036]圖8B是圖8A的探針沿線15B-15B的斷面圖；
[0037]圖8C是圖8A的探針沿線15C-15C的斷面放大圖；
[0038]圖9A是依照本發(fā)明的一實施例的一種探針的示意圖；
[0039]圖9B是圖9A的探針沿線16B-16B的斷面圖；
[0040]圖9C是圖9A的探針沿線16C-16C的斷面放大圖；
[0041]圖1OA是依照本發(fā)明的一實施例的一種探針的示意圖；
[0042]圖1OB是圖1OA的探針沿線17B-17B的斷面圖；
[0043]圖1OC是圖1OA的探針沿線17C-17C的斷面放大圖；
[0044]圖1lA是圖5A的探針的一種針形的示意圖；
[0045]圖1lB是圖5A的探針的另一種針形的示意圖；
[0046]圖1lC是圖5A的探針的另一種針形的示意圖；
[0047]圖1lD是圖5A的探針的另一種針形的示意圖；
[0048]圖12A至圖12H是依照本發(fā)明的一實施例的一種探針制造方法的橫斷面示意圖；
[0049]圖13A至圖13L是依照本發(fā)明的一實施例的一種探針制造方法的橫斷面示意圖；
[0050]圖14A至圖14L是圖13A至圖13L的縱斷面示意圖；
[0051]圖15是本發(fā)明的一實施例的一種探針制造方法所采用的中間結(jié)構(gòu)；
[0052]圖16是本發(fā)明的另一實施例的一種探針的斷面圖；
[0053]圖17是本發(fā)明的另一實施例的一種探針的斷面圖。
【具體實施方式】
[0054]現(xiàn)舉以下實施例并結(jié)合附圖對本發(fā)明的結(jié)構(gòu)及功效進行詳細說明。
[0055]圖1A是依照本發(fā)明的一實施例的一種垂直挫屈柱探針的爆炸圖。圖1B是圖1A的組合圖。請參考圖1A及圖1B，本實施例的一種垂直挫屈柱探針100包括主體部110、導電部120以及強化層130。主體部110具有針尖112、連接至針尖112的針身114及連接至針身114的針尾116，其中針尖112連接至針身114的一端，而針尾116連接至針身114的另一端。針身114呈彎曲狀，針身114的一部分的橫截面積由針尖112的方向朝向針尾116的方向漸縮，且針尖112及針尾116彼此錯開而不在同一垂直軸在線，即不在圖1A的Z方向上的同一軸線上。主體部110的材質(zhì)包括第一材料。第一材料主要提供垂直挫屈柱探針的結(jié)構(gòu)足夠機械強度，使探針在測試過程中不易產(chǎn)生永久變形。導電部120附著于針身114的至少一部分，其中導電部120的材質(zhì)包括第二材料。舉例而言，第二材料為銀(Ag)或銅(Cu)。強化層130包覆導電部120的一部分，其中強化層130的材質(zhì)包括第三材料。第二材料的導電性大于第三材料的導電性，且第二材料的硬度小于第三材料的硬度。請繼續(xù)參考圖1A及圖1B，針尖112、針身114及針尾116的厚度一致。也就是說，針尖112的厚度dl等于針身114的厚度d2也等于針尾116的厚度d3。再者，在圖1A的X-Y平面上，導電部120與針身114的橫截面積大于針身114的橫截面積。以本實施例而言，導電部120和針身114的輪廓重疊，導電部120及針身114的寬度相等。請再繼續(xù)參考圖1A，針身114的橫截面積由針尖112的方向朝向針尾116的方向漸縮。也就是說，橫截面積A2大于橫截面積Al。詳細而言，針身114連接針尾116的末端114e的橫截面積為針身114的整體的最小橫截面積。也就是說Al是針身114最小橫截面積處。
[0056]針尖112可以設(shè)計成所需要的形狀，例如圖1A及圖1B的針尖112的形狀，或是圖2的針尖112的形狀。
[0057]圖3A至圖3B是依照本發(fā)明的多個其他實施例的一種垂直挫屈柱探針的示意圖。請參考圖3A，強化層130包覆導電部120的全部，以改善導電部120的材料強度太軟，容易氧化、熔點較低等缺點，并能保持導電部120良好的導電性。請參考圖3B，強化層130包覆主體部110及導電部120的全部。除了可以減少導電部120的氧化之外，更可以增加主體部110和導電部120之間的結(jié)合強度，使垂直挫屈柱探針100更耐用。另外，也可以通過調(diào)整強化層130的厚度，來調(diào)整垂直挫屈柱探針100的針重。
[0058]圖4是依照本發(fā)明的一實施例的一種探針頭的示意圖。如圖4所示，本實施例的一種探針頭200適用于探針卡。探針頭200包括下導板210、上導板220以及垂直挫屈柱探針100。下導板210具有至少一下開孔212。上導板220位于下導板210的上方并具有至少一上開孔222。垂直挫屈柱探針100的針尖112穿設(shè)于下開孔212，且針尾116穿設(shè)于上開孔222。待測晶圓(圖中未示)位于針尖112下方。當進行晶圓測試時，晶圓與探針之間的接觸力使垂直挫屈柱探針100彈性變形，以確保垂直挫屈柱探針100的針尖112和晶圓表面的接觸接點保持良好的電性接觸。當晶圓測試結(jié)束，釋放晶圓與探針之間的接觸力時，垂直挫屈柱探針100會因自身彈性回復力而回彈。請同時參考圖1A及1B，垂直挫屈柱探針100具有一個擋止部，位于針尖112連接針身114的部分，在擋止部的區(qū)域針尖112橫截面積小于針身114的橫截面積A2，在垂直挫屈柱探針100放置到上導板220、下導板210時，擋止部可以用于止擋下導板210，以避免垂直挫屈柱探針100在未受力變形的狀態(tài)下從下導板210的下開孔212掉落。當然在另外的實施例中，擋止部設(shè)置的位置可以不在針尖112連接針身114的部分，而是位于針尾116連接針身114的部分，與圖1A及IB的結(jié)構(gòu)不同的部份在于，擋止部位于針尾116的橫截面積大于針身114的橫截面積A2，在此實施例下，將垂直挫屈柱探針放置到上導板220、下導板210時，上擋止部可以用于止擋上導板220，且是止擋上導板220的外側(cè)，而非上導板220與下導板210接合后的容置空間內(nèi)，以避免垂直挫屈柱探針100在未受力變形的狀態(tài)下從上導板220的上開孔222及下導板210的下開孔212掉落。
[0059]如圖5A、圖5B及圖5C所示，在本實施例中，探針300具有主體部310、導電部320及集膚效應(yīng)層330 (skin effect layer)。導電部320疊合于主體部310的至少一部分，用于補強主體部310的耐電流特性。集膚效應(yīng)層330包覆導電部320的至少一部分，用于提供額外的導電路徑。具體而言，主體部310具有針尖312、連接至針尖312的針身314及連接至針身314的針尾316，且導電部320附著于針身314的至少一部分，例如針身314的彈性段。在其他實施例中，導電部320附著于針尖312及針身314的至少一部分。
[0060]主體部310的材質(zhì)包括第一材料(例如鈀鈷合金)，導電部320的材質(zhì)包括第二材料(例如銅)，且集膚效應(yīng)層330的材質(zhì)包括第三材料(例如銀)。第三材料的導電性大于第二材料的導電性，第二材料的導電性大于第一材料的導電性，第一材料的硬度大于第二材料的硬度，且第一材料的硬度大于第三材料的硬度。
[0061]探針300更包括附著層340，以增加集膚效應(yīng)層330附著至導電部320的附著力。附著層340的材質(zhì)例如是鈀或銅。附著層340包覆主體部310及導電部320。
[0062]在本實施例中，導電部320的厚度大于集膚效應(yīng)層330的厚度的兩倍。主體部310的厚度范圍為15微米(micrometer)至40微米。導電部320的厚度范圍為2微米至40微米。集膚效應(yīng)層330的厚度范圍為I微米至5微米。附著層340的厚度范圍為0.1微米至3微米。
[0063]如圖6所示，相較于圖5C的探針300，在本實施例中，圖6的探針300不具有圖5C的附著層340，使得集膚效應(yīng)層33