技術(shù)編號：9394957
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在大型TFT-1XD玻璃基板與彩色濾光片缺陷檢測中，需要采用顯微成像來實現(xiàn)對液晶基板的成像檢測。檢測過程中，顯微鏡采用高分辨率成像，景深范圍小，被測基板的振動、定位高度的變化，使得平板在高度方向上很小的位移就會造成失焦現(xiàn)象。雖然采用了自動聚焦鏡頭系統(tǒng)，可以實現(xiàn)對被測平板面的聚焦成像，但都是針對平板某個點聚焦的。如果被測平板發(fā)生傾斜，就會造成顯微成像面部分聚焦，部分失焦的現(xiàn)象，嚴重影響平板的成像質(zhì)量。因此需要測量被測平板的傾斜狀態(tài)，并提供信號給調(diào)整機構(gòu)，實現(xiàn)...
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