激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,屬于光學(xué)元件檢測技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在精密光學(xué)工程方面,某些領(lǐng)域需要準(zhǔn)確測量激光與光學(xué)元件作用時的相對夾角。例如高功率激光器中晶體匹配角測試,精度要求高達(dá)1yrad量級;在其他一些對光學(xué)元件指標(biāo)有嚴(yán)格要求的工程裝置中,對激光入射角的準(zhǔn)確測量還必須要涵蓋于光學(xué)元件的生產(chǎn)、加工、鍍膜中?,F(xiàn)階段,一些高精度激光準(zhǔn)直儀能夠?qū)崿F(xiàn)5 μ rad的角度偏差測量,但激光準(zhǔn)直儀采用直接測量的方式,容易被高能量激光損壞,同時直接測量晶體類元件時,可能出現(xiàn)色差現(xiàn)象,會大幅降低測量精度。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為解決以上技術(shù)問題,本實用新型提供一種高精度的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,能夠?qū)す馊肷浣沁M(jìn)行測量和調(diào)試,并實時監(jiān)測角漂。
[0004]其技術(shù)方案如下:
[0005]—種激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,包括元件光機(jī)座和向該元件光機(jī)座發(fā)射激光光束的激光器,所述元件光機(jī)座用于調(diào)節(jié)被測光學(xué)元件的偏擺與俯仰,其要點在于:所述元件光機(jī)座一側(cè)設(shè)有第一激光自準(zhǔn)直儀,另一側(cè)設(shè)有劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡,所述第一激光自準(zhǔn)直儀與元件光機(jī)座之間設(shè)有第一反射鏡;
[0006]所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡遠(yuǎn)離元件光機(jī)座的一側(cè)設(shè)有第二激光自準(zhǔn)直儀,該劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡與元件光機(jī)座之間設(shè)有分光反射鏡,所述分光反射鏡位于激光器的入射光路中,該分光反射鏡上方設(shè)有第二反射鏡。
[0007]采用以上結(jié)構(gòu),可以利用第一激光自準(zhǔn)直儀實現(xiàn)對被測光學(xué)元件與劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡間的夾角,即激光入射角的準(zhǔn)直和測量,并能夠通過元件光機(jī)座調(diào)節(jié)該夾角,利用第二激光自準(zhǔn)直儀實時監(jiān)測激光角漂,測量過程中,激光光束經(jīng)反射鏡后入射到相應(yīng)的激光自準(zhǔn)直儀上,避免直接測量導(dǎo)致設(shè)備及元件損壞,同時,采用分光反射鏡解決了可能出現(xiàn)的色差問題,大大提高的測量精度。
[0008]優(yōu)選地,所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡的劈角大于1°,以進(jìn)一步改善色差現(xiàn)象。
[0009]為進(jìn)一步提高測量精度,所述分光反射鏡前后表面之間的夾角小于2"。
[0010]為便于調(diào)整光學(xué)元件位姿,以調(diào)節(jié)激光入射角并適時修正角漂,所述元件光機(jī)座優(yōu)選為六維調(diào)整架。
[0011]有益效果:
[0012]采用以上技術(shù)方案的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,其測量精度高,適用于1500"范圍內(nèi)激光入射角的測量和調(diào)試工作,同時能夠?qū)崟r監(jiān)測激光角漂,當(dāng)角漂值過大時,可以根據(jù)使用需求進(jìn)行角度修正。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0014]圖中,1、元件光機(jī)座,2、激光器,3、第一激光自準(zhǔn)直儀,4、劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡,5、第一反射鏡,6、第二激光自準(zhǔn)直儀,7、分光反射鏡,8第二反射鏡,9、被測光學(xué)元件,10、入射激光,11、
出射激光。
【具體實施方式】
[0015]以下結(jié)合實施例和附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明。
[0016]如圖1所示的一種激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,包括用于安裝被測光學(xué)元件9的元件光機(jī)座1,該元件光機(jī)座I優(yōu)選采用六維調(diào)整架,在元件光機(jī)座I的前后兩側(cè)個設(shè)有一個激光自準(zhǔn)直儀,即第一激光自準(zhǔn)直儀3和第二激光自準(zhǔn)直儀6。
[0017]在元件光機(jī)座I與第二激光自準(zhǔn)直儀6之間設(shè)有劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4,該劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4的劈角大于1°,在劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4與元件光機(jī)座I之間架設(shè)有分光反射鏡7,該分光反射鏡7前后表面之間的夾角小于2"。
[0018]在第一激光自準(zhǔn)直儀3和被測光學(xué)元件9之間設(shè)有第一反射鏡5,同時,在分光反射鏡7上方相應(yīng)設(shè)有第二反射鏡8。
[0019]將被測光學(xué)元件9放置到元件光機(jī)座I上后,觀測第一激光自準(zhǔn)直儀3,調(diào)節(jié)元件光機(jī)座I,使光學(xué)元件9和劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4的迎光面平行。
[0020]移開分光反射鏡7,調(diào)節(jié)第二激光自準(zhǔn)直儀6,使被測光學(xué)元件9反射回的光束入射于第二激光自準(zhǔn)直儀6中心。
[0021]加入分光反射鏡7和第二反射鏡8,打開激光器2,入射激光10部分經(jīng)分光反射鏡7后入射至第二反射鏡8,再反射回分光反射鏡7,經(jīng)劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4入射至第二激光自準(zhǔn)直儀6,另一部分入射激光10經(jīng)分光反射鏡7和被測光學(xué)元件9后,進(jìn)而通過第一反射鏡5形成出射激光11。
[0022]再次調(diào)節(jié)第二激光自準(zhǔn)直儀6,使被測光學(xué)元件9、第二反射鏡8反射的測量激光入射于該第二激光自準(zhǔn)直儀6中心,完成整套系統(tǒng)的光路準(zhǔn)直。
[0023]調(diào)節(jié)元件光機(jī)座I角度,觀測第一激光自準(zhǔn)直儀3,即可調(diào)節(jié)被測光學(xué)元件9和劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡4之間的夾角,該夾角即為激光與被測元件9間的夾角(入射角),第二激光自準(zhǔn)直儀6對激光漂移狀況進(jìn)行實時監(jiān)測。
[0024]最后需要說明的是,上述描述僅僅為本實用新型的優(yōu)選實施例,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實用新型的啟示下,在不違背本實用新型宗旨及權(quán)利要求的前提下,可以做出多種類似的表示,這樣的變換均落入本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,包括元件光機(jī)座(I)和向該元件光機(jī)座(I)發(fā)射激光光束的激光器(2),所述元件光機(jī)座(I)用于調(diào)節(jié)被測光學(xué)元件的偏擺與俯仰,其特征在于:所述元件光機(jī)座(I) 一側(cè)設(shè)有第一激光自準(zhǔn)直儀(3),另一側(cè)設(shè)有劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡(4),所述第一激光自準(zhǔn)直儀(3)與元件光機(jī)座(I)之間設(shè)有第一反射鏡(5); 所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡(4)遠(yuǎn)離元件光機(jī)座(I)的一側(cè)設(shè)有第二激光自準(zhǔn)直儀¢),該劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡(4)與元件光機(jī)座(I)之間設(shè)有分光反射鏡(7),所述分光反射鏡(7)位于激光器(2)的入射光路中,該分光反射鏡(7)上方設(shè)有第二反射鏡(8)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,其特征在于:所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡(4)的劈角大于1°。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,其特征在于:所述分光反射鏡(7)前后表面之間的夾角小于2"。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,其特征在于:所述元件光機(jī)座(I)為六維調(diào)整架。
【專利摘要】本實用新型公開了一激光入射角調(diào)試及角漂監(jiān)測裝置,包括元件光機(jī)座和向該元件光機(jī)座發(fā)射激光光束的激光器,所述元件光機(jī)座用于調(diào)節(jié)被測光學(xué)元件的偏擺與俯仰,所述元件光機(jī)座一側(cè)設(shè)有第一激光自準(zhǔn)直儀,另一側(cè)設(shè)有劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡,所述第一激光自準(zhǔn)直儀與元件光機(jī)座之間設(shè)有第一反射鏡;所述劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡遠(yuǎn)離元件光機(jī)座的一側(cè)設(shè)有第二激光自準(zhǔn)直儀,該劈板標(biāo)準(zhǔn)鏡與元件光機(jī)座之間設(shè)有分光反射鏡,所述分光反射鏡位于激光器的入射光路中,該分光反射鏡上方設(shè)有第二反射鏡。本實用新型其測量精度高,適用于1500″范圍內(nèi)激光入射角的測量和調(diào)試工作,同時能夠?qū)崟r監(jiān)測激光角漂,當(dāng)角漂值過大時,可以根據(jù)使用需求進(jìn)行角度修正。
【IPC分類】G01M11/00
【公開號】CN204924614
【申請?zhí)枴緾N201520628622
【發(fā)明人】徐旭, 獨偉鋒, 葉朗, 熊召, 袁曉東, 劉長春, 陳清海
【申請人】中國工程物理研究院激光聚變研究中心
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年8月20日