一種半導體氣敏元件的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體器件，尤其涉及一種半導體氣敏元件。
【背景技術】
[0002]氣敏傳感器的應用主要有:一氧化碳氣體的檢測、瓦斯氣體的檢測、煤氣的檢測、氟利昂勠11、R12蘺檢測、呼氣中乙醇的檢測、人體口腔口臭的檢測等等。它將氣體種類及其與濃度有關的信息轉換成電信號根據(jù)這些電信號的強弱就可以獲得與待測氣體在環(huán)境中的存在情況有關的信息從而可以進行檢測、監(jiān)控、報警還可以通過接口電路與計算機組成自動檢測、控制和報警系統(tǒng)。
[0003]目前實際使用最多的是半導體氣敏傳感器，但由于現(xiàn)有氣敏傳感器結構復雜、響應速度慢、靈敏度低，極大的限制了半導體氣敏器件的應用。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構簡單、制造成本低廉、響應速度快、靈敏度高的氣敏元件。
[0005]本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下:一種半導體氣敏元件，包括塑料底座，所述塑料底座上設置有對稱測量電極、對稱引出電極，所述對稱測量電極之間通過金屬導線連接，所述對稱引出電極之間通過加熱絲連接，所述SnO2燒結體設置在金屬導線與加熱絲之上，所述塑料底座與不銹鋼絲網(wǎng)罩構成封閉結構。
[0006]所述SnO2燒結體用于對氣體的吸附和釋放，當SnO 2燒結體吸附或釋放氣體時，質量和導電率會發(fā)生改變，根據(jù)氣體濃度的變化，SnO2燒結體導電率發(fā)生相應變化，從而作為測定量對氣體進行監(jiān)測。
[0007]在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。
[0008]進一步，所述加熱絲設置于SnO2燒結體內或設置于SnO 2燒結體外，所述加熱絲設置于31102燒結體內，有利于縮短加熱時間，從而提升響應速度，但封裝工藝較復雜。
[0009]進一步，所述31102燒結體內設置有對稱測定電阻，所述對稱測定電阻根據(jù)SnO 2燒結體導電率的變化而變化，從而最終實現(xiàn)氣體濃度轉化為電信號輸出。
[0010]進一步，所述對稱測定電阻一端與對稱測量電極連接，一端通過電熱絲與對稱引出電極連接，用于31102燒結體導通和電信號的輸出。
[0011]本實用新型的有益效果是:結構簡單、制造成本低廉、響應速度快、靈敏度高。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型一種半導體氣敏元件結構示意圖；
[0013]圖2為本實用新型一種半導體氣敏元件SnO2燒結體結構示意圖；
[0014]附圖中，各標號所代表的部件列表如下:1、塑料底座，2、對稱引出電極，3、不銹鋼絲網(wǎng)罩，4、51102燒結體，5、加熱絲，6、對稱測量電極，7、金屬導線，8、對稱測定電阻。
【具體實施方式】
[0015]以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0016]如圖1所示，一種半導體氣敏元件，包括塑料底座1，所述塑料底座I上設置有對稱測量電極6、對稱引出電極2，所述對稱測量電極6之間通過金屬導線7連接，所述對稱引出電極2之間通過加熱絲5連接，所述SnO2燒結體4設置在金屬導線7與加熱絲5之上，所述塑料底座I與不銹鋼絲網(wǎng)罩3構成封閉結構。
[0017]如圖2所示，所述SnO2燒結體4用于對氣體的吸附和釋放，當SnO 2燒結體4吸附或釋放氣體時，質量和導電率會發(fā)生改變，根據(jù)氣體濃度的變化，SnO2燒結體4導電率發(fā)生相應變化，從而作為測定量對氣體進行監(jiān)測。
[0018]所述加熱絲5設置于SnO2燒結體4內或設置于SnO 2燒結體4外，所述加熱絲5設置于SnO2燒結體4內，有利于縮短加熱時間，從而提升響應速度，但封裝工藝較復雜；所述SnO2燒結體4內設置有對稱測定電阻8，所述對稱測定電阻8根據(jù)SnO2燒結體4導電率的變化而變化，從而最終實現(xiàn)氣體濃度轉化為電信號輸出；所述對稱測定電阻8 —端與對稱測量電極2連接，一端通過電熱絲5與對稱引出電極6連接，用于SnO2燒結體4導通和電信號的輸出。
[0019]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種半導體氣敏元件，其特征在于，包括塑料底座，所述塑料底座上設置有對稱測量電極、對稱引出電極，所述對稱測量電極之間通過金屬導線連接，所述對稱引出電極之間通過加熱絲連接，所述31102燒結體設置在金屬導線與加熱絲之上，所述塑料底座與不銹鋼絲網(wǎng)罩構成封閉結構。
2.根據(jù)權利要求1所述一種半導體氣敏元件，其特征在于，所述加熱絲設置于SnO2燒結體內或設置于SnO2燒結體外。
3.根據(jù)權利要求1所述一種半導體氣敏元件，其特征在于，所述SnO2燒結體內設置有對稱測定電阻。
4.根據(jù)權利要求3所述一種半導體氣敏元件，其特征在于，所述對稱測定電阻一端與對稱測量電極連接，一端通過電熱絲與對稱引出電極連接。
【專利摘要】本實用新型涉及一種半導體氣敏元件，包括塑料底座，所述塑料底座上設置有對稱測量電極、對稱引出電極，所述對稱測量電極之間通過金屬導線連接，所述對稱引出電極之間通過加熱絲連接，所述SnO2燒結體設置在金屬導線與加熱絲之上，所述塑料底座與不銹鋼絲網(wǎng)罩構成封閉結構。本實用新型結構簡單、制造成本低廉、響應速度快、靈敏度高。
【IPC分類】G01N27-12
【公開號】CN204330661
【申請?zhí)枴緾N201420574382
【發(fā)明人】李 杰
【申請人】重慶澤嘉機械有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年9月30日