專(zhuān)利名稱(chēng)：校準(zhǔn)裝置和校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法、包括校準(zhǔn)裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板、平移臺(tái)板、機(jī)械以及機(jī) ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種校準(zhǔn)裝置，所述校準(zhǔn)裝置用于通過(guò)在半導(dǎo)體設(shè)備或印刷電路板、液晶顯示元件等的檢查裝置、曝光裝置等中在XY9、Ye或e內(nèi)移動(dòng)臺(tái)板，將在臺(tái)板上的目標(biāo)物定位到預(yù)定位置，本發(fā)明還涉 及一種校正裝置的原點(diǎn)返回方法。
背景技術(shù)：
構(gòu)成常規(guī)技術(shù)第一實(shí)施例的包括線性電機(jī)的板架裝置，能夠通過(guò) 使用線性電機(jī)，以小角度執(zhí)行定位，并且使其小型和薄型化(例如參 見(jiàn)專(zhuān)利參考文獻(xiàn)i)。此外，還有一種2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，并且使用該機(jī)構(gòu)的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)板裝置構(gòu)成常規(guī)技術(shù)的第二實(shí)施例，使用簡(jiǎn) 單集成到臺(tái)板的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)使2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn) 臺(tái)板裝置構(gòu)成臺(tái)板裝置，并且2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)板裝置能夠高精度 地導(dǎo)向并支撐該臺(tái)板(例如參見(jiàn)專(zhuān)利參考文獻(xiàn)2)。構(gòu)成常規(guī)技術(shù)第三實(shí)施例的板架裝置包括可移動(dòng)支撐裝置和定位 控制裝置，可移動(dòng)支撐裝置用于軸向可移動(dòng)地支撐具有可移動(dòng)臺(tái)板的 板架的一個(gè)末端部分和另一個(gè)末端部分，定位控制裝置用于控制可移 動(dòng)臺(tái)板和移動(dòng)支撐裝置，使定位控制裝置能夠在移動(dòng)中不僅在直線前 進(jìn)方向上而且在旋轉(zhuǎn)方向上精確地定位板架，并且通過(guò)加速響應(yīng)能夠 以高速移動(dòng)板架(例如參見(jiàn)專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3)。專(zhuān)利參考文獻(xiàn)l: JP-A-2002-328191 (圖l、圖2) 專(zhuān)利參考文獻(xiàn)2: JP-A-11-245128 (圖2、圖4、圖5)專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3: JP-A-2003-316440 (圖1、圖3、圖4、圖5、圖7)對(duì)構(gòu)成常規(guī)技術(shù)第一實(shí)施例的包括專(zhuān)利參考文獻(xiàn)1的線性電機(jī)的 板架裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖77是示出了從構(gòu)成一個(gè)方向的X方向觀看的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)1 的包括線性電機(jī)的板架裝置的實(shí)施例的正視圖，而圖78是示出了在圖 77中所示的板架裝置的平面圖。在兩個(gè)圖中，包括線性電機(jī)的板架裝置集成有作為驅(qū)動(dòng)裝置的旋 轉(zhuǎn)線性電機(jī)1013，用于在旋轉(zhuǎn)方向上在旋轉(zhuǎn)板架1103與第二板架1102 之間少量移動(dòng)，具體的，考慮到旋轉(zhuǎn)板架1103的少量角定位，作為旋轉(zhuǎn)線性電機(jī)i013，通過(guò)在旋轉(zhuǎn)方向內(nèi)的一個(gè)旋轉(zhuǎn)方向(即，e方向)上少量移動(dòng)線性電機(jī)1013和構(gòu)成一部分的旋轉(zhuǎn)板架1103，應(yīng)用可移動(dòng)磁 鐵型線性電機(jī)，構(gòu)成用于角定位部分工件(work)等的旋轉(zhuǎn)板架裝置。旋轉(zhuǎn)板架1103 (即，e板架裝置)集成到由第一板架和第二板架 1102構(gòu)成的XY板架裝置，第一板架在一個(gè)方向上構(gòu)成一個(gè)線性方向 的X方向上往返移動(dòng)，第二板架1102在正交于X方向的Y方向上往 返移動(dòng)，XY板架裝置構(gòu)成XY-e板架裝置的復(fù)合板架裝置，并且構(gòu)成用于在x方向、Y方向和旋轉(zhuǎn)方向(e方向)內(nèi)的平面上定位部分工件等的結(jié)構(gòu)。這樣，常規(guī)技術(shù)包括線性電機(jī)的板架裝置是小型化和薄型化的，在xYe方向上定位。隨后，對(duì)專(zhuān)利參考文獻(xiàn)2的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和使 用該結(jié)構(gòu)的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)板裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖79是專(zhuān)利參考文 獻(xiàn)2的2軸平行/l軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的局部分解透視圖，圖80示出了使用圖79中所示的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)板裝置，該圖的(a)是省略了臺(tái)板的平面圖并且由雙點(diǎn)劃線示 出了臺(tái)板，該圖的(b)是正視圖，而圖81是圖80中所示的臺(tái)板的平 面圖。在圖79到81中，2軸平行/l軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)2201 (圖79) 由2軸平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向部分2270和集成到2軸平行運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)2270 的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向部分2280構(gòu)成。此外，如圖80和圖81所示，使用2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī) 構(gòu)2201的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)板裝置通過(guò)4個(gè)2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng) 導(dǎo)向機(jī)構(gòu)2201A、 2201B、 2201C、 2201D，平行于底座2234并且在相 互垂直的2軸方向上可移動(dòng)的支撐臺(tái)板2233，以及使該2軸平行/1軸 旋轉(zhuǎn)臺(tái)板裝置能夠以設(shè)置在臺(tái)板2233中心部分的旋轉(zhuǎn)軸CO為中心旋 轉(zhuǎn)。4個(gè)2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)中的3個(gè)2201A、 2201B、 2201C、 2201D可操作地連接有由旋轉(zhuǎn)電機(jī)2238構(gòu)成的線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 2237A、 2237B、 2237D和用于將旋轉(zhuǎn)電機(jī)2238的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)轉(zhuǎn)換為線性 運(yùn)動(dòng)的螺旋推進(jìn)機(jī)構(gòu)2239，其被分別驅(qū)動(dòng)以在線方向上伸縮。能夠自 由移動(dòng)2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)2201C。當(dāng)平行移動(dòng)臺(tái)板2233時(shí)，驅(qū)動(dòng)兩個(gè)線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2237A和2237B 或者線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2237C。當(dāng)相對(duì)于轉(zhuǎn)動(dòng)軸CO旋轉(zhuǎn)臺(tái)板2233時(shí)，在相互相反的方向上用相 同量的+ AZ和-AZ驅(qū)動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2237A和2237B，另一方面，由 預(yù)定量的Ay在Y軸方向上驅(qū)動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2237D。這樣，2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和使用該機(jī)構(gòu)的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)板裝置平行移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板來(lái)定位。將對(duì)構(gòu)成常規(guī)技術(shù)的第三實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)1的板架裝置進(jìn) 行說(shuō)明。圖82是專(zhuān)利參考文獻(xiàn)1的板架裝置的全景圖。在圖82中，標(biāo)號(hào)3100、 3200、 3300表示直線前進(jìn)板架，標(biāo)號(hào)3110、 3210、 3310表示可 移動(dòng)臺(tái)板，標(biāo)號(hào)3112和3114、 3212和3214、 3312和3314表示支腳 部分，標(biāo)號(hào)3120、 3220、 3320表示底座部分，標(biāo)號(hào)3222和3224、 3322 和3324、 3322和3324表示導(dǎo)軌，標(biāo)號(hào)3130、 3230、 3330表示線性電 機(jī)定子，標(biāo)號(hào)3120、 3220、 3320表示底座部分，標(biāo)號(hào)3350表示第一 端部，而標(biāo)號(hào)3360表示第二端部。三個(gè)直線前進(jìn)板架3100、 3200和 3300具有相同的結(jié)構(gòu)，并且分別由線性電機(jī)驅(qū)動(dòng)的可移動(dòng)的可移動(dòng)臺(tái) 板3110、 3210和3310在板架3100、 3200和3300上移動(dòng)。直線前進(jìn) 板架3100的底座部分3320的底座部分的第一端部3350可樞轉(zhuǎn)地支撐 在直線前進(jìn)板架3100的可移動(dòng)臺(tái)板3110上，而直線前進(jìn)板架3300的 底座部分3320的第二端部3360可樞轉(zhuǎn)地支撐在直線前進(jìn)板架3200的 可移動(dòng)臺(tái)板3210上。圖83是示出了專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的板架裝置的直線前進(jìn)板架3300 的軸向支撐部分的模式的透視圖。在圖83中，標(biāo)號(hào)3400、 3500表示 軸向支撐部件，標(biāo)號(hào)3410、 3510表示外側(cè)圓柱部分，標(biāo)號(hào)3420、 3520 表示軸向支撐部件，并且標(biāo)號(hào)3530表示片簧部分。片簧部分3530設(shè)置在內(nèi)側(cè)圓柱部分3520處，并且通過(guò)保持部件 固定到底座部分3320的下表面。圖84出了表示軸向支撐部件3400和軸向支撐部件3500的細(xì)節(jié)的 視圖。圖S4 (a)示出了當(dāng)從底座部分3320的第一端部3350的一側(cè)觀 察軸向支撐部件3400時(shí)的截面，而圖84(b)示出了當(dāng)從底座部分3320的第二端部3360的一側(cè)觀察軸向支撐部件3500時(shí)的截面。圖84 (a)中所示的內(nèi)側(cè)圓柱部分3420相對(duì)于外側(cè)圓柱部分3410 平滑地樞轉(zhuǎn)。圖84 (b)中所示的內(nèi)惻圓柱部分3520沿著內(nèi)側(cè)圓柱部 分3520的徑向設(shè)置有片簧3530。圖85是觀察專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的板架裝置的內(nèi)側(cè)圓柱部分3520的 視圖。在圖85中，標(biāo)號(hào)3522表示小內(nèi)直徑部分，標(biāo)號(hào)3524表示大內(nèi) 直徑部分，標(biāo)號(hào)3526表示邊界側(cè)面，標(biāo)號(hào)3560表示螺桿。片簧3530 由伸長(zhǎng)形狀構(gòu)成，片簧3530的兩端設(shè)置有橢圓形通孔，并且橢圓形通 孔的長(zhǎng)直徑方向是基本上與片簧3530的縱向相同的方向。由螺桿3560 通過(guò)通孔，將片簧3530的兩端部設(shè)置在內(nèi)側(cè)圓柱部分3520的邊界側(cè) 面3526處。片簧3530構(gòu)成以使得片簧3530的縱向基本上與內(nèi)側(cè)圓柱 部分3520的直徑方向相同。如圖中所示，當(dāng)片簧3530在白色箭頭標(biāo) 記方向上彎曲時(shí)，片簧3530的兩端部能夠沿著橢圓形通孔略微移動(dòng)。 片簧3530的中心部分通過(guò)螺桿3580與支撐部件3570固定。支撐部件 3570構(gòu)成為類(lèi)似T型，并且支撐部件3570的上部通過(guò)螺桿3590固定 到直線前進(jìn)板架3300的底座部分3320的下表面。通過(guò)設(shè)置旋轉(zhuǎn)軸承 3540和滾柱3550，內(nèi)側(cè)圓柱部分3520能夠相對(duì)于外側(cè)圓柱部分3510 平滑樞轉(zhuǎn)。此外，通過(guò)彎曲片簧3530，直線前進(jìn)板架3300能夠相對(duì)于 內(nèi)側(cè)圓柱部分3520移動(dòng)。"板架"由直線前進(jìn)板架3300構(gòu)成，而"可 移動(dòng)臺(tái)板"由可移動(dòng)臺(tái)板3310構(gòu)成。此外，"第一可移動(dòng)支撐裝置" 由軸向支持部件3400構(gòu)成，而"第二可移動(dòng)支撐裝置"由軸向支持部 件3500構(gòu)成。此外，"一末端"由第一末端部分3350構(gòu)成，而"另 一末端"由第二末端部分3360構(gòu)成。而且，"彈性部件"由片簧部分 3530構(gòu)成。圖86示出了定位專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的板架裝置的臺(tái)板的具體模式。 在圖86(a)至U(c)所示的實(shí)例，由示出了三個(gè)直線前進(jìn)板架3100、3200和3300、和可移動(dòng)臺(tái)板3110、 3210和3310的概要的平面圖示出。 圖86 (a)示出了當(dāng)可移動(dòng)臺(tái)板3110設(shè)置在直線前進(jìn)板架3100的X方 向上的中心處、可移動(dòng)臺(tái)板3210設(shè)置在直線前進(jìn)板架3200的X方向 上的中心處、和可移動(dòng)臺(tái)板3310設(shè)置在直線前進(jìn)板架3300的Y方向 上的中心處時(shí)的板架裝置，并且當(dāng)可移動(dòng)臺(tái)板3110、 3210和3310位 于這些位置時(shí)，構(gòu)成參考位置。圖86 (b)示出了當(dāng)直線前進(jìn)板架3100的可移動(dòng)臺(tái)板3110和直 線前進(jìn)板架3200的可移動(dòng)臺(tái)板3210均從參考位置在正方向上移動(dòng)距 離Yl、并且直線前進(jìn)板架3300的可移動(dòng)臺(tái)板3310從參考位置在正方 向上移動(dòng)距離XI時(shí)的板架。通過(guò)這樣以相同的距離在相同的方向上移 動(dòng)可移動(dòng)臺(tái)板3110和可移動(dòng)臺(tái)板3120，直線前進(jìn)板架3300的整體能 夠在Y方向上移動(dòng)。通過(guò)這樣移動(dòng)，可移動(dòng)臺(tái)板3310可以設(shè)置到X-Y 方向中的期望位置處。在圖86(c)中，直線前進(jìn)板架3100的可移動(dòng)臺(tái)板3110從參考位 置在負(fù)方向上移動(dòng)距離Y2，直線前進(jìn)板架3200的可移動(dòng)臺(tái)板3210在 正方向上移動(dòng)距離Y2。通過(guò)這樣移動(dòng)，直線前進(jìn)板架3300的整體的 方向能夠設(shè)置到以e旋轉(zhuǎn)的位置處。通過(guò)這樣使可移動(dòng)臺(tái)板3110和可 移動(dòng)臺(tái)板3120設(shè)置在彼此相對(duì)不同的位置處，能夠以期望的角度設(shè)置 直線前進(jìn)板架3300的整體，并且能夠?qū)⒖梢苿?dòng)臺(tái)板3310設(shè)置到以期 望的角度旋轉(zhuǎn)的位置處。當(dāng)如圖86 (c)所示旋轉(zhuǎn)直線前進(jìn)板架3300時(shí)，移動(dòng)如上所述的 支撐直線前進(jìn)板架3300的底座部分3320的支撐部件3570。當(dāng)移動(dòng)支 撐部件3570時(shí)，固定到支撐部件3570的片簧部分3530被彎曲。圖87是示出了當(dāng)專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的板架裝置的片簧部分3530被 彎曲時(shí)的狀態(tài)的視圖。那里示出支撐部件3570在圖的左方向上移動(dòng)。 通過(guò)移動(dòng)支撐部件3570，片簧部分3530在由符號(hào)M指定的部分處被彎曲。這樣，在直線前進(jìn)板架3300的底座部分3320的第一末端部分3350 處，通過(guò)構(gòu)成僅軸向支撐直線前進(jìn)板架3300的結(jié)構(gòu)，通過(guò)由第一末端 3350的樞轉(zhuǎn)中心構(gòu)成參考，能夠計(jì)算直線前進(jìn)板架3300的可移動(dòng)臺(tái)板 3310沿縱向的位置。此外，在直線前進(jìn)板架3300的底座部分3320的 第二末端部分3360處，通過(guò)構(gòu)成軸向支撐直線前進(jìn)板架3300的結(jié)構(gòu) 且使直線前進(jìn)板架3300在縱向上可移動(dòng)，能夠平滑地進(jìn)行直線前進(jìn)板 架3300的樞轉(zhuǎn)操作。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題然而，專(zhuān)利參考文獻(xiàn)1的包括線性電機(jī)的板架裝置由這樣一種裝 置結(jié)構(gòu)構(gòu)成，其中在XY9三個(gè)方向上的各個(gè)軸相互交疊，產(chǎn)生一個(gè)問(wèn) 題，即當(dāng)要定位的目標(biāo)物為大尺寸時(shí)，板架裝置成為高實(shí)體。近年來(lái)， 液晶材料已經(jīng)逐年成為大尺寸的，從而存在缺點(diǎn)，即為了往復(fù)移動(dòng)或 旋轉(zhuǎn)移動(dòng)臺(tái)板，即，板架，迫使線性電機(jī)或板架裝置相比其當(dāng)前大小 被擴(kuò)大。此外，由于相互交疊xYe三個(gè)方向上的各個(gè)軸的裝置結(jié)構(gòu)，在擴(kuò)大板架的情況下，當(dāng)在XY上移動(dòng)時(shí)，重心位置移位，并且因此，根據(jù) 由驅(qū)動(dòng)裝置移動(dòng)板架的位置，負(fù)載以各個(gè)軸的連接部分為中心，在板 架處產(chǎn)生大力矩負(fù)載，并且因此，由于阻礙板架的平滑移動(dòng)或產(chǎn)生無(wú) 意的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而存在降低定位精確性的問(wèn)題。此外，由使用3個(gè)2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的3軸結(jié)構(gòu)構(gòu) 成專(zhuān)利參考文獻(xiàn)2的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)和2軸平行/1軸 旋轉(zhuǎn)臺(tái)板裝置，當(dāng)僅由1軸驅(qū)動(dòng)時(shí)，電機(jī)功率變得不足，并且不能夠 執(zhí)行與在由兩軸驅(qū)動(dòng)的方向上相同的操作，并且因此，占用時(shí)間進(jìn)行 移動(dòng)/定位，因此，導(dǎo)致了效率/生產(chǎn)率降低的問(wèn)題。此外，如在專(zhuān)利參考文獻(xiàn)2中通過(guò)利用平移移動(dòng)移動(dòng)臺(tái)板等的旋 轉(zhuǎn)/轉(zhuǎn)動(dòng)裝置在平移移動(dòng)量和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)量上存在非線性的問(wèn)題。那里提 出一個(gè)問(wèn)題，即由在臺(tái)板的常規(guī)旋轉(zhuǎn)和反向旋轉(zhuǎn)、以臺(tái)板的相等間隔 的角度移動(dòng)的操作中彼此分別不同的值構(gòu)成平移移動(dòng)量。換句話說(shuō)， 根據(jù)臺(tái)板的姿態(tài)或位置，平移移動(dòng)的操作指令不同。當(dāng)臺(tái)板的姿態(tài)在假定的姿態(tài)內(nèi)而實(shí)際的臺(tái)板彼此不同時(shí)，臺(tái)板不 能夠如平移移動(dòng)量的操作指令旋轉(zhuǎn)/轉(zhuǎn)動(dòng)。艮P，那里提出一個(gè)非常大的問(wèn)題，即不能夠精確的操作臺(tái)板，除 非能夠精確掌握臺(tái)板的姿態(tài)/位置。在包括機(jī)械損失的例如滾珠螺桿的機(jī)構(gòu)中，上述精度大約是其不 產(chǎn)生大問(wèn)題的精度，然而，當(dāng)通過(guò)使用線性電機(jī)增加操作精度時(shí)，指 令中的誤差產(chǎn)生了問(wèn)題。雖然通過(guò)利用彈性部件和彎曲該彈性部件為專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的板 架裝置提供有自由度，但是需要考慮到彈性部件的彎曲位移來(lái)執(zhí)行定 位。即，那里存在一個(gè)問(wèn)題，即由于片簧的彈性特性的滯后、或者回 復(fù)力的非線性和在彈性部件中使用的巻簧或氣墊彈簧等的位移，不能 精細(xì)地執(zhí)行定位。此外，當(dāng)彈性部件設(shè)置為在驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的片簧時(shí)，那 里也存在問(wèn)題，即由片簧部件導(dǎo)致的共振對(duì)定位精確度有影響?？紤]到這些問(wèn)題而實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，并且其目的是提供一種校準(zhǔn)裝置， 其通過(guò)精確確定構(gòu)成臺(tái)板的初始位置的機(jī)械原點(diǎn)，并且計(jì)算由機(jī)械原 點(diǎn)構(gòu)成參考的操作指令，以便由臺(tái)板支撐負(fù)載或者由驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元通 過(guò)出色的平衡來(lái)分散負(fù)載以支撐目標(biāo)物，即使當(dāng)臺(tái)板是大尺寸時(shí)，能 夠高精度地移動(dòng)臺(tái)板，以及精確地操作臺(tái)板。解決技術(shù)問(wèn)題的手段為了解決上述問(wèn)題，如下構(gòu)成本發(fā)明。根據(jù)權(quán)利要求1，提供了一種用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在xYe、 Ye、或e操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置，該校準(zhǔn)裝置包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自 由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；機(jī)械部分包括兩個(gè)各自具有平移自由度的平移自由度部分和一個(gè)具有旋轉(zhuǎn)自由度的旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè) 平移自由度部分和一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部分，檢測(cè)裝置用于 檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以及控制器用于通過(guò)接收操作指令控制電機(jī)，從而構(gòu)成至少與臺(tái)板的xYe、 Ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，包括用于將操作指令提供給控制器的指令裝置； 臺(tái)板，通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作電機(jī)，從而該臺(tái)板被操作以在XY0操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在Y0操作的一個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置，用于預(yù)先存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原點(diǎn)位置與固定基準(zhǔn)位置之間的差值；機(jī)械固定裝置，用于將臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的固定基準(zhǔn)位置；機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置，用于由檢測(cè)裝置檢測(cè)和存儲(chǔ)至少與 提供給臺(tái)板的多個(gè)自由度相等的數(shù)量的多個(gè)機(jī)械固定基準(zhǔn)位置；檢測(cè)裝置參考位置存儲(chǔ)裝置，用于放開(kāi)機(jī)械固定裝置，通過(guò)驅(qū)動(dòng) 至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)，由檢測(cè)裝置檢 測(cè)至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的檢測(cè)裝置參考位置 基準(zhǔn)，以及存儲(chǔ)檢測(cè)裝置參考位置與機(jī)械原點(diǎn)位置或至少與提供給臺(tái) 板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的固定基準(zhǔn)位置之間的差值；以及機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置，用于在已經(jīng)完成了上述處理并且再次 引入電源之后機(jī)械固定裝置表現(xiàn)不正常的狀態(tài)中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)至少與提 供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)，來(lái)檢測(cè)至少與提供給臺(tái) 板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)，以及為了使 臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元從當(dāng)前位置設(shè)置到機(jī)械原點(diǎn)或固定基準(zhǔn)位置，計(jì) 算至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)的移動(dòng)量，其 中通過(guò)操作至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)， 將臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求2，提供了一種用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在xYe、 Ye、或e操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置，該校準(zhǔn)裝置包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自 由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；機(jī)械部分包括兩個(gè)各自具有平移自由度的平移自由度部分和一個(gè)具有旋轉(zhuǎn)自由度的旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè) 平移自由度部分和一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部分，檢測(cè)裝置用于 檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以及控制器用于通過(guò)接收操作指令控制電機(jī)，從而構(gòu)成至少與臺(tái)板的xYe、 Ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，包括用于將操作指令提供給控制器的指令裝置； 臺(tái)板，通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作電機(jī)，從而該臺(tái)板被操作以在XY0操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在Y0操作的一個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；機(jī)械固定裝置，用于將臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的固定基準(zhǔn)位置；機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置，用于預(yù)先存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原點(diǎn)位置與固定24基準(zhǔn)位置之間的差值；二維位置檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)預(yù)先提供到臺(tái)板或目標(biāo)物的標(biāo)記；二維圖像處理裝置，用于根據(jù)二維位置檢測(cè)裝置的圖像計(jì)算移動(dòng) 到任意位置所必需的臺(tái)板移動(dòng)量；基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置，用于通過(guò)使用二維位置檢測(cè)裝置和二維 圖像處理裝置的輸出，由圖像的標(biāo)記的位置構(gòu)成絕對(duì)位置，從而存儲(chǔ) 基準(zhǔn)圖像位置；以及機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置，用于通過(guò)將由二維位置檢測(cè)裝置及二 維圖像處理裝置在當(dāng)前狀態(tài)中新檢測(cè)標(biāo)記所提供的新輸出圖像與在基 準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)的基準(zhǔn)圖像位置進(jìn)行比較，為了使臺(tái)板和 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元從當(dāng)前位置設(shè)置到機(jī)械原點(diǎn)或固定基準(zhǔn)位置，計(jì)算至少 與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)的移動(dòng)量，其中通過(guò)操作至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)， 將臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求3，提供了一種用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在xYe、 Ye、或e操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置， 該校準(zhǔn)裝置包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自 由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；機(jī)械部分包括兩個(gè)各自具有平移自由度的平移自由度部分和一個(gè) 具有旋轉(zhuǎn)自由度的旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè) 平移自由度部分和一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部分，檢測(cè)裝置用于 檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以及控制器用于通過(guò)接收操作指令控制電機(jī)，從而構(gòu)成至少與臺(tái)板的xYe、 Ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，包括用于將操作指令提供給控制器的指令裝置； 臺(tái)板，通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作電機(jī)，從而該臺(tái)板25被操作以在xYe操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在Ye操作的 一個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置，用于預(yù)先存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原點(diǎn)位置與固定基準(zhǔn)位置之間的差值；機(jī)械固定裝置，用于將臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的固定基準(zhǔn)位置；機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置，用于由檢測(cè)裝置檢測(cè)和存儲(chǔ)至少與 提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的機(jī)械固定基準(zhǔn)位置；絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置，其被提供給檢測(cè)裝置，用于考慮到在固定基 準(zhǔn)位置與機(jī)械原點(diǎn)位置之間的差值，將至少與提供給臺(tái)板的自由度的 數(shù)量相等的數(shù)量的機(jī)械原點(diǎn)位置的值存儲(chǔ)為絕對(duì)值，其中，在已經(jīng)完成了上述處理并且再次引入電源之后機(jī)械固定裝置表現(xiàn) 不正常的狀態(tài)中，通過(guò)從絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置中讀取至少與提供給臺(tái)板 的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的機(jī)械原點(diǎn)位置的絕對(duì)值，并且操作至少 與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)，使臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 單元移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求4，提供了一種校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法， 所述校準(zhǔn)裝置用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在XY0、Ye、或e上操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；機(jī)械部分包括兩個(gè)各自具有平移自由度的平移自由度部分和一個(gè)具有旋轉(zhuǎn)自由度的旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè) 平移自由度部分和一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部分，檢測(cè)裝置用于 檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以及控制器用于通過(guò)接收操作指令控制電機(jī)，從而構(gòu)成至少與臺(tái)板的xYe、 Ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元包括用于將操作指令提供給控制器的指令裝置；通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作電機(jī)，操作臺(tái)板在XY6操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在Ye操作的一個(gè)方向上平移移 動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；所述原點(diǎn)返回方法包括步驟由機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置預(yù)先存儲(chǔ)或輸入機(jī)械原點(diǎn)位置，作為與固定基準(zhǔn)位置之間的差值；由機(jī)械固定裝置將臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的固定基 準(zhǔn)位置；由檢測(cè)裝置檢測(cè)至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的 機(jī)械固定基準(zhǔn)位置，以存儲(chǔ)在機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置中； 放開(kāi)機(jī)械固定裝置；通過(guò)驅(qū)動(dòng)至少與提供給臺(tái)板的自由度數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)，檢 測(cè)至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的檢測(cè)裝置參考位置 基準(zhǔn)；在檢測(cè)裝置參考位置存儲(chǔ)裝置中，存儲(chǔ)在檢測(cè)裝置參考位置與機(jī) 械原點(diǎn)位置或至少與提供給臺(tái)板的自由度數(shù)量相等的數(shù)量的固定基準(zhǔn) 位置之間的差值；在已經(jīng)完成了上述處理并且再次引入電源之后機(jī)械固定裝置表現(xiàn) 不正常的狀態(tài)中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)至少與提供給臺(tái)板的自由度數(shù)量相等的數(shù) 量的電機(jī)，來(lái)檢測(cè)至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的檢 測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)；以及由機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置計(jì)算從檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)到機(jī)械 原點(diǎn)位置或至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的固定基準(zhǔn) 位置的電機(jī)的移動(dòng)量。此外，根據(jù)權(quán)利要求5，提供了一種校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，所述校準(zhǔn)裝置用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在xYe、Ye、 或e操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；機(jī)械部分包括兩個(gè)各自具有平移自由度的平移自由度部分和一個(gè) 具有旋轉(zhuǎn)自由度的旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè) 平移自由度部分和一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部分，檢測(cè)裝置用于 檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以及控制器用于通過(guò)接收操作指令控制電機(jī)，從而構(gòu)成至少與臺(tái)板的xYe、 Ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元包括用于將操作指令提供給控制器的指令裝置；通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作電機(jī)，操作臺(tái)板在xYe操 作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在Ye操作的一個(gè)方向上平移移 動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；所述原點(diǎn)返回方法包括步驟由機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置預(yù)先存儲(chǔ)或輸入機(jī)械原點(diǎn)位置，作為與固定基準(zhǔn)位置之間的差值；由機(jī)械固定裝置將臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的固定基準(zhǔn)位置；由二維位置檢測(cè)裝置檢測(cè)臺(tái)板上的標(biāo)記；由二維圖像處理裝置接收二維位置檢測(cè)裝置的圖像，并通過(guò)由圖 像的標(biāo)記的位置構(gòu)成絕對(duì)位置，在基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)基準(zhǔn) 圖像位置；在已經(jīng)完成了上述處理并且再次引入電源之后機(jī)械固定裝置表現(xiàn) 不正常的狀態(tài)中，由二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置重新檢測(cè) 當(dāng)前狀態(tài)的標(biāo)記的位置；通過(guò)將新圖像的位置與在基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)的基準(zhǔn)圖 像位置進(jìn)行比較，為了使臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元從當(dāng)前位置設(shè)置到機(jī)械 原點(diǎn)或固定基準(zhǔn)位置，由機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置計(jì)算至少與提供給 臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)的移動(dòng)量；以及通過(guò)操作至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)， 將臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求6，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求5的校準(zhǔn)裝置 的原點(diǎn)返回方法，重復(fù)步驟通過(guò)操作至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)， 將臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置；此后，二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置重新檢測(cè)當(dāng)前狀態(tài) 中的標(biāo)記的位置；以及與在基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)的基準(zhǔn)圖像的位置進(jìn)行比較；當(dāng)位置相互不一致時(shí)，為了使臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元從當(dāng)前位置設(shè)置到機(jī)械原點(diǎn)或固定基 準(zhǔn)位置，計(jì)算至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)的 移動(dòng)量；以及通過(guò)操作至少與提供給臺(tái)板的自由度數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)，將 臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求7，提供了一種校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，所述校準(zhǔn)裝置用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在xYe、Ye、 或e上操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；機(jī)械部分包括兩個(gè)各自具有平移自由度的平移自由度部分和一個(gè) 具有旋轉(zhuǎn)自由度的旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè) 平移自由度部分和一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部分，檢測(cè)裝置用于 檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以及控制器用于通過(guò)接收操作指令控制電機(jī)，從而構(gòu)成至少與臺(tái)板的xYe、 Ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元包括用于將操作指令提供給控制器的指令裝置；通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作電機(jī)，操作臺(tái)板在xYe操 作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在Ye操作的一個(gè)方向上平移移 動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；所述原點(diǎn)返回方法包括步驟由機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置預(yù)先存儲(chǔ)或輸入機(jī)械原點(diǎn)位置，作為與固定 基準(zhǔn)位置之間的差值；由機(jī)械固定裝置將臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的固定基 準(zhǔn)位置；由檢測(cè)裝置檢測(cè)至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的 固定基準(zhǔn)位置；考慮到在固定基準(zhǔn)位置與機(jī)械原點(diǎn)位置之間的差值，在提供給檢 測(cè)裝置的絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置中，將至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量 相等的數(shù)量的機(jī)械原點(diǎn)位置值存儲(chǔ)為絕對(duì)值；在已經(jīng)完成了上述處理并且再次引入電源之后機(jī)械固定裝置表現(xiàn) 不正常的狀態(tài)中，從絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置中讀取至少與提供給臺(tái)板的自 由度的數(shù)量相等的數(shù)量的機(jī)械原點(diǎn)位置值，以及通過(guò)操作至少與提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)， 將臺(tái)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求8，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括3自由度機(jī)構(gòu)，所述3自由度機(jī)構(gòu)包括具有兩個(gè)平移自由度的平 移自由度部分和具有一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度的旋轉(zhuǎn)自由度部分，而不包括電 機(jī)。此外，根據(jù)權(quán)利要求9，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，其中在至少具有在Y9上操作的兩個(gè)自由度的臺(tái)板上，提供了 2自由度 機(jī)構(gòu)，所述2自由度機(jī)構(gòu)包括具有一個(gè)平移自由度的平移自由度部分 和具有一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度的旋轉(zhuǎn)自由度部分，而不包括電機(jī)。此外，根據(jù)權(quán)利要求10，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求9的校準(zhǔn)裝置，其中在至少具有在Ye上操作的兩個(gè)自由度的臺(tái)板上，提供了 2自由度30機(jī)構(gòu)，所述2自由度機(jī)構(gòu)包括具有電機(jī)的2自由度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。此外，根據(jù)權(quán)利要求ll，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，其中在至少具有在e上操作的旋轉(zhuǎn)一自由度的臺(tái)板上，提供了旋轉(zhuǎn)一自由度機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)一自由度機(jī)構(gòu)包括用于支撐臺(tái)板的一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由 度。此外，根據(jù)權(quán)利要求12，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括第一定位裝置，用于將機(jī)械固定裝置定位到機(jī)械底座部分。此外，根據(jù)權(quán)利要求13，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括第二定位裝置，用于將機(jī)械固定裝置定位到驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。此外，根據(jù)權(quán)利要求14，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括第三定位裝置，用于將機(jī)械固定裝置定位到臺(tái)板。此外，根據(jù)權(quán)利要求15，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到5和7之一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，包括步驟由設(shè)置在機(jī)械底座部分處的第一定位裝置定位被安裝位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求16，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到5和7之一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，包括步驟由設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)處的第二定位裝置定位被安裝位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求17，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到5和7之一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，包括步驟由設(shè)置在臺(tái)板處的第三定位裝置定位被安裝位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求18，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括第一位置固定裝置，用于固定機(jī)械底座部分和機(jī)械固定裝置。此外，根據(jù)權(quán)利要求19,提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括第二位置固定裝置，用于固定驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和機(jī)械固定裝置。此外，根據(jù)權(quán)利要求20，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括第三位置固定裝置，用于固定臺(tái)板和機(jī)械固定裝置。此外，根據(jù)權(quán)利要求21，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到5和7之一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中通過(guò)使用設(shè)置在機(jī)械底座部分處的第一位置固定裝置固定機(jī)械固 定裝置和機(jī)械底座部分。此外，根據(jù)權(quán)利要求22，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到5和7之 一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中通過(guò)使用設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)處的第二位置固定裝置固定機(jī)械固定裝 置和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。此外，根據(jù)權(quán)利要求23，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到5和7之 一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中通過(guò)使用設(shè)置在臺(tái)板處的第三位置固定裝置固定機(jī)械固定裝置和 臺(tái)板。此外，根據(jù)權(quán)利要求24，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到5和7之32一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中控制器切斷電機(jī)的控制，移動(dòng)臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，并且將機(jī)械底座 部分和臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在固定基準(zhǔn)位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求25，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括位于平移自由度部分之上的旋轉(zhuǎn)自由度部分，并且 進(jìn)一步包括位于旋轉(zhuǎn)自由度部分之上的平移自由度部分。此外，根據(jù)權(quán)利要求26，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括位于平移自由度部分之上的平移自由度部 分，并且包括位于平移自由度部分之上的旋轉(zhuǎn)自由度部分。此外，根據(jù)權(quán)利要求27，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括位于旋轉(zhuǎn)自由度部分之上的平移自由度部分，并且 進(jìn)一步包括位于平移自由度部分之上的平移自由度部分。此外，根據(jù)權(quán)利要求28，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1或3的校準(zhǔn) 裝置，進(jìn)一步包括二維位置檢測(cè)裝置，用于獲取在目標(biāo)物或臺(tái)板上的標(biāo)記的位置，二維圖像處理裝置，用于使由二維位置檢測(cè)裝置捕捉的目標(biāo)物的 圖像經(jīng)過(guò)圖像處理，并且計(jì)算用于校正目標(biāo)物的位置的校正量，其中根據(jù)由二維圖像處理裝置提供的校正量，通過(guò)操作電機(jī)，校正臺(tái) 板或目標(biāo)物的位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求29，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求2或28的校 準(zhǔn)裝置，包括多個(gè)二維位置檢測(cè)裝置。此外，根據(jù)權(quán)利要求30，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元被布置為，使至少提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量的電 機(jī)與臺(tái)板的重心分開(kāi)，并且利用從臺(tái)板的中心的位移來(lái)移動(dòng)臺(tái)板。此外，根據(jù)權(quán)利要求31，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求4、 5和7之 一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元被布置為，使至少提供給臺(tái)板的自由度的數(shù)量的電 機(jī)與臺(tái)板的重心分開(kāi)，并且利用從臺(tái)板的中心的位移來(lái)移動(dòng)臺(tái)板。此外，根據(jù)權(quán)利要求32，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，其中用于驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的平移自由度部分的電機(jī)是線性電機(jī)。此外，根據(jù)權(quán)利要求33，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求4、 5和7之 一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中線性電機(jī)作為電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的平移自由度部分。此外，根據(jù)權(quán)利要求34，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的 校準(zhǔn)裝置，其中固定基準(zhǔn)位置是機(jī)械原點(diǎn)位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求35，提供了一種根據(jù)權(quán)利要求4、 5和7之 一的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中將機(jī)械原點(diǎn)位置用作固定基準(zhǔn)位置。此外，根據(jù)權(quán)利要求36，提供了一種轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板，包括根據(jù)權(quán)利要 求1到3之一的校準(zhǔn)裝置。求37，提供了一種平移臺(tái)板，包括根據(jù)權(quán)利要 求1到3之一的校準(zhǔn)裝置。此外，根據(jù)權(quán)利要求38，提供了一種機(jī)械，包括根據(jù)權(quán)利要求1到3之一的校準(zhǔn)裝置。此外，根據(jù)權(quán)利要求39，提供了一種機(jī)械控制系統(tǒng)，包括至少一 個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分和根據(jù)權(quán)利要求38的機(jī)械作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分。發(fā)明效果按照根據(jù)權(quán)利要求1到7的本發(fā)明，能夠精確地固定在XY9、 Y0、 e內(nèi)操作的臺(tái)板，并且因此，能夠獲取機(jī)械原點(diǎn)，并能夠精確地操作臺(tái)板。此外，當(dāng)一旦完成其設(shè)置時(shí)，校準(zhǔn)裝置能夠簡(jiǎn)單地常規(guī)返回到機(jī) 械原點(diǎn)。按照根據(jù)權(quán)利要求1到4的本發(fā)明，通過(guò)使用增量型檢測(cè)裝置， 能夠執(zhí)行原點(diǎn)返回。按照根據(jù)權(quán)利要求2、 5和6的本發(fā)明，通過(guò)使用二維圖像獲取裝 置，能夠執(zhí)行原點(diǎn)返回。按照根據(jù)權(quán)利要求3和權(quán)利要求7的本發(fā)明，通過(guò)使用絕對(duì)值型 檢測(cè)裝置，能夠執(zhí)行原點(diǎn)返回。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求8的本發(fā)明，可以由具有3自由度的機(jī) 構(gòu)支撐臺(tái)板，并且因此，能夠由其多個(gè)部分支撐臺(tái)板而不妨礙臺(tái)板的 操作，并且能夠抑制臺(tái)板的彎曲。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求9和10的本發(fā)明，在Y0上操作的臺(tái)板 上，可以由具有2個(gè)自由度的機(jī)構(gòu)支撐臺(tái)板，并且因此，可以由旋轉(zhuǎn)中心支撐臺(tái)板而不妨礙在Y0上操作的臺(tái)板的操作，并且能夠抑制臺(tái)板的彎曲。此外，通過(guò)抑制在Ye上操作的臺(tái)板的在x方向上位移，能夠 精確的在Ye上操作臺(tái)板。除此之外，按照根據(jù)權(quán)利要求io的本發(fā)明，可以分散地構(gòu)成電機(jī)的功能，并且因此，可以分散地選擇電機(jī)的功率。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求ii的本發(fā)明，在e上操作的臺(tái)板上，可 以由具有旋轉(zhuǎn)i自由度的旋轉(zhuǎn)i自由度機(jī)構(gòu)支撐臺(tái)板，并且因此，可 以支撐臺(tái)板而不妨礙在e上操作的臺(tái)板的操作，并且能夠抑制臺(tái)板的彎 曲。此外，通過(guò)抑制在e上操作的臺(tái)板的在xY方向上位移，能夠精確 地在e上操作臺(tái)板。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求12到17的本發(fā)明，由第一定位裝置、第二定位裝置、第三定位裝置能夠精確地將機(jī)械固定部分定位到機(jī)械 底座部分、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、臺(tái)板，并且能夠?qū)⑴_(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元精確地 定位到可以獲取機(jī)械原點(diǎn)的位置。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求18到23的本發(fā)明，由第一位置固定裝 置、第二位置固定裝置、第三位置固定裝置能夠?qū)C(jī)械固定裝置、機(jī) 械底座部分、臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)牢固地固定到可以精確獲取機(jī)械原點(diǎn)的 位置。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求24的本發(fā)明，切斷控制，并且因此，能 夠簡(jiǎn)單地甚至人工移動(dòng)臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，并且由機(jī)械固定裝置能夠簡(jiǎn) 單地固定臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求25到27的本發(fā)明，可以由不同的構(gòu)造 利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元。特別是按照根據(jù)權(quán)利要求25的本發(fā)明，通過(guò)兩個(gè)平移驅(qū)動(dòng)部分的 直線前進(jìn)導(dǎo)軌的介入，能夠放置旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分，能夠連續(xù)地支撐通過(guò)機(jī)械底座的臺(tái)板，并且因此，通過(guò)抑制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)于臺(tái)板或其它負(fù) 載的變形，能夠支撐通過(guò)機(jī)械底座的臺(tái)板。按照根據(jù)權(quán)利要求26和權(quán) 利要求27的本發(fā)明，固定連接兩個(gè)平移驅(qū)動(dòng)部分的角度，并且因此， 能夠相對(duì)簡(jiǎn)單地計(jì)算在移動(dòng)臺(tái)板中所必需的操作量。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求28的本發(fā)明，由二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置能夠獲取臺(tái)板或目標(biāo)物的位置，并且因此，通過(guò)驅(qū)動(dòng) 電機(jī)能夠校正臺(tái)板或目標(biāo)物的位置。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求29的本發(fā)明，可以使用多個(gè)二維位置檢測(cè)裝置，并且因此，即使當(dāng)臺(tái)板是大尺寸時(shí)，也能夠在多個(gè)點(diǎn)處檢測(cè) 到校準(zhǔn)的標(biāo)記，并且通過(guò)提升檢測(cè)的位置移動(dòng)的精確度，能夠獲得機(jī) 械原點(diǎn)或固定基準(zhǔn)位置。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求30和31的本發(fā)明，在其任一個(gè)中，根 據(jù)臺(tái)板的XY6操作、Ye操作或e操作的描述，能夠穩(wěn)固地操作臺(tái)板，并 且能夠?qū)Ⅱ?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元布置為構(gòu)成電機(jī)的最小數(shù)量。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求32和33的本發(fā)明，在其任一個(gè)中，可 以利用線性電機(jī)，并且因此，構(gòu)成具有最小機(jī)械損失的機(jī)構(gòu)，并且通 過(guò)利用具有小的維持和控制負(fù)荷的機(jī)構(gòu)，能夠高精度地執(zhí)行平移移動(dòng)。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求34和35的本發(fā)明，在其任一個(gè)中，可 以將固定基準(zhǔn)位置處理為機(jī)械原點(diǎn)位置，并且因此，能夠簡(jiǎn)化處理過(guò) 程。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求36的本發(fā)明，連接旋轉(zhuǎn)臺(tái)板，并且因此，在xYe、 Ye或e上操作臺(tái)板，并且不能夠執(zhí)行大轉(zhuǎn)動(dòng)量值的校準(zhǔn)裝置能夠以大的量值轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求37的本發(fā)明，連接平移臺(tái)板，并且因此，在XYe、 Ye或e上操作臺(tái)板，并且不能夠執(zhí)行大平移移動(dòng)的校準(zhǔn)裝置能夠以大的量值平移移動(dòng)。此外，按照根據(jù)權(quán)利要求38和39的本發(fā)明，臺(tái)板構(gòu)成了包括在xYe、 Ye或e上操作的配置裝置的機(jī)械，并且因此，通過(guò)操作其它驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)，能夠執(zhí)行由不同操作的操作。


圖i是表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框圖。圖2是頂視圖并且是布置表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖。圖3是表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的概要視圖。圖4是示出了表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的平移移動(dòng)的視圖。圖5是示出了表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的旋轉(zhuǎn)移 動(dòng)的視圖。圖6是示出了構(gòu)成表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的問(wèn)題的臺(tái) 板的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的視圖。圖7是示出了構(gòu)成表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的問(wèn)題的臺(tái) 板的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)與電機(jī)的平移移動(dòng)的關(guān)系的圖。圖8是示出了表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法 的流程圖。圖9是示出了固定表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板或驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的方法的流程圖。圖10是示出了表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械固定裝置的概要視圖。圖11是示出了固定表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械的38位置的頂視圖以及布置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的圖。圖12是用于說(shuō)明表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回 方法的概要視圖。圖13是表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框圖。圖14是表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的概 要視圖。圖15是示出了表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的旋轉(zhuǎn) 移動(dòng)的視圖。圖16是示出了表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方 法的流程圖。圖17是示出了固定表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的 方法的流程圖。圖18是示出了固定表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械的 位置的頂視圖。圖19是示出了表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械固定裝 置的概要視圖。圖20是示出了通過(guò)表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的二維位 置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置的目標(biāo)物的位置校正方法的圖示。圖21是示出了通過(guò)表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的二維位 置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置的原點(diǎn)位置計(jì)算方法的圖示。圖22是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框圖。圖23是頂視圖并且是布置表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖。圖24是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元(6a) 的概要視圖。圖25是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元(6b) 的概要視圖。圖26是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元(6c)的概要視圖。圖27是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的3自由度機(jī)構(gòu)的概要 視圖。圖28是示出了表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)的布置和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的視圖。圖29是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例1的概要視圖。圖30是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例2的概要視圖。圖31是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例3的概要視圖。圖32是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例4的概要視圖。圖33是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例5的概要視圖。圖34是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例6的概要視圖。圖35是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例7的概要視圖。圖36是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例8的概要視圖。圖37是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例9的概要視圖。圖38是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例10的概要視圖。圖39是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例11的概要視圖。圖40是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例12的概要視圖。圖41是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的實(shí)例13的概要視圖。圖42是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例14的概要視圖。圖43是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例15的概要視圖。圖44是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例16的概要視圖。圖45是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一 3自由度機(jī)構(gòu)的 實(shí)例1的概要視圖。圖46是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一3自由度機(jī)構(gòu)的 實(shí)例2的概要視圖。圖47是頂視圖并且是布置表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元或3自由度機(jī)構(gòu)的視圖。圖48是頂視圖并且示出了另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元或3自由度機(jī)構(gòu)的布 置實(shí)例1的視圖。圖49是頂視圖并且示出了表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的 另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元或3自由度機(jī)構(gòu)的布置實(shí)例2的視圖。圖50是頂視圖并且示出了表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的 另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或3自由度機(jī)構(gòu)的布置實(shí)例3的視圖。圖51是表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框圖。圖52是頂視圖并且是布置表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖。圖53是表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的2自由度機(jī)構(gòu)的概要 視圖。圖54是示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的平移 移動(dòng)的視圖。圖55是示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的旋轉(zhuǎn) 移動(dòng)的視圖。圖56是示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方41法的流程圖。圖57示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一示意圖和 控制方框圖的實(shí)例1。圖58是頂視圖并且是布置表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一實(shí)例1的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖。圖59示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一示意圖和 控制方框圖的實(shí)例2。圖60是頂視圖并且是布置表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的 另一實(shí)例2的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖。圖61是表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一實(shí)例2的2自由 度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的概要視圖。圖62示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一2自由度機(jī) 構(gòu)的概要視圖的實(shí)例1。圖63示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一2自由度驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)的概要視圖的實(shí)例2。圖64是表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框圖。圖65是頂視圖并且是布置表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖。圖66是示出了表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的旋轉(zhuǎn) 移動(dòng)的視圖。圖67示出了表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一示意圖和 控制方框圖的實(shí)例1。圖68是頂視圖并且是布置表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的 另一實(shí)例1的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的視圖。圖69示出了包括表示本發(fā)明第六實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板 的頂視圖和布置圖以及側(cè)視圖。圖70示出了表示包括表示本發(fā)明第六實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的平移 臺(tái)板的臺(tái)板以及平移臺(tái)板的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的視圖。圖71示出了包括表示本發(fā)明第七實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的平移臺(tái)板的頂視圖和側(cè)視圖，以及布置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分的視圖。圖72是構(gòu)成包括表示本發(fā)明第八實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械的臺(tái)架機(jī)構(gòu)的機(jī)械控制系統(tǒng)的頂視圖。圖73是示出了構(gòu)成包括表示本發(fā)明第八實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械的臺(tái)架機(jī)構(gòu)的操作的視圖。圖74是示出了構(gòu)成包括表示本發(fā)明第八實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械的臺(tái)架機(jī)構(gòu)的校準(zhǔn)裝置以及臺(tái)架機(jī)構(gòu)的操作的視圖。圖75示出了構(gòu)成包括表示本發(fā)明第九實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械 的臺(tái)架機(jī)構(gòu)和門(mén)型固定機(jī)構(gòu)的機(jī)械控制系統(tǒng)的頂視圖和側(cè)視圖。圖76是示出了從構(gòu)成一個(gè)方向的X方向觀看的包括根據(jù)常規(guī)技術(shù) 的第一實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)1的線性電機(jī)的板架裝置的實(shí)施例的正視圖。圖77是示出了根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第一實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)1的圖 34的板架裝置的平面圖。圖78是根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第二實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)2的2軸平行 /1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的局部分解透視圖。圖79示出了根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第二實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)2的2軸 平行/1軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的2軸平行/1軸旋轉(zhuǎn)臺(tái)板裝置。該圖的(a) 是省略了由雙點(diǎn)劃線表示的臺(tái)板的平面圖，而該圖的(b)是正視圖。圖80是根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第二實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)2的臺(tái)板的平 面圖。圖81是根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第三實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的板架裝置 的概要視圖。圖82是示出了根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第三實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的板 架裝置的直線前進(jìn)板架3300的軸向支撐部分的模式的透視圖。圖83表示示出了根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第三實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的 板架裝置的軸向支撐部分3400和軸向支撐部分3500的細(xì)節(jié)的視圖。圖84是從上面觀察根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第三實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3 的板架裝置的內(nèi)側(cè)圓柱部分的視圖。圖85示出了表示根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第三實(shí)施例的定位專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的板架裝置的臺(tái)板的具體模式的視圖。圖86是示出了當(dāng)根據(jù)常規(guī)技術(shù)的第三實(shí)施例的專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的板架裝置的片簧部分3530被彎曲時(shí)的狀態(tài)的視圖。 附圖標(biāo)記和符號(hào)的說(shuō)明1電機(jī)1L線性電機(jī)1R旋轉(zhuǎn)型電機(jī)2檢測(cè)裝置3控制器4臺(tái)板5目標(biāo)物6驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元7機(jī)械底座部分8指令裝置9二維位置檢測(cè)裝置10二維圖像處理裝置11平移自由度部分12平移驅(qū)動(dòng)部分13旋轉(zhuǎn)自由度部分14旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分163自由度機(jī)構(gòu)172自由度機(jī)構(gòu)182自由度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)19旋轉(zhuǎn)1自由度機(jī)構(gòu)21直線前進(jìn)導(dǎo)軌22直線前進(jìn)導(dǎo)向塊23旋轉(zhuǎn)軸承24曲線導(dǎo)軌25曲線導(dǎo)向塊30機(jī)械原點(diǎn)位置31固定基準(zhǔn)位置32檢測(cè)裝置參考位置41機(jī)械固定裝置42機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置43機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置44檢測(cè)裝置參考位置存儲(chǔ)裝置45機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置46驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)47絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置48基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置51第一定位裝置52第二定位裝置53第三定位裝置54第一位置固定裝置55第二位置固定裝置56第三位置固定裝置59驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分60校準(zhǔn)裝置61轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板62平移臺(tái)板63臺(tái)架可移動(dòng)部分具體實(shí)施方式
以下將參照

本發(fā)明的實(shí)施例。實(shí)施例1圖1是表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框圖，圖2是表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的頂視圖并且是布置驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖，以及圖3是表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的45驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的概要視圖。在圖中，標(biāo)號(hào)1表示電機(jī)(線性電機(jī)1L)，標(biāo)號(hào)2表示檢測(cè)裝置，標(biāo)號(hào)3表示控制器，標(biāo)號(hào)4表示臺(tái)板，標(biāo)號(hào)5 表示目標(biāo)物，標(biāo)號(hào)6表示驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，標(biāo)號(hào)7表示機(jī)械底座部分， 標(biāo)號(hào)8表示指令裝置，標(biāo)號(hào)11表示平移自由度部分，標(biāo)號(hào)12表示平 移驅(qū)動(dòng)部分，標(biāo)號(hào)13表示旋轉(zhuǎn)自由度部分，標(biāo)號(hào)21表示直線前進(jìn)導(dǎo) 軌，標(biāo)號(hào)22表示直線前進(jìn)導(dǎo)向塊，標(biāo)號(hào)23表示旋轉(zhuǎn)軸承，標(biāo)號(hào)41表 示機(jī)械固定裝置，標(biāo)號(hào)42表示機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置，標(biāo)號(hào)43 表示機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置，標(biāo)號(hào)44表示檢測(cè)裝置參考位置存儲(chǔ)裝置，標(biāo) 號(hào)45表示機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置。此外，檢測(cè)裝置2是增量型的。如圖l和圖2所示，由4個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6將校準(zhǔn)裝置固定在機(jī) 械底座部分7與臺(tái)板4之間。如圖3所示，驅(qū)動(dòng)機(jī)械部分6是一種具有2個(gè)平移自由度和l個(gè) 旋轉(zhuǎn)自由度的機(jī)械，包括具有用于1個(gè)平移自由度的線性電機(jī)1L的平 移驅(qū)動(dòng)部分12。通過(guò)將具有一個(gè)平移自由度而沒(méi)有線性電機(jī)的平移自由度部分11 安裝在平移驅(qū)動(dòng)部分12之上，將具有旋轉(zhuǎn)自由度的旋轉(zhuǎn)自由度部分13 插入在它們之間，構(gòu)成驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6。 g卩，由順序放置平移自由度、 旋轉(zhuǎn)自由度和平移自由度機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)，構(gòu)成驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6。此外，平移自由度部分11和平移驅(qū)動(dòng)部分12設(shè)置有包括直線前 進(jìn)導(dǎo)軌21和直線前進(jìn)導(dǎo)向塊22的直線前進(jìn)軸承，并且旋轉(zhuǎn)自由度部 分14設(shè)置有旋轉(zhuǎn)軸承23，用于實(shí)現(xiàn)在平移自由度部分11與平移自由 度部分12之間的旋轉(zhuǎn)自由度。2個(gè)驅(qū)動(dòng)單元6布置在機(jī)械底座7處以能夠在X方向上操作，而 剩余的2個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6布置在機(jī)械底座部分7、臺(tái)板4的角落處， 以便能夠在Y方向上操作平移驅(qū)動(dòng)部分12。此外，構(gòu)成平移驅(qū)動(dòng)部分11的線性電機(jī)1L分別與控制器3連接。 各控制器3設(shè)置有指令裝置8，用于發(fā)送用于操作線性電機(jī)1L的操作指令信號(hào)，從而構(gòu)成電機(jī)控制裝置。指令裝置8形成操作指令，并且 控制器3根據(jù)操作指令操作電機(jī)1。檢測(cè)裝置2讀取平移驅(qū)動(dòng)部分12 的可移動(dòng)部分的位置，并且控制器3控制電機(jī)1來(lái)抵消來(lái)自操作指令 的誤差。本發(fā)明不同于專(zhuān)利參考文獻(xiàn)1的部分在于，通過(guò)在機(jī)械底座部分 7的平面上包括4個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6，實(shí)現(xiàn)在XY0方向上的臺(tái)板移動(dòng)。本發(fā)明不同于專(zhuān)利參考文獻(xiàn)2的部分在于，設(shè)置有機(jī)械固定裝置 41、機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置42、機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置43和機(jī)械原點(diǎn) 返回量計(jì)算裝置45，此外，由沒(méi)有機(jī)械損耗和齒隙(backlash)的線性 電機(jī)1L構(gòu)成電機(jī)1。本發(fā)明不同于專(zhuān)利參考文獻(xiàn)3的部分在于，由包括4個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 單元6的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6實(shí)現(xiàn)臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)動(dòng))，每個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 單元6順序布置有平移自由度、旋轉(zhuǎn)自由度、和平移自由度的機(jī)構(gòu)。 此外，本發(fā)明能夠在XY6方向上操作臺(tái)板以及操作臺(tái)板相異的多個(gè)自 由度。接下來(lái)，將說(shuō)明該校準(zhǔn)裝置的操作。圖4是示出了表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的平移移 動(dòng)的視圖，而圖5是示出了表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板 的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的視圖。如圖4和圖5所示，能夠在XYe方向上移動(dòng)校準(zhǔn)裝置。為了在平移方向上移動(dòng)臺(tái)板，通過(guò)使用在XY方向上布置有線性電機(jī)1L的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6在相同方向上移動(dòng)2個(gè)線性電機(jī)1L實(shí)現(xiàn)該 移動(dòng)。在X方向上移動(dòng)臺(tái)板4中，如圖4所示，在X方向的方向上布 置有線性電機(jī)1L的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6b和6d在相同方向上操作。在Y方 向的情況下，在Y方向的方向上布置有線性電機(jī)1L的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 6a和6c在相同方向上操作。當(dāng)線性電機(jī)1L同時(shí)在X和Y方向上移動(dòng) 時(shí)，臺(tái)板4斜向移動(dòng)。當(dāng)調(diào)整XY移動(dòng)量時(shí)，能夠確定斜向平移移動(dòng)的 角度。從而，能夠在平移方向上移動(dòng)臺(tái)板5。此外，為了旋轉(zhuǎn)移動(dòng)臺(tái)板4，在彼此分別相反的方向上操作布置 在XY方向內(nèi)的兩個(gè)方向上的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6的線性電機(jī)1L，從而能 夠如圖5所示旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4。在圖5中，旋轉(zhuǎn)Oo表示中心和臺(tái)板的旋轉(zhuǎn)中心，符號(hào)R表示旋轉(zhuǎn)半徑，符號(hào)se表示臺(tái)板的旋轉(zhuǎn)角度，而符號(hào)5Zi表示操作驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6的線性電機(jī)1的量。為了以O(shè)o為中心那樣旋轉(zhuǎn)由粗線指示的臺(tái)板4，可以SZay來(lái)操 作驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6a的線性電機(jī)1，可以SZbx來(lái)操作驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6b 的線性電機(jī)1，可以SZcy來(lái)操作驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6c的線性電機(jī)1，以及 可以5Zdx來(lái)操作驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6d的線性電機(jī)1。當(dāng)如圖5所示操作線 性電機(jī)1時(shí)，操作沒(méi)有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6的線性電機(jī)1的平移自由度部分ll和旋轉(zhuǎn)自由度部分，并且因此，以se來(lái)旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4。 能夠幾何地確定移動(dòng)各線性電機(jī)i的se旋轉(zhuǎn)和量。如上所述能夠在旋轉(zhuǎn)方向上移動(dòng)臺(tái)板4。通過(guò)由指令裝置8精確地形成在本實(shí)施例的圖4和圖5中所示的用于移動(dòng)臺(tái)板4所必需的操作指令，從而提供給4個(gè)控制器3并精確 地控制4個(gè)電機(jī)1 (線性電機(jī)1L)，能夠?qū)崿F(xiàn)移動(dòng)。然而，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置，雖然需要幾何地計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4所必需的移動(dòng)線性電機(jī)1的量，但是在臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)與線性電 機(jī)1的平移移動(dòng)之間存在非線性關(guān)系，并且因此，在控制操作臺(tái)板4 上存在值得注意的問(wèn)題。圖6是示出了構(gòu)成表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的問(wèn)題的臺(tái) 板的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的視圖，而圖7是示出了構(gòu)成表示本發(fā)明第一實(shí)施例的 校準(zhǔn)裝置的問(wèn)題的臺(tái)板的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)與電機(jī)的平移移動(dòng)的關(guān)系的圖。圖6示出了以O(shè)o為中心以相等間隔Se在3個(gè)階段中常規(guī)和反向旋 轉(zhuǎn)臺(tái)板4的結(jié)果。在這種情況下，在常規(guī)旋轉(zhuǎn)中必需線性電機(jī)1L的移動(dòng)量的變化的 量，S卩，當(dāng)將臺(tái)板4從Rf (初始狀態(tài))旋轉(zhuǎn)到P1、 P2、 P3時(shí)的線性電 機(jī)1L的移動(dòng)量的變化的量，其在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6a處變?yōu)閅ipl、 Yip2、 Yip3，在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6b處變?yōu)閄iipl、 Xiip2、 Xiip3，在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單 元6c處變?yōu)閅iipl、Yiip2、 Yiip3，并且在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6d處變?yōu)閄ipl、 Xip2、 Xip3。在反向旋轉(zhuǎn)中，當(dāng)將臺(tái)板4從Rf (初始狀態(tài))旋轉(zhuǎn)到Nl、 N2、 N3時(shí)，類(lèi)似地，那些量變?yōu)閅inl、 Yin2、 Yin3、 Xiinl、 Xiin2、 Xiin3、 Yiinl、 Yiin2、 Yiin3、 Xinl、 Xin2、 Xin3。雖然在任一情況中，改變臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)角度的量是相等的量se，但是線性電機(jī)1L的平移移動(dòng)量不是由相等間隔構(gòu)成。此外，在用于常 規(guī)和相反旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4的所需的正和反方向上線性電機(jī)1L的移動(dòng)量也彼 此不同。具體地，各線性電機(jī)1的移動(dòng)量形成下述關(guān)系。Yipl^Yip2， Yip2,Yip3，Yinl,Yin2, Yin2^Yin3， Xiipl-Xiip2， Xiip2^Xiip3， Xiinl^Xiin2， Xiin2^Xiin3Yiipl^Yiip2， Yiip2-Yiip3，Yiinl ^Yiin2， Yiin2^Yiin3 Xipl學(xué)Xip2， Xip2^Xip3， Xinl^Xin2， Xin2^Xin3此外，Yipl,Yinl， Yip24Yin2， Yip3^Yin3(Yipl十Yip2)^(Yinl+Yin2)，(Yipl+ Yip2+ Yip3)^(Yinl+Yin2+Yin3)Xiipl^Xiinl， Xiip2^Xiin2， Xiip3-Xiin3(Xiipl+ Xiip2)^(Xiinl+Xiin2)，(Xiipl+ Xiip2十Xiip3)^(Xiinl+Xiin2+Xihi3)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6c和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6d具有同樣的關(guān)系。因此，使該關(guān)系構(gòu)成了如圖7所示的圖。在臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)與線性電機(jī)1的平移移動(dòng)之間存在如圖7所示的 非線性關(guān)系，并且因此，當(dāng)臺(tái)板4的實(shí)際模式不同于假設(shè)時(shí)，不能夠 執(zhí)行臺(tái)板4的精確旋轉(zhuǎn)。例如，即使當(dāng)通過(guò)假定初始狀態(tài)Rf來(lái)計(jì)算線性電機(jī)1L的移動(dòng)量 時(shí)，盡管臺(tái)板4處在N1模式，也不能執(zhí)行臺(tái)板4的精確旋轉(zhuǎn)。此外，即使當(dāng)臺(tái)板4平移移動(dòng)時(shí)，在各線性電機(jī)1與旋轉(zhuǎn)中心之 間的距離改變，并且因此，旋轉(zhuǎn)半徑不同，并且當(dāng)由假定初始狀態(tài)的 操作指令操作時(shí)，也不能執(zhí)行臺(tái)板4的精確旋轉(zhuǎn)。為了解決上述問(wèn)題，通過(guò)進(jìn)行下述處理，執(zhí)行原點(diǎn)返回，能夠精 確旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4。此外，在圖6和圖7中所示的問(wèn)題是其它實(shí)施例共同的問(wèn)題。圖8是示出了表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法 的流程圖。將參照附圖，順序說(shuō)明本發(fā)明的方法。圖8的流程圖的概況如下。首先，在步驟STP1A，通過(guò)機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置預(yù)先存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原始位置與固定基準(zhǔn)位置之間的差值。隨后，在步驟STP2A，將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或臺(tái)板機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的 固定基準(zhǔn)位置。在步驟STP3A，檢測(cè)機(jī)械固定基準(zhǔn)位置，并將其存儲(chǔ)到機(jī)械固定 基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置。在步驟STP4A，為了在將電源關(guān)閉之后返回到原點(diǎn)，解除固定， 通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)檢測(cè)檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)，并且存儲(chǔ)在檢測(cè)裝置參考 位置與機(jī)械原點(diǎn)或固定基準(zhǔn)位置之間的差值。此后，在暫時(shí)切斷電源并再次輸入電源之后，構(gòu)成常規(guī)處理。在步驟STP5A，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)檢測(cè)檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)。隨后，在步驟STP6A，由機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置從檢測(cè)裝置參 考位置基準(zhǔn)計(jì)算固定基準(zhǔn)位置或機(jī)械原點(diǎn)位置。在步驟STP7A，將臺(tái)板移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置。 通過(guò)上述完成了原點(diǎn)返回，并且使校準(zhǔn)裝置的操作能夠執(zhí)行。 將更詳細(xì)的說(shuō)明上述處理。圖9是示出了固定表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的方法的流程圖，圖io是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械固定裝置的概要視圖，圖11是示出了固定表示本發(fā)明第一實(shí)施例的 校準(zhǔn)裝置的機(jī)械的位置的頂視圖以及布置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖，而圖12是用于說(shuō)明表示本發(fā)明第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法的概要視圖。參照?qǐng)D9，將說(shuō)明機(jī)械固定裝置41及其周邊構(gòu)造。標(biāo)號(hào)41表示機(jī)械固定裝置，標(biāo)號(hào)51表示第一定位裝置，標(biāo)號(hào)52 表示第二定位裝置，標(biāo)號(hào)54表示第一位置固定裝置，而標(biāo)號(hào)55表示 第二位置固定裝置。圖12擴(kuò)大示出了連接到安置于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6的線性電機(jī)1的檢 測(cè)裝置2，以說(shuō)明各步驟。在步驟STP1A，在設(shè)計(jì)校準(zhǔn)裝置機(jī)械中已知在機(jī)械原點(diǎn)位置與固 定基準(zhǔn)位置之間的差值(Xref， Yref) 。 g卩，步驟STP1A是輸入在機(jī) 械原點(diǎn)位置與固定基準(zhǔn)位置之間的差值的步驟。在步驟STP2A，將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元或臺(tái)板機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的固 定基準(zhǔn)位置。如圖10所示，停止驅(qū)動(dòng)單元6，并且將臺(tái)板4機(jī)械固定到某個(gè)位置。固定驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6的步驟如下由圖9所示。在步驟STP2A-1，切斷電機(jī)的控制。從而，可以簡(jiǎn)單地甚至手動(dòng) 移動(dòng)臺(tái)板4和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6 (驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46)。在步驟STP2A-2，由設(shè)置在機(jī)械底座部分處的第一定位裝置定位 安裝機(jī)械固定裝置的位置。將機(jī)械固定裝置41定位到在機(jī)械底座部分 7—側(cè)上的第一定位裝置51。在步驟STP2A-3，由設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)處的第二定位裝置定位安裝 機(jī)械固定裝置的位置。將機(jī)械固定裝置41定位到在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6(驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)46) —側(cè)上的第二定位裝置51。在步驟STP2A-2和STP2A-3，通過(guò)移動(dòng)臺(tái)板4或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6 來(lái)調(diào)整定位。機(jī)械底座部分7設(shè)置有第一定位裝置51，并且因此，當(dāng) 將機(jī)械固定裝置41定位到那里時(shí)，能夠?qū)C(jī)械固定裝置41精確定位 到機(jī)械底座部分7。此外，第二定位裝置52也設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6 的一側(cè)上，并且因此，當(dāng)通過(guò)移動(dòng)臺(tái)板4或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6來(lái)將機(jī)械 固定裝置41固定到第二定位裝置52時(shí)，能夠?qū)C(jī)械固定裝置41精確 定位到驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6。通過(guò)使用定位銷(xiāo)等，能夠?qū)崿F(xiàn)定位裝置51或 第二定位裝置52。在步驟STP2A-4，通過(guò)使用設(shè)置在機(jī)械底座部分處的第一位置固 定裝置來(lái)固定機(jī)械固定裝置。通過(guò)使用設(shè)置在機(jī)械底座部分7處的第 一定位裝置54來(lái)固定機(jī)械固定裝置。在步驟STP2A-5，通過(guò)使用設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)處的第二位置固定裝 置來(lái)固定機(jī)械固定裝置。通過(guò)使用設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6 (驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46)處的第二位置固定裝置55來(lái)固定機(jī)械固定裝置。通過(guò)STP2A-4和STP2A-5使用第一位置固定裝置54，能夠固定 機(jī)械底座部分7和機(jī)械固定裝置41。多個(gè)螺孔設(shè)置在機(jī)械底座部分7 和機(jī)械固定裝置41處，并且通過(guò)旋擰能夠固定機(jī)械底座部分7和機(jī)械 固定裝置41。此外，通過(guò)使用第二位置固定裝置55能夠固定驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 單元6和機(jī)械固定裝置41。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6和機(jī)械固定裝置41設(shè)置有 螺孔，并且通過(guò)旋擰能夠固定驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元(驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46)和機(jī)械固 定裝置41。如上所述，能夠?qū)⑿?zhǔn)裝置固定到構(gòu)成基準(zhǔn)的固定基準(zhǔn)位 置。如圖ll所示，通過(guò)使用機(jī)械固定裝置41固定校準(zhǔn)裝置。將校準(zhǔn) 裝置固定到遠(yuǎn)離機(jī)械原點(diǎn)(初始位置)Xref和Yref的位置處。這里，如圖11所示，機(jī)械固定裝置41固定4個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6 和機(jī)械底座部分7。固定4個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6，并且因此，將臺(tái)板4固定到構(gòu)成基準(zhǔn) 的固定基準(zhǔn)位置。在STP3A，檢測(cè)機(jī)械固定基準(zhǔn)位置，以將其存儲(chǔ)到機(jī)械固定基準(zhǔn) 位置存儲(chǔ)裝置。如圖11所示，通過(guò)遠(yuǎn)離機(jī)械原點(diǎn)Xref和Yref固定驅(qū) 動(dòng)單元。如圖12所示，檢測(cè)裝置2由標(biāo)尺和頭構(gòu)成，產(chǎn)生一種狀態(tài)， 其中頭設(shè)置在固定基準(zhǔn)位置31處。在這種情況下，通過(guò)讀取標(biāo)尺的刻 度，由檢測(cè)裝置2檢測(cè)固定基準(zhǔn)位置31。將固定基準(zhǔn)位置31的值存儲(chǔ) 到機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置。此外，根據(jù)該實(shí)施例，構(gòu)成4個(gè)電機(jī) 控制裝置，使用4個(gè)機(jī)械固定裝置41，并且因此，檢測(cè)4個(gè)機(jī)械固定 基準(zhǔn)位置，并且將其存儲(chǔ)到機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置。在這個(gè)階段，在步驟STP1A已知Xref和Yref，并且因此，已知機(jī)械原點(diǎn)位置30，然而，當(dāng)切斷電源并重新啟動(dòng)機(jī)械時(shí)，由于檢測(cè)裝置2增量型的，并且因此，就機(jī)械固定裝置41不固定驅(qū)動(dòng)單元6來(lái)說(shuō)， 不能夠識(shí)別固定基準(zhǔn)位置31。因此，執(zhí)行隨后的步驟。在步驟STP4A，為了在將電源關(guān)閉之后返回到原點(diǎn)，解除固定， 通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)檢測(cè)檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)，并且存儲(chǔ)在檢測(cè)裝置參考 位置與機(jī)械原點(diǎn)位置或固定基準(zhǔn)位置之間的差值。通過(guò)解除機(jī)械固定裝置41并驅(qū)動(dòng)線性電機(jī)1L，檢測(cè)檢測(cè)裝置參 考位置基準(zhǔn)。此外，同樣在該步驟中，驅(qū)動(dòng)4個(gè)線性電機(jī)1L，檢測(cè)4 個(gè)檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)，并且存儲(chǔ)在4個(gè)檢測(cè)裝置參考位置與機(jī)械 原點(diǎn)位置或固定基準(zhǔn)位置之間的差值。即，存儲(chǔ)圖12的Cpa、 Cpb、 Cpc、 Cpd或者Dsl、 Ds2、 Ds3、 Ds4。檢測(cè)檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)的操作是通常當(dāng)使用增量型檢測(cè)裝置 2時(shí)執(zhí)行的原點(diǎn)返回。通常，不將檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)嚴(yán)格精確地設(shè) 置到檢測(cè)裝置2，同樣在該實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置中，不由控制位置附加檢 測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)，并且因此，不能使檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)構(gòu)成 原點(diǎn)位置。因此，存在一個(gè)問(wèn)題，即，即使當(dāng)執(zhí)行常規(guī)的原點(diǎn)返回時(shí)， 也不能構(gòu)成該實(shí)施例必不可少的機(jī)械原點(diǎn)位置。然而，固定校準(zhǔn)裝置，檢測(cè)機(jī)械固定基準(zhǔn)位置，獲取并存儲(chǔ)機(jī)械 原點(diǎn)位置，并且因此，盡管在機(jī)械原點(diǎn)位置32與檢測(cè)裝置參考位置基 準(zhǔn)或固定基準(zhǔn)位置之間的距離(Cpa、 Cpb、 Cpc、 Cpd、 Dsl、 Ds2、 Ds3、 Ds4)各自分散，但是當(dāng)執(zhí)行該步驟時(shí)，也能夠簡(jiǎn)單地常規(guī)地執(zhí) 行原點(diǎn)返回。在步驟STP5A以及在其之后，構(gòu)成照常執(zhí)行的原點(diǎn)返回。 在步驟STP5A，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)檢測(cè)檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)。檢測(cè)在步驟STP4A中執(zhí)行的檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)。如上已經(jīng)描述的，這是一種通常當(dāng)使用增量型檢測(cè)裝置2時(shí)執(zhí)行的原點(diǎn)返回。驅(qū)動(dòng)4個(gè)線 性電機(jī)1L，并且檢測(cè)4個(gè)檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)。在步驟STP6A,由機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置從檢測(cè)裝置參考位置 基準(zhǔn)計(jì)算固定基準(zhǔn)位置或機(jī)械原點(diǎn)位置。S卩，在步驟STP4A，存儲(chǔ)在 機(jī)械原點(diǎn)位置32與檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)或固定基準(zhǔn)位置之間的距離 (Cpa、 Cpb、 Cpc、 Cpd、 Dsl、 Ds2、 Ds3、 Ds4)，并且因此，當(dāng)使 用新檢測(cè)到的檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)和例如圖12的Dsl、 Ds2、 Ds3、 Ds4時(shí)，能夠計(jì)算固定基準(zhǔn)位置。己知在固定基準(zhǔn)位置與機(jī)械原點(diǎn)之間 的距離Xref和Yref，并且因此，能夠進(jìn)一步計(jì)算機(jī)械原點(diǎn)位置。艮P ， 從在STP5A處新檢測(cè)到的檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)，得知機(jī)械原點(diǎn)位置 的足巨離Cpa、 Cpb、 Cpc禾卩Cpd。在步驟STP7A，將臺(tái)板移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置。通過(guò)步驟STP6A由 在STP5A處新檢測(cè)到的檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)，得知機(jī)械原點(diǎn)位置的 距離Cpa、 Cpb、 Cpc、 Cpd，并且因此，當(dāng)以該距離移動(dòng)臺(tái)板時(shí)，能夠 將臺(tái)板放置在機(jī)械原點(diǎn)。當(dāng)在STP5A處新檢測(cè)到檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)時(shí)，能夠?qū)⑴_(tái)板放 置在機(jī)械原點(diǎn)。從而，即使當(dāng)再次切斷電源時(shí)，當(dāng)從STP5A啟動(dòng)時(shí)， 能夠簡(jiǎn)單地執(zhí)行原點(diǎn)返回。能夠非常簡(jiǎn)單地常規(guī)地執(zhí)行原點(diǎn)返回。如上所述，通過(guò)機(jī)械精確地固定臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)并存儲(chǔ)在由其得 知機(jī)械原點(diǎn)的固定基準(zhǔn)與檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)之間的距離，能夠簡(jiǎn) 單地常規(guī)地執(zhí)行原點(diǎn)返回。因此，通過(guò)由機(jī)械原點(diǎn)構(gòu)成基準(zhǔn)，能夠精確地執(zhí)行從e操作開(kāi)始的 xYe操作的指令，并且通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)能夠精確地實(shí)現(xiàn)臺(tái)板的xYe操作。56實(shí)施例2圖13是表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框圖，而圖14是表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的概要視圖。本實(shí)施例與第一實(shí)施例的不同之處在于，提供了二維位置檢測(cè)裝置9和二維圖像處理裝置10，以能夠檢測(cè)臺(tái)板4或目標(biāo)物5的標(biāo)記。此外，不同之處在于利用機(jī)械固定裝置41來(lái)固定機(jī)械底座部分7 和臺(tái)板4。此外，不利用機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置42和檢測(cè)裝置參考位置 存儲(chǔ)裝置44，而提供基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置48代替它們。此外，驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)單元6由一種結(jié)構(gòu)構(gòu)成，所述結(jié)構(gòu)包括在平移驅(qū)動(dòng)部分12之上的 平移自由度11，并且將旋轉(zhuǎn)自由度13設(shè)置在平移自由度11的上面， 如圖13所示。如圖13所示，平移驅(qū)動(dòng)部分12和平移自由度11由通常相互垂直 的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。如圖13所示，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6與第一實(shí)施例中的驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)單元6 (圖3)不同，并且因此，改變了在臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)與線性電機(jī) 1之間的關(guān)系。圖15是示出了表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的旋轉(zhuǎn) 移動(dòng)的視圖。雖然臺(tái)板4的平移移動(dòng)與第一實(shí)施例中的平移移動(dòng)相同， 但是如圖15所示，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)與第一實(shí)施例中的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)(圖5)不同。 然而，沒(méi)有改變的是能夠幾何地確定臺(tái)板的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)和線性電機(jī)1的 移動(dòng)。此外，在該實(shí)施例中也一定產(chǎn)生在第一實(shí)施例的圖6和圖7中 所示的問(wèn)題。此外，雖然校準(zhǔn)裝置的功能保持不變，但是構(gòu)成元件與第一實(shí)施例的構(gòu)成元件相比發(fā)生了改變，并且因此，利用二維位置檢測(cè)裝置9 和二維圖像處理裝置10通過(guò)臺(tái)板4指定機(jī)械原點(diǎn)的過(guò)程不同。圖16是示出了表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法的流程圖。那里提供了從步驟STP1A到STP7B的過(guò)程。在步驟STP1A，類(lèi)似于第一實(shí)施例，通過(guò)機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置預(yù)先 存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原點(diǎn)位置與固定基準(zhǔn)位置之間的差值。在步驟STP2B，類(lèi)似于第一實(shí)施例，將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或臺(tái)板機(jī)械固定 到校準(zhǔn)裝置的固定基準(zhǔn)位置。在步驟STP3B，由二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置檢測(cè)標(biāo) 記的位置，并使用其輸出將固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)為圖像的絕對(duì)位置。此后，在暫時(shí)切斷電源并再次輸入電源之后，執(zhí)行常規(guī)處理。在步驟STP4B，由二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置重新檢 測(cè)標(biāo)記的位置。在步驟STP5B，由原點(diǎn)位置計(jì)算裝置使用圖像的輸出計(jì)算從當(dāng)前 位置到機(jī)械原點(diǎn)位置的距離。在步驟STP6B，移動(dòng)臺(tái)板到機(jī)械原點(diǎn)。在步驟STP7B，由二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置重新檢 測(cè)標(biāo)記的位置。當(dāng)其結(jié)果與存儲(chǔ)的固定基準(zhǔn)位置一致時(shí)，完成原點(diǎn)返 回。當(dāng)結(jié)果沒(méi)有達(dá)到固定基準(zhǔn)位置時(shí)，操作返回到STP5B，并重復(fù)該 處理過(guò)程。如上所述完成原點(diǎn)返回，并且使校準(zhǔn)裝置的操作能夠執(zhí)行。 將進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明上述處理過(guò)程。圖17是示出了固定表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的 方法的流程圖，圖18是示出了固定表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置 的機(jī)械的位置的頂視圖，圖19是示出了表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn) 裝置的機(jī)械固定裝置的概要視圖，圖20是示出了通過(guò)表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置的原點(diǎn)位置計(jì)算方法的圖示，以及圖21是示出了通過(guò)表示本發(fā)明第二實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置的目標(biāo)物的位置校 正方法的圖示。在步驟STP2B，類(lèi)似于第一實(shí)施例，將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元或臺(tái)板機(jī)械 固定到校準(zhǔn)裝置的固定基準(zhǔn)位置。固定臺(tái)板4的步驟如下由圖17所示。 如圖18和圖19所示，固定位置與第一實(shí)施例中的固定位置不同，并 且直接固定臺(tái)板4。示出固定校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的方法的流程圖如下。在步驟STP2B-1，切斷電機(jī)的控制。類(lèi)似于第一實(shí)施例，從而， 能夠簡(jiǎn)單地甚至手動(dòng)地移動(dòng)臺(tái)板4或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6 (驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46)。在步驟STP2B-2，由設(shè)置在機(jī)械底座部分處的第一定位裝置定位 安裝機(jī)械固定裝置的位置。將機(jī)械固定裝置41定位到在機(jī)械底座部分 7—側(cè)上的第一定位裝置51。在步驟STP2B-3，由設(shè)置在臺(tái)板處的第二定位裝置定位安裝機(jī)械 固定裝置的位置。將機(jī)械固定裝置定位到在臺(tái)板一側(cè)上的第二定位裝 置51。在步驟STP2B-2和STP2B-3，通過(guò)移動(dòng)臺(tái)板4或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6 來(lái)調(diào)整定位。機(jī)械底座部分7設(shè)置有第一定位裝置51，并且因此，當(dāng) 將機(jī)械固定裝置41定位到那里時(shí)，能夠?qū)C(jī)械固定裝置41精確定位 到機(jī)械底座部分7。此外，第二定位裝置52也設(shè)置在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6 的一側(cè)上，并且因此，當(dāng)通過(guò)移動(dòng)臺(tái)板4或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6來(lái)將機(jī)械 固定裝置41固定到第二定位裝置52時(shí)，能夠?qū)C(jī)械固定裝置41精確 定位到臺(tái)板4。通過(guò)使用定位銷(xiāo)等，能夠?qū)崿F(xiàn)定位裝置51或第二定位 裝置52。在步驟STP2B-4，通過(guò)使用設(shè)置在機(jī)械底座部分處的第一位置固 定裝置來(lái)固定機(jī)械固定裝置。通過(guò)使用設(shè)置在機(jī)械底座部分7處的第 一位置固定裝置54來(lái)固定機(jī)械固定裝置。在步驟STP2B-5，通過(guò)使用設(shè)置在臺(tái)板處的第二位置固定裝置來(lái) 固定機(jī)械固定裝置。通過(guò)使用設(shè)置在臺(tái)板處的第二位置固定裝置55來(lái) 固定機(jī)械固定裝置。通過(guò)STP2B-4和STP2B-5，使用第一位置固定裝置54,能夠固定 機(jī)械底座部分7和機(jī)械固定裝置41。通過(guò)在機(jī)械底座部分7和機(jī)械固 定裝置41處設(shè)置螺孔并且通過(guò)旋擰，能夠固定機(jī)械底座部分7和機(jī)械 固定裝置41。此外，通過(guò)使用第二位置固定裝置55能夠固定臺(tái)板和機(jī) 械固定裝置41。通過(guò)在驅(qū)動(dòng)臺(tái)板和機(jī)械固定裝置41處設(shè)置螺孔并且通 過(guò)旋擰，能夠固定臺(tái)板和機(jī)械固定裝置41。如上所述，能夠?qū)⑿?zhǔn)裝 置固定到構(gòu)成基準(zhǔn)的固定基準(zhǔn)位置。如圖18所示，通過(guò)使用機(jī)械固定裝置固定校準(zhǔn)裝置。將校準(zhǔn)裝置 固定到遠(yuǎn)離機(jī)械原點(diǎn)(初始位置)XRef和YRef的位置處。這里，機(jī) 械固定裝置41將臺(tái)板4和機(jī)械底座部分7固定到兩個(gè)位置。這樣，將 臺(tái)板4固定到構(gòu)成基準(zhǔn)的固定基準(zhǔn)位置。在STP3B，通過(guò)使用二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置的輸出，將固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)為圖像的絕對(duì)位置。如圖18所示，在遠(yuǎn)離機(jī) 械原點(diǎn)位置Xref和Yref的位置固定臺(tái)板。當(dāng)使由圖18的虛線包圍的框構(gòu)成二維處理裝置的圖像時(shí)，在臺(tái)板 上的圖像上的絕對(duì)位置(Refx， Refy)是已知的。由絕對(duì)值將絕對(duì)位置 存儲(chǔ)到固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置，作為固定基準(zhǔn)位置。在步驟STP4B及其之后，執(zhí)行常規(guī)原點(diǎn)返回。那是當(dāng)暫時(shí)切斷電 源并再次輸入電源時(shí)執(zhí)行的處理過(guò)程。并且釋放機(jī)械固定裝置41。在步驟STP4B， 二維位置檢測(cè)裝置再次檢測(cè)臺(tái)板上的標(biāo)記。由于 也釋放機(jī)械固定裝置41，所以二維位置檢測(cè)裝置再次檢測(cè)臺(tái)板上的標(biāo) 記以找出臺(tái)板4設(shè)置在哪個(gè)位置。如圖20所示，如由虛線所示構(gòu)成傾 斜臺(tái)板模式時(shí)，己知相對(duì)于在步驟STP3B存儲(chǔ)的固定基準(zhǔn)位置b(Refx， Refy)、或機(jī)械原點(diǎn)位置a (Refx+Xref， Refy+Yref)，將重新檢測(cè)的 標(biāo)記c設(shè)置到哪個(gè)位置。在步驟STP5B，處理所檢測(cè)到的圖像。如圖21所示，二維圖像處 理裝置IO用于相對(duì)于目標(biāo)位置計(jì)算平移移動(dòng)校正量X、 Y和旋轉(zhuǎn)移動(dòng) 校正量e，并且因此，能夠?qū)τ跇?gòu)造固定基準(zhǔn)位置或機(jī)械原點(diǎn)位置計(jì)算 XY0的移動(dòng)量。此外，指令裝置能夠計(jì)算臺(tái)板4的XY0的移動(dòng)量所需的在各電機(jī) 1 (線性電機(jī)1L)處的移動(dòng)量，從而實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)操作。S卩，這是一種通過(guò) 校準(zhǔn)裝置正常執(zhí)行的操作，構(gòu)成目標(biāo)位置的固定基準(zhǔn)位置或機(jī)械原點(diǎn) 位置是校正值，并且因此，能夠計(jì)算線性電機(jī)1L的準(zhǔn)確的移動(dòng)量。在步驟STP6B，通過(guò)移動(dòng)量的實(shí)際操作將臺(tái)板4從當(dāng)前值移動(dòng)到固定基準(zhǔn)位置或機(jī)械原點(diǎn)位置。在步驟STP7B,獲得二維位置檢測(cè)裝置和二維圖像處理裝置的新 輸出，將其與存儲(chǔ)的固定基準(zhǔn)位置進(jìn)行比較。當(dāng)兩者相互不一致時(shí)，操作返回到步驟STP5B以再次計(jì)算移動(dòng)量，并且重復(fù)執(zhí)行該處理過(guò)程， 直到臺(tái)板上的標(biāo)記重新與存儲(chǔ)的固定基準(zhǔn)位置一致。如上所述，當(dāng)機(jī)械精確固定臺(tái)板或驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、并將由二維位置檢 測(cè)裝置和二維圖像處理裝置提供的標(biāo)記存儲(chǔ)為固定基準(zhǔn)位置時(shí)，能夠 簡(jiǎn)單地常規(guī)地執(zhí)行原點(diǎn)返回。即使在原點(diǎn)返回之后，二維位置檢測(cè)裝 置也能夠確認(rèn)結(jié)果，并且可以重復(fù)執(zhí)行原點(diǎn)返回操作。因此，通過(guò)由機(jī)械原點(diǎn)構(gòu)成基準(zhǔn)，能夠精確地執(zhí)行從e操作開(kāi)始的XY0操作的指令，并且通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)能夠精確地實(shí)現(xiàn)臺(tái)板的XY0操作。該處理過(guò)程本質(zhì)上是一種使用校準(zhǔn)裝置的常規(guī)方法，所述校準(zhǔn)裝 置在存儲(chǔ)的固定基準(zhǔn)位置處校準(zhǔn)臺(tái)板4的標(biāo)記。由于執(zhí)行上述處理過(guò) 程，所以能夠?qū)⒃撎幚磉^(guò)程用于原點(diǎn)返回。在原點(diǎn)返回之后，臺(tái)板受 到XY0操作的支配，從而與以設(shè)置在臺(tái)板4上的目標(biāo)物5的標(biāo)記存儲(chǔ) 的某個(gè)位置一致。實(shí)施例3根據(jù)本實(shí)施例，將說(shuō)明驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的構(gòu)造實(shí)例或布置實(shí)例。圖22是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框 圖，圖23是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的頂視圖并且是驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)單元的布置圖，圖24是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)單元(6a)的概要視圖，圖25是表示第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)單元(6b)的概要視圖，圖26是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝 置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元(6c)的概要視圖，圖27是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的3自由度機(jī)構(gòu)的概要視圖，以及圖28是示出了表示本發(fā) 明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的視圖。
本實(shí)施例與第一實(shí)施例不同，體現(xiàn)在混合了具有不同構(gòu)造的驅(qū)動(dòng)
機(jī)構(gòu)單元6和3自由度機(jī)構(gòu)16。此外，提供了兩組二維位置檢測(cè)裝置 9和二維圖像處理裝置10。此外，該實(shí)施例與第二實(shí)施例不同，體現(xiàn) 在提供了多個(gè)二維位置檢測(cè)裝置9，并且體現(xiàn)在混合了具有不同構(gòu)造的 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6和3自由度機(jī)構(gòu)6。
本實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置由如圖24、圖25、圖26、圖27中所示的驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6和3自由度機(jī)構(gòu)16，以及隨之設(shè)置的本實(shí)施例的圖3中 所示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6構(gòu)成。
如圖24所示，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6a包括旋轉(zhuǎn)型電機(jī)1R，并且自機(jī)械 底座部分7以平移自由度部分11、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分14、平移自由度部分 11的順序構(gòu)造。
如圖25所示，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6b包括兩個(gè)線性電機(jī)1L和旋轉(zhuǎn)型電 機(jī)1R，并且自機(jī)械底座部分7以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分14、平移驅(qū)動(dòng)部分12、 平移驅(qū)動(dòng)部分12的順序構(gòu)造，并且兩個(gè)平移驅(qū)動(dòng)部分12相互垂直。
如圖26所示，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6c包括兩個(gè)線性電機(jī)1L，并且自機(jī) 械底座部分7以平移驅(qū)動(dòng)部分12、平移驅(qū)動(dòng)部分12、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分14 的順序構(gòu)造，并且兩個(gè)平移驅(qū)動(dòng)部分12相互垂直。
由在第一實(shí)施例的圖3中所示的構(gòu)造構(gòu)成驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6d。
此外，如圖27所示，自機(jī)械底座部分7以平移自由度部分11、 旋轉(zhuǎn)自由度部分13、平移自由度部分11的順序構(gòu)成3自由度機(jī)構(gòu)18。分別具有三個(gè)在X方向和Y方向上驅(qū)動(dòng)的線性電機(jī)1L，具有兩
個(gè)旋轉(zhuǎn)型電機(jī)1L，并且因此，能夠在XY6上操作臺(tái)板4。
此外，可以類(lèi)似于第一實(shí)施例執(zhí)行在XY方向上的操作。
當(dāng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)板時(shí)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6的構(gòu)造不同，并且因此，操作電 機(jī)1的量與第一實(shí)施例和第二實(shí)施例的量不同。
為了以5e來(lái)旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4，如圖28所示，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6a以Se來(lái)操 作旋轉(zhuǎn)型電機(jī)1L。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6b以5Zbx和SZby來(lái)操作兩個(gè)線性電 機(jī)lL，并且以Se來(lái)操作旋轉(zhuǎn)型電機(jī)1L。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6c以SZcx和5Zcy 來(lái)操作兩個(gè)線性電機(jī)1L。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6d以5Zdx來(lái)操作一個(gè)線性電 機(jī)1L。通過(guò)這些操作，無(wú)需電機(jī)1也能移動(dòng)自由度，還移動(dòng)3自由度
機(jī)構(gòu)se，并且因此，能夠以se來(lái)旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4。
盡管多個(gè)量根據(jù)各自構(gòu)造而不同，能夠幾何地確定旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4所 必需的移動(dòng)各驅(qū)動(dòng)單元6的電機(jī)1 (線性電機(jī)1L、旋轉(zhuǎn)型電機(jī)1R)的
如上所述，盡管校準(zhǔn)裝置的操作在移動(dòng)各驅(qū)動(dòng)單元6的電機(jī)1的 量上不同，但是該操作與第一實(shí)施例和第二實(shí)施例的操作相同。
在本實(shí)施例中也一定產(chǎn)生由第一實(shí)施例的圖6和圖7所示的問(wèn)題。
可以類(lèi)似于第一實(shí)施例執(zhí)行本實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回。此 外，雖然沒(méi)有清楚地示出基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置48，但是可以類(lèi)似于 第二實(shí)施例執(zhí)行其操作。
雖然與第二實(shí)施例不同，提供了兩個(gè)二維位置檢測(cè)裝置9，但是 通過(guò)檢測(cè)臺(tái)板4的兩個(gè)位置處的標(biāo)記，能夠執(zhí)行該處理過(guò)程，并且能
64夠類(lèi)似于第二實(shí)施例執(zhí)行。
當(dāng)完成該原點(diǎn)返回時(shí)，由2個(gè)二維位置檢測(cè)裝置9檢測(cè)設(shè)置在臺(tái)
板4之上的目標(biāo)物5的兩個(gè)標(biāo)記，在XY9操作臺(tái)板4以與某兩點(diǎn)的存
儲(chǔ)位置一致。
此外，雖然根據(jù)該實(shí)施例，布置了在圖24、圖25、圖26和圖27 中所示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6和3自由度機(jī)構(gòu)16以及在第一實(shí)施例的圖3 中所示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6，但是可以使用具有其它構(gòu)造的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 6和3自由度機(jī)構(gòu)16。以下提出了驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6和3自由度機(jī)構(gòu)16 的其它構(gòu)造。
圖29是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例1的概要視圖，
圖30是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例2的概要視圖，
圖31是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例3的概要視圖，
圖32是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例4的概要視圖，
圖33是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例5的概要視圖，
圖34是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例6的概要視圖，
圖35是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例7的概要視圖，
圖36是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例8的概要視圖，
圖37是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例9的概要視圖，圖38是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元
的實(shí)例io的概要視圖，
圖39是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例11的概要視圖，
圖40是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例12的概要視圖，
圖41是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例13的概要視圖，
圖42是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例14的概要視圖，
圖43是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元 的實(shí)例15的概要視圖，
圖45是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一 3自由度機(jī)構(gòu)的 另一實(shí)例1的概要視圖，以及
圖46是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一3自由度機(jī)構(gòu)的 另一實(shí)例2的概要視圖。
此外，雖然如在實(shí)施例的圖2和本實(shí)施例的圖23中示出了驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)單元6或3自由度機(jī)構(gòu)16的布置，但是可以進(jìn)行其它的布置。雖然 提出下列布置實(shí)例，但是布置實(shí)例不限于此。
圖47是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的頂視圖并且是布置 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元或3自由度機(jī)構(gòu)的視圖。
圖48是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的頂視圖并且是示出 了另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元或3自由度機(jī)構(gòu)的布置實(shí)例1的視圖，
圖49是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的頂視圖并且是示出 了另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元或3自由度機(jī)構(gòu)的布置實(shí)例2的視圖，以及
圖50是表示本發(fā)明第三實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的頂視圖并且是示出 了另一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元或3自由度機(jī)構(gòu)的布置實(shí)例3的視圖。可以選擇臺(tái)板4的操作或功能所必需的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6或3自由 度機(jī)構(gòu)16及其布置。
根據(jù)上述構(gòu)造，當(dāng)實(shí)現(xiàn)類(lèi)似于第一實(shí)施例或第二實(shí)施例的原點(diǎn)返
回時(shí)，指令裝置8能夠形成精確操作指令，并且因此，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)3 能夠精確地實(shí)現(xiàn)臺(tái)板4的XY9操作。
實(shí)施例4
圖51是表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框
圖，
圖52是表示本發(fā)明第四實(shí)施例的頂視圖并且是布置校準(zhǔn)裝置的 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖，以及
圖53是表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的2自由度機(jī)構(gòu)的概要 視圖。
本實(shí)施例是在Y0操作臺(tái)板的實(shí)例。
在圖中，標(biāo)號(hào)l表示電機(jī)(線性電機(jī)1L)，標(biāo)號(hào)2表示檢測(cè)裝置， 標(biāo)號(hào)3表示控制器，標(biāo)號(hào)4表示臺(tái)板，標(biāo)號(hào)5表示目標(biāo)物，標(biāo)號(hào)6表 示驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，標(biāo)號(hào)7表示機(jī)械底座部分，標(biāo)號(hào)8表示指令裝置， 標(biāo)號(hào)ll表示平移自由度部分，標(biāo)號(hào)12表示平移驅(qū)動(dòng)部分，標(biāo)號(hào)13表 示旋轉(zhuǎn)自由度部分，標(biāo)號(hào)21表示直線前進(jìn)導(dǎo)軌，標(biāo)號(hào)22表示直線前 進(jìn)導(dǎo)向塊，標(biāo)號(hào)23表示旋轉(zhuǎn)軸承，標(biāo)號(hào)41表示機(jī)械固定裝置，標(biāo)號(hào) 42表示機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置，以及標(biāo)號(hào)47表示絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝 置。此外，具有絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置47的檢測(cè)裝置2是絕對(duì)值型的。 本實(shí)施例不同于第一實(shí)施例到第三實(shí)施例，體現(xiàn)在臺(tái)板4設(shè)置有 2個(gè)自由度，并且在Y0操作。如圖53中所示，臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置 有2自由度機(jī)構(gòu)。2個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6布置有一個(gè)線性電機(jī)1L，并且 操作驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6在Y方向上平移。圖54是示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的平移 移動(dòng)的視圖，以及
圖55是示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的旋轉(zhuǎn) 移動(dòng)的視圖。
雖然對(duì)于xYe操作的校準(zhǔn)裝置難于構(gòu)成能夠以長(zhǎng)行程移動(dòng)的結(jié)
構(gòu)，但是根據(jù)本實(shí)施例，校準(zhǔn)裝置在X方向上是不可移動(dòng)的，并且因 此，能夠在Y方向上以長(zhǎng)行程移動(dòng)校準(zhǔn)裝置。
此外，即使如在本實(shí)施例的在Y0操作的臺(tái)板中，也產(chǎn)生第一實(shí)施 例的圖6和圖7中所示的問(wèn)題。然而，2自由度機(jī)構(gòu)構(gòu)成臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn) 中心，如圖52所示，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6的線性電機(jī)1L布置在構(gòu)成 經(jīng)過(guò)臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)中心的切線的Y方向上，并且因此，當(dāng)在臺(tái)板4的 常規(guī)旋轉(zhuǎn)和反向旋轉(zhuǎn)中以相同角度旋轉(zhuǎn)時(shí)，線性電機(jī)1L的移動(dòng)量的絕 對(duì)值相等。當(dāng)兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6離旋轉(zhuǎn)中心的距離相等時(shí)，在旋轉(zhuǎn) 臺(tái)板過(guò)程中線性電機(jī)1L的移動(dòng)量的絕對(duì)值相等。
然而，產(chǎn)生類(lèi)似于第一實(shí)施例的問(wèn)題，即，即使當(dāng)由以相等間隔 的旋轉(zhuǎn)角度移動(dòng)臺(tái)板時(shí)，線性電機(jī)1L的移動(dòng)量不構(gòu)成相等間隔。
圖56是示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方 法的流程圖。
通過(guò)由機(jī)械原點(diǎn)位置構(gòu)造基準(zhǔn)來(lái)計(jì)算旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4的指令并且由圖 54中所示的過(guò)程執(zhí)行原點(diǎn)返回是必需的。此外，該方法與第一實(shí)施例 和第二實(shí)施例的方法不同。
在步驟STP1C，通過(guò)機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置預(yù)先存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原 點(diǎn)位置與固定基準(zhǔn)位置之間的差值。在步驟STP2C，將臺(tái)板的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的固定基 準(zhǔn)位置。在步驟STP3C，由檢測(cè)裝置檢測(cè)固定基準(zhǔn)位置。在步驟STP4C，由機(jī)械原點(diǎn)位置計(jì)算裝置計(jì)算構(gòu)成機(jī)械原點(diǎn)位置 離開(kāi)當(dāng)前位置(固定基準(zhǔn)位置)的量。步驟STP1C到步驟STP4c與第 一實(shí)施例的步驟相同。在步驟STP5C，在設(shè)置在檢測(cè)裝置處的絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置處，將 機(jī)械原點(diǎn)位置存儲(chǔ)為絕對(duì)值。其后，在暫時(shí)切斷電源并再次輸入電源之后，執(zhí)行常規(guī)處理過(guò)程。在步驟STP6C，調(diào)用存儲(chǔ)到絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置的機(jī)械原點(diǎn)位置或 固定基準(zhǔn)位置的絕對(duì)值。在步驟STP7C，將臺(tái)板移動(dòng)到機(jī)械原點(diǎn)位置。如上所述，完成原點(diǎn)返回并且能夠操作校準(zhǔn)裝置。將詳細(xì)說(shuō)明上述處理過(guò)程。步驟STP1C到STP4C與第一實(shí)施例的步驟相同。在將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或臺(tái)板機(jī)械固定到校準(zhǔn)裝置的固定基準(zhǔn)位置的步驟 STP2C，如圖52所示固定臺(tái)板4，并且因此，差值為0，同時(shí)實(shí)際可以 省略存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原點(diǎn)位置與固定基準(zhǔn)位置之間差值的步驟 STP1C。由兩個(gè)機(jī)械固定裝置41固定驅(qū)動(dòng)單元6。如由第一實(shí)施例的圖10所示固定驅(qū)動(dòng)單元6。在Y9操作臺(tái)板4，并且因此，可以固定兩個(gè)點(diǎn)。 在由檢測(cè)裝置檢測(cè)固定基準(zhǔn)位置步驟STP3C，識(shí)別固定位置。如圖52所示，固定基準(zhǔn)位置是機(jī)械原點(diǎn)位置，并且因此，實(shí)際可 以省略由機(jī)械原點(diǎn)位置計(jì)算裝置計(jì)算構(gòu)成機(jī)械原點(diǎn)位置離開(kāi)當(dāng)前位置 (固定基準(zhǔn)位置)的量的步驟STP4C。步驟STP1C到步驟STP4C與第一實(shí)施例的步驟相同。在步驟STP5C，在設(shè)置到檢測(cè)裝置處的絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置處，將 機(jī)械原點(diǎn)位置存儲(chǔ)為絕對(duì)值。兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6用于Y0操作，并且 因此，將機(jī)械原點(diǎn)位置存儲(chǔ)到兩個(gè)絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置47。如上所述完成絕對(duì)值型檢測(cè)裝置2的設(shè)置。其后，在暫時(shí)切斷電源并再次輸入電源之后，執(zhí)行常規(guī)處理過(guò)程。由于利用了絕對(duì)值型檢測(cè)裝置2，所以當(dāng)在步驟STP6C為機(jī)械原 點(diǎn)位置或固定基準(zhǔn)位置的兩個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6調(diào)用兩個(gè)絕對(duì)值位置并 且在步驟STP7C驅(qū)動(dòng)電機(jī)移動(dòng)時(shí)，完成原點(diǎn)返回。即使當(dāng)使用絕對(duì)值型檢測(cè)裝置2時(shí)，必需掌握實(shí)際機(jī)械原點(diǎn)位置， 并且因此，通過(guò)由機(jī)械固定裝置41固定該裝置在固定基準(zhǔn)位置、或如 在本實(shí)施例(圖52)中的機(jī)械原點(diǎn)位置處而將機(jī)械原點(diǎn)位置存儲(chǔ)為絕 對(duì)值。能夠?qū)崿F(xiàn)如上所述通過(guò)返回到原點(diǎn)而能夠在Y0精確操作的校準(zhǔn) 裝置。此外，雖然根據(jù)本實(shí)施例，使用了在Y0操作的2個(gè)自由度的臺(tái)板， 但是通過(guò)在如第一實(shí)施例、第二實(shí)施例、第三實(shí)施例中的在XY6操作 的3個(gè)自由度的臺(tái)板中執(zhí)行類(lèi)似的處理過(guò)程，也能夠執(zhí)行原點(diǎn)返回。雖然根據(jù)本實(shí)施例，通過(guò)圖51和圖52的構(gòu)造，實(shí)現(xiàn)由在第一實(shí) 施例的圖3中所示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6在Y9操作的校準(zhǔn)裝置以及在圖53 中所示的2自由度機(jī)構(gòu)17，該裝置可以如下構(gòu)成。圖57示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一示意圖和 控制方框圖的實(shí)例1，圖58是表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的頂 視圖并且是布置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖，并且圖58是表示本發(fā)明第六實(shí) 施例的校準(zhǔn)裝置的2自由度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的概要視圖。與圖51和圖52的不同之處在于增加了3自由度機(jī)構(gòu)16。此外， 將2個(gè)驅(qū)動(dòng)單元6布置成在圖的上和下方向上以及在臺(tái)板4的前和后 方向上彼此遠(yuǎn)離。此外，將在2自由度機(jī)構(gòu)17處安裝有電機(jī)1的2自 由度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)18布置在臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)中心處。除此之外，提供了二維 位置檢測(cè)裝置9和二維圖像處理裝置10。此外，對(duì)于原點(diǎn)返回，類(lèi)似 于第一實(shí)施例，提供了機(jī)械固定裝置41、機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置 42、機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置43、以及機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置45。此外， 檢測(cè)裝置2是增量型的。將驅(qū)動(dòng)單元6布置在圖58的位置A和B處，將3自由度機(jī)構(gòu)16 布置在位置E和D處，以及將2自由度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)18布置在位置C處。此外，即使在如本實(shí)施例中的在Y0操作的臺(tái)板中，也產(chǎn)生第一實(shí) 施例的圖6和圖7中所示的問(wèn)題。不同于實(shí)施例4，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6不 構(gòu)成經(jīng)過(guò)臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)中心的切線，并且因此，經(jīng)過(guò)臺(tái)板4的常規(guī)和 相反旋轉(zhuǎn)，在Y方向上的線性電機(jī)1L的移動(dòng)量不同。這樣，構(gòu)成在Ye操作的構(gòu)造，并且因此，當(dāng)由機(jī)械固定裝置41 固定臺(tái)板4時(shí)，臺(tái)板4可以由一個(gè)機(jī)械固定裝置41固定，如圖58所 示。通過(guò)定位臺(tái)板4和機(jī)械底座部分7，能夠根據(jù)如第二實(shí)施例的圖 17的過(guò)程如圖19所示固定臺(tái)板4和機(jī)械底座部分7。類(lèi)似于第一實(shí)施例，提供了機(jī)械固定裝置41、機(jī)械固定基準(zhǔn)位置 存儲(chǔ)裝置42、機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置43、以及機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置45， 并且因此，能夠類(lèi)似于第一實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。此外，通過(guò)使用圖 58中未示出的基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置48、 二維位置檢測(cè)裝置9和二維 圖像處理裝置10，能夠類(lèi)似于第二實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。此外，當(dāng)將 檢測(cè)裝置2改變?yōu)榫哂薪^對(duì)位置存儲(chǔ)裝置47的絕對(duì)值類(lèi)型時(shí)，可以類(lèi) 似于第三實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。圖59示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一示意圖和 控制方框圖的實(shí)例2，圖60是表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一實(shí)例2的頂視圖 并且是布置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖，圖61是表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一實(shí)例2的2自由 度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的概要視圖，圖62示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一2自由度機(jī) 構(gòu)的概要視圖的實(shí)例1，以及圖63示出了表示本發(fā)明第四實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一2自由度驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)的概要視圖的實(shí)例2。與圖57和圖58的不同之處在于，臺(tái)板4的旋轉(zhuǎn)中心增加有2自 由度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)18，如圖61所示2自由度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)18在2自由度機(jī)構(gòu) 17處安裝有電機(jī)1。此外，在圖中未示出二維位置檢測(cè)裝置9和二維 圖像處理裝置。不同于圖57和圖58，機(jī)械固定裝置41固定構(gòu)成驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6 的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46和3自由度機(jī)構(gòu)16的兩點(diǎn)。通過(guò)在根據(jù)第一實(shí)施例的 圖9的過(guò)程如圖IO中那樣定位，能夠固定該裝置。能夠類(lèi)似于第一實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。此外，通過(guò)使用必需的一 個(gè)裝置或多個(gè)裝置，可以類(lèi)似于第二實(shí)施例和第三實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返 回。此外，可以由在圖62或圖63中所示的結(jié)構(gòu)構(gòu)成2自由度驅(qū)動(dòng)機(jī) 構(gòu)18。這樣，構(gòu)成了在Y0操作的結(jié)構(gòu)，并且因此，通過(guò)由機(jī)械固定裝置 41固定臺(tái)板4來(lái)驅(qū)動(dòng)電機(jī)3并且執(zhí)行原點(diǎn)返回，能夠精確地執(zhí)行臺(tái)板 4的Y6操作。實(shí)施例5圖64是表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的示意圖和控制方框 圖，圖65是表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的頂視圖并且是布置驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖，以及圖66是示出了表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的視圖。本實(shí)施例是在e操作的臺(tái)板的實(shí)例。通過(guò)使用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6構(gòu)成 一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度的機(jī)構(gòu)以及將旋轉(zhuǎn)1自由度機(jī)構(gòu)19布置到臺(tái)板4，在e 內(nèi)旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4。由曲線導(dǎo)軌24和曲線導(dǎo)向塊構(gòu)成旋轉(zhuǎn)1自由度機(jī)構(gòu)19。如圖66所示，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6的平移驅(qū)動(dòng)部分12的平移移 動(dòng)，能夠操作旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4。此外，雖然使用在第一實(shí)施例中使用的圖3 的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6，但是即使當(dāng)使用其它構(gòu)造的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6時(shí)，功 能也保持不變。將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6連接在旋轉(zhuǎn)圓周的切線方向上，并且因此，產(chǎn) 生了第一實(shí)施例的圖6和圖7中的問(wèn)題，其中雖然當(dāng)在常規(guī)旋轉(zhuǎn)和反向旋轉(zhuǎn)中以相同角度旋轉(zhuǎn)臺(tái)板4時(shí)線性電機(jī)1L的移動(dòng)量的絕對(duì)值相 同，但是由于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6的移動(dòng)部分的線性電機(jī)1L的位置使旋轉(zhuǎn) 臺(tái)板4的角度不同。因此，通過(guò)由一個(gè)機(jī)械固定裝置41固定臺(tái)板4來(lái)執(zhí)行原點(diǎn)返回。 通過(guò)第二實(shí)施例的圖17的過(guò)程如圖19中那樣定位，從而能夠固定臺(tái) 板4。能夠類(lèi)似于第一實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。此外，通過(guò)使用必需的裝 置或手段，可以類(lèi)似于第二實(shí)施例和第四實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。通過(guò)執(zhí)行如上所述的原點(diǎn)返回，可以實(shí)現(xiàn)能夠在e精確操作的校準(zhǔn)。雖然根據(jù)本實(shí)施例，通過(guò)圖64和圖65的構(gòu)造實(shí)現(xiàn)在e操作的校準(zhǔn)，但是可以如下構(gòu)造本實(shí)施例。圖67示出了表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的另一示意圖和 控制方框圖的實(shí)例1，以及圖68是表示本發(fā)明第五實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置 的頂視圖并且是布置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的視圖。與圖64和圖65的不同之處在于增加了 3自由度機(jī)構(gòu)16。此外， 將旋轉(zhuǎn)1自由度機(jī)構(gòu)構(gòu)造為旋轉(zhuǎn)自由度部分13。除此之外，將構(gòu)成3 自由度機(jī)構(gòu)16的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)46與機(jī)械固定裝置41固定。通過(guò)第一實(shí)施 例的圖9的過(guò)程如圖10中所示那樣定位，能夠固定該裝置。能夠類(lèi)似于第一實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。此外，通過(guò)使用必要的裝 置或手段，可以類(lèi)似于第二實(shí)施例和第三實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。這樣，由于構(gòu)成了在e操作的構(gòu)造，并且因此，通過(guò)根據(jù)由機(jī)械固定裝置41固定臺(tái)板4而驅(qū)動(dòng)電機(jī)3并執(zhí)行原點(diǎn)返回，能夠精確地實(shí)現(xiàn) 臺(tái)板4的Y0操作。實(shí)施例6圖69示出了包括表示本發(fā)明第六實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板 的頂視圖和布置圖以及側(cè)視圖，以及圖70出了表示包括表示本發(fā)明第 六實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的平移臺(tái)板的臺(tái)板以及平移臺(tái)板的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的視 圖。在第一實(shí)施例中所示的校準(zhǔn)裝置安裝在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板上方。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板構(gòu)成了包括旋轉(zhuǎn)型電機(jī)1R和曲線導(dǎo)軌24以及曲線導(dǎo)向 塊25的旋轉(zhuǎn)1自由度機(jī)構(gòu)19。構(gòu)成一種兩層結(jié)構(gòu)，并且其高度增加，以及雖然如圖70 (a)所示 能夠?qū)崿F(xiàn)該校準(zhǔn)裝置以小量旋轉(zhuǎn)，但是由如圖70 (b)所示的能夠?qū)崿F(xiàn) 以大量旋轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)構(gòu)成了轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板。校準(zhǔn)裝置執(zhí)行精細(xì)操作。從而， 擴(kuò)大了操作范圍，并且拓展了應(yīng)用。該校準(zhǔn)裝置與第一實(shí)施例的校準(zhǔn) 裝置相同，并且因此，可以類(lèi)似于第一實(shí)施例固定驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6。此 外，可以類(lèi)似于第一實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。此外，通過(guò)使用必需的裝 置或手段，可以類(lèi)似于第二實(shí)施例或第四實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。此外，雖然使用在第一實(shí)施例中使用的圖3的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6, 但是即使當(dāng)使用其它構(gòu)造的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6時(shí)，功能也保持不變。如上所述，能夠?qū)崿F(xiàn)執(zhí)行原點(diǎn)返回的在XY9精確操作的校準(zhǔn)裝置。 此外，能夠?qū)崿F(xiàn)包括在XYe精確操作的校準(zhǔn)裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板。實(shí)施例7圖71示出了布置包括表示本發(fā)明第七實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的平移 臺(tái)板的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分的頂視圖和側(cè)視圖以及視圖。在第五實(shí)施例中所示的在e操作的校準(zhǔn)裝置安裝在平移板架上方。雖然圖中僅示出了校準(zhǔn)裝置和平移臺(tái)板，但是對(duì)于校準(zhǔn)裝置，當(dāng) 準(zhǔn)備了必需的裝置或手段時(shí)，能夠類(lèi)似于第一實(shí)施例、第二實(shí)施例、 第四實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。如上所述，能夠?qū)崿F(xiàn)通過(guò)執(zhí)行原點(diǎn)返回在e精確操作的校準(zhǔn)裝置。 此外，能夠?qū)崿F(xiàn)包括在e精確操作的校準(zhǔn)裝置的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板。實(shí)施例8圖72是構(gòu)成包括表示本發(fā)明第八實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械的臺(tái)架機(jī)構(gòu)的機(jī)械控制系統(tǒng)的頂視圖，圖73是示出了構(gòu)成包括表示本發(fā)明第八實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī) 械的臺(tái)架機(jī)構(gòu)的操作的視圖，以及圖74是示出了構(gòu)成包括表示本發(fā)明第八實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī) 械的臺(tái)架機(jī)構(gòu)的校準(zhǔn)裝置以及臺(tái)架機(jī)構(gòu)的操作的視圖。將第一實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置安裝在臺(tái)架機(jī)構(gòu)的機(jī)械控制系統(tǒng)上方。在臺(tái)架機(jī)構(gòu)中，由雙軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分59操作臺(tái)架可移動(dòng)部分63。 也將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分59提供給臺(tái)架可移動(dòng)部分63，并且能夠由該臺(tái)架機(jī) 構(gòu)執(zhí)行在XY的操作。此外，2個(gè)二維位置檢測(cè)裝置9連接到臺(tái)架可移 動(dòng)部分63，并且通過(guò)移動(dòng)臺(tái)架可移動(dòng)部分63， 2個(gè)二維位置檢測(cè)裝置 9能夠在校準(zhǔn)裝置上方移動(dòng)。能夠檢測(cè)附著到校準(zhǔn)裝置的臺(tái)板4或目標(biāo) 物5上的標(biāo)記。類(lèi)似于第一實(shí)施例連接校準(zhǔn)裝置的機(jī)械固定裝置41， 并且能夠類(lèi)似于第一實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。雖然在圖中僅示出了校準(zhǔn)裝置和臺(tái)架機(jī)構(gòu)以及二維位置檢測(cè)裝置9，但是對(duì)于校準(zhǔn)裝置，通過(guò)使 用必需的裝置或手段，能夠類(lèi)似于第一實(shí)施例以及第二實(shí)施例、第四 實(shí)施例執(zhí)行原點(diǎn)返回。當(dāng)完成原點(diǎn)返回時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)能夠在xYe操作的校準(zhǔn)裝置，并且因此，根據(jù)放置到臺(tái)板4上的目標(biāo)物5的標(biāo)記在XY0方向上位移，通 過(guò)使用2個(gè)二維位置檢測(cè)裝置9能夠校正位移。圖74的(4)示出了放置到校準(zhǔn)裝置60的臺(tái)板4上的目標(biāo)物5的 初始位置。當(dāng)由二維檢測(cè)裝置9檢測(cè)目標(biāo)物5并由二維圖像處理裝置 IO進(jìn)行處理時(shí)，未示出，可以如圖21所示的那樣得到在XY9的位移量。根據(jù)如在本實(shí)施例中的模式的機(jī)械控制系統(tǒng)，需要一種操作，其 在畫(huà)在目標(biāo)物5上由虛線表示的軌跡上在XY操作臺(tái)架機(jī)構(gòu)，將如圖 74的(0)那樣放置目標(biāo)物5。通過(guò)停留在圖74的(4)的狀態(tài)中不能 夠執(zhí)行操作，并且因此，通過(guò)校準(zhǔn)裝置60校正目標(biāo)物5的XYe位置。當(dāng)以旋轉(zhuǎn)位移量50移動(dòng)校準(zhǔn)裝置60的臺(tái)板4時(shí)，構(gòu)成圖74的(3)， 并且消除了旋轉(zhuǎn)位移。此外，當(dāng)以位移量5Y移動(dòng)校準(zhǔn)裝置60的臺(tái)板4 時(shí)，構(gòu)成(1)，并且當(dāng)在X方向上以5X移動(dòng)時(shí)，從(3)構(gòu)成(2)。 當(dāng)校準(zhǔn)裝置60的臺(tái)板4的平移移動(dòng)能夠校正在XY的位移量時(shí)，目標(biāo) 物5變?yōu)閳D74的(0)以構(gòu)成該模式。從而，能夠在XY操作臺(tái)架機(jī)構(gòu)。雖然為了執(zhí)行這種操作，需要校準(zhǔn)裝置的在XY9的精確操作，但 是由于執(zhí)行原點(diǎn)返回，所以能夠執(zhí)行該操作。這樣，如在第一實(shí)施例或第二實(shí)施例那樣固定校準(zhǔn)裝置，如在第 一實(shí)施例、第二實(shí)施例或第四實(shí)施例那樣執(zhí)行原點(diǎn)返回，并且因此， 能夠在XYe高精確地操作該裝置，以及通過(guò)臺(tái)架機(jī)構(gòu)的XY操作構(gòu)成 了能夠加工或處理目標(biāo)物5的機(jī)械控制系統(tǒng)。實(shí)施例9圖75示出了構(gòu)成包括表示本發(fā)明第九實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置的機(jī)械的臺(tái)架機(jī)構(gòu)和門(mén)型固定機(jī)構(gòu)的機(jī)械控制系統(tǒng)的頂視圖和側(cè)視圖。構(gòu)成一種結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)構(gòu)造有臺(tái)板，通過(guò)同樣使用第四實(shí)施例所 示的校準(zhǔn)裝置并結(jié)合門(mén)型固定機(jī)構(gòu)，臺(tái)板能夠驅(qū)動(dòng)并轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)架。雖然門(mén)型固定機(jī)構(gòu)包括在X方向上的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分59，但是門(mén)型固定機(jī)構(gòu) 是固定的。校準(zhǔn)裝置60可以在能夠以長(zhǎng)行程移動(dòng)的Y方向上移動(dòng)并且在如第 四實(shí)施例所示的e方向上移動(dòng)。門(mén)型固定機(jī)構(gòu)能夠在X方向上移動(dòng)，并 且因此，可由整個(gè)機(jī)械控制系統(tǒng)執(zhí)行在XYe的操作。通過(guò)在Y方向上移動(dòng)校準(zhǔn)裝置60的臺(tái)板4，可由二維位置檢測(cè)裝 置9檢測(cè)臺(tái)板4或目標(biāo)物5的標(biāo)記。當(dāng)執(zhí)行由第八實(shí)施例所示的操作 時(shí)，本實(shí)施例的校準(zhǔn)裝置60不能夠在X方向上校正目標(biāo)物，并且因此， 通過(guò)導(dǎo)致用于由3e移動(dòng)的圖74的(3)的狀態(tài)、或者進(jìn)一步由5Y校正 的圖74的(1)的狀態(tài)來(lái)執(zhí)行該操作。能夠在整個(gè)機(jī)械控制系統(tǒng)執(zhí)行在XYe的操作，并且因此，通過(guò)開(kāi) 始在門(mén)固定機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分59的X方向上以SX移位操作開(kāi)始點(diǎn)， 來(lái)校正SX?？梢酝ㄟ^(guò)預(yù)先導(dǎo)致圖74的(1)的狀態(tài)作為校準(zhǔn)裝置的功 能來(lái)校正5Y，或者可以通過(guò)在Y方向上以5Y開(kāi)始操作開(kāi)始點(diǎn)來(lái)校正 SY。在校正se的過(guò)程中，如上所述，產(chǎn)生第一實(shí)施例的圖6和圖7中所示的問(wèn)題，并且因此，可以通過(guò)固定校準(zhǔn)裝置以及通過(guò)第一實(shí)施例、第二實(shí)施例或第四實(shí)施例的任一者的方法來(lái)校正Se。雖然在圖75中， 將臺(tái)板示出為如第四實(shí)施例的圖58中那樣固定，但是可以如第四實(shí)施例的圖52中那樣固定2個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元6。雖然在圖75中未示出機(jī)械固定裝置41、機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ) 裝置42、機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置43、機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置45以及基 準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置48、絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置47以及二維圖像處理裝置 10，但是可以通過(guò)第一實(shí)施例、第二實(shí)施例或第四實(shí)施例的任一者的 方法來(lái)執(zhí)行原點(diǎn)返回。當(dāng)執(zhí)行原點(diǎn)返回時(shí)，能夠精確地執(zhí)行校準(zhǔn)裝置的在Y9的操作，并 且構(gòu)成了精確機(jī)械控制系統(tǒng)。這樣，如第一實(shí)施例和第二實(shí)施例那樣固定校準(zhǔn)裝置，并且如第 一實(shí)施例、第二實(shí)施例或第四實(shí)施例那樣執(zhí)行原點(diǎn)返回，并且因此， 能夠執(zhí)行高精確的Ye操作，以及通過(guò)包括校準(zhǔn)裝置的XY操作構(gòu)成能 夠加工或處理目標(biāo)物5的機(jī)械控制系統(tǒng)。工業(yè)實(shí)用性在機(jī)械底座部分的一個(gè)平面處布置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，并且因此，使 臺(tái)板變薄。本發(fā)明可應(yīng)用到校準(zhǔn)裝置或類(lèi)似的機(jī)械工具，其中即使當(dāng)臺(tái)板是 大尺寸時(shí)載荷也被分散支撐。此外，由于構(gòu)成了薄的校準(zhǔn)裝置，所以可以形成低的用于執(zhí)行其 它操作的機(jī)械以及整個(gè)機(jī)械控制系統(tǒng)的機(jī)械的高度。因此，能夠?qū)崿F(xiàn) 具有低重心的穩(wěn)固裝置，能夠增加剛度，并且因此，難于產(chǎn)生震動(dòng)， 并且能夠提升驅(qū)動(dòng)機(jī)械部分的操作和功能。即，獲得能夠提升整個(gè)機(jī) 械控制系統(tǒng)的功能的效果。通過(guò)使用安裝到驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的檢測(cè)裝置來(lái)控制位置，并且因此，即使當(dāng)臺(tái)板是大尺寸時(shí)，在將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元布置到臺(tái)板外周附近的情 況下，相比于在檢測(cè)臺(tái)板中心處的位置中，在臺(tái)板旋轉(zhuǎn)操作中提高了 分離度，從而獲得了提升功能的效果。此外，能夠形成低的來(lái)自上述校準(zhǔn)裝置的操作部分的機(jī)械的高度， 并且因此，通過(guò)限制材料能夠構(gòu)成低成本。此外，該部分可以是重量 輕的，并且因此，還簡(jiǎn)化了制造/集成機(jī)械和機(jī)械控制系統(tǒng)的操作。除此之外，根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)布置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，能夠形成使用 旋轉(zhuǎn)型電機(jī)不能實(shí)現(xiàn)的挖空臺(tái)板中心的空心結(jié)構(gòu)，并且能夠拓寬其應(yīng) 用。此外，即使當(dāng)該裝置是大尺寸時(shí)，可以構(gòu)成一種結(jié)構(gòu)，即通過(guò)利 用多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)分散驅(qū)動(dòng)力，而不是使用特殊大尺寸電機(jī)，并且因此， 還獲得了一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，即考慮到裝置部件的交付或成本，與特定產(chǎn)品相 比，能夠容易的獲得部件。
權(quán)利要求
1.一種用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在XYθ、Yθ、或θ操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置，所述校準(zhǔn)裝置包括所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；所述機(jī)械部分包括各自具有平移自由度的兩個(gè)平移自由度部分和具有旋轉(zhuǎn)自由度的一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及所述電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，所述電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)所述兩個(gè)平移自由度部分和所述一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部分，所述檢測(cè)裝置用于檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以及所述控制器用于通過(guò)接收操作指令控制所述電機(jī)，從而構(gòu)成至少與所述臺(tái)板的XYθ、Yθ、或θ操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)；所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元包括用于將操作指令提供給所述控制器的指令裝置；所述臺(tái)板，通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作所述電機(jī)，從而所述臺(tái)板被操作以在XYθ操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在Yθ操作的一個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者θ操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置，用于預(yù)先存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原點(diǎn)位置與固定基準(zhǔn)位置之間的差值；機(jī)械固定裝置，用于將所述臺(tái)板或所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到所述校準(zhǔn)裝置的所述固定基準(zhǔn)位置；機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置，用于通過(guò)所述檢測(cè)裝置檢測(cè)和存儲(chǔ)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的機(jī)械固定基準(zhǔn)位置；檢測(cè)裝置參考位置存儲(chǔ)裝置，用于放開(kāi)所述機(jī)械固定裝置，通過(guò)驅(qū)動(dòng)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)，由所述檢測(cè)裝置檢測(cè)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)，以及存儲(chǔ)所述檢測(cè)裝置參考位置與所述機(jī)械原點(diǎn)位置或至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述固定基準(zhǔn)位置之間的差值；以及機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置，用于在已經(jīng)完成了上述處理并且再次引入電源之后所述機(jī)械固定裝置表現(xiàn)不正常的狀態(tài)中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)，來(lái)檢測(cè)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)，以及為了使所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元從當(dāng)前位置設(shè)置到所述機(jī)械原點(diǎn)或所述固定基準(zhǔn)位置，計(jì)算至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)的移動(dòng)量，其中通過(guò)操作至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)，將所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到所述機(jī)械原點(diǎn)位置。
2. —種用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在XY9、 Y9、或e操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置，所述校準(zhǔn)裝置包括所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；所述機(jī)械部分包括各自具有平移自由度的兩個(gè)平移自由度部分和 具有旋轉(zhuǎn)自由度的一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及所述電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，所述電機(jī)用于 驅(qū)動(dòng)所述兩個(gè)平移自由度部分和所述一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部 分，所述檢測(cè)裝置用于檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以 及所述控制器用于通過(guò)接收操作指令控制所述電機(jī)，從而構(gòu)成至少與所述臺(tái)板的xYe、 Ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的電機(jī)；所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元包括用于將操作指令提供給所述控制器的指令裝置；所述臺(tái)板，通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作所述電機(jī)，從而所述臺(tái)板被操作以在xYe操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、 在Ye操作的一個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)； 機(jī)械固定裝置，用于將所述臺(tái)板或所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到所述校準(zhǔn)裝置的固定基準(zhǔn)位置；機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置，用于預(yù)先存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原點(diǎn)位置與所述 固定基準(zhǔn)位置之間的差值；二維位置檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)預(yù)先提供到所述臺(tái)板或所述目標(biāo)物 的標(biāo)記；二維圖像處理裝置，用于根據(jù)所述二維位置檢測(cè)裝置的圖像計(jì)算 移動(dòng)到任意位置所必需的臺(tái)板移動(dòng)量；基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置，用于通過(guò)使用所述二維位置檢測(cè)裝置和 所述二維圖像處理裝置的輸出，由圖像的標(biāo)記的位置構(gòu)成絕對(duì)位置， 從而存儲(chǔ)基準(zhǔn)圖像位置；以及機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置，用于通過(guò)將由所述二維位置檢測(cè)裝置 及所述二維圖像處理裝置在當(dāng)前狀態(tài)中新檢測(cè)標(biāo)記所提供的新輸出圖 像與在所述基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)的所述基準(zhǔn)圖像位置進(jìn)行比 較，為了使所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元從當(dāng)前位置設(shè)置到所述機(jī)械 原點(diǎn)位置或所述固定基準(zhǔn)位置，計(jì)算至少與提供給所述臺(tái)板的自由度 的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)的移動(dòng)量，其中通過(guò)操作至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所 述電機(jī)，將所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到所述機(jī)械原點(diǎn)位置。
3. —種用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在XYe、 Y9、或e操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置的校準(zhǔn)裝置，所述校準(zhǔn)裝置包括所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；所述機(jī)械部分包括各自具有平移自由度的兩個(gè)平移自由度部分和 具有旋轉(zhuǎn)自由度的一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及所述電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，所述電機(jī)用于 驅(qū)動(dòng)所述兩個(gè)平移自由度部分和所述一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部 分，所述檢測(cè)裝置用于檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以 及所述控制器用于通過(guò)接收操作指令控制所述電機(jī)，從而構(gòu)成至少與所述臺(tái)板的xYe、Ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)；所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元包括用于將操作指令提供給所述控制器的指令 裝置；所述臺(tái)板，通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作所述電機(jī)，從而所述臺(tái)板被操作以在xYe操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、 在Ye操作的一個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)； 機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置，用于預(yù)先存儲(chǔ)或輸入在機(jī)械原點(diǎn)位置與固定基準(zhǔn)位置之間的差值；機(jī)械固定裝置，用于將所述臺(tái)板或所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到所述校準(zhǔn)裝置的所述固定基準(zhǔn)位置；機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置，用于通過(guò)所述檢測(cè)裝置檢測(cè)和存儲(chǔ) 至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的固定基準(zhǔn)位置；絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置，被提供給所述檢測(cè)裝置，用于考慮到在所述 固定基準(zhǔn)位置與所述機(jī)械原點(diǎn)位置之間的差值，將至少與提供給所述 臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述機(jī)械原點(diǎn)位置的值存儲(chǔ)為絕對(duì) 值，其中，在已經(jīng)完成了上述處理并且再次引入電源之后所述機(jī)械固定裝置 表現(xiàn)不正常的狀態(tài)中，通過(guò)從所述絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置中讀取至少與提 供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述機(jī)械原點(diǎn)位置的所述 絕對(duì)值，并且操作至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量 的所述電機(jī)，使所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到所述機(jī)械原點(diǎn)位 置。
4. 一種校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，所述校準(zhǔn)裝置用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在XYe、 Ye、或e上操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái) 板將其定位到預(yù)定位置，其中所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；所述機(jī)械部分包括各自具有平移自由度的兩個(gè)平移自由度部分和具有旋轉(zhuǎn)自由度的一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及所述電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，所述電機(jī)用于 驅(qū)動(dòng)所述兩個(gè)平移自由度部分和所述一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部 分，所述檢測(cè)裝置用于檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以 及所述控制器用于通過(guò)接收操作指令控制所述電機(jī)，從而構(gòu)成至少與所述臺(tái)板的XYe、Ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)；所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元包括用于將操作指令提供給所述控制器的指令裝置；通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作所述電機(jī)，操作所述臺(tái)板在xYe操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在ye操作的一個(gè)方向 上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；所述原點(diǎn)返回方法包括步驟由機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置預(yù)先存儲(chǔ)或輸入機(jī)械原點(diǎn)位置，作為與固定基準(zhǔn)位置之間的差值；由機(jī)械固定裝置將所述臺(tái)板或所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到所述校準(zhǔn)裝置的所述固定基準(zhǔn)位置；由所述檢測(cè)裝置檢測(cè)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等 的數(shù)量的機(jī)械固定基準(zhǔn)位置，以存儲(chǔ)在機(jī)械固定基準(zhǔn)位置存儲(chǔ)裝置中；放開(kāi)所述機(jī)械固定裝置；通過(guò)驅(qū)動(dòng)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所 述電機(jī)，檢測(cè)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的檢 測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)；在檢測(cè)裝置參考位置存儲(chǔ)裝置中，存儲(chǔ)在所述檢測(cè)裝置參考位置 與所述機(jī)械原點(diǎn)位置或至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的 數(shù)量的所述固定基準(zhǔn)位置之間的差值；在已經(jīng)完成了上述處理并且再次引入電源之后所述機(jī)械固定裝置 表現(xiàn)不正常的狀態(tài)中，通過(guò)驅(qū)動(dòng)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù) 量相等的數(shù)量的所述電機(jī)，來(lái)檢測(cè)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的 數(shù)量相等的數(shù)量的所述檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)；以及由機(jī)械原點(diǎn)返回量計(jì)算裝置計(jì)算從所述檢測(cè)裝置參考位置基準(zhǔn)到 所述機(jī)械原點(diǎn)位置或至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述固定基準(zhǔn)位置的所述電機(jī)的處理移動(dòng)量。
5. —種校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，所述校準(zhǔn)裝置用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在xYe、 Ye、或e操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置，其中所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各自由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；所述機(jī)械部分包括各自具有平移自由度的兩個(gè)平移自由度部分和 具有旋轉(zhuǎn)自由度的一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及所述電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，所述電機(jī)用于 驅(qū)動(dòng)所述兩個(gè)平移自由度部分和所述一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部 分，所述檢測(cè)裝置用于檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以 及所述控制器用于通過(guò)接收操作指令控制所述電機(jī)，從而構(gòu)成至少與所述臺(tái)板的xYe、ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)； 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元包括用于將操作指令提供給所述控制器的指令裝置；通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作所述電機(jī)，操作所述臺(tái)板在XY9操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在Y0操作的一個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；所述原點(diǎn)返回方法包括步驟由機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置預(yù)先存儲(chǔ)或輸入機(jī)械原點(diǎn)位置，作為與固定基準(zhǔn)位置之間的差值；由機(jī)械固定裝置將所述臺(tái)板或所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到所述校準(zhǔn)裝置的所述固定基準(zhǔn)位置；由二維位置檢測(cè)裝置檢測(cè)所述臺(tái)板上的標(biāo)記；由二維圖像處理裝置接收所述二維位置檢測(cè)裝置的圖像，并通過(guò) 由圖像的標(biāo)記的位置構(gòu)成絕對(duì)位置，在基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ) 基準(zhǔn)圖像位置；在已經(jīng)完成了上述處理并且再次引入電源之后所述機(jī)械固定裝置 表現(xiàn)不正常的狀態(tài)中，由所述二維位置檢測(cè)裝置和所述二維圖像處理裝置重新檢測(cè)當(dāng)前狀態(tài)的標(biāo)記的位置；通過(guò)將新圖像的位置與在所述基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)的所 述基準(zhǔn)圖像位置進(jìn)行比較，為了使所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元從當(dāng) 前位置設(shè)置到所述機(jī)械原點(diǎn)位置或所述固定基準(zhǔn)位置，由機(jī)械原點(diǎn)返 回量計(jì)算裝置計(jì)算至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量 的所述電機(jī)的移動(dòng)量；以及通過(guò)操作至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所 述電機(jī)，將所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到所述機(jī)械原點(diǎn)位置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，重復(fù)以下步驟通過(guò)操作至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)，將所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到所述機(jī)械原點(diǎn)位置； 此后，由所述二維位置檢測(cè)裝置和所述二維圖像處理裝置重新檢測(cè)當(dāng)前狀態(tài)中的標(biāo)記的位置；以及與在所述基準(zhǔn)圖像位置存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)的所述基準(zhǔn)圖像的位置進(jìn)行比較；當(dāng)所述位置相互不一致時(shí)，為了使所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元從當(dāng)前位置設(shè)置到所述機(jī)械 原點(diǎn)位置或所述固定基準(zhǔn)位置，計(jì)算至少與提供給所述臺(tái)板的自由度 的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)的移動(dòng)量；以及通過(guò)操作至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所 述電機(jī)，將所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到所述機(jī)械原點(diǎn)位置。
7. —種校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，所述校準(zhǔn)裝置用于通過(guò)布置在機(jī)械底座部分處的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在xYe、 Ye、或e操作安裝有目標(biāo)物的臺(tái)板將其定位到預(yù)定位置，其中所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元各 自由機(jī)械部分和電機(jī)控制裝置構(gòu)成；所述機(jī)械部分包括各自具有平移自由度的兩個(gè)平移自由度部分和 具有旋轉(zhuǎn)自由度的一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分；以及所述電機(jī)控制裝置包括電機(jī)、檢測(cè)裝置和控制器，所述電機(jī)用于 驅(qū)動(dòng)所述兩個(gè)平移自由度部分和所述一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度部分的自由度部 分，所述檢測(cè)裝置用于檢測(cè)構(gòu)成要檢測(cè)部件的機(jī)械部分的操作量，以 及所述控制器用于通過(guò)接收操作指令控制所述電機(jī)，從而構(gòu)成至少與所述臺(tái)板的xYe、ye、或e操作的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述電機(jī)；所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元包括用于將操作指令提供給所述控制器的指令裝置；通過(guò)在平移方向或旋轉(zhuǎn)方向上分別操作所述電機(jī)，操作所述臺(tái)板在xYe操作的兩個(gè)方向上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、在Ye操作的一個(gè)方向 上平移移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)移動(dòng)、或者e操作的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；所述原點(diǎn)返回方法包括步驟由機(jī)械原點(diǎn)存儲(chǔ)裝置預(yù)先存儲(chǔ)或輸入機(jī)械原點(diǎn)位置，作為與固定基準(zhǔn)位置之間的差值；由機(jī)械固定裝置將所述臺(tái)板或所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)機(jī)械固定到所述校準(zhǔn)裝置的所述固定基準(zhǔn)位置；由所述檢測(cè)裝置檢測(cè)至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述固定基準(zhǔn)位置；考慮到在所述固定基準(zhǔn)位置與所述機(jī)械原點(diǎn)位置之間的差值，在 提供給所述檢測(cè)裝置的絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置中，將至少與提供給所述臺(tái) 板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的機(jī)械原點(diǎn)位置值存儲(chǔ)為絕對(duì)值；在已經(jīng)完成了上述處理并且再次引入電源之后所述機(jī)械固定裝置 表現(xiàn)不正常的狀態(tài)中，從所述絕對(duì)位置存儲(chǔ)裝置中讀取至少與提供給 所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所述機(jī)械原點(diǎn)位置值；以及通過(guò)操作至少與提供給所述臺(tái)板的自由度的數(shù)量相等的數(shù)量的所 述電機(jī)，將所述臺(tái)板和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元移動(dòng)到所述機(jī)械原點(diǎn)位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，其中 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括 自由度機(jī)構(gòu)，所述3自由度機(jī)構(gòu)包括具有兩個(gè)平移自由度的所 述平移自由度部分和具有一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度的所述旋轉(zhuǎn)自由度部分，而不包括電機(jī)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，其中在至少具有在Ye操作的兩個(gè)自由度的所述臺(tái)板上，提供2自由度機(jī)構(gòu)，所述2自由度機(jī)構(gòu)包括具有一個(gè)平移自由度的所述平移自由度 部分和具有一個(gè)旋轉(zhuǎn)自由度的所述旋轉(zhuǎn)自由度部分，而不包括電機(jī)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9的校準(zhǔn)裝置，其中在至少具有在Ye操作的兩個(gè)自由度的所述臺(tái)板上，提供2自由度 機(jī)構(gòu)，所述2自由度機(jī)構(gòu)包括具有電機(jī)的2自由度驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，其中在至少具有在e操作的旋轉(zhuǎn)一自由度的所述臺(tái)板上，提供旋轉(zhuǎn)一自由度機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)一自由度機(jī)構(gòu)包括用于支撐所述臺(tái)板的一個(gè)旋轉(zhuǎn) 自由度。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括 第一定位裝置，用于將所述機(jī)械固定裝置定位到所述機(jī)械底座部分。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括 第二定位裝置，用于將所述機(jī)械固定裝置定位到所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括 第三定位裝置，用于將所述機(jī)械固定裝置定位到所述臺(tái)板。
15. 根據(jù)權(quán)利要求4到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法， 包括步驟由設(shè)置在所述機(jī)械底座部分處的第一定位裝置定位被安裝位置。
16. 根據(jù)權(quán)利要求4到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法， 包括步驟由設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)處的第二定位裝置定位被安裝位置。
17. 根據(jù)權(quán)利要求4到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，包括步驟由設(shè)置在所述臺(tái)板處的第三定位裝置定位被安裝位置。
18. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括 第一位置固定裝置，用于固定所述機(jī)械底座部分和所述機(jī)械固定裝置。
19. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括 第二位置固定裝置，用于固定所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述機(jī)械固定裝置。
20. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括第三位置固定裝置，用于固定所述臺(tái)板和所述機(jī)械固定裝置。
21. 根據(jù)權(quán)利要求4到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中通過(guò)使用設(shè)置在所述機(jī)械底座部分處的第一位置固定裝置固定所 述機(jī)械固定裝置和所述機(jī)械底座部分。
22. 根據(jù)權(quán)利要求4到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中通過(guò)使用設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)處的第二位置固定裝置固定所述機(jī) 械固定裝置和所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
23. 根據(jù)權(quán)利要求4到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中通過(guò)使用設(shè)置在所述臺(tái)板處的第三位置固定裝置固定所述機(jī)械固 定裝置和所述臺(tái)板。
24. 根據(jù)權(quán)利要求4到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方法，其中所述控制器切斷所述電機(jī)的控制，移動(dòng)所述臺(tái)板或所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 并且將所述機(jī)械底座部分和所述臺(tái)板或所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定在所述固定 基準(zhǔn)位置。
25. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，其中 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括位于平移自由度部分之上的旋轉(zhuǎn)自由度部分，并且進(jìn)一步包括位于旋轉(zhuǎn)自由度部分之上的平移自由度部分。
26. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，其中 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括位于平移自由度部分之上的平移自由度部分，并且包括位于平移自由度部分之上的旋轉(zhuǎn)自由度部分。
27. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，其中 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括位于旋轉(zhuǎn)自由度部分之上的平移自由度部分，并且進(jìn)一步包括位于平移自由度部分之上的平移自由度部分。
28. 根據(jù)權(quán)利要求1或3的校準(zhǔn)裝置，進(jìn)一步包括 二維位置檢測(cè)裝置，用于獲取在目標(biāo)物或臺(tái)板上的標(biāo)記的位置， 二維圖像處理裝置，用于使由所述二維位置檢測(cè)裝置捕捉的目標(biāo)物的圖像經(jīng)過(guò)圖像處理，并且計(jì)算用于校正所述目標(biāo)物的位置的校正 量，其中根據(jù)由所述二維圖像處理裝置提供的所述校正量，通過(guò)操作所述 電機(jī)，校正所述臺(tái)板或所述目標(biāo)物的位置。
29. 根據(jù)權(quán)利要求2或28的校準(zhǔn)裝置，包括多個(gè)所述二維位置檢測(cè)裝置。
30. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，其中所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元被布置為，使至少提供給所述臺(tái)板的自由度的 數(shù)量的所述電機(jī)與所述臺(tái)板的重心分開(kāi)，并且利用從所述臺(tái)板的重心 的位移來(lái)移動(dòng)所述臺(tái)板。
31. 根據(jù)權(quán)利要求4和5到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方 法，其中所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元被布置為，使至少提供給所述臺(tái)板的自由度的 數(shù)量的所述電機(jī)與所述臺(tái)板的重心分開(kāi)，并且利用從所述臺(tái)板的重心 的位移來(lái)移動(dòng)所述臺(tái)板。
32. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，其中 用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述平移自由度部分的所述電機(jī)是線性電機(jī)。
33. 根據(jù)權(quán)利要求4和5到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方 法，其中線性電機(jī)作為所述電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)單元的所述平移自由 度部分。
34. 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置，其中 所述固定基準(zhǔn)位置是所述機(jī)械原點(diǎn)位置。
35. 根據(jù)權(quán)利要求4和5到7中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置的原點(diǎn)返回方 法，其中將所述機(jī)械原點(diǎn)位置用作所述固定基準(zhǔn)位置。
36. —種轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)板，包括根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置。
37. —種平移臺(tái)板，包括根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置。
38. —種機(jī)械，包括根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一項(xiàng)的校準(zhǔn)裝置。
39. —種機(jī)械控制系統(tǒng)，包括至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分和根據(jù)權(quán)利 要求38的機(jī)械作為驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)部分。
全文摘要
提供了一種旋轉(zhuǎn)臺(tái)板的校準(zhǔn)裝置，其通過(guò)平移驅(qū)動(dòng)能夠在XYθ、Yθ、或θ精確地操作臺(tái)板。用于驅(qū)動(dòng)安裝有目標(biāo)物(5)的臺(tái)板(4)的4件驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括平移自由度部分(11)、平移驅(qū)動(dòng)部分(12)、以及旋轉(zhuǎn)自由度部分(13)，此外，通過(guò)在機(jī)械固定裝置(41)處提供電機(jī)(1)和檢測(cè)裝置(2)，由機(jī)械固定裝置(41)使用第一定位裝置及第二定位裝置、和第一位置固定裝置及第二位置固定裝置精確地固定臺(tái)板(4)，并且將檢測(cè)裝置參考位置存儲(chǔ)在檢測(cè)裝置參考位置存儲(chǔ)裝置(44)處，使校準(zhǔn)裝置能夠返回到原點(diǎn)。
文檔編號(hào)G05D3/12GK101263438SQ20068003342
公開(kāi)日2008年9月10日 申請(qǐng)日期2006年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月12日
發(fā)明者加來(lái)靖彥, 大須賀俊之, 小宮剛彥 申請(qǐng)人:株式會(huì)社安川電機(jī)