檢查系統(tǒng)、檢查方法和可讀記錄介質(zhì)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體晶片上的多個半導(dǎo)體芯片進(jìn)行各種檢查的檢查系統(tǒng)、使用該檢查系統(tǒng)的檢查方法、以及存儲有記載了用于使計算機(jī)執(zhí)行該檢查方法的各步驟的處理流程的控制程序的計算機(jī)可讀取的可讀存儲介質(zhì)。
【背景技術(shù)】
[0002]在使用半導(dǎo)體工藝的制造工藝中，半導(dǎo)體芯片在晶片上形成為矩陣狀。形成了的半導(dǎo)體芯片在產(chǎn)品化的階段進(jìn)行良與不良檢查。例如，存在:以晶片狀態(tài)進(jìn)行檢查的情況；以從晶片分割出單個芯片的狀態(tài)進(jìn)行檢查的情況;和搭載于封裝體之后進(jìn)行最終檢查的情況等。該半導(dǎo)體芯片的檢查中，即使在以LED等為代表的發(fā)光元器件中也同樣地以晶片狀態(tài)檢查多個半導(dǎo)體芯片，或者在粘接帶上將半導(dǎo)體晶片單片化后，將粘接帶拉伸了的狀態(tài)下，檢測被切割出的多個半導(dǎo)體芯片。
[0003]作為半導(dǎo)體芯片的檢查，一般實(shí)施半導(dǎo)體芯片的電特性檢查，但是，在半導(dǎo)體晶片上形成有多個半導(dǎo)體元件，所以它們的特性值產(chǎn)生偏差，或存在制造缺陷。因此，通常將半導(dǎo)體芯片的整體作為對象來實(shí)施檢查，但是為了使檢查簡化，有時在每一定的元件個數(shù)的區(qū)域中進(jìn)行抽樣檢查，有時基于按每個品種預(yù)先決定的抽樣規(guī)則進(jìn)行抽樣檢查。
[0004]但是，僅進(jìn)行這樣的抽樣檢查，雖然檢查時間縮短，但無法進(jìn)一步進(jìn)行適當(dāng)?shù)牧寂c不良區(qū)分和等級劃分。為了解決上述的問題而提出了專利文獻(xiàn)I。
[0005]圖14是表示專利文獻(xiàn)I公開的現(xiàn)有的檢查系統(tǒng)的主要部分結(jié)構(gòu)例的框圖。
[0006]在圖14中，現(xiàn)有的檢查系統(tǒng)100包括抽樣檢查裝置101、抽樣檢查部102、檢查插補(bǔ)部103、等級劃分部104、信息制作部105、抽樣條件設(shè)定部106和檢查塊分割部107。
[0007]抽樣檢查部102從抽樣檢查裝置101收集基于抽樣檢查得到的部件的特性值。抽樣檢查是將使用半導(dǎo)體工藝一并制造的多個部件分割為預(yù)先確定的多個檢查塊，按分割后的每個檢查塊依次連續(xù)進(jìn)行檢查。
[0008]檢查插補(bǔ)部103使用規(guī)定的插補(bǔ)法求出未進(jìn)行抽樣檢查的未檢查的部件的特性值。在使用一定的半導(dǎo)體工藝一并制造部件的情況下，能夠得知部件的特性值連續(xù)變化的情況，因此，基于由抽樣檢查檢查到的部件的特性值，能夠使未檢查的部件的特性值作為它們的連續(xù)值而求得。即，能夠使用規(guī)定的插補(bǔ)法使抽樣檢查的部件與部件之間的未檢查的部件的特性值為連續(xù)的數(shù)值。作為規(guī)定的插補(bǔ)法例如能夠使用樣條插補(bǔ)法等。
[0009]等級劃分部104基于由抽樣檢查部102收集到的部件的特性值和由檢查插補(bǔ)部103求出的未檢查的部件的特性值，能夠按等級制作關(guān)于部件的組的信息。
[0010]信息制作部105基于從等級劃分部104提供的關(guān)于等級和部件的組的信息，制作期望的信息(出貨信息)。
[0011]抽出條件設(shè)定部106在因工藝變動等而產(chǎn)生特性值的偏差的情況下，以相同的采樣間隔來檢查特性值的變化大的區(qū)域和特性值的變化小的區(qū)域時，在特性值的變化大的區(qū)域中有可能發(fā)生特性值的推測故障。另外，在特性值的變化小的區(qū)域中成為冗長的檢查，檢查工時的分配發(fā)生浪費(fèi)。另外，在基于特性值將部件分類為幾個等級的情況下，不需要知道各個特性值，僅知道關(guān)于等級的屬性即可，所以其以上的檢查變得多余。抽出條件設(shè)定部106以檢查對象區(qū)域的一部分(例如，一行)作為代表來進(jìn)行檢查，基于由檢查對象區(qū)域的一部分的檢查而求出的特性值的變化，進(jìn)行采樣點(diǎn)的設(shè)定的優(yōu)化。
[0012]檢查塊分割部107以檢查塊所含的部件的數(shù)量為相同程度的方式對檢查對象區(qū)域進(jìn)行分割時，有可能導(dǎo)致每個檢查塊中的特性值的離散較大地不同。因此，檢查塊分割部107進(jìn)行檢查對象區(qū)域的分割的優(yōu)化，使得各檢查塊的特性值的離散變小。作為評價各檢查塊的特性值的離散的指標(biāo)，例如，可以為特性值的離散的最大值，也可以為特性值的離散的差等。
[0013]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0014]專利文獻(xiàn)
[0015]專利文獻(xiàn)1:日本特開2012-204350號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0016]發(fā)明要解決的技術(shù)問題
[0017]在專利文獻(xiàn)I所公開的上述現(xiàn)有的檢查系統(tǒng)100中，根據(jù)由抽樣檢查求得的檢查數(shù)據(jù)，使用規(guī)定的插補(bǔ)法求取未檢查的部件的特性值。
[0018]但是，在利用上述現(xiàn)有的檢查系統(tǒng)100進(jìn)行的檢查中，完全不考慮:DC特性檢查，SP對端子間施加規(guī)定電壓時的電流檢查;和在端子間流過規(guī)定電流時的電壓檢查，即發(fā)光元件的發(fā)光特性檢查。并且，除了發(fā)光元件的發(fā)光特性檢查之外，對于為了對其進(jìn)行補(bǔ)充而全部進(jìn)行DC特性檢查的情況也完全不被考慮。
[0019]另外，在上述現(xiàn)有的檢查系統(tǒng)100中，對于利用運(yùn)算進(jìn)行的插補(bǔ)方法更可靠地除去不合格品來保障生產(chǎn)品質(zhì)的方法也沒有確定。
[0020]本發(fā)明是用于解決上述現(xiàn)有的問題而完成的，其目的在于提供一種通過全部進(jìn)行DC特性檢查，對光學(xué)特性進(jìn)行抽樣檢查而能夠穩(wěn)定地劃分等級，使生產(chǎn)品質(zhì)良好的檢查系統(tǒng)和使用該檢查系統(tǒng)的檢查方法，以及存儲有記載了用于使計算機(jī)執(zhí)行該檢查方法的各步驟的處理流程的控制程序的計算機(jī)可讀取的可讀存儲介質(zhì)。
[0021]用于解決問題的技術(shù)方案
[0022]本發(fā)明的檢查系統(tǒng)，在用于檢查多個光學(xué)元件的光學(xué)特性和電特性的檢查系統(tǒng)中，具有控制部，該控制部基于合成以下數(shù)據(jù)而得到的信息來控制制作關(guān)于每個等級的發(fā)光元件組的信息:對每規(guī)定數(shù)量的光學(xué)元件進(jìn)行抽樣檢查而得到的多個發(fā)光元件的光學(xué)特性值;基于該抽樣檢查得到的多個光學(xué)特性值，通過插補(bǔ)運(yùn)算求出的未檢查的多個發(fā)光元件的光學(xué)特性值;和對基板整個面的多個光學(xué)元件全部檢查該電特性而得到的合格與否信息(良與不良信息)以及各個電特性值，由此來實(shí)現(xiàn)上述目的。此外，進(jìn)行全部測定的電特性不僅是合格與否判斷的主要因素，也是特性值的等級劃分的特性主要因素之一。
[0023]此外，優(yōu)選本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的控制部包括:抽樣檢查部，其收集對每規(guī)定數(shù)量的光學(xué)元件進(jìn)行抽樣檢查而得到的多個光學(xué)元件的光學(xué)特性值;檢查插補(bǔ)部，其使用規(guī)定的插補(bǔ)法，基于該抽樣檢查得到的多個光學(xué)元件的光學(xué)特性值，求出未進(jìn)行該抽樣檢查的未檢查的多個發(fā)光元件的光學(xué)特性值;合格與否判斷部，其分別進(jìn)行對基板整個面的多個光學(xué)元件全部檢查而得到的多個上述電特性的合格與否判斷(良與不良判斷)，獲得該多個電特性的合格與否信息(良與不良信息)；和等級劃分部，其基于將該抽樣檢查部收集的多個發(fā)光元件的光學(xué)特性值、該檢查插補(bǔ)部求出的未檢查的多個發(fā)光元件的光學(xué)特性值、該多個電特性的合格與否信息和各個電特性值合成而得到的圖像信息，制作上述關(guān)于每個等級的發(fā)光元件組的信息。
[0024]另外，優(yōu)選對本發(fā)明的檢查系統(tǒng)的測定光學(xué)特性的步驟和測量上述電特性的步驟進(jìn)行處理流程的分離，并且在各步驟中使用與測量的內(nèi)容相應(yīng)的設(shè)備進(jìn)行檢查。本發(fā)明的檢查方法，以發(fā)光器件為對象，通過將測定光學(xué)特性的步驟與測量上述電特性的步驟分離，在測量電特性的設(shè)備中，能夠有效利用通常確立的同時測定設(shè)備和同時測定技術(shù)。
[0025]另外，優(yōu)選本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的發(fā)光特性由發(fā)光特性檢查部檢查，上述電特性由電特性檢查部檢查。
[0026]另外，優(yōu)選本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的發(fā)光特性由發(fā)光特性檢查部通過進(jìn)行按順序的發(fā)光控制而連續(xù)多個地檢查，上述電特性由電特性檢查部以多個同時測量的方式進(jìn)行檢查。
[0027]另外，優(yōu)選在本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中利用發(fā)光特性檢查裝置檢查發(fā)光特性時，利用該電特性檢查部檢查上述電特性。
[0028]另外，優(yōu)選本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的等級劃分部對將上述電特性的不合格數(shù)據(jù)(不良數(shù)據(jù))從全部光學(xué)特性值中除去后的測定對象的發(fā)光元件進(jìn)行等級劃分(級別劃分)。
[0029]另外，優(yōu)選本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的測定光學(xué)特性的設(shè)備能夠檢測光學(xué)特性和上述電特性雙方。
[0030]另外，優(yōu)選本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的根據(jù)抽樣檢查作為基準(zhǔn)獲得的測定光學(xué)特性，根據(jù)與其相鄰位置的測定光學(xué)特性的離散值(差值)進(jìn)行合格與否判斷。
[0031]另外，優(yōu)選將本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的與相鄰位置的測定光學(xué)特性的離散值(差值)與基準(zhǔn)值比較來進(jìn)行合格與否判斷，當(dāng)該離散值(差值)低于基準(zhǔn)值時進(jìn)行根據(jù)上述抽樣檢查作為基準(zhǔn)獲得的測定光學(xué)特性的追加校正。
[0032]另外，優(yōu)選本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的追加校正使用上述相鄰位置的測定光學(xué)特性的X軸方向和Y軸方向的離散值(差值)中的、該離散值(差值)小的測定光學(xué)特性值進(jìn)行校正運(yùn)笪并ο
[0033]另外，關(guān)于本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的事先設(shè)定的抽樣規(guī)則的妥當(dāng)性，優(yōu)選在事先的評價中，將實(shí)測整體基數(shù)后統(tǒng)計的級別組的個數(shù)與根據(jù)抽樣測定數(shù)據(jù)通過插補(bǔ)法進(jìn)行運(yùn)算后得到的級別組的個數(shù)進(jìn)行比較，根據(jù)級別個數(shù)的相差數(shù)是否為容許值的范圍內(nèi)，來進(jìn)行抽樣規(guī)則的妥當(dāng)性的判斷，該容許值在光學(xué)特性測定的反復(fù)測定偏差和測定精度的偏差引起的差值以下。
[0034]另外，在本發(fā)明的檢查系統(tǒng)中的抽樣規(guī)則的判斷中，優(yōu)選適當(dāng)與否的余量的控制，根據(jù)事先的評價中的抽樣個數(shù)與抽樣區(qū)域的設(shè)定來進(jìn)行實(shí)施，根據(jù)來自晶片整個面的檢查測定值的面內(nèi)傾向性(相鄰芯片的差值、相鄰區(qū)域的差值)，來調(diào)整抽樣區(qū)域的抽樣部位和抽樣個數(shù)。在該情況下，當(dāng)“有余量”時，利用抽樣個數(shù)的縮小來實(shí)現(xiàn)測定時間的縮短，當(dāng)“無余量”時，利用抽樣個數(shù)的增加來實(shí)現(xiàn)插補(bǔ)運(yùn)算的精度提高。
[0035]本發(fā)明的檢查方法，在用于檢查多個光學(xué)元件的光學(xué)特性和電特性的檢查方法中，具有控制步驟，使控制部基于合成以下數(shù)據(jù)而得到的信息來控制制作關(guān)于每個等級的發(fā)光元件組的信息:對每規(guī)定數(shù)量的光學(xué)元件進(jìn)行抽樣檢查而得到的發(fā)光元件的光學(xué)特性值;基于該抽樣檢查得到的多個光學(xué)特性值，通過插補(bǔ)運(yùn)算求出的未檢查的發(fā)光元件的光學(xué)特性值;和對該多個光學(xué)元件全部檢查電特性而得到的合格與否信息(良與不良信息)以及各個電特性值，由此來實(shí)現(xiàn)上述目的。
[0036]此外，本發(fā)明的檢查方法中，上述控制步驟包括:抽樣檢查步驟，抽樣檢查部收集對每規(guī)定數(shù)量的光學(xué)元件進(jìn)行抽樣檢查而得到的多個光學(xué)元件的光學(xué)特性值;檢查插補(bǔ)步驟，檢查插補(bǔ)部使用規(guī)定的插補(bǔ)法，基于該抽樣檢查得到的多個光學(xué)元件的光學(xué)特性值，求出未進(jìn)行該抽樣檢查的未檢查的多個發(fā)光元件的光學(xué)特性值;合格與否判斷步驟，合格與否判斷部分別進(jìn)行對基板整個面的多個光學(xué)元件全部檢查而得到的多個上述電特性的合格與否判斷(良與不良判斷)，獲得該多個電特性的合格與否信息(良與不良信息)；和等級劃分步驟，等級劃分部基于將該抽樣檢查部收集的多個發(fā)光元件的光學(xué)特性值、該檢查插補(bǔ)部求出的未檢查的多個發(fā)光元件的光學(xué)特性值、該多個電特性的合格與否信息和各個電特性值合成而得到的圖像信息，制作上述關(guān)于每個等級的發(fā)光元件組的信息。
[0037]本發(fā)明的可讀存儲介質(zhì)是存儲有記載了用于使計算機(jī)執(zhí)行本發(fā)明的上述檢查方法中的控制步驟的處理流程的控制