Xrf設(shè)備及其樣品自動定位多點測試方法、裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及XRF領(lǐng)域，特別涉及一種XRF設(shè)備及其樣品自動定位多點測試方法、裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)利用XRF設(shè)備測試待測樣品的多個點時，需要待測試完某個點后中斷測試，打開測試樣品腔，然后手動移動樣品的位置，且須對照攝像頭圖像去找對應(yīng)待測試的點，且多次測試不同的點的結(jié)果須手動計算平均值，客戶體驗較差。由于手動移動測試點的位置，因此準(zhǔn)確性較差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供了一種測試效率高、準(zhǔn)確性高的XRF設(shè)備及其樣品自動定位多點測試方法、裝置。
[0004]為解決上述問題，作為本發(fā)明的一個方面，提供了一種XRF設(shè)備的樣品自動定位多點測試方法，包括:獲取待測樣品在移動平臺上的圖像；顯示所述圖像；獲取用戶在顯示的所述圖像上選擇的多個待測點；根據(jù)用戶選擇的所述至少一個待測點，控制所述移動平臺運動以使所述待測點依次位于測試中心位置處。
[0005]優(yōu)選地，所述方法還包括:在完成一個測試點的測試后，自動控制所述移動平臺切換至下一個待測試點，以使所述下一個待測試點移動至所述測試中心位置處。
[0006]優(yōu)選地，所述方法還包括:通過使所述移動平臺在XY方向上的運動，以使所述待測點依次位于測試中心位置處。
[0007]優(yōu)選地，根據(jù)所述圖像對用戶選擇的所述至少一個待測點通過圖像識別得到所述多個測試點的位置，以控制所述移動平臺的運動。
[0008]本發(fā)明還提供了一種XRF設(shè)備的樣品自動定位多點測試裝置，包括:第一獲取模塊，用于獲取待測樣品在移動平臺上的圖像；顯示模塊，用于顯示所述圖像；第二獲取模塊，用于獲取用戶在顯示的所述圖像上選擇的多個待測點；控制模塊，用于根據(jù)用戶選擇的所述至少一個待測點，控制所述移動平臺運動以使所述待測點依次位于測試中心位置處。
[0009]優(yōu)選地，所述控制模塊在完成一個測試點的測試后，自動控制所述移動平臺切換至下一個待測試點，以使所述下一個待測試點移動至所述測試中心位置處。
[0010]本發(fā)明還提供了一種XRF設(shè)備的樣品自動定位多點測試裝置，包括:攝像單元，用于獲取待測樣品在移動平臺上的圖像；顯示單元，用于顯示所述圖像；輸入單元，用于輸入用戶在顯示的所述圖像上選擇的多個待測點；控制單元，用于根據(jù)用戶選擇的所述至少一個待測點，控制所述移動平臺運動以使所述待測點依次位于測試中心位置處。
[0011]優(yōu)選地，所述控制單元在完成一個測試點的測試后，自動控制所述移動平臺切換至下一個待測試點，以使所述下一個待測試點移動至所述測試中心位置處。
[0012]優(yōu)選地，所述移動平臺包括X軸步進電機和Y軸步進電機，所述X軸步進電機和Y軸步進電機驅(qū)動所述移動平臺在XY方向上運動，以使所述待測點依次位于測試中心位置處。
[0013]本發(fā)明還提供了一種XRF設(shè)備，包括上述的裝置。
[0014]本發(fā)明特別適用于部分不均勻的樣品，極大地改善了用戶體驗，并提高了測試效率和準(zhǔn)確性。
【附圖說明】
[0015]圖1示意性地示出了本發(fā)明中的樣品自動定位多點測試方法的流程圖；
[0016]圖2示意性地示出了一個實施例中的樣品自動定位多點測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3示意性地示出了另一實施例中的樣品自動定位多點測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中附圖標(biāo)記:1、待測樣品；2、移動平臺；3、攝像單元；4、顯示單元；5、控制單元；6、X射線管；7、傳感器。
【具體實施方式】
[0019]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施例進行詳細(xì)說明，但是本發(fā)明可以由權(quán)利要求限定和覆蓋的多種不同方式實施。
[0020]請參考圖1，本發(fā)明的一個方面，提供了一種XRF設(shè)備的樣品自動定位多點測試方法，包括:獲取待測樣品I在移動平臺2上的圖像；顯示圖像；獲取用戶在顯示的圖像上選擇的多個待測點；根據(jù)用戶選擇的至少一個待測點，控制移動平臺2運動以使待測點依次位于測試中心位置處。優(yōu)選地，在連續(xù)多點測試完畢后，統(tǒng)計多點測試結(jié)果平均值和計算誤差。
[0021]在用戶進行多點測試前，先通過攝像頭實時獲取待測樣品I在移動平臺2上的圖像，例如，可以將該圖像進行放大處理，以供用戶在該圖像上點選目標(biāo)的測試點，于是就能自動地按確認(rèn)的測試點的位置，使得待測試點移動到測試位置，然后開始測試。本發(fā)明特別適用于部分不均勻的樣品，極大地改善了用戶體驗，并提高了測試效率和準(zhǔn)確性。
[0022]優(yōu)選地，該方法還包括:在完成一個測試點的測試后，自動控制移動平臺2切換至下一個待測試點，以使下一個待測試點移動至測試中心位置處。
[0023]優(yōu)選地，該方法還包括:通過使移動平臺2在XY方向上的運動，以使待測點依次位于測試中心位置處。請參考圖3，測試中心位置是指X射線管6發(fā)射出的X射與傳感器7在移動平臺上的交叉點。傳感器負(fù)責(zé)接收經(jīng)X射線照射后，樣品上逃逸的電子能量形成的熒光光譜。
[0024]優(yōu)選地，根據(jù)圖像對用戶選擇的至少一個待測點通過圖像識別得到多個測試點的位置，以控制移動平臺2的運動。這樣，用戶在圖像上對目標(biāo)的測試點進行標(biāo)記，當(dāng)經(jīng)過圖像識別處理后，就能確定這些測試點的位置，以根據(jù)這些位置控制移動平臺的運動。在圖像識別時，首先對圖像的限定區(qū)域內(nèi)設(shè)計標(biāo)志特征點，并保存待用戶選擇的測試點的位置坐標(biāo)信息，隨后在限定區(qū)域內(nèi)以測試點為中心截取多個圖片并保存，且每張圖片都擁有該標(biāo)志特征點。
[0025]下面，對確定測試點位置的具體過程進行詳細(xì)說明。具體的計算過程可分為粗調(diào)和細(xì)調(diào)兩階段。其中，粗調(diào)用于快速計算相對位置，以使得移動平臺2迅速移動到目標(biāo)點位置，細(xì)調(diào)慢速移動平臺2，并計算實時圖像像素的特征信息與之前保存的測試點圖像的標(biāo)識像素的特征信息的最大相似度，然后判斷此最大相似度是否在容許誤差范圍內(nèi)。如果是，則實時圖像與保存的測試點圖像匹配，即移動平臺2已經(jīng)移動到目標(biāo)位置；如果超出容許誤差范圍，則當(dāng)前實時圖像與目標(biāo)的測試點圖像不匹配，即移動平臺2還