技術(shù)編號(hào)：6292323
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種控制在用于控制基板處理裝置或者輸送裝置的下 位控制裝置的顯示部上能夠顯示的畫面群的操作權(quán)的授予的上位控制 裝置、要求畫面的操作的下位控制裝置、畫面的操作權(quán)授予方法以及存 儲(chǔ)畫面操作權(quán)授予程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。背景技術(shù)一直以來，提供如下系統(tǒng)，其通過在無塵室內(nèi)設(shè)置對(duì)基板實(shí)施規(guī)定 的處理的多個(gè)基板處理裝置以及輸送基板的輸送裝置，并且，將控制多個(gè)基板處理裝置以及輸送裝置的下位PC ( Personal Computer個(gè)人計(jì) 算機(jī))分別設(shè)置在無塵室內(nèi)的各裝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。