基于多點(diǎn)離焦探測的平板傾斜測量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及平板傾斜測量裝置，更具體地說是一種基于多點(diǎn)離焦探測的平板傾斜測量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在大型TFT-1XD玻璃基板與彩色濾光片缺陷檢測中，需要采用顯微成像來實(shí)現(xiàn)對液晶基板的成像檢測。檢測過程中，顯微鏡采用高分辨率成像，景深范圍小，被測基板的振動、定位高度的變化，使得平板在高度方向上很小的位移就會造成失焦現(xiàn)象。雖然采用了自動聚焦鏡頭系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)對被測平板面的聚焦成像，但都是針對平板某個點(diǎn)聚焦的。如果被測平板發(fā)生傾斜，就會造成顯微成像面部分聚焦，部分失焦的現(xiàn)象，嚴(yán)重影響平板的成像質(zhì)量。因此需要測量被測平板的傾斜狀態(tài)，并提供信號給調(diào)整機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對被測平板面的傾斜調(diào)整。
[0003]目前常用的對于平板傾斜程度的檢測是采用反射光探測的方式，一種是采用面陣探測器件，如CCD相機(jī)，檢測反射光點(diǎn)在像面的位置進(jìn)而判定傾斜方向，這種方式需要進(jìn)行圖像處理，并對數(shù)字信號進(jìn)行轉(zhuǎn)換后才能提供給調(diào)整機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)傾斜度的調(diào)整，存在的問題是信號處理有一時間過程，進(jìn)而帶來調(diào)整滯后，也可能因成像的清晰程度致使測量過程不能順利進(jìn)行；另一種是采用線陣探測器，如線陣CCD，檢測反射光點(diǎn)位置，這種方法雖然速度快，只能探測單方向傾斜，對于X和Y的不同方向上的檢測需要兩套檢測裝置才能實(shí)現(xiàn)；也有采用反射光斑在多象限探測器上的位置變化來判定傾斜，但是這種方式受到探測器的敏感面積的限制，并因此限制了檢測范圍。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明是為避免上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足之處，提供一種基于多點(diǎn)離焦探測的平板傾斜測量裝置，以期能夠利用檢測信號直接進(jìn)行判斷并實(shí)現(xiàn)快速調(diào)整，同時能夠?qū)崿F(xiàn)多方向的傾斜測量，使檢測范圍不受探測器的面積的限制，并簡化結(jié)構(gòu)。
[0005]本發(fā)明實(shí)現(xiàn)發(fā)明目的采用如下技術(shù)方案:
[0006]本發(fā)明基于多點(diǎn)離焦探測的平板傾斜測量裝置的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是:
[0007]設(shè)置檢測光路，是以點(diǎn)光源作為照明光源，所述點(diǎn)光源經(jīng)半透半反鏡和物鏡照射在被測平板的待測點(diǎn)上，并在所述被測平板的待測點(diǎn)的表面形成反射光；所述反射光經(jīng)物鏡反射至半透半反鏡，在所述半透半反鏡中按5: 5進(jìn)行分束，形成光軸互成90°的第一光束和第二光束；所述第二光束經(jīng)反射鏡后通過針孔板中針孔投照在四象限探測器的某一象限的中心位置上；
[0008]設(shè)置所述檢測光路共有四路，四路檢測光路具有相同的結(jié)構(gòu)形式，并且是以四象限探測器的中心呈旋轉(zhuǎn)對稱，使四路檢測光路形成的四個待測點(diǎn)呈“十”字分布在被測平板上；同樣呈“十”分布的四只針孔共處在同一針孔板上，所述呈“十”字分布的四只針孔與四象限探測器中四個象限的中心在位置上一一對應(yīng)，針孔板與四象限探測器緊貼放置，構(gòu)成針孔探測單元，使得在所述四象限探測器中分別獲得與所述四個待測點(diǎn)位置信息一一對應(yīng)的檢測信號 IXl、Ix2、IyjP Iy2;
[0009]其中，1&和Ix 2是共處在X軸線上的兩個輸出檢測信號；IyJP Iy 2是共處在Y軸線上的兩個輸出檢測信號；
[0010]若IXl# Ix 2則判斷為被測平板在X方向存在有傾斜；
[0011]若Iy1* Iy 2則判斷為被測平板在Y方向存在有傾斜。
[0012]本發(fā)明基于多點(diǎn)離焦探測的平板傾斜測量裝置的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)也在于:將所述針孔板和四象限探測器置于像面的離焦平面上，則有:
[0013]依據(jù)Ix1-1x2的值為正值或?yàn)樨?fù)值判斷被測平板在X方向上的傾斜方向；
[0014]依據(jù)Iy1-1yj^值為正值或?yàn)樨?fù)值判斷被測平板在Y方向上的傾斜方向。
[0015]本發(fā)明基于多點(diǎn)離焦探測的平板傾斜測量裝置的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)也在于:將所述測量裝置以過四象限探測器的中軸線為轉(zhuǎn)動中心線進(jìn)行轉(zhuǎn)動，實(shí)現(xiàn)對所述被測平板在不同方位上的傾斜狀況的檢測。
[0016]與已有技術(shù)相比，本發(fā)明有益效果體現(xiàn)在:
[0017]1、本發(fā)明利用四象限探測器獲得檢測信號，通過比較輸出的電信號，可直接對被測平板提供調(diào)整信號，調(diào)整過程快速及時；同時采用單個四象限探測器實(shí)現(xiàn)了四路光信號同步檢測，簡化了結(jié)構(gòu)；
[0018]2、本發(fā)明將針孔板和四象限探測器構(gòu)成的針孔探測單元置于聚焦像面的離焦平面上，可以直接檢測并判斷被測平板的傾斜方向；
[0019]3、本發(fā)明將測量裝置進(jìn)行轉(zhuǎn)動，可以實(shí)現(xiàn)對被測平板在不同方向上的傾斜測量；
[0020]4、本發(fā)明利用針孔板和四象限探測器構(gòu)成的針孔探測單元進(jìn)行光強(qiáng)信號的檢測，檢測范圍不受探測器的面積的限制，極大地提高了測量裝置的實(shí)用程度。
【附圖說明】
[0021]圖1為本發(fā)明中同處在X軸線上的一對檢測光路原理示意圖；
[0022]圖2為本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3為本發(fā)明中針孔板上針孔分布示意圖；
[0024]圖4為本發(fā)明中四象限探測器探測原理示意圖；
[0025]圖中標(biāo)號:1點(diǎn)光源，2半透半反鏡，3物鏡，4被測平板，5反射鏡，6針孔板，7四象限探測器，
【具體實(shí)施方式】
[0026]參見圖1，本實(shí)施例中設(shè)置檢測光路為:以點(diǎn)光源I作為照明光源，所述點(diǎn)光源I經(jīng)半透半反鏡2和物鏡3照射在被測平板4的待測點(diǎn)上，并在所述被測平板4的待測點(diǎn)的表面形成反射光；所述反射光經(jīng)物鏡3反射至半透半反鏡2，在所述半透半反鏡2中按5: 5進(jìn)行分束，形成光軸互成90°的第一光束和第二光束；所述第二光束經(jīng)反射鏡5后通過針孔板6中針孔投照在四象限探測器7的某一象限的中心位置上；
[0027]參見圖2、圖3和圖4，本實(shí)施例中基于多點(diǎn)離焦探測的平板傾斜測量裝置設(shè)置檢測光路共有四路，四路檢測光路具有相同的結(jié)構(gòu)形式，并且是以四象限探測器7的中心呈旋轉(zhuǎn)對稱，使四路檢測光路形成的四個待測點(diǎn)呈“十”字分布在被測平板4上；同樣呈“十”字分布的四只針孔共處在同一針孔板6上，所述呈“十