空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種利用空間移相干涉測(cè)量技術(shù)進(jìn)行測(cè)試的空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)，屬于干涉儀領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]移相干涉術(shù)是以光波波長(zhǎng)為單位的非接觸式測(cè)量技術(shù)，具有極高的測(cè)量精度和靈敏度，被認(rèn)為是檢測(cè)精密元件的最準(zhǔn)確技術(shù)之一。早在200多年前，人們就注意到了了光的干涉現(xiàn)象，并開(kāi)始有計(jì)劃的控制干涉現(xiàn)象。但是直到I960年第一臺(tái)紅寶石激光器的研制成功，干涉現(xiàn)象才開(kāi)始廣泛應(yīng)用于測(cè)量領(lǐng)域。傳統(tǒng)的干涉測(cè)量技術(shù)主要是通過(guò)照相或人眼直接觀察干涉條紋，手工計(jì)算測(cè)量結(jié)果的方式進(jìn)行的，效率低下，主觀誤差較大。1974年Bruning等人首次將通訊領(lǐng)域中的相位探測(cè)技術(shù)引入到光學(xué)測(cè)量中，使經(jīng)典的干涉測(cè)量技術(shù)從微米級(jí)跨入納米級(jí)，實(shí)現(xiàn)光學(xué)計(jì)量測(cè)試的重大突破。80年代以來(lái)，隨著激光技術(shù)、光電探測(cè)技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、圖像處理技術(shù)和精密機(jī)械等技術(shù)在光學(xué)測(cè)試中的逐步應(yīng)用，移相干涉技術(shù)得到進(jìn)一步發(fā)展，實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)、快速、多參數(shù)、自動(dòng)化的測(cè)量。
[0003]時(shí)間移相是在不同時(shí)刻引入有序相移并記錄多幅干涉圖，并通過(guò)不同的算法得出待測(cè)的相位分布。而時(shí)間移相法是通過(guò)探測(cè)器在同一空間位置不同時(shí)刻采集，得到不同相移的干涉圖，此方法對(duì)作用于被測(cè)元件的振動(dòng)非常敏感，因此只適用于靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài)位相的測(cè)量，不能用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場(chǎng)上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0005]本實(shí)用新型提供了一種空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)，主要包括光源、第一半反半透鏡、第一反射鏡、第二反射鏡、第二半反半透鏡、第三半反半透鏡和第三反射鏡，所述第二反射鏡對(duì)應(yīng)設(shè)置第一移相器和第一探測(cè)器，第二半反半透鏡對(duì)應(yīng)設(shè)置第二移相器和第二探測(cè)器，第三半反半透鏡對(duì)應(yīng)設(shè)置第三移相器和第三探測(cè)器，第三反射鏡對(duì)應(yīng)設(shè)置第四移相器和第四探測(cè)器。
[0006]優(yōu)選的，上述系統(tǒng)還包括控制器和計(jì)算機(jī)。
[0007]優(yōu)選的，上述系統(tǒng)還包括控制器和計(jì)算機(jī)。
[0008]優(yōu)選的，上述第一探測(cè)器、第二探測(cè)器、第三探測(cè)器和第四探測(cè)器分別與控制器連接。
[0009]優(yōu)選的，上述計(jì)算機(jī)分別與光源和控制器連接。
[0010]優(yōu)選的，上述第一探測(cè)器、第二探測(cè)器、第三探測(cè)器和第四探測(cè)器分別與控制器連接。
[0011]優(yōu)選的，上述計(jì)算機(jī)分別與光源和控制器連接。
[0012]優(yōu)選的，上述光源發(fā)出的光線經(jīng)過(guò)第一半反半透鏡后，一路經(jīng)過(guò)第二半反半透鏡后分別到達(dá)第二二移相器和到達(dá)第二反射鏡，另一路經(jīng)第一反射鏡反射后到達(dá)第三半反半透鏡，再分別到達(dá)第三移相器和第三反射鏡。
[0013]本實(shí)用新型提供的空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)是在同一時(shí)刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時(shí)盡管系統(tǒng)依然處于振動(dòng)環(huán)境中，但對(duì)各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了相位的動(dòng)態(tài)測(cè)量。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]附圖標(biāo)記:1_光源；2_第一半反半透鏡；3_第一反射鏡；41_第二反射鏡；42_第一移相器；43_第一探測(cè)器；51_第二半反半透鏡；52_第二移相器；53_第二探測(cè)器；61_第三半反半透鏡；62_第三移相器；63_第三探測(cè)器；71_第三反射鏡；72_第四移相器；73_第四探測(cè)器；8_控制器；9_計(jì)算機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下畫(huà)結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0017]如圖1所示，本實(shí)用新型提供的空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)，空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)主要包括光源1、第一半反半透鏡2、第一反射鏡3、第二反射鏡41、第二半反半透鏡51、第三半反半透鏡61和第三反射鏡71，第二反射鏡41對(duì)應(yīng)設(shè)置第一移相器42和第一探測(cè)器43，第二半反半透鏡51對(duì)應(yīng)設(shè)置第二移相器52和第二探測(cè)器53，第三半反半透鏡61對(duì)應(yīng)設(shè)置第三移相器62和第三探測(cè)器63，第三反射鏡71對(duì)應(yīng)設(shè)置第四移相器72和第四探測(cè)器73。
[0018]此外，系統(tǒng)還包括控制器8和計(jì)算機(jī)9。第一探測(cè)器43、第二探測(cè)器53、第三探測(cè)器63和第四探測(cè)器73分別與控制器8連接。計(jì)算機(jī)9分別與光源I和控制器8連接。光源I發(fā)出的光線經(jīng)過(guò)第一半反半透鏡2后，一路經(jīng)過(guò)第二半反半透鏡51后分別到達(dá)第二移相器52和到達(dá)第二反射鏡41，另一路經(jīng)第一反射鏡3反射后到達(dá)第三半反半透鏡61，再分別到達(dá)第三移相器62和第三反射鏡71。
[0019]本實(shí)用新型提供的空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)如圖1所示，是在同一時(shí)刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，這時(shí)盡管系統(tǒng)依然處于振動(dòng)環(huán)境中，但對(duì)各干涉圖的影響相同，從根本上克服了振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了相位的動(dòng)態(tài)測(cè)量。采用分光系統(tǒng)將入射光分成完全相同的四組光束，經(jīng)過(guò)移相器時(shí)分別引入了 0、31/2、、3 31/2的相移，通過(guò)四路探測(cè)器分別接收對(duì)應(yīng)相移的干涉圖，計(jì)算此時(shí)的相位分布。
[0020]以上所述之【具體實(shí)施方式】為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍，本實(shí)用新型的范圍包括并不限于本【具體實(shí)施方式】，凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)，其特征在于:所述空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)主要包括光源(I)、第一半反半透鏡(2)、第一反射鏡(3)、第二反射鏡(41)、第二半反半透鏡(51)、第三半反半透鏡出1)和第三反射鏡(71)，所述第二反射鏡(41)對(duì)應(yīng)設(shè)置第一移相器(42)和第一探測(cè)器(43)，第二半反半透鏡(51)對(duì)應(yīng)設(shè)置第二移相器(52)和第二探測(cè)器(53)，第三半反半透鏡出1)對(duì)應(yīng)設(shè)置第三移相器(62)和第三探測(cè)器(63)，第三反射鏡(71)對(duì)應(yīng)設(shè)置第四移相器(72)和第四探測(cè)器(73);系統(tǒng)還包括控制器⑶和計(jì)算機(jī)(9);第一探測(cè)器(43)、第二探測(cè)器(53)、第三探測(cè)器(63)和第四探測(cè)器(73)分別與控制器(8)連接；述計(jì)算機(jī)(9)分別與光源(I)和控制器(8)連接；光源(I)發(fā)出的光線經(jīng)過(guò)第一半反半透鏡(2)后，一路經(jīng)過(guò)第二半反半透鏡(51)后分別到達(dá)第二移相器(52)和到達(dá)第二反射鏡(41)，另一路經(jīng)第一反射鏡(3)反射后到達(dá)第三半反半透鏡(61)，再分別到達(dá)第三移相器(62)和第三反射鏡(71) ?
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種空間計(jì)算機(jī)移相干涉系統(tǒng)，主要包括光源(1)、第一半反半透鏡(2)、第一反射鏡(3)、第二反射鏡(41)、第二半反半透鏡(51)、第三半反半透鏡(61)和第三反射鏡(71)，所述第二反射鏡(41)對(duì)應(yīng)設(shè)置第一移相器(42)和第一探測(cè)器(43)，第二半反半透鏡(51)對(duì)應(yīng)設(shè)置第二移相器(52)和第二探測(cè)器(53)，第三半反半透鏡(61)對(duì)應(yīng)設(shè)置第三移相器(62)和第三探測(cè)器(63)，第三反射鏡(71)對(duì)應(yīng)設(shè)置第四移相器(72)和第四探測(cè)器(73)，還包括控制器(8)和計(jì)算機(jī)(9)。本實(shí)用新型是在同一時(shí)刻不同位置獲得具有特定相移的多幅干涉圖，從根本上克服了振動(dòng)的影響，實(shí)現(xiàn)了相位的動(dòng)態(tài)測(cè)量。
【IPC分類】G01J9/02
【公開(kāi)號(hào)】CN204666260
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520271383
【發(fā)明人】林永東
【申請(qǐng)人】林永東
【公開(kāi)日】2015年9月23日
【申請(qǐng)日】2015年4月27日