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垂直耦合納米光波導(dǎo)雙光路芯片級原子鐘的制作方法

文檔序號:11917068閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種垂直耦合納米光波導(dǎo)雙光路芯片級原子鐘,包括激光器,其特征在于:所述激光器出射的光束通過垂直耦合光柵Ⅰ耦合進(jìn)入Y波導(dǎo)分束器,其中一束光經(jīng)過相位調(diào)制單元后輸出,另外一束光經(jīng)調(diào)節(jié)補償后輸出,兩路光束再分別經(jīng)過垂直耦合光柵Ⅱ和垂直耦合光柵Ⅲ輸出,依次經(jīng)過偏振片、衰減片、波片、準(zhǔn)直、聚焦之后進(jìn)入氣室,出射后,兩束光經(jīng)過探測單元轉(zhuǎn)化為電信號后經(jīng)過減法器輸入集成電路芯片,所述集成電路芯片對激光器和相位調(diào)制單元進(jìn)行調(diào)控。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直耦合納米光波導(dǎo)雙光路芯片級原子鐘,其特征在于:所述氣室為銣原子氣室,所述銣原子氣室位于磁場線圈中,其上下布置有BF33玻璃,并配有加熱單元。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直耦合納米光波導(dǎo)雙光路芯片級原子鐘,其特征在于:所述Y波導(dǎo)分束器中,其中一束光經(jīng)調(diào)制電極產(chǎn)生相位差恒定的相干光后輸出,另外一束光由歐姆電極調(diào)節(jié)補償以此與調(diào)制光路一致后輸出。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直耦合納米光波導(dǎo)雙光路芯片級原子鐘,其特征在于:所述垂直耦合光柵Ⅱ和垂直耦合光柵Ⅲ均為漸變光柵。

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