液體濃度檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種檢測裝置，且特別是涉及一種液體濃度檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技的發(fā)展與應(yīng)用，在不同的領(lǐng)域都會需要使用到液體濃度檢測裝置。舉例來說，芯片制作工藝中蝕刻液的調(diào)配或者是環(huán)保領(lǐng)域中車輛的污染物排放等等，都會需要使用到液體濃度檢測裝置。
[0003]以車輛廢氣排放為例說明，一般為了滿足重型柴油車的環(huán)保排放標準，國際上的重型柴油車已逐漸趨向采用選擇性還原觸媒(Selective Catalytic Reduct1n，SCR)技術(shù)來減少廢氣中的氮氧化物(NOx)排放量。詳細而言，SCR系統(tǒng)包括汽車尿素和選擇性催化還原器，其中車用尿素由尿素缸進入燃燒過的廢氣，被已熾熱的廢氣轉(zhuǎn)化成氨(Ammonia，NH3)，而氨與催化轉(zhuǎn)換器內(nèi)的NOx產(chǎn)生化學(xué)還原作用，使NO x轉(zhuǎn)換成不影響自然環(huán)境的氮(Nitrogen)和水。因此可知，SCR系統(tǒng)需要消耗反應(yīng)劑(即車用尿素)才能正常工作。車用尿素溶液是濃度約32.5%的尿素水溶液，其中對于尿素水溶液的濃度有嚴格的限制，否則不僅可能使車輛的放超標，還有可能損害車輛中的SCR系統(tǒng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種適于對液體進行濃度檢測且可以獲得準確的量測結(jié)果的液體濃度檢測裝置。
[0005]為達上述目的，本發(fā)明的一種液體濃度檢測裝置，適于對液體進行濃度檢測。液體濃度檢測裝置包括第一基板、第一溫度感測元件以及濃度感測器，其中第一基板具有相對的第一表面以及第二表面，而第一溫度感測元件設(shè)置于第一表面上，第一溫度感測元件感測液體濃度檢測裝置外的液體的溫度。濃度感測器設(shè)置于第二表面上，包括第二基板、孔洞元件、加熱元件及第二溫度感測元件。第二基板設(shè)置于第二表面上，具有相對的第三表面以及第四表面，其中第三表面朝向第二表面?？锥丛挥诘谒谋砻娴纳戏?，提供部分液體進入濃度感測器。加熱元件對進入至濃度感測器的部分液體加熱。第二溫度感測元件感測進入至濃度感測器的部分液體的溫度變化量。其中，根據(jù)量測到的溫度與溫度變化量進行比對而獲得受測的液體的濃度。
[0006]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述加熱元件設(shè)置于所述第一基板的所述第二表面以及所述第二基板的所述第三表面之間，且所述第二溫度感測元件位于所述第二基板的所述第四表面上，而所述孔洞元件位于所述第二溫度感測元件上。
[0007]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述第二溫度感測元件設(shè)置于所述第一基板的所述第二表面以及所述第二基板的所述第三表面之間，且所述加熱元件位于所述第二基板的所述第四表面上，而所述孔洞元件位于所述加熱元件上。
[0008]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述第二溫度感測元件及所述加熱元件都位于所述第二基板的所述第四表面上，且所述第二溫度感測元件及所述加熱元件都設(shè)置于所述第二基板與所述孔洞元件之間。
[0009]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，還包括一第一封接層，設(shè)置于所述濃度感測器與所述第一基板之間。
[0010]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，還包括一第一封接層，設(shè)置于所述加熱元件與所述第二溫度感測元件之間。
[0011]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，還包括一第二封接層，設(shè)置于所述第二溫度感測元件與所述孔洞元件之間。
[0012]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，還包括一第三封接層，設(shè)置于所述第一溫度感測元件相對遠離所述第一基板的所述第一表面的一表面上。
[0013]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述的孔洞元件為單一層結(jié)構(gòu)。
[0014]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述的孔洞元件呈蓋體狀，且罩覆第二溫度感測元件。此外，在液體濃度檢測裝置的高度方向上，孔洞元件與第二溫度感測元件之間可具有間距。另外，呈蓋體狀的孔洞元件具有對向設(shè)置的一對開口，供液體從開口進出。
[0015]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述的孔洞元件的吸水率大于15%。
[0016]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述的孔洞元件的材質(zhì)為陶瓷。
[0017]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述的第一基板及所述第二基板的至少其中之一者為陶瓷基板。
[0018]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述的第一基板及所述第二基板的熱傳導(dǎo)系數(shù)大于20W/M*K。
[0019]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，上述的第一溫度感測元件及第二溫度感測元件為電阻溫度檢測器、熱敏電阻或其組合。
[0020]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，液體濃度檢測裝置還包括多個第一電性接點，設(shè)置于所述第二基板的所述第三表面與所述第四表面至少其中之一者上，且所述加熱元件及所述第二溫度感測元件分別電連接至不同的所述第一電性接點。
[0021 ] 在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，液體濃度檢測裝置還包括第二電性接點，設(shè)置于所述第一基板的所述第一表面與所述第二表面至少其中之一者上，且所述第一溫度感測元件電連接所述第二電性接點。
[0022]在本發(fā)明液體濃度檢測裝置的一實施例中，還包括設(shè)置于第一基板與加熱元件之間的隔熱層。
[0023]為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合所附的附圖作詳細說明如下。
【附圖說明】
[0024]圖1為第一實施例的液體濃度檢測裝置的示意圖；
[0025]圖2為輸入電壓與時間的關(guān)系圖；
[0026]圖3為信號處理過程的示意圖；
[0027]圖4為在不同溫度下，濃度感測裝置對不同濃度標準液體的輸出信號的關(guān)系圖；
[0028]圖5為第一溫度感測元件的輸出信號與溫度的關(guān)系圖；
[0029]圖6為本發(fā)明第一實施例的液體濃度檢測裝置的另一實施態(tài)樣示意圖；
[0030]圖7為本發(fā)明第二實施例的液體濃度檢測裝置的示意圖；
[0031]圖8為本發(fā)明第三實施例的液體濃度檢測裝置的示意圖；
[0032]圖9為本發(fā)明第四實施例的液體濃度檢測裝置的示意圖。
[0033]符號說明
[0034]100、200、300、400:液體濃度檢測裝置
[0035]110:第一基板
[0036]112:第一表面
[0037]114:第二表面
[0038]116:第三表面
[0039]118:第四表面
[0040]120:第一溫度感測元件
[0041]130:濃度感測器
[0042]132:加熱元件
[0043]134:第二溫度感測元件
[0044]135、135’、135”:封接層
[0045]136、336、436:孔洞元件
[0046]138、238:第二基板
[0047]140:第一電性接點
[0048]140’:第二電性接點
[0049]150:隔熱層
[0050]Vlnput:輸入電壓
[0051]Vdelta:電壓差值
[0052]VT:電壓
[0053]G:間距
[0054]S:腔室
[0055]H:開口
【具體實施方式】
[0056]下面將參照所附的附圖以更全面地敘述各實施例。各實施例可表現(xiàn)為許多不同的形態(tài)，而不應(yīng)理解為局限于本文所列舉的實施例。確切地講，提供這些實施例是為了使發(fā)明的內(nèi)容更透徹更完整，且將各實施例的概念全面?zhèn)鬟_給所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者。在這些附圖中，為清楚起見，各層或各區(qū)域的厚度被放大。
[0057]在下文中，當提到一元件“連接”或“耦接”到另一元件時，此元件可直接連接或耦接到另一元件，也可能存在著介入元件。相反，當提到一元件“直接連接”或“直接耦接”到另一元件時，則不存在介入元件。其他用來表述各元件或各層之間關(guān)系的詞語應(yīng)按相同方式來理解(例如，“介于……之間”相對于“