。
[0039]圖5是表示圖1的幻影樣本的變形例的立體圖。
【具體實施方式】
[0040]以下參照附圖來說明本發(fā)明的一個實施方式所涉及的光分析裝置的評價方法和幻影樣本I。
[0041]本實施方式所涉及的幻影樣本I如圖1所示那樣通過將多個熒光物質(zhì)濃度不同的兩種固體構(gòu)件2、3交替地鄰接排列來構(gòu)成平板狀。
[0042]一方的固體構(gòu)件2含有規(guī)定的熒光濃度的熒光物質(zhì)。另一方的固體構(gòu)件3不含熒光物質(zhì)(含有熒光濃度為零的熒光物質(zhì)。)。這些固體構(gòu)件2、3被形成得非常薄，其寬度尺寸被高精度地設(shè)定為同一寬度尺寸。
[0043]以下對使用像這樣構(gòu)成的本實施方式所涉及的幻影樣本I的光分析裝置的評價方法進(jìn)行說明。
[0044]為了使用本實施方式所涉及的幻影樣本I來評價包括共焦光學(xué)系統(tǒng)或多光子激勵光學(xué)系統(tǒng)的光分析裝置，而如圖2所示那樣調(diào)節(jié)光分析裝置的光學(xué)系統(tǒng)A來將其焦點位置配置成與幻影樣本I一致。
[0045]在該狀態(tài)下，向幻影樣本I照射經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)A傳播過來的激勵光B。由此，在光學(xué)系統(tǒng)A的焦點位置形成的共焦區(qū)C與幻影樣本I 一致，共焦區(qū)C內(nèi)的熒光物質(zhì)被激勵而產(chǎn)生焚光。
[0046]另外，使光分析裝置的掃描單元(省略圖示)工作，來使共焦區(qū)C沿與光軸交叉且與固體構(gòu)件2、3的排列方向一致的方向(箭頭D的方向)移動。由此，使共焦區(qū)C相對于固體構(gòu)件2、3相對地移動。
[0047]在固體構(gòu)件2、3處產(chǎn)生的熒光被光分析裝置的光學(xué)系統(tǒng)A聚光，并被未圖示的光檢測器檢測。
[0048]即，在共焦區(qū)C與含有熒光物質(zhì)的一方的固體構(gòu)件2—致的期間，在固體構(gòu)件2處產(chǎn)生熒光并從光檢測器發(fā)出規(guī)定的強度的信號，另一方面，在共焦區(qū)C與不含熒光物質(zhì)的另一方的固體構(gòu)件3—致的期間，不從光檢測器發(fā)出信號(或者，產(chǎn)生暗噪聲水平的信號。)。因而，在共焦區(qū)C與固體構(gòu)件2、3相對地移動的期間，通過光檢測器檢測出的信號呈矩形波狀地變化。
[0049]在該情況下，在共焦區(qū)C的光軸方向位置與固體構(gòu)件2、3準(zhǔn)確吻合的情況下，被配置成固體構(gòu)件2、3橫穿共焦區(qū)C收斂為最細(xì)的位置，因此如圖3所示那樣，來自光檢測器的信號在兩種固體構(gòu)件的邊界位置處呈階梯狀地從零變?yōu)橛邢拗祷蛘邚挠邢拗底優(yōu)榱?。因而，固體構(gòu)件2、3的邊界位置處的信號的時間變化的斜率接近無限大。
[0050]另一方面，在共焦區(qū)C的光軸方向位置未與固體構(gòu)件2、3準(zhǔn)確吻合的情況下，被配置成固體構(gòu)件2、3橫穿共焦區(qū)C擴展的位置，因此如圖4所示那樣，來自光檢測器的信號在兩種固體構(gòu)件2、3的邊界位置處平緩地變化。因而，固體構(gòu)件2、3的邊界位置處的信號的時間變化的斜率變小。
[0051]其結(jié)果，根據(jù)本實施方式所涉及的幻影樣本1，具有以下優(yōu)點:根據(jù)通過光分析裝置檢測出的熒光強度的信號的時間變化，能夠容易地評價光學(xué)系統(tǒng)A的焦點位置是否與幻影樣本I準(zhǔn)確地一致。
[0052]另外，本實施方式所涉及的幻影樣本I由于一方的固體構(gòu)件2具有規(guī)定的熒光濃度，因此預(yù)先已知通過照射規(guī)定的強度的激勵光所產(chǎn)生的熒光的強度。因而，如上述那樣，即使在能夠評價為光學(xué)系統(tǒng)A的焦點位置與幻影樣本I準(zhǔn)確地一致的情況下，也能夠在通過光檢測器檢測出的信號的最大強度相對于預(yù)先已知的值較低的情況下，簡單地評價是產(chǎn)生激勵光B的光源存在問題、共焦區(qū)C的尺寸過小、還是光檢測器的靈敏度下降中的哪一個。
[0053]并且，本實施方式所涉及的幻影樣本I由于兩種固體構(gòu)件2、3高精度地具有同一寬度尺寸，因此在共焦區(qū)C與固體構(gòu)件2、3的相對移動速度為等速的情況下，通過光檢測器產(chǎn)生的信號準(zhǔn)確地周期性地變化。因而，具有以下優(yōu)點:通過檢測該周期，能夠簡單地評價共焦區(qū)C與固體構(gòu)件2、3的相對移動速度、即激勵光B的掃描速度是否是固定的。
[0054]此外，在本實施方式中，將規(guī)定濃度的固體構(gòu)件2和濃度為零的固體構(gòu)件3交替地排列，但是取而代之地，也可以都含有熒光物質(zhì)，將其濃度明確不同的固體構(gòu)件交替地排列。另外，也可以將濃度不同的三種以上的固體構(gòu)件進(jìn)行排列。另外，也可以根據(jù)所照射的激勵光的種類來更換具有含有不同的熒光物質(zhì)的固體構(gòu)件的幻影樣本I。
[0055]另外，在本實施方式中，例示了將固體構(gòu)件2、3沿直線方向的一個方向排列所得到的幻影樣本1，但是取而代之地，也可以如圖5所示那樣采用將扇形的不同熒光濃度的固體構(gòu)件2、3沿圓周方向交替地排列而形成為圓板狀的幻影樣本I。通過這樣，僅使幻影樣本I圍繞其中心軸沿一個方向等速旋轉(zhuǎn)就能夠連續(xù)地進(jìn)行上述評價。
[0056]另外，在本實施方式中，將嚴(yán)格具有同一寬度尺寸的固體構(gòu)件2、3進(jìn)行了排列，因此只要使其等速地進(jìn)行相對移動，就能夠在任意的位置獲得周期性的輸出波形，但是不限定于此。即，僅考慮鄰接的固體構(gòu)件2、3的邊界位置處的信號變化即可，可以不需要周期性而寬度尺寸不同。
[0057]另外，即使在需要周期性的評價內(nèi)容的情況下，不同種類的固體構(gòu)件2、3之間也可以使寬度尺寸不同。只要使同種的固體構(gòu)件2(3)的寬度尺寸一致，就能夠保持周期性，因此據(jù)此也能夠進(jìn)行掃描速度的評價。
[0058]附圖標(biāo)記說曰月
[0059]1:幻影樣本；2、3:固體構(gòu)件；A:光學(xué)系統(tǒng)；B:激勵光；C:共焦區(qū)。
【主權(quán)項】
1.一種光分析裝置的評價方法，該光分析裝置具備能夠?qū)⒓罟饩酃鈦碓诮裹c位置形成共焦區(qū)的光學(xué)系統(tǒng)，該光分析裝置的評價方法包括以下步驟: 在上述光學(xué)系統(tǒng)的焦點位置配置幻影樣本，其中，該幻影樣本是將熒光物質(zhì)的濃度不同的兩種以上的多個固體構(gòu)件鄰接排列而形成的； 一邊使通過上述光學(xué)系統(tǒng)形成的共焦區(qū)和上述幻影樣本沿上述固體構(gòu)件的排列方向相對地移動，一邊經(jīng)由上述光學(xué)系統(tǒng)向上述幻影樣本照射激勵光； 檢測配置于上述共焦區(qū)內(nèi)的固體構(gòu)件處產(chǎn)生的熒光；以及 根據(jù)檢測出的熒光對上述光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行評價。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光分析裝置的評價方法，其特征在于， 上述幻影樣本是將含有規(guī)定濃度的熒光物質(zhì)的第一固體構(gòu)件和不含熒光物質(zhì)的第二固體構(gòu)件交替地排列而形成的。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光分析裝置的評價方法，其特征在于， 上述固體構(gòu)件以固定周期排列。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的光分析裝置的評價方法，其特征在于， 上述固體構(gòu)件沿一個直線方向排列。5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述的光分析裝置的評價方法，其特征在于， 上述固體構(gòu)件沿圓周方向排列。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項所述的光分析裝置的評價方法，其特征在于， 在對上述光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行評價的步驟中，根據(jù)不同的上述固體構(gòu)件的鄰接位置處的熒光的強度變化的斜率，來評價上述光學(xué)系統(tǒng)的焦點位置是否適當(dāng)。7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項所述的光分析裝置的評價方法，其特征在于， 在對上述光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行評價的步驟中，根據(jù)檢測出的熒光的強度，評價共焦區(qū)的尺寸或檢測器的靈敏度是否適當(dāng)。8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項所述的光分析裝置的評價方法，其特征在于， 在對上述光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行評價的步驟中，根據(jù)不同的上述固體構(gòu)件的鄰接位置處的熒光的強度變化的時間間隔，評價被上述光學(xué)系統(tǒng)聚光的激勵光的掃描速度是否適當(dāng)。9.一種幻影樣本，在權(quán)利要求1至8中的任一項所述的光分析裝置的評價方法中使用。
【專利摘要】簡單且高精度地對光分析裝置的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行評價。提供一種具備能夠?qū)⒓罟釨聚光來在焦點位置形成共焦區(qū)(C)的光學(xué)系統(tǒng)(A)的光分析裝置的評價方法，包括以下步驟：在光學(xué)系統(tǒng)(A)的焦點位置配置將熒光物質(zhì)的濃度不同的兩種以上的多個固體構(gòu)件(2、3)鄰接排列所形成的幻影樣本(1)；一邊使通過光學(xué)系統(tǒng)(A)形成的共焦區(qū)(C)和幻影樣本(1)沿固體構(gòu)件(2、3)的排列方向相對地移動，一邊經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)(A)向幻影樣本(1)照射激勵光；檢測配置于共焦區(qū)(C)內(nèi)的固體構(gòu)件(2、3)處產(chǎn)生的熒光；以及根據(jù)檢測出的熒光對光學(xué)系統(tǒng)(A)進(jìn)行評價。
【IPC分類】G01N21/64
【公開號】CN104956207
【申請?zhí)枴緾N201380071944
【發(fā)明人】山口光城
【申請人】奧林巴斯株式會社
【公開日】2015年9月30日
【申請日】2013年10月2日
【公告號】US20150355092, WO2014141516A1