了的下位控制裝置；操作權(quán)授予部，其在通過上述操作權(quán)判斷 部判斷為將上述畫面群的操作權(quán)分配給上述提出要求的下位控制裝置 的情況下，為了容許由上述第一下位控制裝置、上述第二下位控制裝置以及上述上位控制裝置構(gòu)成的多個(gè)控制裝置中的、不同的控制裝置對(duì)不 同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作，不變更上述確定出的畫面群以外的畫 面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，將上述確定出的畫面群的操作權(quán)授予給上述 提出要求的下位控制裝置。
據(jù)此，通過上位控制裝置按被操作要求的每個(gè)畫面群判斷是否分配 了操作畫面的權(quán)利。由此，不必變更由下位控制裝置提出操作要求的畫 面群以外的畫面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，可以將被操作要求的畫面群的 操作權(quán)的操作權(quán)授予上述提出要求的下位控制裝置。其結(jié)果，操作人員， 針可以針對(duì)提出要求操作的下位控制裝置，通過操作該下位控制裝置的 畫面確認(rèn)產(chǎn)生了異常的裝置的狀態(tài)同時(shí)控制該裝置，針對(duì)其他裝置，可 以通過遙控操作上位控制裝置的畫面統(tǒng)一地控制系統(tǒng)整體。
這樣，各操作人員，可以使用由上述第一下位控制裝置、上述第二 下位控制裝置以及上述上位控制裝置構(gòu)成的多個(gè)控制裝置中、不同的兩 個(gè)以上的控制裝置，對(duì)不同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作。由此，可以 解決操作畫面的控制裝置僅限于一臺(tái)，想要操作此外的控制裝置時(shí)，無 法立即使用自己的控制裝置自由地操作畫面的不良情況，可以向用戶提 供操作性高的系統(tǒng)。
也可以，在上述確定出的畫面群的操作權(quán)被授予了上述多個(gè)控制裝 置中、上述提出要求的下位控制裝置以外的控制裝置時(shí)，上述操作權(quán)判
斷部判斷為在被授予了上述操作權(quán)的控制裝置中正執(zhí)行的處理結(jié)束之 后，將上述確定出的畫面群的操作權(quán)授予上述提出要求的下位控制裝 置。
此外，也可以，在由上述上位控制裝置要求操作的畫面群的操作權(quán) 被授予給某一個(gè)下位控制裝置時(shí)，上述操作權(quán)判斷部判斷為在上述某 一個(gè)下位控制裝置中正執(zhí)行的處理結(jié)束之后，將上述被要求的畫面群的 操作權(quán)授予上述上位控制裝置。
根據(jù)這些判斷方法，只有上位控制裝置的操作權(quán)判斷部可以判斷是 否授予畫面的操作權(quán)。由此，可以消除從多個(gè)控制裝置對(duì)相同的畫面群 幾乎同時(shí)提出操作要求時(shí)產(chǎn)生的死鎖等，消除在多個(gè)控制裝置控制操作 權(quán)的授予時(shí)可能產(chǎn)生的系統(tǒng)上的問題。其結(jié)果，不必使作為主要業(yè)務(wù)的控制重要度最高的基板處理的控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性降低，就可以提高使用 效率。
由此，操作人員不僅可以高效率地操作畫面，并且可以通過按照周 圍的狀況的變化靈活地操作上位控制裝置或者下位控制裝置的畫面，由 此減少操作失誤。其結(jié)果，可以提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。
也可以，在從上述多個(gè)控制裝置要求了相同畫面群的操作時(shí)，上述
操作權(quán)判斷部判斷為按照預(yù)先確定的優(yōu)先順序，在上述多個(gè)控制裝置 中從優(yōu)先順序高的控制裝置開始按順序分配上述被要求的畫面群的操 作權(quán)。
也可以，上述操作權(quán)判斷部，判斷是否預(yù)先禁止對(duì)要求了上述操作 的控制裝置授予操作權(quán)，在禁止時(shí)，判斷為不對(duì)要求了上述操作的控制 裝置分配操作權(quán)。
由此，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的條件，可以判斷上述被要求了的畫面群的操 作權(quán)是否分配給了提出要求的控制裝置。例如，上位控制裝置和下位控 制裝置，在幾乎同時(shí)間要求了相同畫面群的操作時(shí)，如果預(yù)先將上位控 制裝置的優(yōu)先順序設(shè)定得高于下位控制裝置，則可以將所要求的畫面群 的操作權(quán)優(yōu)先授予上位控制裝置。
其結(jié)果，例如，在任一個(gè)基板處理裝置上產(chǎn)生異常時(shí)，操作人員可 以使用配置在產(chǎn)生異常的基板處理裝置的附近的下位控制裝置的畫面， 在確認(rèn)基板處理裝置的狀態(tài)的同時(shí)進(jìn)行操作。另一方面，針對(duì)被要求了 操作的畫面群以外的畫面群，不必使該操作權(quán)的授權(quán)對(duì)象變化，可以通 過其他的控制裝置(通常是上位控制裝置)來操作，因此可以顯著地減 少操作各控制裝置的操作人員的操作等待時(shí)間。
上位控制裝置也可以還具備輸入部，其在由上述^Mt權(quán)授予部給上 述上位控制裝置授予了操作權(quán)時(shí)，接受使用在被授予了上述操作權(quán)的上位 控制裝置的顯示部上顯示的畫面所輸入的信息；通信部，其在由上述操作 權(quán)授予部給某一下位控制裝置授予了操作權(quán)時(shí)，從被授予了上述操作權(quán)的 下位控制裝置中接收使用在被授予了上述操作權(quán)的下位控制裝置的顯示 部上所顯示的畫面所輸入的信息；存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)表示了在上述基板處理裝置中執(zhí)行的多個(gè)基板處理的順序的配方(recipe);處理執(zhí)行控制部， 其基于在上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的各配方，并行地執(zhí)行基于由上述通信部收 到的信息所執(zhí)行的規(guī)定的處理、和基于由上述輸入部接受的輸入信息所 執(zhí)行的其他的規(guī)定的處理。
由此，在某畫面群的操作權(quán)在上位控制裝置時(shí)，基于從上位控制裝 置的畫面輸入的信息，按照相應(yīng)于輸入信息的處理順序給基板實(shí)施規(guī)定 的處理。此外，在其他的某畫面群的操作權(quán)在下位控制裝置時(shí)，上位控 制裝置接收到從下位控制裝置的畫面輸入的信息，由此按照相應(yīng)于接收 信息的處理順序給基板實(shí)施其他規(guī)定的處理。
這樣，向畫面的輸入操作變得有效的僅是具有操作權(quán)的控制裝置， 由于按畫面群將操作權(quán)授予任一個(gè)控制裝置，因此操作人員可以對(duì)不同 控制裝置顯示的、不同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地操作。
另一方面，基于向有效的畫面的輸入操作所進(jìn)行的基板處理控制本 身都在上位控制裝置執(zhí)行。即，上位控制裝置使用在各處理順序顯示的 配方控制工藝，下位控制裝置基于上位控制裝置的指令驅(qū)動(dòng)各裝置。
由此，上位控制裝置的處理執(zhí)行控制部，可以基于從具有操作權(quán)的 多個(gè)控制裝置指示的信息(即，從下位控制裝置接受到的信息和輸入到 上位控制裝置的信息)將多個(gè)處理并行地執(zhí)行那樣地進(jìn)行控制。此外， 這樣，不論有無畫面的操作權(quán)，所有的實(shí)體處理都可以在上位控制裝置 上控制，由此，可以避免用于完成各工藝的數(shù)據(jù)的不匹配，使系統(tǒng)可以 穩(wěn)定地工作。
另外，作為規(guī)定的處理的一個(gè)例子，作為在基板處理裝置中執(zhí)行的 基板處理，可以舉出，有機(jī)EL膜蒸鍍處理、CVD (Chemical Vapor Deposition:化學(xué)蒸鍍薄膜成膜法)處理、蝕刻處理、濺射處理，作為 在輸送裝置執(zhí)行的處理可以舉出基板的輸送處理。
也可以，上述上位控制裝置的顯示部，基于由上述通信部對(duì)應(yīng)于對(duì) 在被授予了上述操作權(quán)的下位控制裝置的顯示部上顯示的畫面的輸入 操作而接收到的信息，更新在上述上位控制裝置的顯示部上顯示的畫面 的內(nèi)容。由此，可以保持上述上位控制裝置的顯示畫面的內(nèi)容與授予了上述 操作權(quán)的下位控制裝置的顯示畫面的內(nèi)容的匹配性。
另一方面，也可以使上述上位控制裝置的顯示部，在下位控制裝置 中的某一個(gè)被授予了上述操作權(quán)的情況下，在預(yù)先禁止了在上述上位控 制裝置的顯示部上顯示被授予了上述操作權(quán)的畫面群時(shí)，不顯示上述畫 面群。
由此，給某下位控制裝置授予了操作權(quán)的畫面群沒有顯示在上位控 制裝置以及其他的下位控制裝置的畫面上。由此，可以防止將重要的信 息輸出給沒有操作權(quán)的控制裝置的畫面而使重要信息流出。
也可以，上述上位控制裝置，與控制多個(gè)基板處理裝置的多個(gè)第一下 位控制裝置連接并且與第二下位控制裝置連接，該第二下位控制裝置與上
述多個(gè)基板處理裝置鄰接連接，并控制輸iHi^L的輸ili^置，上述畫面數(shù) 據(jù)庫，^r個(gè)畫面群管理在上述多個(gè)第一下位控制裝置的顯示部上顯示的 多個(gè)畫面群、以及在上述第二下位控制裝置的顯示部上顯示的畫面群，上 述存儲(chǔ)部，按每個(gè)配方管理由上述多個(gè)基板處理裝置執(zhí)行的多個(gè)基板處 理的處理順序，上述操作權(quán)授予部，通過按上述畫面數(shù)據(jù)庫所管理的每 個(gè)畫面群將畫面的操作權(quán)授予上述多個(gè)控制裝置中的任一個(gè)，以此來許 可不同的控制裝置對(duì)不同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作，上述處理執(zhí)行 控制部，基于由上述存儲(chǔ)部管理的各配方，并行排他地控制在上述多個(gè) 基板處理裝置中執(zhí)行的多個(gè)基板處理。
由此，包含多個(gè)第一下位控制裝置的兩個(gè)以上的控制裝置可以對(duì)不 同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作。此外，基于由上述存儲(chǔ)部管理的各處 理順序，可以并行并排他地控制在上述多個(gè)基板處理裝置執(zhí)行的多個(gè)基 板處理以及在上述輸送裝置執(zhí)行的輸送處理中的兩個(gè)以上的處理。
也可以，上述多個(gè)第一下位控制裝置，配置在^MLi殳置有上述多個(gè)^！ 處理裝置的室內(nèi)，并在上述多個(gè)基板處理裝置的附近，上述第二下位控制 裝置，配置在與被設(shè)置有上述多個(gè)^1處理裝置的室內(nèi)相同的室內(nèi)，并在 與上述多個(gè)基仗處理裝置相鄰連接配置的上述輸送裝置的附近，上述上位 控制裝置，配置在與上述室內(nèi)隔離的室外，通過與各下位控制裝置進(jìn)行 信息的發(fā)送接收，控制在上述多個(gè)基板處理裝置中執(zhí)行的多個(gè)基板處理以及在上述輸送裝置中執(zhí)行的輸送處理，并且控制在上述各下位控制裝 置的顯示部上能夠顯示的畫面群的操作權(quán)的授予。
由此，可以將多個(gè)基板處理裝置以及輸送裝置配置在例如無塵室 內(nèi)，進(jìn)而，將控制多個(gè)基板處理裝置以及輸送裝置的多個(gè)下位控制裝置 設(shè)置在作為無塵室內(nèi)的控制對(duì)象的裝置的附近，并且在無塵室外設(shè)置上 位控制裝置，上位控制裝置與下位控制裝置經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行信息交換，從 而可以使用上位控制裝置遙控操作無塵室內(nèi)的各裝置。由此，極力抑制 了人進(jìn)出無塵室內(nèi)，由此可以將無塵室內(nèi)的污染保持在最小P艮度。
此外，根據(jù)相關(guān)構(gòu)成，正常動(dòng)作中，上位控制裝置具有畫面的操作 權(quán)，在無塵室內(nèi)的基板處理裝置產(chǎn)生了異常等情況下，在特別情況下， 下位控制裝置僅從上位控制裝置接受到特定畫面群的操作權(quán)。由此，操 作人員，對(duì)于發(fā)生了異常的裝置，可以使用被授予了操作權(quán)的下位控制 裝置的畫面，邊確認(rèn)異常產(chǎn)生裝置的狀態(tài)邊進(jìn)行操作，對(duì)其他的裝置， 可以通過例如操作上位控制裝置的畫面進(jìn)行遙控。
此外，為了解決上述課題，根據(jù)本發(fā)明的其他的技術(shù)方案，提供一種 下位控制裝置，其經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與控制畫面的操作權(quán)的上位控制裝置連接，并 具備能夠顯示用于操作基板處理裝置的畫面群或者用于操作輸送裝置的
畫面群中的任一個(gè)的顯示部，其特征在于，具備畫面數(shù)據(jù)庫，其存儲(chǔ)在 上述下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群；操作權(quán)要求部，其生成 用于要求在上述畫面數(shù)據(jù)庫中存儲(chǔ)的畫面群的操作權(quán)的信息；以及通信 部，在通過將由上述操作權(quán)要求部生成的操作權(quán)要求信息向上述上位控 制裝置發(fā)送來要求畫面的操作，根據(jù)發(fā)送來的操作權(quán)要求信息不必變更 上述所確定出的畫面群以外的畫面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，將被要求了 上述操作的畫面群的操作權(quán)由上述上位控制裝置授予了上述下位控制 裝置的情況下，該通信部將使用授予了上述操作權(quán)的下位控制裝置的顯 示畫面所輸入的信息向上述上位控制裝置發(fā)送，由此，上述上位控制裝 置并行地執(zhí)行基于從授予了上述操作權(quán)的下位控制裝置發(fā)送來的信息 而執(zhí)行的規(guī)定的處理、和基于使用在上述上位控制裝置的顯示部上顯示 的畫面所輸入的信息而執(zhí)行的其他的規(guī)定的處理。
由此，可以根據(jù)來自下位控制裝置的操作要求，將所操作要求的畫對(duì)象)授予給上述提出要求的下位控制裝置。
此外，為了解決上述課題，本發(fā)明的其他的技術(shù)方案提供一種畫面操 作權(quán)的授予方法，使用上位控制裝置授予畫面的操作權(quán)，該上位控制裝置， 經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)連接具有能夠顯示用于操作基板處理裝置的畫面群的顯示部的 第一下位控制裝置、和具有能夠顯示用于操作輸送裝置的畫面群的顯示部 的第二下位控制裝置，并具有能夠顯示在上述第一下位控制裝置的顯示部 被顯示的畫面群和在第二下位控制裝置的顯示部被顯示的畫面群的顯示 部，且控制上述第一下位控制裝置以及上述第二下位控制裝置，該畫面操 作權(quán)的授予方法特征在于，將在上述第一下位控制裝置的顯示部上能夠顯 示的畫面群以及在上述第二下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群 分別存儲(chǔ)在畫面數(shù)據(jù)庫中，根據(jù)從上述第 一下位控制裝置或者上述第二 下位控制裝置中的任一個(gè)發(fā)送來的畫面的操作要求，從在上述畫面數(shù)據(jù) 庫中存儲(chǔ)的多個(gè)畫面群中確定被要求了上述操作的畫面群，判斷上述所 確定出的畫面群的操作權(quán)是否分配給了上述提出要求的下位控制裝置， 在判斷出將上述畫面群的操作權(quán)分配給了上述提出要求的下位控制裝 置的情況下，為了容許由上述第一下位控制裝置、上述第二下位控制裝 置以及上述上位控制裝置構(gòu)成的多個(gè)控制裝置中的、不同的控制裝置對(duì) 不同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作，不變更上述確定出的畫面群以外的 畫面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，將上述確定出的畫面群的操作權(quán)授予上述 提出要求的下位控制裝置。
進(jìn)而，為了解決上述課題，本發(fā)明的其他的技術(shù)方案提供一種存儲(chǔ)介 質(zhì)，其存儲(chǔ)用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行利用上位控制裝置授予畫面操作權(quán)的處理的 畫面操作權(quán)授予程序，該上位控制裝置，經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)連接具有能夠顯示用于 操作基tl處理裝置的畫面群的顯示部的第 一下位控制裝置、和具有能夠顯
示用于^Mt輸送裝置的畫面群的顯示部的第二下位控制裝置，并具有能夠 顯示在上述第一下位控制裝置的顯示部被顯示的畫面群和在第二下位控 制裝置的顯示部被顯示的畫面群的顯示部，且控制上述第一下位控制裝置 以及上述第二下位控制裝置，該畫面操作權(quán)授予程序特征在于，使計(jì)算機(jī) 執(zhí)行以下處理將在上述第一下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群 以及在上述第二下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群分別存儲(chǔ)在 畫面數(shù)據(jù)庫中的處理；根據(jù)從上述第一下位控制裝置或者上述第二下位 控制裝置中的任一個(gè)發(fā)送來的畫面的操作要求，從在上述畫面數(shù)據(jù)庫中存儲(chǔ)的多個(gè)畫面群中確定被要求了上述操作的畫面群的處理；判斷上述 所確定出的畫面群的操作權(quán)是否分配給了上述提出要求的下位控制裝 置的處理；在判斷出將上述畫面群的操作權(quán)分配給了上述提出要求的下
位控制裝置的情況下，為了容許由上述第一下位控制裝置、上述第二下 位控制裝置以及上述上位控制裝置構(gòu)成的多個(gè)控制裝置中的、不同的控 制裝置對(duì)不同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作，不變更上述確定出的畫面 群以外的畫面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，將上述確定出的畫面群的操作權(quán) 授予上述提出要求的下位控制裝置的處理。
發(fā)明效果
如上述說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明可以給要求了畫面的操作的控制裝 置授予所要求的特定的畫面群的操作權(quán)。


圖l是本發(fā)明的第一以及第二實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)的概略圖。
圖2是該實(shí)施方式的無塵室內(nèi)的各機(jī)器的配置圖。
圖3是該實(shí)施方式的PM2的縱剖圖。
圖4是該實(shí)施方式的PM4的立體圖。
圖5是該實(shí)施方式的PC的硬件構(gòu)成圖。
圖6是該實(shí)施方式的上位PC的功能構(gòu)成圖。
圖7是該實(shí)施方式的下位PC的功能構(gòu)成圖。
圖8是例示了該實(shí)施方式的工藝配方C的一部分的圖。
圖9是表示該實(shí)施方式的操作要求中斷處理的流程圖。
圖IO是表示第一實(shí)施方式的操作權(quán)授予處理的流程圖。
圖ll是在第一以及第二實(shí)施方式的上位PC的顯示器上顯示有無操 作權(quán)的畫面的一個(gè)例子。圖12是在該實(shí)施方式的PC的顯示器上顯示操作權(quán)的畫面的一個(gè) 例子。
圖13是表示該實(shí)施方式的工藝執(zhí)行控制信息輸入處理的流程圖。
圖14是表示該實(shí)施方式的工藝執(zhí)行控制處理的流程圖。
圖15是表示該實(shí)施方式的驅(qū)動(dòng)控制處理的流程圖。
圖16是第一實(shí)施方式的各處理的模塊化與同時(shí)操作以及排他控制 的關(guān)系的圖。
圖17是表示第二實(shí)施方式的操作權(quán)授予處理的流程圖。 圖18是用于說明該實(shí)施方式的畫面顯示的圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖針對(duì)本發(fā)明的最佳的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)的說明。另 外，在以下的說明以及附圖中，對(duì)于具有同一構(gòu)成以及功能的構(gòu)成要素， 標(biāo)記同一符號(hào)，省略重復(fù)說明。
(第一實(shí)施方式)
首先，針對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)，參照?qǐng)Dl以及 圖2進(jìn)行說明。圖l是基板處理系統(tǒng)的概略圖，圖2是構(gòu)成基板處理系 統(tǒng)的各機(jī)器的配置圖。
(基板處理系統(tǒng))
基板處理系統(tǒng)10具有上位PCIOO、下位PC200a 200e、 TM( Transfer Module:傳輸模塊)、PM ( Process Module:處理模塊)1 PM4。各機(jī) 器例如分別通過Ethernet (以太網(wǎng))(注冊(cè)商標(biāo))等網(wǎng)絡(luò)300連接在一 起。此外，上位PC100經(jīng)由LAN (Local Area Network:局域網(wǎng))400 與主機(jī)500連接。
如圖2所示，下位PC200b 200e (相當(dāng)于多個(gè)第一下位控制裝置)， 處于PM1 PM4所配置的無塵室Cln內(nèi)，分別配置在PM1 PM4附近。下位PC200a (相當(dāng)于多個(gè)第二下位控制裝置)配置在無塵室Cln內(nèi)部 的各PM的中央所布置的TM的附近。
上位PC (相當(dāng)于上位控制裝置)配置在與無塵室Cln隔離的室外。 上位PCIOO，與下位PC200之間通過收發(fā)控制信號(hào)，分別遙控TM以 及PM1 PM4。具體來說，上位PC100遙控操作在TM中的輸送基板的 處理，并且遙控操作在PM1 PM4實(shí)施的所希望的處理。由此，可以極 力抑制人進(jìn)出無塵室內(nèi)，將無塵室內(nèi)的污染保留在最小限度。但是，上 位PCIOO也可以配置在無塵室Cln內(nèi)。
下位PC200a、 200b、 200c、 200d、 200e具有顯示器200aSD、顯示 器200bSD、顯示器200cSD、顯示器200dSD、顯示器200eSD，可分別 顯示用于操作TM的畫面群、用于操作PM1的畫面群、用于操作PM2 的畫面群、用于操作PM3的畫面群、用于操作PM4的畫面群。上位 PC100具有顯示器IOOMD，能夠顯示在下位PC200b 200e的顯示器 200SD上能夠顯示的畫面群。
在TM、 PM1 PM4中分別安裝有用于檢測(cè)各內(nèi)部機(jī)器的狀態(tài)的傳 感器群TMs、 PMls、 PM2s、 PM3s、 PM4s，該檢測(cè)值分別被輸入到安 全PLC ( Programmable Logic Controller:可編程控制器)。安全PLC,
控制的進(jìn)行安全認(rèn)證的軟件聯(lián)鎖裝置。
在這些安全PLC中還被輸入從上位PC100發(fā)送來的控制信號(hào)。安 全PLC，通過輸入控制信號(hào)和表示來自傳感器的檢測(cè)值的檢測(cè)信號(hào)，在 這些輸入信號(hào)符合預(yù)定的聯(lián)鎖條件之一時(shí)，以不將輸出信號(hào)向下位 PC200送出的方式進(jìn)行控制。由此，下位PC200，可以避免因?qū)⒎下?lián) 鎖條件的誤輸出信號(hào)作為驅(qū)動(dòng)信號(hào)來驅(qū)動(dòng)各模塊(TM， PM1 PM4)內(nèi) 的各機(jī)器而發(fā)生的誤動(dòng)作、例如，可以避免如果混合則供給危險(xiǎn)的氣體 的時(shí)刻的錯(cuò)誤和輸送基板的時(shí)刻的錯(cuò)誤等。其結(jié)果，可以保護(hù)TM和 PM內(nèi)部的機(jī)器并且確保工廠內(nèi)的作業(yè)人員的安全。
主機(jī)500通過與上位PC100收發(fā)數(shù)據(jù)，進(jìn)行數(shù)據(jù)管理等管理基板處 理系統(tǒng)10整體。另外，TM相當(dāng)于輸送基板的輸送裝置，PM1 PM4相當(dāng)于給基板 實(shí)施規(guī)定的處理的基板處理裝置。作為用各PM執(zhí)行的規(guī)定的處理的一 個(gè)例子，可以舉出通過PM1內(nèi)的濺射機(jī)器執(zhí)行的濺射處理、通過PM2 內(nèi)的蝕刻機(jī)器執(zhí)行的蝕刻處理、通過PM3內(nèi)的CVD ( Chemical Vapor Deposition:化學(xué)蒸鍍薄膜成膜法)機(jī)器執(zhí)行的成膜處理、通過PM4內(nèi) 的有機(jī)EL機(jī)器執(zhí)行的有機(jī)EL膜蒸鍍處理。
(PM2的內(nèi)部構(gòu)成)
接下來，作為PM1 PM4的內(nèi)部構(gòu)成的一個(gè)例子，分別參照?qǐng)D3以 及圖4說明執(zhí)行蝕刻處理的PM2以及執(zhí)行6層連續(xù)有機(jī)EL蒸鍍膜處 理的PM4。
PM2具有頂部大致中央部以及底部大致中央部開口的方筒形狀的 處理容器C。處理容器C例如由表面經(jīng)過陽極氧化處理了的鋁構(gòu)成。
在處理容器C的內(nèi)部，在上方設(shè)有上部電極305。上部電極305通 過在處理容器C上部的開口周緣"&置的絕緣件310而與處理容器C電 隔離。上部電極305經(jīng)由匹配電路315與高頻電源320連接。在匹配電 路315，在其周圍設(shè)有匹配箱325，匹配箱325為匹配電路315的接地 殼體。
上部電極305，經(jīng)由氣體管線330與處理氣體供給部335連接，從 處理氣體供給部335供給的所希望的氣體從多個(gè)氣體噴射孔A噴射到處 理容器C內(nèi)。這樣，上部電極305也作為氣體沐浴頭發(fā)揮功能。在上部 電極305中設(shè)有溫度傳感器340。溫度傳感器340檢測(cè)上部電極305的 溫度作為處理容器內(nèi)的溫度，并將該檢測(cè)值向安全PLC發(fā)送。
在處理容器C的內(nèi)部，在下方設(shè)有下部電極345。下部電極345也 作為載置基板G的基座發(fā)揮功能。下部電極345被隔著絕緣件350所設(shè) 置的支承體355支承。由此，下部電極345相對(duì)于處理容器C電隔離。
在處理容器C的底面設(shè)置的開口的外周附近，安裝有波紋管360的 一端。在波紋管360的另一端固定有升降板365。通過該構(gòu)成，處理容 器C的底面的開口部通過波紋管360以及升降板365而被密閉起來。此 夕卜，下部電極345,為了將載置基板G的位置調(diào)整為相應(yīng)于處理的高度，而與波紋管360以及升降板365 —體地升降。
下部電極345經(jīng)由導(dǎo)電路徑370、阻抗調(diào)整部375與升降板365連 接。上部電極305以及下部電極345相當(dāng)于陰極電極以及陽極電極。處 理容器內(nèi)部通過排氣機(jī)構(gòu)380減壓到所期望的真空度。
通過該構(gòu)成，根據(jù)從下位PC200c發(fā)送來的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，控制門岡385 的開閉，由此在保持處理容器C的氣密的同時(shí)在基板G被輸送到處理 容器C的內(nèi)部的狀態(tài)下，被供給到處理容器內(nèi)部的氣體由高頻電力而被 等離子體化，通過所生成的等離子體的作用給基板G實(shí)施所期望的蝕 刻。
(PM4的內(nèi)部構(gòu)成)
接下來，針對(duì)執(zhí)行6層連續(xù)有機(jī)EL蒸鍍膜處理的PM4的內(nèi)部構(gòu)成， 參照作為其要部立體圖的圖4進(jìn)行說明。在PM4中，在基板G上連續(xù) 蒸鍍有6層有機(jī)EL層。
在PM4內(nèi)，內(nèi)置有6個(gè)蒸鍍?cè)?10a 410f。在6個(gè)蒸鍍?cè)?10a 410f 中，收納有不同種類的成膜材料，通過將各蒸鍍?cè)?10中放置的罐加熱 到例如200 500"C的高溫，由此4吏各種成膜材料氣化。
6個(gè)蒸鍍?cè)?10a 410f經(jīng)由6個(gè)連接管420a 420f與6個(gè)噴射容器 430a 430f連結(jié)。在6個(gè)蒸鍍?cè)?10a 410f中被氣化的各種成膜材料分 別通過6個(gè)連接管420a 420f從在6個(gè)噴射容器430a 430f的上表面設(shè) 置的開口 OP (噴射口 )被噴出。
在各噴射容器430之間設(shè)有隔壁440，通過這7個(gè)隔壁440將各噴 射容器430隔開，由此防止從各噴射容器430噴出的成膜材料的氣體分 子混入到從相鄰的噴射容器430噴出的成膜材料的氣體分子中。
基板G，在PM4的頂部附近，靜電吸附在具備滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作臺(tái) (都未圖示)上，在被7個(gè)隔壁440隔開的各噴射容器430a 430f的稍 靠上方，按照第一噴射容器430a—第二噴射容器430b —第三噴射容器 430c —第四噴射容器430d —第五噴射容器430e—第六噴射容器430f的 順序以規(guī)定的速度移動(dòng)。由此，在基板G上，利用分別從各噴射容器430a 430f噴出的成膜材料，將6層所希望的不同的膜連續(xù)地層疊形成。
(PC的硬件構(gòu)成)
接下來，參照?qǐng)D5說明PC的硬件構(gòu)成。另外，下位PC200的硬件 構(gòu)成與上位PC100相同，因此在此僅說明上位PCIOO的硬件構(gòu)成。
上位PC100具有ROM105、 RAMllO、 CPU115、總線120、內(nèi)部接 口 (內(nèi)部I/F) 125以及外部接口 (外部I/F) 130。
在ROM105中記錄有在上位PC100中執(zhí)行的基本程序、異常時(shí)啟 動(dòng)的程序、各種配方等。在RAM110保存有對(duì)用于授予畫面的操作權(quán) 的處理順序進(jìn)行規(guī)定的畫面的操作權(quán)授予程序等各種程序和數(shù)據(jù)。另 外，ROM105以及RAM110是存儲(chǔ)裝置的一個(gè)例子，也可以是 EEPROM、光盤、光磁盤等存儲(chǔ)裝置。
CPU115根據(jù)各種配方控制基板的處理并且控制畫面的操作權(quán)的授 予。總線120是在ROM105、 RAMllO、 CPU115、內(nèi)部接口125以及 外部接口 130的各設(shè)備之間進(jìn)行數(shù)據(jù)的交換的路徑。
內(nèi)部接口 125，輸入數(shù)據(jù)，將必要的數(shù)據(jù)輸出到未圖示的監(jiān)視器或 揚(yáng)聲器等。外部接口 130與經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)300連接的機(jī)器之間收發(fā)數(shù)據(jù)。
(上位PC的功能構(gòu)成)
接下來，針對(duì)上位PC100的功能構(gòu)成，參照將上位PC100的各功 能用框圖表示的圖6進(jìn)行說明。上位PC100具有由TM畫面數(shù)據(jù)庫150、 PM畫面數(shù)據(jù)庫155、畫面確定部160、操作權(quán)判斷部165、操作權(quán)授予 部170、輸入部175、通信部180、存儲(chǔ)部185、處理執(zhí)行控制部190以 及顯示部195表示的各功能。
在TM畫面數(shù)據(jù)庫150中存儲(chǔ)有可在下位PC200a的顯示器200aSD 上顯示的TM用畫面群(TM用畫面1~TM用畫面n)。在PM畫面數(shù) 據(jù)庫155中，按照畫面群存儲(chǔ)有可在下位PC200b的顯示器200bSD上 顯示的PM1用畫面群、可在下位PC200c的顯示器200cSD上顯示的 PM2用畫面群、可在下位PC200d的顯示器200dSD上顯示的PM3用 畫面群、可在下位PC200e的顯示器200eSD上顯示的PM4用畫面群。另外，TM畫面數(shù)據(jù)庫150以及PM畫面數(shù)據(jù)庫155相當(dāng)于分別存儲(chǔ)在 第一下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群以及在第二下位控制 裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群的畫面數(shù)據(jù)庫。
畫面確定部160,:恨據(jù)從下位PC200a 200e中的任一個(gè)發(fā)送來的畫 面的操作要求，從被存儲(chǔ)在TM畫面數(shù)據(jù)庫150或者PM畫面數(shù)據(jù)庫 155中的某一個(gè)中的多個(gè)畫面群確定被要求了上述操作的畫面群。
操作權(quán)判斷部165，判斷是否將由畫面確定部160確定的畫面群的 操作權(quán)分配給上述提出要求的下位PC200。操作權(quán)判斷部165,保持用 于判斷當(dāng)前時(shí)刻哪個(gè)PC持有各畫面群(TM畫面數(shù)、PM1用畫面群、 PM2用畫面群、PM3用畫面群、PM4用畫面群)的操作權(quán)的判斷信息 165a。
操作權(quán)判斷部165也可以在所確定的畫面群的操作權(quán)被授予了多個(gè) 控制裝置(即上位PCIOO、下位PC200a 200e)中的上述提出要求的下 位PC200以外的PC的情況下，在該P(yáng)C結(jié)束了執(zhí)行中的處理后，判斷 將所確定的畫面群的操作權(quán)分配給上述提出要求的下位PC200。
此外，也可以，在由上位PC100要求畫面的操作時(shí)，在畫面群的操 作權(quán)被授予某一個(gè)下位PC200時(shí)，操作權(quán)判斷部165在該下位PC200 結(jié)束了執(zhí)行中的處理后，判斷將上述確定的畫面群的操作權(quán)分配給上述 上位PCIOO。
此外，操作權(quán)判斷部165,在從多個(gè)控制裝置(PC)要求相同畫面 群的操作時(shí)，依照預(yù)先確定的優(yōu)先順序，從多個(gè)控制裝置(PC)中的 優(yōu)先順序高的控制裝置開始按順序判斷分配所要求的畫面群的操作權(quán)。
進(jìn)而，操作權(quán)判斷部165也可以對(duì)是否禁止對(duì)要求了操作的控制裝 置(PC)授予操作權(quán)進(jìn)行判斷，在禁止的情況下，判斷不給要求了操 作的控制裝置(PC)分配操作權(quán)。
基于這種判斷條件，由操作權(quán)判斷部165判斷對(duì)提出要求的下位 PC200分配確定畫面群的操作權(quán)時(shí)，操作權(quán)授予部170，不必變更該確 定的畫面群以外的畫面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，就可以將確定的畫面群 的操作權(quán)授予提出要求的下位PC200。由此，允許下位PC200a 200e以及上位PC100構(gòu)成的多個(gè)PC中的針對(duì)不同的畫面群而不同的PC同
時(shí)獨(dú)立地操作。
這樣，在由操作權(quán)授予部170將操作權(quán)授予給上位PC100時(shí)，輸入 部175，接受操作人員使用在上位PC100的顯示器100MD上顯示的畫 面而輸入的信息。但是，在上位PC100不具有該畫面群的操作權(quán)時(shí)不 接受輸入信息。即，操作人員無法使用在上位PC100的顯示器100MD 上顯示的畫面來輸入信息。
另一方面，由操作權(quán)授予部170將操作權(quán)授予給了任一個(gè)下位 PC200時(shí)，通信部180從被授予了操作權(quán)的下位PC200接受使用被授 予了操作權(quán)的下位PC200的顯示器200SD上顯示的畫面所輸入的信息。
存儲(chǔ)部185分別存儲(chǔ)在PM1 PM4執(zhí)行的對(duì)基板G進(jìn)行各種處理的 順序。在PM1執(zhí)行的濺射處理順序示出于濺射用的系統(tǒng)配方A。在PM2 執(zhí)行的蝕刻處理順序示出于蝕刻用的系統(tǒng)配方B。在PM3執(zhí)行的CVD 處理順序示出于CVD用的系統(tǒng)配方C。在PM4執(zhí)行的CVD處理順序 示出于有機(jī)EL用的系統(tǒng)配方D。在各系統(tǒng)配方中確定了輸送路線(例 如TM —PM1 —TM)以及各工藝配方A D的鏈接信息(例如工藝配方 名)。
處理執(zhí)行控制部190，基于在存儲(chǔ)部185中存儲(chǔ)的對(duì)應(yīng)處理順序并 行地執(zhí)行，基于通過通信部180經(jīng)下位PC200的畫面操作輸入并由上 位PC100接收到的信息所執(zhí)行的規(guī)定的基板處理，和基于按照上位 PC100的畫面操作由輸入部175接收到的輸入信息所執(zhí)行的其他的規(guī)定 的處理。
顯示部195，根據(jù)對(duì)被授予了操作權(quán)的下位PC200的顯示器200SD 上所顯示的畫面的輸入操作，基于由通信部180接收到的信息，以保持 與被授予了操作權(quán)的下位PC200的顯示器200SD上所顯示的畫面的內(nèi) 容匹配的方式，更新在上位PCIOO的顯示器IOOMD上顯示的畫面的內(nèi) 容。
以上說明的各部分的功能中，主要通過TM畫面數(shù)據(jù)庫150、 PM 畫面數(shù)據(jù)庫155、畫面確定部160、操作權(quán)判斷部165、操作權(quán)授予部170、輸入部175以及存儲(chǔ)部185的各功能，控制與包含在上位PC100 以及下位PC200上顯示的畫面的操作權(quán)的控制的畫面相關(guān)的處理(顯 示畫面控制)。另一方面，主要通過存儲(chǔ)部185以及處理執(zhí)行控制部190 控制在TM、PM1 PM4執(zhí)行的基板處理以及輸送處理(工藝執(zhí)行控制)。
另外，以上說明的上位PC100的各部分的功能，實(shí)際上，通過圖5 的CPU115從存儲(chǔ)著實(shí)現(xiàn)這些功能的描述處理順序的程序(包含配方) 的ROM105和RAM110等存儲(chǔ)介質(zhì)中讀出該程序，解釋該程序并執(zhí)行 來實(shí)現(xiàn)。
(下位PC的功能構(gòu)成)
接下來，針對(duì)下位PC200的功能構(gòu)成，參照將下位PC200的功能 用框圖表示的圖7來說明。下位PC200具有由畫面數(shù)據(jù)庫205、存儲(chǔ)部 210、操作權(quán)要求部215、輸入部220、通信部225、顯示部230以及驅(qū) 動(dòng)控制部235示出的各功能。
在畫面數(shù)據(jù)庫205中只存儲(chǔ)在各下位PC200的顯示器200SD上能 夠顯示的畫面群。例如，在下位PC200b的畫面數(shù)據(jù)庫205中存儲(chǔ)有PM1 用(濺射用)的畫面群。在下位PC200c的畫面數(shù)據(jù)庫205中存儲(chǔ)有PM2 用(蝕刻用)的畫面群。在下位PC200d的畫面數(shù)據(jù)庫205中存儲(chǔ)有PM3 用(CVD用)的畫面群。在下位PC200e的畫面數(shù)據(jù)庫205中存儲(chǔ)有 PM4用(有機(jī)EL蒸鍍用)的畫面群。在下位PC200a的畫面數(shù)據(jù)庫205 中替代PM用畫面群，存儲(chǔ)有TM用(輸送用)的畫面群。
在存儲(chǔ)部210中，作為表示在PM1 PM4中執(zhí)行的各種處理的處理 順序的工藝配方，存儲(chǔ)有表示在PM1執(zhí)行的濺射處理的順序的工藝配 方A、表示在PM2中執(zhí)行的蝕刻處理的順序的工藝配方B、表示在PM3 中執(zhí)行的CVD處理的順序的工藝配方C、表示在PM4中執(zhí)行的有機(jī) EL蒸鍍處理的順序的工藝配方D。圖8中示出了工藝配方C (CVD處 理)的例子作為工藝配方的一個(gè)例子。
操作權(quán)要求部215，在當(dāng)前時(shí)刻自己不具有能夠顯示的畫面群的操 作權(quán)時(shí)，生成用于要求在畫面數(shù)據(jù)庫205中存儲(chǔ)的畫面群的操作權(quán)的信 息(操作權(quán)要求信息)。輸入部220在操作權(quán)被授予自己的下位PC200時(shí)，接受操作人員使 用在自己的下位PC200的顯示器200SD上顯示的畫面所輸入的信息。 即，輸入部220，在下位PC200具有該畫面群的操作權(quán)時(shí)，將輸入信息 取入下位PC200內(nèi)。但是，在下位PC200不具備該畫面群的操作權(quán)時(shí)， 不接受輸入信息。即，操作人員無法使用在下位PC200中顯示的畫面 來輸入信息。
通信部225將由操作權(quán)要求部215生成的操作權(quán)要求信息向上位 PC100發(fā)送來要求畫面的操作，并根據(jù)發(fā)送來的操作權(quán)要求信息，在被 要求了操作的畫面群的操作權(quán)自上位PC100被授予了自己的下位 PC200時(shí)，將^_用在自己的下位PC200的顯示器200SD上顯示的畫面 而輸入的信息向上位PC100發(fā)送。
顯示部230，通過通信部225接受使用在被授予了操作權(quán)的其他下 位PC200的顯示器200SD或者上位PC100的顯示器100MD上顯示的 畫面而輸入的信息，基于接受的信息，保持與被授予了操作權(quán)的PC的 顯示器上顯示的畫面的內(nèi)容的匹配性，更新在自己的下位PC200的顯 示器200SD上顯示的畫面的內(nèi)容。
驅(qū)動(dòng)控制部235通過上位PC100被發(fā)送，根據(jù)由通信部225接收的 控制信號(hào)，生成驅(qū)動(dòng)信號(hào)并向該P(yáng)M發(fā)送，該驅(qū)動(dòng)信號(hào)基于表示該P(yáng)M 的處理順序的工藝配方來驅(qū)動(dòng)該P(yáng)M內(nèi)的機(jī)器。由此，相應(yīng)于依照上位 PC100的指令的下位PC200的指示由該P(yáng)M實(shí)施所期望的基板處理。
另外，與上位PC100同樣地，上述說明的下位PC200的各部分的 功能，實(shí)際上，從存儲(chǔ)了對(duì)下位PC200內(nèi)的CPU實(shí)現(xiàn)這些功能的處理 順序進(jìn)行描述的程序(包含配方)的存儲(chǔ)介質(zhì)中讀出該程序，解釋該程 序并執(zhí)行來實(shí)現(xiàn)。
(各PC的動(dòng)作)
接下來，參照?qǐng)D9、圖10所示的流程圖說明使用了以上說明的各 PC的功能的畫面的操作權(quán)授予動(dòng)作。另外，假設(shè)在初始狀態(tài)，各畫面 群的操作權(quán)全部被授予上位PCIOO。圖9是表示在下位PC200側(cè)執(zhí)行 的操作要求中斷處理的流程圖，圖10是表示在上位PC100側(cè)執(zhí)行的操作權(quán)授予處理的流程圖。
例如，在PM4的6層連續(xù)有機(jī)EL裝置發(fā)生了異常時(shí)，與通過上位 PC100遙控操作相比，操作人員通過操作在PM4附近配置的下位 PC200e的顯示器200eSD的畫面，邊確認(rèn)PM4的狀態(tài)邊控制PM4的動(dòng) 作，操作更容易更有效率。
在此，此時(shí)，操作人員按下了在下位PC200e的顯示器200eSD的畫 面上顯示的操作要求按鈕后，從圖9的步驟900開始執(zhí)行操作要求中斷 處理。
(操作要求中斷處理)
輸入部220，當(dāng)輸入按下了操作要求按鈕后，操作權(quán)要求部215在 步驟905判斷在自己的下位PC200e是否有操作權(quán)。在該時(shí)刻自己具有 能夠顯示的畫面群的操作權(quán)時(shí)，立即進(jìn)入步驟995而結(jié)束本中斷處理。 相反，在該時(shí)刻自己不具有能夠顯示的畫面群的操作權(quán)時(shí)，進(jìn)入步驟 910,生成用于要求在畫面數(shù)據(jù)庫205中存儲(chǔ)的PM4用的畫面群的操作 權(quán)的信息(操作權(quán)要求信息)，并作為操作要求中斷信號(hào)發(fā)送到上位 PCIOO，在步驟995結(jié)束本中斷處理。
(操作權(quán)授予處理)
上述操作要求中斷處理的結(jié)果，在從下位PC200e發(fā)送了操作要求 中斷信號(hào)后，上位PC100接受該信號(hào)并從圖10所示的步驟1000開始 操作權(quán)授予處理，在步驟1005,畫面確定部160根據(jù)操作要求中斷信號(hào) 的操作權(quán)要求信息將被要求了操作權(quán)的畫面群確定為PM4用的畫面 群。
接著，進(jìn)入步驟1010，操作權(quán)判斷部165判斷在該時(shí)刻是否禁止對(duì) 要求操作的下位PC200e授予操作權(quán)。在禁止時(shí)，立即進(jìn)入步驟1095 而結(jié)束本處理，但是在未禁止時(shí)，進(jìn)入步驟1015，操作權(quán)判斷部165 判斷要求操作的PC是否已經(jīng)具有了所確定畫面群的操作權(quán)。
在該時(shí)刻，操作權(quán)被授予上位PCIOO，下位PC200e不具有PM4 用的畫面群的操作權(quán)。在此，進(jìn)入步驟1020,操作權(quán)判斷部165，等待到由具有PM4用的畫面群的操作權(quán)的PC (在該時(shí)刻，為上位PC)執(zhí) 行的一系列控制處理結(jié)束為止，在結(jié)束之后，進(jìn)入步驟1025，判斷將操 作權(quán)授予要求畫面操作的下位PC200e。與此相應(yīng)地，操作權(quán)授予部170， 將確定的PM4用的畫面群以外的畫面群、即PM1 PM3用的畫面群以 及TM用的畫面群的操作權(quán)保留在上位PC100上，不變更這些操作權(quán) 的授予對(duì)象，只將PM4用的畫面群的操作權(quán)授予下位PC200e，進(jìn)入步 驟1095而結(jié)束本處理。另外，下位PC200e,在具有PM4用的畫面群 的操作權(quán)時(shí)，從步驟1015立即進(jìn)入步驟1095而結(jié)束本處理。
以上說明的操作權(quán)的授予處理的結(jié)果，如圖11的上位PC100的 顯示器100MD所示那樣，上位PC100具有PM1用(濺射用)畫面群、 PM2用(蝕刻用)畫面群、PM3用(CVD用)畫面群的操作權(quán)，而沒 有PM4用(有機(jī)EL用)畫面群的操作權(quán)。
這樣，操作人員，在自己操作的PC上，通過例如顯示圖11所示 的畫面，可以確認(rèn)自己操作的PC的操作權(quán)被授予了哪個(gè)PC。此外， 如圖12中在下位PC200e的顯示器200eSD上顯示的那樣，在畫面左上 顯示"Client (客戶)"，由此表示PM4 (有機(jī)EL用)畫面群的操作權(quán) 在客戶側(cè)、即位于下位PC200側(cè)，由此，操作人員也可以確認(rèn)自己操 作的PC的操作權(quán)被授予了哪個(gè)PC。
這樣，上位PCIOO，通過執(zhí)行操作權(quán)授予處理，可以允許不同的 PC對(duì)不同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地操作。具體來說，上述操作權(quán)授予處理 的結(jié)果， 一個(gè)操作人員就可以使用上位PCIOO的顯示器100MD的顯示 畫面來操作PM1~3用的畫面群以及TM用的畫面群所包含的畫面，其 他操作人員可以同時(shí)獨(dú)立地^^用下位PC200e的顯示器200eSD的顯示 畫面來操作PM4用的畫面群所包含的畫面。其結(jié)果，針對(duì)產(chǎn)生了異常 的PM4，操作人員不必使用上位PC100的畫面來遙控操作，而使用在 PM4旁邊配置的下位PC200e的畫面就可以邊確i^ PM4的狀態(tài)邊操作 PM4，由此，操作人員可以以比從前效率顯著提高的效率完成作業(yè)。
此外，根據(jù)以上說明的操作權(quán)授予判斷方法，只有上位PC100的 操作權(quán)判斷部165可以判斷是否授予畫面的操作權(quán)，下位PC200不能 獨(dú)斷地授予操作權(quán)。由此，可以消除例如在幾乎同時(shí)從多個(gè)PC對(duì)相同 畫面群提出操作要求時(shí)產(chǎn)生的死鎖等、在由多個(gè)PC控制操作權(quán)的授予時(shí)可能產(chǎn)生的系統(tǒng)上的問題。其結(jié)果，可以使作為本來的業(yè)務(wù)重要性最
高的各PM的基板處理的控制穩(wěn)定地工作，同時(shí)提高用戶的效率。
由此，操作人員不僅可以高效率地操作畫面，還可以根據(jù)周圍狀 況的變化靈活地在上位PC100或者下位PC200操作畫面，因此可以減 少操作錯(cuò)誤，其結(jié)果，可以進(jìn)一步提高用PM控制基板處理的控制系統(tǒng) 的穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效率。
此外，例如，如果預(yù)先確定不想分配操作權(quán)的PC，則可以避免將 被要求的畫面群的操作權(quán)授予在圖10的步驟1010中禁止的PC。
另外，不僅在步驟1010所示的判斷條件，還可以根據(jù)接下來說明 的授予條件，判斷是否將被要求的畫面群的操作權(quán)分配給提出要求的 PC。
例如，在上位PC100和下位PC200在大致相同的時(shí)刻要求了相 同畫面群的操作時(shí)，如果預(yù)先將下位PC200的優(yōu)先順序設(shè)定得高于上 位PC100，則可以將要求的畫面群的操作權(quán)分配給優(yōu)先順序高的下位 PC200。
其結(jié)果，例如，在任一個(gè)PM上產(chǎn)生了異常時(shí)，操作人員可以使 用在PM的旁邊配置的、優(yōu)先順序高的下位PC200的畫面，邊確i人PM 的狀態(tài)邊進(jìn)行操作。
另外，圖10的操作權(quán)授予處理，即使在上位PC100要求了操作 權(quán)時(shí)也適用。此時(shí)，操作權(quán)判斷部165,在步驟1015中判斷由上位PC100 要求了操作的畫面群的操作權(quán)被授予了任一個(gè)下位PC200與否，在某 一個(gè)下位PC200具有操作權(quán)時(shí)，在步驟1020等待在該P(yáng)C完成執(zhí)行中 的一系列處理，結(jié)束后，在步驟1025判斷為將操作權(quán)分配給了上位 PCIOO，相應(yīng)于此，操作權(quán)授予部170將操作權(quán)授予上位PCIOO。
在本實(shí)施方式中，通過以上說明的中斷處理，可以同時(shí)操作不同 的畫面群，并且在PM1內(nèi)執(zhí)行的基板處理的排他控制變?yōu)榭赡堋＝酉?來，參照?qǐng)D13以及圖14的流程圖，針對(duì)該處理執(zhí)行時(shí)的排他控制進(jìn)行 說明。圖13是表示在下位PC200側(cè)執(zhí)行的工藝執(zhí)行控制信息輸入處理 的流程圖，圖14是表示在上位PC100側(cè)執(zhí)行的工藝執(zhí)行控制信息輸入處理的流程圖。
通過剛才執(zhí)行的中斷處理，在當(dāng)前時(shí)刻，下位PC200e具有PM4 用的畫面群的操作權(quán)。此外，其他PM用的畫面群的操作權(quán)由上位PC100 保持。根據(jù)該狀況，操作人員操作下位PC200e的畫面時(shí)，工藝執(zhí)行控 制信息輸入處理從圖13的步驟1300開始執(zhí)行。
(工藝執(zhí)行控制信息輸入處理)
接下來，在步驟1305，輸入部220判斷自己是否有操作權(quán)。在該 時(shí)刻，下位PC200e具有在自己的顯示器200eSD上顯示的PM4用畫面 的操作權(quán)，因此，進(jìn)入步驟1310，接受使用在下位PC200e的顯示器 200eSD上顯示的PM4用畫面而輸入的信息。接下來，進(jìn)入步驟1315, 通信部225將所輸入的信息向上位PC100發(fā)送，進(jìn)入步驟1395而結(jié)束 本處理。
相反，如果自己沒有操作權(quán)，則從步驟1305立即進(jìn)入步驟1395 而結(jié)束本處理。其結(jié)果，如果自己有操作權(quán)，則接受由操作人員對(duì)下位 PC200e的畫面的操作，并作為輸入信息取入到PC內(nèi)。相反，如果自 己沒有操作權(quán)，則不接受由操作人員對(duì)下位PC200e的畫面的操作，并 廢棄該輸入信息。
(工藝執(zhí)行控制處理)
另一方面，在從下位PC200e發(fā)送來輸入信息時(shí)，在上位PC100 側(cè)，從圖14的步驟1400開始執(zhí)行工藝執(zhí)行控制處理，在步驟1405，操 作權(quán)判斷部165判斷自己(上位PC100 )是否有操作權(quán)。
在該時(shí)刻，PM4用的畫面群的操作權(quán)位于下位PC200e。在此， 進(jìn)入步驟1410，通信部180，判斷是否從具有操作權(quán)的某個(gè)下位PC200 接收了輸入信息。
在該時(shí)刻，上位PCIOO，接受剛才通過執(zhí)行圖13的工藝執(zhí)行控制 信息輸入處理而從下位PC200e發(fā)送來的信息。在此，進(jìn)入步驟1415， 處理執(zhí)行控制部190，基于從下位PC200e發(fā)送來的信息，從在存儲(chǔ)部 185中存儲(chǔ)的系統(tǒng)配方中選擇PM4用(有機(jī)EL用)的系統(tǒng)配方D。接下來，進(jìn)入步驟1420,處理執(zhí)行控制部1卯根據(jù)系統(tǒng)配方D，將基板G 按TM —PM4 —TM的順序邊輸送，邊在PM4基于工藝配方D生成用 于對(duì)基板G實(shí)施6層連續(xù)有機(jī)EL蒸鍍膜形成處理的控制信號(hào)，并將所 生成的控制信號(hào)發(fā)送到該下位PC200,進(jìn)入步驟1495而結(jié)束本處理。
另一方面，針對(duì)PM4用畫面群以外的畫面群，在上位PC100有 操作權(quán)。由此，針對(duì)PM4用畫面群以外的畫面群，在步驟1405判斷為 自己(上位PC100)有操作權(quán)，進(jìn)入步驟1425。輸入部175，在步驟 1425接受由操作人員使用在上位PC100的顯示器100MD上顯示的各畫 面群的畫面來輸入的信息，進(jìn)入步驟1415。處理執(zhí)行控制部l卯，基于 在同步驟從上位PC100的畫面輸入的信息，從在存儲(chǔ)部185中存儲(chǔ)的 系統(tǒng)配方中選擇該P(yáng)M用的系統(tǒng)配方。接下來，進(jìn)入步驟1420，處理執(zhí) 行控制部190根據(jù)選擇的系統(tǒng)配方生成用于對(duì)基板G實(shí)施所希望的處理 的控制信號(hào)，將所生成的控制信號(hào)向該下位PC200發(fā)送，進(jìn)入步驟1495 而結(jié)束本處理。
(驅(qū)動(dòng)控制處理)
在從上位PC100發(fā)送來控制信號(hào)時(shí)，在該下位PC200側(cè)，從圖 15的步驟1500開始執(zhí)行驅(qū)動(dòng)控制處理，在步驟1505，驅(qū)動(dòng)控制部235 判斷是否從上位PC100收到了控制信號(hào)。
在未收到控制信號(hào)時(shí)，立即進(jìn)入步驟1595而結(jié)束本處理，但是在 該時(shí)刻，因?yàn)閺纳衔籔C100收到了控制信號(hào)，所以驅(qū)動(dòng)控制部235進(jìn) 入步驟1510，基于控制信號(hào)從存儲(chǔ)部210中選擇適當(dāng)?shù)墓に嚺浞剑M(jìn)入 步驟1515，根據(jù)所選擇的工藝配方向該P(yáng)M內(nèi)的機(jī)器發(fā)送驅(qū)動(dòng)信號(hào)，由 此驅(qū)動(dòng)各機(jī)器，從而在PM內(nèi)執(zhí)行所希望的處理。
以上，根據(jù)本實(shí)施方式，向畫面的輸入操作為有效的只有具有操 作權(quán)的PC。此外，操作權(quán)按每個(gè)畫面群授予給任一個(gè)PC。由此，在本 實(shí)施方式中，可以同時(shí)獨(dú)立地在不同的多個(gè)PC對(duì)不同的畫面群進(jìn)行輸 入操作。
這樣，能夠用不同的多個(gè)PC對(duì)不同的畫面群進(jìn)行輸入操作是由 于，圖16所示的各顯示器上(顯示器100MD以及顯示器200SD)能夠顯示的各畫面群在上位pc100的畫面數(shù)據(jù)庫150、 155以及各下位pc200 的畫面數(shù)據(jù)庫205中按每個(gè)畫面群進(jìn)行管理，進(jìn)而，各實(shí)體處理(tm 處理、pm1處理、pm2處理、…PMn處理)也按處理的每個(gè)種類在上 位pc100的存儲(chǔ)部185以及各下位pc200的存儲(chǔ)部210中被管理。由 此，如圖16中作為"橫分割"所表示的那樣，將實(shí)體處理和畫面處理 分開地按每個(gè)畫面群來管理畫面操作，由此，操作權(quán)授予部170，可以 按每個(gè)畫面群授予操作權(quán)。由此，能夠按每個(gè)各個(gè)畫面群同時(shí)操作。
另一方面，向基板g的實(shí)體處理本身全部在上位pc100側(cè)執(zhí)行。 這樣，如上所述，是通過上位pc100的存儲(chǔ)部185以及下位pc200的 存儲(chǔ)部210將對(duì)基板的處理順序按處理的每個(gè)種類進(jìn)行模塊化進(jìn)行管理 而實(shí)現(xiàn)的。即，如圖16中作為"縱分割"所示那樣，上位pc100分別 使用被模塊化了的各處理順序控制處理，下位pc200基于上位pc100 的指令，根據(jù)表示各處理順序的工藝配方來驅(qū)動(dòng)各pm內(nèi)的機(jī)器。
由此，上位pcioo的處理執(zhí)行控制部190，可以基于操作具有操 作權(quán)的多個(gè)PC所輸入的信息(即，從下位pc200接收到的信息和輸入 到上位pcioo的信息)，并行并排他地執(zhí)行多個(gè)處理，此外，這樣，通 過將全部實(shí)體處理由上位pcioo執(zhí)行，可以避免用于進(jìn)行各處理的數(shù) 據(jù)不匹配，從而可以穩(wěn)定地使系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)。
(第二實(shí)施方式)
接著，針對(duì)第二實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)10進(jìn)行說明。在第二實(shí) 施方式中，在下位pc200被授予了特定的畫面群的操作權(quán)時(shí)，在上位 pc100的顯示器100md中不顯示該特定的畫面群，從這點(diǎn)來說，與操 作權(quán)的有無無關(guān)，在上位pc100的顯示器100md上能夠顯示全部畫面 群的第一實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)10在動(dòng)作上不同。在此，以該不同 點(diǎn)為中心說明本實(shí)施方式的基板處理系統(tǒng)10。
(操作權(quán)授予處理)
例如，當(dāng)從下位pc200發(fā)送操作要求中斷信號(hào)后，上位pc100 接受該信號(hào)，從圖17所示的步驟1700開始操作權(quán)授予處理，在步驟 1005~1025中，與第一實(shí)施方式同樣地，向要求了畫面的操作的下位PC200a授予PM1用的畫面群的操作權(quán)。其后，進(jìn)入步驟1705，顯示 部195判斷自己(上位PC100 )是否有各畫面群的操作權(quán)。
在該時(shí)刻，上位PC100不具有PM1用的畫面群的操作權(quán)。在此， 進(jìn)入步驟1710，顯示部195禁止從上位PC100的顯示器100MD顯示不 具有操作權(quán)的PM1用的畫面群，進(jìn)入步驟1795而結(jié)束本處理。
據(jù)此，如圖18所示，在上位PC100的顯示器100MD中顯示PM1 用的畫面群以外的畫面群，不顯示PM1用的畫面群。由此，才艮據(jù)本實(shí) 施方式，在操作權(quán)授予了某下位PC200的畫面群不顯示在上位PC100 (以及其他的下位PC200)的顯示器上。由此，通過將重要的信息顯示 在沒有操作權(quán)的PC畫面上，可以防止重要的信息流出。
在上述實(shí)施方式中，各部分的動(dòng)作相互關(guān)聯(lián)，可以邊考慮相互的 關(guān)聯(lián)，邊作為一系列動(dòng)作進(jìn)行置換，由此可以將用于控制畫面的操作權(quán) 的授予的上位控制裝置的實(shí)施方式作為授予畫面的操作權(quán)的方法的實(shí) 施方式。此外，通過將上位控制裝置的各部分的動(dòng)作與各部分的處理進(jìn) 行置換，可以將控制畫面的操作權(quán)的授予的上位控制裝置的實(shí)施方式作 為畫面的操作權(quán)授予程序的實(shí)施方式。此外，通過將畫面的操作權(quán)授予 程序存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)可讀取的存儲(chǔ)介質(zhì)中，可以將畫面的操作權(quán)授予程序 的實(shí)施方式做成記錄為程序的計(jì)算機(jī)可讀取的存儲(chǔ)介質(zhì)的實(shí)施方式。
以上，參照

本發(fā)明的適宜的實(shí)施方式，但當(dāng)然本發(fā)明不 限于上述例子。如果是本領(lǐng)域技術(shù)人員在權(quán)利要求記載的范圍內(nèi)顯而易 見地可以想到的各種變形例或者修正例，則這些都包含在本發(fā)明的技術(shù) 范圍內(nèi)。
例如，本發(fā)明中使用的基板，不限于玻璃基板，例如還可以使用 硅晶片。即，本發(fā)明中使用的基板，只要是可用于例如有機(jī)EL顯示器 或者等離子體顯示器、液晶顯示器(LCD: Liquid Crystal Display)等 的基板即可，本發(fā)明的基板處理裝置只要是能夠?qū)@種基板實(shí)施所希望 的處理的裝置即可。
此外，作為本發(fā)明的基板處理裝置，除了蝕刻裝置、CVD裝置等， 還有噴涂顯影機(jī)、清洗裝置、CMP ( Chemical Mechanical Polishing:化學(xué)機(jī)械研磨)裝置、PVD( Physical Vapor Deposition:物理氣相沉積) 裝置、曝光裝置、離子注入裝置等。此外，在本發(fā)明的基板處理裝置中 也可以執(zhí)行熱擴(kuò)散處理、灰化處理等。
權(quán)利要求
1.一種上位控制裝置，其經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)連接具有能夠顯示用于操作基板處理裝置的畫面群的顯示部的第一下位控制裝置、和具有能夠顯示用于操作輸送裝置的畫面群的顯示部的第二下位控制裝置，并具有能夠顯示在上述第一下位控制裝置的顯示部被顯示的畫面群和在第二下位控制裝置的顯示部被顯示的畫面群的顯示部，且控制上述第一下位控制裝置以及上述第二下位控制裝置，其特征在于，具備畫面數(shù)據(jù)庫，其分別存儲(chǔ)在上述第一下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群以及在上述第二下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群；畫面確定部，其根據(jù)從上述第一下位控制裝置或者上述第二下位控制裝置中的任一個(gè)發(fā)送來的畫面的操作要求，從在上述畫面數(shù)據(jù)庫中存儲(chǔ)的多個(gè)畫面群中確定被要求了上述操作的畫面群；操作權(quán)判斷部，其判斷由上述畫面確定部確定出的畫面群的操作權(quán)是否分配給上述提出要求的下位控制裝置；操作權(quán)授予部，其在通過上述操作權(quán)判斷部判斷為將上述畫面群的操作權(quán)分配給上述提出要求的下位控制裝置的情況下，為了容許由上述第一下位控制裝置、上述第二下位控制裝置以及上述上位控制裝置構(gòu)成的多個(gè)控制裝置中的、不同的控制裝置對(duì)不同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作，不變更上述確定出的畫面群以外的畫面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，將上述確定出的畫面群的操作權(quán)授予給上述提出要求的下位控制裝置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的上位控制裝置，其特征在于，在上述確 定出的畫面群的操作權(quán)被授予給上述多個(gè)控制裝置中、上述提出要求的 下位控制裝置以外的控制裝置時(shí)，上述操作權(quán)判斷部判斷為在被授予 了上述操作權(quán)的控制裝置中正執(zhí)行的處理結(jié)束之后，將上述確定出的畫 面群的操作權(quán)授予上述提出要求的下位控制裝置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的上位控制裝置，其特征在于，在由上述 上位控制裝置要求操作的畫面群的操作權(quán)被授予給某一個(gè)下位控制裝 置時(shí)，上述操作權(quán)判斷部判斷為在上述某一個(gè)下位控制裝置中正執(zhí)行 的處理結(jié)束之后，將上述被要求的畫面群的操作權(quán)授予上述上位控制裝 置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的上位控制裝置，其特征在于，在從上述 多個(gè)控制裝置要求了相同畫面群的操作時(shí)，上述操作權(quán)判斷部判斷為 按照預(yù)先確定的優(yōu)先順序，在上述多個(gè)控制裝置中從優(yōu)先順序高的控制裝置開始按順序分配上述被要求的畫面群的操作權(quán)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的上位控制裝置，其特征在于，上述操作 權(quán)判斷部，判斷是否預(yù)先禁止了對(duì)要求了上述操作的控制裝置授予操作 權(quán)，在被禁止時(shí)，判斷為不對(duì)要求了上述操作的控制裝置分配操作權(quán)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的上位控制裝置，其特征在于，還具備 輸入部，其在由上述操作權(quán)授予部給上述上位控制裝置授予了操作權(quán)時(shí)，接受使用在被授予了上述操作權(quán)的上位控制裝置的顯示部上顯示 的畫面所輸入的信息；通信部，其在由上述操作權(quán)授予部給某一下位控制裝置授予了操作 權(quán)時(shí)，從被授予了上述操作權(quán)的下位控制裝置中接收使用在被授予了上 述操作權(quán)的下位控制裝置的顯示部上所顯示的畫面所輸入的信息；存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)表示了在上述基板處理裝置中執(zhí)行的多個(gè)基板處理 的順序的配方；處理執(zhí)行控制部，其基于在上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的各配方，并行地執(zhí) 行基于由上述通信部收到的信息所執(zhí)行的規(guī)定的處理、和基于由上述輸 入部接受的輸入信息所執(zhí)行的其他的規(guī)定的處理。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的上位控制裝置，其特征在于，上述上位 控制裝置的顯示部，基于由上述通信部對(duì)應(yīng)于對(duì)在被授予了上述操作權(quán) 的下位控制裝置的顯示部上顯示的畫面的輸入操作而接收到的信息，以 與被授予了上述操作權(quán)的下位控制裝置的顯示部上顯示的畫面的內(nèi)容 保持匹配性的方式，更新在上述上位控制裝置的顯示部上顯示的畫面的 內(nèi)容。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的上位控制裝置，其特征在于，上述上位 控制裝置的顯示部，在下位控制裝置中的某一個(gè)被授予了上述操作權(quán)的 情況下，在預(yù)先禁止了在上述上位控制裝置的顯示部上顯示被授予了上 述操作權(quán)的畫面群時(shí)，不顯示上述畫面群。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的上位控制裝置，其特征在于， 上述上位控制裝置，與控制多個(gè)基板處理裝置的多個(gè)第一下位控制裝置連接并且與第二下位控制裝置連接，該第二下位控制裝置與上述多 個(gè)基板處理裝置鄰接連接，并控制輸送基板的輸送裝置， 上述畫面數(shù)據(jù)庫，按每個(gè)畫面群管理在上述多個(gè)第一下位控制裝置的顯示部上顯示 的多個(gè)畫面群、以及在上述第二下位控制裝置的顯示部上顯示的畫面 群，上述存儲(chǔ)部，按每個(gè)配方管理由上述多個(gè)基板處理裝置執(zhí)行的多個(gè) 基板處理的處理順序，上述操作權(quán)授予部，通過按上述畫面數(shù)據(jù)庫所管理的每個(gè)畫面群將畫面的操作權(quán)授予 上述多個(gè)控制裝置中的任一個(gè)，以此來允許不同的控制裝置對(duì)不同的畫 面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作，上述處理執(zhí)行控制部，基于由上述存儲(chǔ)部管理的各配方，并行排他地控制在上述多個(gè)基板 處理裝置中執(zhí)行的多個(gè)基板處理。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的上位控制裝置，其特征在于， 上述多個(gè)第一下位控制裝置，配置在被設(shè)置有上述多個(gè)基板處理裝置的室內(nèi)，并在上述多個(gè)基板處理裝置的附近，上述第二下位控制裝置，配置在與被設(shè)置有上述多個(gè)基板處理裝置 的室內(nèi)相同的室內(nèi)，并在與上述多個(gè)基板處理裝置相鄰連接配置的上述 輸送裝置的附近，上述上位控制裝置，配置在與上述室內(nèi)隔離的室外，通過與各下位 控制裝置進(jìn)行信息的發(fā)送接收，控制在上述多個(gè)基板處理裝置中執(zhí)行的 多個(gè)基板處理以及在上述輸送裝置中執(zhí)行的輸送處理，并且控制在上述 各下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群的操作權(quán)的授予。
11. 一種下位控制裝置，其經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)與控制畫面的操作權(quán)的上位控 制裝置連接，并具備能夠顯示用于操作基板處理裝置的畫面群或者用于 操作輸送裝置的畫面群中的任一個(gè)的顯示部，其特征在于，具備畫面數(shù)據(jù)庫，其存儲(chǔ)在上述下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群；操作權(quán)要求部，其生成用于要求在上述畫面數(shù)據(jù)庫中存儲(chǔ)的畫面群的操作權(quán)的信息；以及通信部，在通過將由上述操作權(quán)要求部生成的操作權(quán)要求信息向上 述上位控制裝置發(fā)送來要求畫面的操作，根據(jù)發(fā)送來的操作權(quán)要求信息 不必變更上述所確定出的畫面群以外的畫面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，將 被要求了上述操作的畫面群的操作權(quán)由上述上位控制裝置授予了上述 下位控制裝置的情況下，該通信部將使用被授予了上述操作權(quán)的下位控 制裝置的顯示畫面所輸入的信息向上述上位控制裝置發(fā)送，由此，使上述上位控制裝置并行地執(zhí)行基于從被授予了上述操作權(quán) 的下位控制裝置發(fā)送來的信息而執(zhí)行的規(guī)定的處理、和基于使用在上述上位控制裝置的顯示部上顯示的畫面所輸入的信息而執(zhí)行的其他的規(guī) 定的處理。
12. —種畫面操作權(quán)的授予方法，使用上位控制裝置授予畫面的操 作權(quán)，該上位控制裝置，經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)連接具有能夠顯示用于操作基板處理 裝置的畫面群的顯示部的第一下位控制裝置、和具有能夠顯示用于操作 輸送裝置的畫面群的顯示部的第二下位控制裝置，并具有能夠顯示在上 述第一下位控制裝置的顯示部被顯示的畫面群和在第二下位控制裝置 的顯示部被顯示的畫面群的顯示部，且控制上述第一下位控制裝置以及 上述第二下位控制裝置，該畫面操作權(quán)的授予方法特征在于，將在上述第一下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群以及在 上述第二下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群分別存儲(chǔ)在畫面 數(shù)據(jù)庫中，根據(jù)從上述第一下位控制裝置或者上述第二下位控制裝置中的任 一個(gè)發(fā)送來的畫面的操作要求，從在上述畫面數(shù)據(jù)庫中存儲(chǔ)的多個(gè)畫面 群中確定被要求了上述操作的畫面群，判斷上述所確定出的畫面群的操作權(quán)是否分配給了上述提出要求 的下位控制裝置，在判斷出將上述畫面群的操作權(quán)分配給了上述提出要求的下位控 制裝置的情況下，為了容許由上述第一下位控制裝置、上述第二下位控 制裝置以及上述上位控制裝置構(gòu)成的多個(gè)控制裝置中的、不同的控制裝 置對(duì)不同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作，不變更上述確定出的畫面群以 外的畫面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，將上述確定出的畫面群的操作權(quán)授予 上述提出要求的下位控制裝置。
13. —種存儲(chǔ)介質(zhì)，其存儲(chǔ)用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行利用上位控制裝置授 予畫面操作權(quán)的處理的畫面操作權(quán)授予程序，該上位控制裝置，經(jīng)由網(wǎng) 絡(luò)連接具有能夠顯示用于操作基板處理裝置的畫面群的顯示部的第一 下位控制裝置、和具有能夠顯示用于操作輸送裝置的畫面群的顯示部的 第二下位控制裝置，并具有能夠顯示在上述第一下位控制裝置的顯示部 被顯示的畫面群和在第二下位控制裝置的顯示部被顯示的畫面群的顯 示部，且控制上述第一下位控制裝置以及上述第二下位控制裝置，該存 儲(chǔ)介質(zhì)特征在于，存儲(chǔ)了使計(jì)算機(jī)執(zhí)行以下處理的程序?qū)⒃谏鲜龅谝幌挛豢刂蒲b置的顯示部上能夠顯示的畫面群以及在 上述第二下位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群分別存儲(chǔ)在畫面 數(shù)據(jù)庫中的處理；根據(jù)從上述第一下位控制裝置或者上述第二下位控制裝置中的任 一個(gè)發(fā)送來的畫面的操作要求，從在上述畫面數(shù)據(jù)庫中存儲(chǔ)的多個(gè)畫面群中確定被要求了上述操作的畫面群的處理；判斷上述所確定出的畫面群的操作權(quán)是否分配給了上述提出要求 的下位控制裝置的處理；在判斷出將上述畫面群的操作權(quán)分配給了上述提出要求的下位控 制裝置的情況下，為了容許由上述第一下位控制裝置、上述第二下位控 制裝置以及上述上位控制裝置構(gòu)成的多個(gè)控制裝置中的、不同的控制裝 置對(duì)不同的畫面群同時(shí)獨(dú)立地進(jìn)行操作，不變更上述確定出的畫面群以 外的畫面群的操作權(quán)的授予對(duì)象，將上述確定出的畫面群的操作權(quán)授予 上述提出要求的下位控制裝置的處理。
全文摘要
上位PC(100)與控制多個(gè)PM或者TM的多個(gè)下位PC(200)連接。上位PC(100)根據(jù)來自下位PC(200)的畫面的操作要求，判斷是否將操作權(quán)分配給提出要求的下位PC(200)。
文檔編號(hào)G05B9/02GK101529344SQ20078003968
公開日2009年9月9日 申請(qǐng)日期2007年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月16日
發(fā)明者山上宗隆 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社