一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種樣品定位裝置，屬于顯微觀測(cè)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]在掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)中，將曲率半徑為原子量級(jí)的針尖和被研究物質(zhì)的表面作為兩個(gè)電極，當(dāng)樣品與針尖的距離非常接近時(shí)(通常小于lnm)，在外加電場(chǎng)的作用下，電子會(huì)穿過(guò)兩個(gè)電極之間的絕緣層流向另一個(gè)電極，產(chǎn)生穿隧電流。計(jì)算機(jī)記錄穿隧電流并控制施加于壓電管的電壓，以產(chǎn)生與樣品表面相應(yīng)的三維地圖，從而反映樣品表面的形貌特征。掃描隧道顯微鏡的傳統(tǒng)用法是用于掃描平放材料上下兩端的表面形貌，部分材料，例如薄片結(jié)構(gòu)的材料，由于材料無(wú)法立向擺放，無(wú)法掃描材料的其他側(cè)面，造成了掃描的局限性，同時(shí)，現(xiàn)有顯微鏡無(wú)法掃描樣品的截面。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于:提供一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，以解決現(xiàn)有掃描隧道顯微鏡由于沒(méi)有特定的樣品定位裝置，樣品的截面和部分側(cè)面無(wú)法直接掃描，使得掃描具有局限性的問(wèn)題。
[0004]本實(shí)用新型的方案如下:一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，包括樣品盤(pán)，樣品盤(pán)上固定設(shè)置有滑道，滑道上滑動(dòng)設(shè)置有定位滑塊，滑道的一端固定設(shè)置有限位座。
[0005]優(yōu)選地，所述滑道包括相互平行設(shè)置的第一滑桿和第二滑桿，第一滑桿和第二滑桿分別設(shè)置在定位滑塊的兩側(cè)，且定位滑塊的兩側(cè)對(duì)應(yīng)滑動(dòng)設(shè)置在第一滑桿和第二滑桿上。
[0006]優(yōu)選地，還包括有旋鈕，旋鈕設(shè)置在與限位座相對(duì)的定位滑塊的另一側(cè)，旋鈕5與定位滑塊的滑動(dòng)方向相平行，且旋鈕的一端固定在定位滑塊上，滑道與限位座相對(duì)的另一端設(shè)置有側(cè)壁，旋鈕的另一端穿過(guò)側(cè)壁，且旋鈕與側(cè)壁螺紋連接。
[0007]優(yōu)選地，滑道、定位滑塊和限位座的表面均為鏡面結(jié)構(gòu)，在對(duì)準(zhǔn)探針時(shí)，通過(guò)探針在樣品盤(pán)上的倒影可以確定探針與托盤(pán)的距離，這樣可以方便探針的對(duì)準(zhǔn)。
[0008]將樣品垂直固定在樣品盤(pán)上，在固定樣品之前，將要掃描截面選好，并用刀片獲取，為防止掃描截面在空氣中氧化，并不取下樣品的多余部分，而是待傳到真空環(huán)境中之后，使樣品和樣品臺(tái)碰撞，讓多余部分與樣品脫落，從而露出截面，樣品截面，樣品截面和樣品盤(pán)表面位于同一平面。傳入STM中掃描，從而反映樣品截面的形貌特征。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，主要優(yōu)點(diǎn)是在原有樣品盤(pán)上增加了用于固定樣品的裝置，能夠使樣品以多種角度進(jìn)行固定，從而通過(guò)掃描隧道顯微鏡對(duì)樣品的各個(gè)表面進(jìn)行掃描，消除了現(xiàn)有顯微鏡的掃描部位具有局限性的問(wèn)題，同時(shí)，采用本裝置后，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)樣品各個(gè)截面的掃描，對(duì)于研究樣品截面的顯微結(jié)構(gòu)具有十分重要的意義，本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，成本也較低，便于推廣應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2是本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將參照附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，
[0012]實(shí)施例:
[0013]參照?qǐng)D1，本實(shí)施例所述一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，包括:
[0014]樣品盤(pán)1、滑道2、定位滑塊3、限位座4、旋鈕5和側(cè)壁6 ；
[0015]所述滑道2、定位滑塊3和限位座4的表面均為鏡面結(jié)構(gòu)，滑道2固定設(shè)置在樣品盤(pán)I上，定位滑塊3滑動(dòng)設(shè)置在滑道2上，限位座4和側(cè)壁6對(duì)應(yīng)固定設(shè)置在滑道2的兩端，滑道2包括相互平行設(shè)置的第一滑桿21和第二滑桿22，第一滑桿21和第二滑桿22分別設(shè)置在定位滑塊3的兩側(cè)，且定位滑塊3的兩側(cè)對(duì)應(yīng)滑動(dòng)設(shè)置在第一滑桿21和第二滑桿22上。
[0016]旋鈕5設(shè)置在與限位座4相對(duì)的定位滑塊3的另一側(cè)，旋鈕5與定位滑塊3的滑動(dòng)方向相平行，且旋鈕5的一端固定在定位滑塊3上，旋鈕5上設(shè)置有外螺紋，側(cè)壁6上設(shè)置有螺紋孔61，旋鈕5上的外螺紋恰好與螺紋孔61的內(nèi)螺紋相匹配，旋鈕5的另一端穿過(guò)螺紋孔61，轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕5即可控制定位滑塊3在滑道2上的滑動(dòng)，對(duì)于薄片類的樣品7來(lái)說(shuō)，只需將其豎在定位滑塊3和限位座4之間，控制定位滑塊3，使樣品7夾緊定位在定位滑塊3和限位座4之間，再通過(guò)掃描隧道顯微鏡系統(tǒng)進(jìn)行掃描，即可得到以前無(wú)法掃描到的，樣品7側(cè)面或截面等的顯微結(jié)構(gòu)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，包括樣品盤(pán)(1)，其特征在于:樣品盤(pán)(I)上固定設(shè)置有滑道(2)，滑道(2)上滑動(dòng)設(shè)置有定位滑塊(3)，滑道(2)的一端固定設(shè)置有限位座(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，其特征在于:所述滑道(2)包括相互平行設(shè)置的第一滑桿(21)和第二滑桿(22)，第一滑桿(21)和第二滑桿(22)分別設(shè)置在定位滑塊(3)的兩側(cè)，且定位滑塊(3)的兩側(cè)對(duì)應(yīng)滑動(dòng)設(shè)置在第一滑桿(21)和第二滑桿(22)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，其特征在于:還包括有旋鈕(5)，旋鈕(5)設(shè)置在與限位座(4)相對(duì)的定位滑塊(3)的另一側(cè)，旋鈕(5)與定位滑塊(3)的滑動(dòng)方向相平行，且旋鈕(5)的一端固定在定位滑塊(3)上，滑道(2)與限位座(4)相對(duì)的另一端設(shè)置有側(cè)壁(6)，旋鈕(5)的另一端穿過(guò)側(cè)壁(6)，且旋鈕(5)與側(cè)壁(6)螺紋連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，其特征在于:所述滑道(2)、定位滑塊(3)和限位座(4)的表面均為鏡面結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種基于掃描隧道顯微鏡的樣品定位裝置，包括樣品盤(pán)，樣品盤(pán)上固定設(shè)置有滑道，滑道上滑動(dòng)設(shè)置有定位滑塊，滑道的一端固定設(shè)置有限位座。以解決現(xiàn)有掃描隧道顯微鏡由于沒(méi)有特定的樣品定位裝置，部分樣品的側(cè)面、截面等無(wú)法直接掃描，使得掃描具有局限性的問(wèn)題。屬于顯微觀測(cè)領(lǐng)域。
【IPC分類】G01Q60-10
【公開(kāi)號(hào)】CN204389529
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520059154
【發(fā)明人】丁召, 周海月, 趙振, 劉健, 郭祥, 王一, 魏文喆, 黃夢(mèng)雅, 羅子江
【申請(qǐng)人】貴州大學(xué)
【公開(kāi)日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2015年1月28日