專利名稱：互鎖運動控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種互鎖運動控制方法，特別是涉及一種可同時驅(qū)動多個移載裝置進(jìn)行工作以獲得一最佳化運作順序的互鎖運動控制方法。
背景技術(shù)：
近來，半導(dǎo)體工業(yè)已成為臺灣邁向世界舞臺的重要代名詞，不論是上游的生產(chǎn)制造或是下游的封裝測試，臺灣皆有舉世聞名的制造廠商，其中半導(dǎo)體工業(yè)的產(chǎn)值以及產(chǎn)量，實為臺灣所有出口貨物的最大宗，然而為求精益求精，提高各式產(chǎn)品的生產(chǎn)量仍然為各家知名廠商所努力的目標(biāo)。
在半導(dǎo)體的生產(chǎn)設(shè)備中，其品質(zhì)的優(yōu)劣往往成為影響生產(chǎn)量的關(guān)鍵所在，但目前市面上所使用的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中，各部位的機(jī)構(gòu)大多以點對點的方式進(jìn)行運動，以運作相互關(guān)聯(lián)的兩機(jī)構(gòu)(第一機(jī)構(gòu)、第二機(jī)構(gòu))而言，如圖1A所示，該圖中第一機(jī)構(gòu)運動時間曲線圖10表示第一機(jī)構(gòu)(圖中未表示)經(jīng)由加速、勻速、減速后完成第一機(jī)構(gòu)所負(fù)責(zé)的運作，于是第二機(jī)構(gòu)才可激活。
當(dāng)?shù)谝粰C(jī)構(gòu)的運作停止時，通過半導(dǎo)體設(shè)備中的傳感器(sensor)偵測到第一機(jī)構(gòu)的運作已完成或停止，隨即告知相對應(yīng)的第二機(jī)構(gòu)方可開始運作，使其接著完成第二機(jī)構(gòu)運動時間曲線圖20，換句話說，前一機(jī)構(gòu)必須把運作完成后下一機(jī)構(gòu)才可激活，經(jīng)由如此設(shè)計，才可確保運作相互關(guān)聯(lián)的兩機(jī)構(gòu)不會發(fā)生互相碰撞、干涉的情形，但是也相對地增加兩個運作所需的時間，導(dǎo)致設(shè)備的生產(chǎn)量因此受到限制。
在圖1B中所示，該圖為一種提早激活第二機(jī)構(gòu)的運動時間曲線圖，當(dāng)?shù)谝粰C(jī)構(gòu)的運作尚未結(jié)束時，通過傳感器告知第二機(jī)構(gòu)使其提早激活，用以減少兩個運作所需的時間，但是這種方法還須搭配額外軟件的設(shè)計，再經(jīng)由設(shè)備中的中央處理器(CPU)加以運算，最后再比較傳感器的信號是否符合設(shè)定，這樣，不但造成反應(yīng)時間相對地增加，也浪費了軟、硬件設(shè)計上所需的成本，導(dǎo)致設(shè)備的生產(chǎn)量以及價格皆未達(dá)理想狀態(tài)。
綜上所述，由于目前半導(dǎo)體的生產(chǎn)設(shè)備因使用點對點的運動方式而造成生產(chǎn)量將受到限制，存在很大的缺失。

發(fā)明內(nèi)容
由上，本發(fā)明提出一種簡易且低成本的解決方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備中，使其相關(guān)聯(lián)的各機(jī)構(gòu)同時運動，因此減少各機(jī)構(gòu)運動時的運作空檔，進(jìn)而增加半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備的生產(chǎn)量。
本發(fā)明的目的是提供一種互鎖運動控制方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備中，可同時驅(qū)動多個移載裝置進(jìn)行工作，并且從運作流程中獲得一最佳化的運作順序。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供的互鎖運動控制方法包括步驟根據(jù)第一移載裝置是否移動至一安全位置，以判斷該第一移載裝置的安全標(biāo)記是否可設(shè)為安全狀態(tài)；移動至少一第二移載裝置至一檢查位置，開始檢查該第一移載裝置的安全標(biāo)記的狀態(tài)；當(dāng)該第一移載裝置的安全標(biāo)記為安全狀態(tài)，則使該第二移載裝置加速或勻速以完成運作；當(dāng)該第一移載裝置的安全標(biāo)記為不安全狀態(tài)，則減速該第二移載裝置，直至該安全標(biāo)記為安全狀態(tài)；由此，得到一最佳化的運作流程以及移動速度，進(jìn)而提高了半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備的生產(chǎn)效率。
上述互鎖運動控制方法，還進(jìn)一步包括步驟在所述移載裝置中設(shè)立一控制馬達(dá)，用以將所述移載裝置的運作分段控制；在所述移載裝置中設(shè)立一機(jī)械組件，連接于該控制馬達(dá)之上，并通過該控制馬達(dá)控制該機(jī)械組件的位置以及運作。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明還提供一種互鎖運動控制方法，其包括步驟定義一定位偵測裝置的安全標(biāo)記，在定位偵測中，該安全標(biāo)記設(shè)為不安全狀態(tài)，當(dāng)定位偵測完成時，該安全標(biāo)記設(shè)為安全狀態(tài)；移動至少一移載裝置至一檢查位置，開始檢查該定位偵測裝置的安全標(biāo)記的狀態(tài)；當(dāng)該定位偵測裝置的安全標(biāo)記為安全狀態(tài)，則使該移載裝置加速或勻速以完成運作；當(dāng)該定位偵測裝置的安全標(biāo)記為不安全狀態(tài)，則減速該移載裝置，直至該定位偵測裝置的安全標(biāo)記為安全狀態(tài)。
由于本發(fā)明通過控制馬達(dá)加以分段控制，因此可不須使用到傳感器偵測所述移載裝置的位置，因此，本發(fā)明還可降低設(shè)備成本，進(jìn)而提高半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備的競爭力。
為了使能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然所附圖式僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。


圖1A為已知技術(shù)的機(jī)構(gòu)運動時間曲線圖；圖1B為已知技術(shù)中提早激活機(jī)構(gòu)的運動時間曲線圖；圖2為本發(fā)明應(yīng)用于半導(dǎo)體黏晶設(shè)備的示意圖；圖3A為本發(fā)明的減速運動時間曲線圖；圖3B為本發(fā)明減速至停止的運動時間曲線圖；圖4為馬達(dá)控制裝置中的位置比較電路方塊圖；圖5為本發(fā)明的狀態(tài)流程圖；圖6為本發(fā)明的另一較佳實施例。
其中，附圖標(biāo)記說明如下10第一機(jī)構(gòu)運動時間曲線圖20第二機(jī)構(gòu)運動時間曲線圖50第一移載裝置60第二移載裝置70半導(dǎo)體晶圓75晶粒80調(diào)整地區(qū)90黏晶地區(qū)100馬達(dá)控制裝置110緩存器115比較器120編碼器130安全標(biāo)記
150定位偵測裝置160移載裝置170定位偵測區(qū)P1安全位置P2檢查位置P3停止位置具體實施方式
本發(fā)明提供一種互鎖運動控制方法，用以減少不必要的運作空檔，進(jìn)而提高半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備的生產(chǎn)效率，而以下所舉的實施例以半導(dǎo)體黏晶設(shè)備為例，然而，在實際用途上可應(yīng)用至焊線設(shè)備或覆晶設(shè)備等半導(dǎo)體后段封測設(shè)備之上，不為以下實施例所限制。
首先請參閱圖2，該圖為本發(fā)明互鎖運動控制方法應(yīng)用于半導(dǎo)體黏晶設(shè)備的示意圖，其中第一移載裝置50為控制馬達(dá)所控制的機(jī)械組件，由于控制馬達(dá)可按照使用者預(yù)先設(shè)定的行進(jìn)路徑而做加速、勻速、減速、停止的運動，不須外加傳感器(sensor)來控制第一移載裝置50行進(jìn)的路徑，設(shè)備的成本可因此而降低。
在第二移載裝置60中也包含一控制馬達(dá)以及一機(jī)械組件(在圖中未示)，該控制馬達(dá)用以將第二移載裝置60的運作分段控制，而機(jī)械組件則是連接于該控制馬達(dá)之上，并通過該控制馬達(dá)控制該機(jī)械組件的位置以及運作，本實施例中僅以兩組移載裝置(第一移載裝置50、第二移載裝置60)作為表示，然而，在實際的半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備中，可以多組移載裝置同時為之。
當(dāng)?shù)谝灰戚d裝置50上的機(jī)械組件將晶粒75從半導(dǎo)體晶圓70中取出后，控制馬達(dá)則開始移動該第一移載裝置50至調(diào)整地區(qū)80，并且將晶粒75放置于該調(diào)整地區(qū)80之上，用以分析該晶粒75的方向性并且加以調(diào)整晶粒75的位置，在分析完成后，第二移載裝置60則將晶粒75取回至黏晶地區(qū)90，用以將該晶粒75黏于一塑料基板之上，由于第一移載裝置50以及第二移載裝置60同時往調(diào)整地區(qū)80前進(jìn)，是以兩運作成為一種干涉性的互鎖運動，其中為了避免第一移載裝置50以及第二移載裝置60在調(diào)整地區(qū)80相互碰撞、干涉而發(fā)生意外，本發(fā)明因此而格外重要。
在第一移載裝置50移動的過程中，可在其移動的路徑上設(shè)立一安全位置P1，當(dāng)?shù)谝灰戚d裝置50通過該安全位置P1后，第一移載裝置50的安全標(biāo)記則可設(shè)為安全狀態(tài)，用以通知第二移載裝置60加速或勻速移動至調(diào)整地區(qū)80(之后將有更進(jìn)一步說明)，然而，安全位置P1的設(shè)立點必須配合不同用途以及內(nèi)部空間的半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備加以設(shè)置，以取得最佳的安全位置P1。
在上述的第一移載裝置50激活時，第二移載裝置60也同時激活，其目的在于減少兩運作之間不必要的運作空檔。首先第二移載裝置60被移動至其移動路徑上的檢查位置P2上，此時第二移載裝置60將會實時檢查第一移載裝置50的安全標(biāo)記是否為安全狀態(tài)，當(dāng)?shù)谝灰戚d裝置50的安全標(biāo)記為安全狀態(tài)，則第二移載裝置60加速或勻速移動至調(diào)整地區(qū)80將晶粒75取回至黏晶地區(qū)90，這樣，移動的距離則縮短成由檢查位置P2至調(diào)整地區(qū)80之間的距離，兩運作之間的運作空檔以及運作時間因此而減少，設(shè)備的生產(chǎn)量也隨之增加。
反之，當(dāng)?shù)谝灰戚d裝置50的安全標(biāo)記為不安全狀態(tài)，則第二移載裝置60進(jìn)行減速并且隨時檢查第一移載裝置50的安全標(biāo)記是否為安全狀態(tài)，直到該第一移載裝置50通過安全位置P1且安全標(biāo)記已被設(shè)為安全狀態(tài)后，第二移載裝置60才可重新加速至調(diào)整地區(qū)80。
若是第一移載裝置50的安全標(biāo)記始終為不安全狀態(tài)，為避免第二移載裝置60繼續(xù)前進(jìn)而造成與第一移載裝置50發(fā)生碰撞，因此第二移載裝置60會進(jìn)一步地減速至停止并且停在路徑中的停止位置P3之上，此時第二移載裝置60仍然不斷地檢查第一移載裝置50的安全標(biāo)記是否為安全狀態(tài)，直到第一移載裝置50的安全標(biāo)記成為安全狀態(tài)，則第二移載裝置60才可開始由靜止而重新加速至調(diào)整地區(qū)80；同樣地，檢查位置P2以及停止位置P3必須配合不同用途以及內(nèi)部空間的半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備加以設(shè)置。
請參閱圖3A及圖3B，圖3A為減速運動時間曲線圖，該圖中可明顯看出第一移載裝置50以及第二移載裝置60為同時激活，當(dāng)?shù)诙戚d裝置60行進(jìn)至檢查位置P2之后將會實時檢查第一移載裝置50的安全標(biāo)記，若安全標(biāo)記為不安全狀態(tài)，則第二移載裝置60開始減速直到第一移載裝置50通過安全位置P1并將安全標(biāo)記設(shè)為安全狀態(tài)，當(dāng)?shù)诙戚d裝置60檢查到該第一移載裝置50的安全標(biāo)記為安全狀態(tài)，則立即加速前往目的地(調(diào)整地區(qū)80)完成運作。
圖3B為減速至停止的運動時間曲線圖，當(dāng)?shù)诙戚d裝置60通過檢查位置P2后將會實時檢查第一移載裝置50的安全標(biāo)記是否為安全狀態(tài)，若第二移載裝置60始終沒有檢查到第一移載裝置50的安全標(biāo)記已為安全狀態(tài)，則第二移載裝置60將會持續(xù)地減速至停止?fàn)顟B(tài)，并且停在停止位置P3之上，此時第二移載裝置60仍然不斷地檢查第一移載裝置50的安全標(biāo)記，直到第一移載裝置50通過安全位置P1且將安全標(biāo)記設(shè)為安全狀態(tài)之后，第二移載裝置60才可立即加速前往目的地(調(diào)整地區(qū)80)進(jìn)行運作。
請參閱圖4，該圖為馬達(dá)控制裝置100中的位置比較電路方塊圖，首先，通過軟件的設(shè)定將安全位置P1的坐標(biāo)值存入緩存器110之中，由此來判斷第一移載裝置50是否已通過安全位置P1，而第一移載裝置50的實時位置坐標(biāo)經(jīng)由編碼器120加以讀取、編碼，之后將編碼完成的信號送入比較器115中，和安全位置P1的坐標(biāo)值加以比較，當(dāng)比較的結(jié)果符合安全狀態(tài)，則比較器115送出的安全標(biāo)記130可表示第一移載裝置50的所在位置為安全狀態(tài)，并且通知第二移載裝置60已可向前移動至調(diào)整地區(qū)80，反之，則通知第二移載裝置60必須減速或停止。
同樣地，檢查位置P2以及停止位置P3也另設(shè)有緩存器110可供儲存其坐標(biāo)值，當(dāng)比較器115比較出第二移載裝置60目前所在的位置已符合檢查位置P2的坐標(biāo)，比較器115則送出檢查信號去檢查安全標(biāo)記130是否符合安全狀態(tài)，更進(jìn)一步來說，當(dāng)比較器115比較出第二移載裝置60目前所在的位置已符合停止位置P3的坐標(biāo)時仍然未接收到安全狀態(tài)的安全標(biāo)記130，則第二移載裝置60即停留在停止位置P3上并且保持靜止?fàn)顟B(tài)。
圖5為本發(fā)明互鎖運動控制方法的狀態(tài)流程圖，首先同時激活第一移載裝置50以及第二移載裝置60，之后將第二移載裝置60移動至檢查位置P2(S201)，并且檢查第一移載裝置50的安全標(biāo)記130是否為安全狀態(tài)(S203)，若是為安全狀態(tài)，則第二移載裝置60將會繼續(xù)執(zhí)行、完成運作(S205)，反之，則第二移載裝置60將會開始減速(S207)，并且持續(xù)地檢查第一移載裝置50的安全標(biāo)記130是否為安全狀態(tài)(S209)，當(dāng)安全標(biāo)記130是為安全狀態(tài)時，第二移載裝置60則會重新加速(S211)，并且繼續(xù)執(zhí)行、完成運作(S205)。
若第一移載裝置50的安全標(biāo)記130仍然為不安全狀態(tài)，則第二移載裝置60將會更進(jìn)一步地減速至停止?fàn)顟B(tài)(S213)，此時第二移載裝置60仍然會不斷地檢查第一移載裝置50的安全標(biāo)記130是否為安全狀態(tài)(S215)，直到安全標(biāo)記130是為安全狀態(tài)，則第二移載裝置60將會從靜止開始加速(S217)，并將未完成的運作繼續(xù)執(zhí)行(S205)，反之，則第二移載裝置60保持靜止?fàn)顟B(tài)(S219)。
圖6為本發(fā)明的另一較佳實施例，其中定位偵測裝置150可包含一影像定位器以及一偵測探針(在該圖中未示)，該影像定位器用以讀取晶粒75的影像并加以定位，而偵測探針可測量晶粒75的各項數(shù)據(jù)；在定位偵測裝置150定位偵測的同時，該定位偵測裝置150的安全標(biāo)記130設(shè)為不安全狀態(tài)，當(dāng)定位偵測完成之后，該定位偵測裝置150的安全標(biāo)記130才可設(shè)為安全狀態(tài)。
當(dāng)定位偵測裝置150激活時，移載裝置160也同時移動至使用者所自行設(shè)定的檢查位置P2(以上述的馬達(dá)控制裝置100加以比較實時的位置)，并且開始檢查定位偵測裝置150的安全標(biāo)記130是否為安全狀態(tài)，當(dāng)安全標(biāo)記130是為安全狀態(tài)，則移載裝置160繼續(xù)前進(jìn)至定位偵測區(qū)進(jìn)行取晶步驟。
若是安全標(biāo)記130不為安全狀態(tài)，則移載裝置160進(jìn)行減速直到安全標(biāo)記130已成為安全狀態(tài)，移載裝置160才可重新加速進(jìn)行取晶，若是移載裝置160移動至檢查位置P2后始終無法檢查到定位偵測裝置150的安全標(biāo)記130為安全狀態(tài)，則移載裝置160停于使用者所設(shè)定的停止位置P3上，用以避免移載裝置160過于靠近定位偵測區(qū)170而遮到定位偵測裝置150讀取、分析晶粒75的各項數(shù)據(jù)，等到定位偵測裝置150的安全標(biāo)記130成為安全狀態(tài)，移載裝置160才可由靜止而加速至定位偵測區(qū)170進(jìn)行取晶；由于移載裝置160是預(yù)先移動至檢查位置P2而縮短了路徑，因此移載裝置160在晶粒75定位偵測完成后可立即取晶，這樣，設(shè)備的生產(chǎn)速度因此而提高。
綜上所述，本發(fā)明的互鎖運動控制方法可以減少兩運作之間的空檔時間，進(jìn)而提高半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備的生產(chǎn)量以及降低設(shè)備的成本。
但是以上所述，僅為本發(fā)明最佳之一的具體實施例的詳細(xì)說明與圖式，凡合于本發(fā)明申請的專利范圍的精神與其類似變化的實施例，皆應(yīng)包含于本發(fā)明的范疇中，任何熟悉該項技術(shù)的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的領(lǐng)域內(nèi)，可輕易思及的變化或修飾皆可涵蓋在本發(fā)明的權(quán)利要求書所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種互鎖運動控制方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備中，用以控制移載半導(dǎo)體組件的多數(shù)組移載裝置，該方法包括下列步驟a)根據(jù)第一移載裝置是否移動至一安全位置，以判斷該第一移載裝置的安全標(biāo)記是否可設(shè)為安全狀態(tài)；b)移動至少一第二移載裝置至一檢查位置，開始檢查該第一移載裝置的安全標(biāo)記的狀態(tài)；c)當(dāng)該第一移載裝置的安全標(biāo)記為安全狀態(tài)，則使該第二移載裝置加速或勻速以完成運作；d)當(dāng)該第一移載裝置的安全標(biāo)記為不安全狀態(tài)，則減速該第二移載裝置，直至該安全標(biāo)記為安全狀態(tài)；由此，得到一最佳化的運作流程以及移動速度以提高半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備的生產(chǎn)效率。
2.如權(quán)利要求1所述的互鎖運動控制方法，其中該第一移載裝置以及該第二移載裝置為同時運動及檢查狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求1所述的互鎖運動控制方法，其中還進(jìn)一步包括下列步驟在所述移載裝置中設(shè)立一控制馬達(dá)，用以將所述移載裝置的運作分段控制；在所述移載裝置中設(shè)立一機(jī)械組件，連接于該控制馬達(dá)之上，并通過該控制馬達(dá)控制該機(jī)械組件的位置以及運作。
4.如權(quán)利要求1所述的互鎖運動控制方法，其中該安全位置須配合不同用途以及內(nèi)部空間的半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備加以設(shè)置。
5.如權(quán)利要求1所述的互鎖運動控制方法，其中該檢查位置須配合不同用途以及內(nèi)部空間的半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備加以設(shè)置。
6.如權(quán)利要求1所述的互鎖運動控制方法，其中該安全標(biāo)記是通過一馬達(dá)控制裝置來比較該第一移載裝置的運作以及位置是否安全。
7.如權(quán)利要求1所述的互鎖運動控制方法，其中該檢查位置是通過一馬達(dá)控制裝置來比較該第二移載裝置所在的位置是否可進(jìn)行檢查。
8.如權(quán)利要求1所述的互鎖運動控制方法，其中該步驟d)可進(jìn)一步包括下列步驟e)當(dāng)該第二移載裝置減速后，且該第一移載裝置的安全標(biāo)記仍然為不安全狀態(tài)時，則該第二移載裝置可再進(jìn)一步減速至停止?fàn)顟B(tài)；f)再次檢查該第一移載裝置的安全標(biāo)記，若安全標(biāo)記為安全狀態(tài)，則重新激活該第二移載裝置使其完成運作，反之則保持靜止直至該安全標(biāo)記為安全狀態(tài)。
9.如權(quán)利要求8所述的互鎖運動控制方法，其中所述步驟e)的該停止?fàn)顟B(tài)指該第二移載裝置位于一停止位置上。
10.如權(quán)利要求9所述的互鎖運動控制方法，其中該停止位置須配合不同用途以及內(nèi)部空間的半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備加以設(shè)置。
11.一種互鎖運動控制方法，應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備中，其包括下列步驟a)定義一定位偵測裝置的安全標(biāo)記，在定位偵測中，該安全標(biāo)記設(shè)為不安全狀態(tài)，當(dāng)定位偵測完成時，該安全標(biāo)記設(shè)為安全狀態(tài)；b)移動至少一移載裝置至一檢查位置，開始檢查該定位偵測裝置的安全標(biāo)記的狀態(tài)；c)當(dāng)該定位偵測裝置的安全標(biāo)記為安全狀態(tài)，則使該移載裝置加速或勻速以完成運作；d)當(dāng)該定位偵測裝置的安全標(biāo)記為不安全狀態(tài)，則減速該移載裝置，直至該定位偵測裝置的安全標(biāo)記為安全狀態(tài)。
12.如權(quán)利要求11所述的互鎖運動控制方法，其中該定位偵測裝置以及該移載裝置為同時運動及檢查狀態(tài)。
13.如權(quán)利要求11所述的互鎖運動控制方法，其中該定位偵測裝置還可包含一影像定位器。
14.如權(quán)利要求11所述的互鎖運動控制方法，其中該定位偵測裝置還可包含一偵測探針。
15.如權(quán)利要求11所述的互鎖運動控制方法，其中還進(jìn)一步包括下列步驟在所述移載裝置中設(shè)立一控制馬達(dá)，用以將所述移載裝置的運作分段控制；在所述移載裝置中設(shè)立一機(jī)械組件，連接于該控制馬達(dá)之上，并通過該控制馬達(dá)控制該機(jī)械組件的位置以及運作。
16.如權(quán)利要求11所述的互鎖運動控制方法，其中該檢查位置須配合不同用途以及內(nèi)部空間的半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備加以設(shè)置。
17.如權(quán)利要求11所述的互鎖運動控制方法，其中該移載裝置移動至該檢查位置后，根據(jù)該定位偵測裝置的安全標(biāo)記做相對應(yīng)的運動調(diào)變。
18.如權(quán)利要求11所述的互鎖運動控制方法，其中該檢查位置是通過一馬達(dá)控制裝置來比較該移載裝置所在的位置是否可進(jìn)行檢查。
19.如權(quán)利要求11所述的互鎖運動控制方法，其中所述步驟d)還進(jìn)一步包括下列步驟e)當(dāng)該移載裝置減速后，且該定位偵測裝置的安全標(biāo)記仍然為不安全狀態(tài)時，則該移載裝置可再進(jìn)一步減速至停止?fàn)顟B(tài)；f)再次檢查該定位偵測裝置的安全標(biāo)記，若安全標(biāo)記為安全狀態(tài)，則重新激活該移載裝置使其完成運作，反之則保持靜止直至該安全標(biāo)記為安全狀態(tài)。
20.如權(quán)利要求19所述的互鎖運動控制方法，其中該步驟e)的該停止?fàn)顟B(tài)指該移載裝置位于一停止位置上。
21.如權(quán)利要求20所述的互鎖運動控制方法，其中該停止位置須配合不同用途以及內(nèi)部空間的半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備加以設(shè)置。
全文摘要
一種互鎖運動控制方法，用于半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備中，以控制移載半導(dǎo)體組件的多數(shù)組移載裝置，包括步驟根據(jù)第一移載裝置是否移動至安全位置，判斷該第一移載裝置的安全標(biāo)記是否可設(shè)為安全狀態(tài)；移動至少一第二移載裝置至檢查位置，開始檢查該第一移載裝置的安全標(biāo)記狀態(tài)；當(dāng)該第一移載裝置的安全標(biāo)記為安全狀態(tài)，則使該第二移載裝置加速或勻速以使其完成運作；當(dāng)該第一移載裝置的安全標(biāo)記為不安全狀態(tài)，則減速該第二移載裝置，直至該安全標(biāo)記為安全狀態(tài)。通過該方法可避免在同一時間運動中的移載裝置發(fā)生互相碰撞，進(jìn)而減短各運作間的運作空檔，以得到最佳化的運作流程及移動速度，提高半導(dǎo)體封裝、測試設(shè)備的生產(chǎn)量，達(dá)到省時安全的主要目標(biāo)。
文檔編號G05D11/00GK1624863SQ20031011988
公開日2005年6月8日 申請日期2003年12月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月5日
發(fā)明者黃甦, 趙時興, 粘永峰 申請人:財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院