空間移相系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種利用空間移相干涉測量技術(shù)進(jìn)行測試的空間移相系統(tǒng)，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]移相干涉術(shù)是以光波波長為單位的非接觸式測量技術(shù)，具有極高的測量精度和靈敏度，被認(rèn)為是檢測精密元件的最準(zhǔn)確技術(shù)之一。早在200多年前，人們就注意到了了光的干涉現(xiàn)象，并開始有計(jì)劃的控制干涉現(xiàn)象。但是直到I960年第一臺紅寶石激光器的研制成功，干涉現(xiàn)象才開始廣泛應(yīng)用于測量領(lǐng)域。傳統(tǒng)的干涉測量技術(shù)主要是通過照相或人眼直接觀察干涉條紋，手工計(jì)算測量結(jié)果的方式進(jìn)行的，效率低下，主觀誤差較大。1974年Bruning等人首次將通訊領(lǐng)域中的相位探測技術(shù)引入到光學(xué)測量中，使經(jīng)典的干涉測量技術(shù)從微米級跨入納米級，實(shí)現(xiàn)光學(xué)計(jì)量測試的重大突破。80年代以來，隨著激光技術(shù)、光電探測技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、圖像處理技術(shù)和精密機(jī)械等技術(shù)在光學(xué)測試中的逐步應(yīng)用，移相干涉技術(shù)得到進(jìn)一步發(fā)展，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)、快速、多參數(shù)、自動(dòng)化的測量。
[0003]時(shí)間移相是在不同時(shí)刻引入有序相移并記錄多幅干涉圖，并通過不同的算法得出待測的相位分布。而時(shí)間移相法是通過探測器在同一空間位置不同時(shí)刻采集，得到不同相移的干涉圖，此方法對作用于被測元件的振動(dòng)非常敏感，因此只適用于靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)位相的測量，不能用于動(dòng)態(tài)測量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0005]本實(shí)用新型提供了一種空間移相系統(tǒng)，主要包括光源、多個(gè)半反半透鏡、多個(gè)反射鏡、多個(gè)探測器和多個(gè)移相器，其中，每個(gè)探測器對應(yīng)一個(gè)移相器，多個(gè)探測器之間并列平行設(shè)置，多個(gè)移相器也并列平行設(shè)置。
[0006]優(yōu)選的，上述多個(gè)半反半透鏡包括第一半反半透鏡、第二半反半透鏡和第三半反半透鏡。
[0007]優(yōu)選的，上述多個(gè)反射鏡包括第一反射鏡、第二反射鏡、第三反射鏡。
[0008]優(yōu)選的，上述第一半反半透鏡對應(yīng)第一反射鏡和第二半反半透鏡設(shè)置，所述第一反射鏡對應(yīng)第三半反半透鏡設(shè)置。
[0009]優(yōu)選的，上述第二反射鏡設(shè)置在第一移相器前側(cè)，第二半反半透鏡設(shè)置在第二移相器前側(cè)，第三半反半透鏡設(shè)置在第三移相器前側(cè)，第三反射鏡設(shè)置在第四移相器前側(cè)。
[0010]優(yōu)選的，上述光源發(fā)出的光線經(jīng)過第一半反半透鏡后，一路經(jīng)過第二半反半透鏡后分別到達(dá)第二移相器和到達(dá)第二反射鏡，另一路經(jīng)第一反射鏡反射后到達(dá)第三半反半透鏡，再分別到達(dá)第三移相器和第三反射鏡。
[0011]本實(shí)用新型提供的空間移相系統(tǒng)是在同一時(shí)刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時(shí)盡管系統(tǒng)依然處于振動(dòng)環(huán)境中，但對各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了相位的動(dòng)態(tài)測量。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]附圖標(biāo)記:1_光源；2_第一半反半透鏡；3_第一反射鏡；41_第二反射鏡；42 —第一移相器；43_第一探測器；51_第二半反半透鏡；52_第二移相器；53_第二探測器；61-第三半反半透鏡；62—第三移相器；63_第三探測器；71_第三反射鏡；72_第四移相器；73-第四探測器。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0015]如圖1所示，本實(shí)用新型提供的空間移相系統(tǒng)，空間移相系統(tǒng)主要包括光源1、多個(gè)半反半透鏡、多個(gè)反射鏡、多個(gè)探測器和多個(gè)移相器，其中，每個(gè)探測器對應(yīng)一個(gè)移相器，多個(gè)探測器之間并列平行設(shè)置，多個(gè)移相器也并列平行設(shè)置。
[0016]其中，多個(gè)半反半透鏡包括第一半反半透鏡2、第二半反半透鏡51和第三半反半透鏡61。多個(gè)反射鏡包括第一反射鏡3、第二反射鏡41、第三反射鏡71。第一半反半透鏡2對應(yīng)第一反射鏡3和第二半反半透鏡51設(shè)置，第一反射鏡3對應(yīng)第三半反半透鏡61設(shè)置。第二反射鏡41設(shè)置在第一移相器42前側(cè)，第二半反半透鏡51設(shè)置在第二移相器52前側(cè)，第三半反半透鏡61設(shè)置在第三移相器62前側(cè)，第三反射鏡71設(shè)置在第四移相器72前側(cè)。
[0017]本實(shí)用新型的工作方法是:光源I發(fā)出的光線經(jīng)過第一半反半透鏡2后，一路經(jīng)過第二半反半透鏡51后分別到達(dá)第二移相器52和到達(dá)第二反射鏡41，另一路經(jīng)第一反射鏡3反射后到達(dá)第三半反半透鏡61，再分別到達(dá)第三移相器62和第三反射鏡71。
[0018]本實(shí)用新型提供的空間移相系統(tǒng)如圖1所示，是在同一時(shí)刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時(shí)盡管系統(tǒng)依然處于振動(dòng)環(huán)境中，但對各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了相位的動(dòng)態(tài)測量。采用分光系統(tǒng)將入射光分成完全相同的四組光束，經(jīng)過移相器時(shí)分別引入了 0、31/2、、3 /2的相移，通過四路探測器分別接收對應(yīng)相移的干涉圖，計(jì)算此時(shí)的相位分布。
[0019]以上所述之【具體實(shí)施方式】為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍，本實(shí)用新型的范圍包括并不限于本【具體實(shí)施方式】，凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種空間移相系統(tǒng)，其特征在于:所述空間移相系統(tǒng)主要包括光源(I)、多個(gè)半反半透鏡、多個(gè)反射鏡、多個(gè)探測器和多個(gè)移相器，其中，每個(gè)探測器對應(yīng)一個(gè)移相器，多個(gè)探測器之間并列平行設(shè)置，多個(gè)移相器也并列平行設(shè)置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間移相系統(tǒng)，其特征在于:所述多個(gè)半反半透鏡包括第一半反半透鏡(2)、第二半反半透鏡(51)和第三半反半透鏡(61)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空間移相系統(tǒng)，其特征在于:所述多個(gè)反射鏡包括第一反射鏡(3)、第二反射鏡(41)、第三反射鏡(71)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的空間移相系統(tǒng)，其特征在于:所述第一半反半透鏡(2)對應(yīng)第一反射鏡(3)和第二半反半透鏡(51)設(shè)置，所述第一反射鏡(3)對應(yīng)第三半反半透鏡(61)設(shè)置。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的空間移相系統(tǒng)，其特征在于:所述第二反射鏡(41)設(shè)置在第一移相器(42)前側(cè)，第二半反半透鏡(51)設(shè)置在第二移相器(52)前側(cè)，第三半反半透鏡(61)設(shè)置在第三移相器￠2)前側(cè)，第三反射鏡(71)設(shè)置在第四移相器(72)前側(cè)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的空間移相系統(tǒng)，其特征在于:所述光源(I)發(fā)出的光線經(jīng)過第一半反半透鏡(2)后，一路經(jīng)過第二半反半透鏡(51)后分別到達(dá)第二移相器(52)和到達(dá)第二反射鏡(41)，另一路經(jīng)第一反射鏡(3)反射后到達(dá)第三半反半透鏡(61)，再分別到達(dá)第三移相器出2)和第三反射鏡(71)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種空間移相系統(tǒng)，空間移相系統(tǒng)主要包括光源(1)、多個(gè)半反半透鏡、多個(gè)反射鏡、多個(gè)探測器和多個(gè)移相器，其中，每個(gè)探測器對應(yīng)一個(gè)移相器，多個(gè)探測器之間并列平行設(shè)置，多個(gè)移相器也并列平行設(shè)置。本實(shí)用新型提供的空間移相系統(tǒng)是在同一時(shí)刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時(shí)盡管系統(tǒng)依然處于振動(dòng)環(huán)境中，但對各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了相位的動(dòng)態(tài)測量。
【IPC分類】G01J9/02
【公開號】CN204831569
【申請?zhí)枴緾N201520261942
【發(fā)明人】林燕彬
【申請人】林燕彬
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年4月25日