通濾波器的 情況，都可設(shè)定使濾波電路459 (低通濾波器）的截止頻率f。大幅低于失調(diào)頻率Af，并通 過濾波電路459來除去在平滑電路457的輸出信號中剩余的頻率fi的信號。
[014引圖8中示出在f&<fdt且濾波電路454構(gòu)成為低通濾波器的情況下對振動元件 100施加頻率fi的旋轉(zhuǎn)振動時所觀測的信號波形的一個例子。如圖8所示，差動放大電路 453的輸出信號為頻率fdt的驅(qū)動信號通過旋轉(zhuǎn)振動所產(chǎn)生的頻率f1的信號被進行振幅調(diào) 制的較大信號，而濾波電路454的輸出信號為頻率是fdt-f1的小信號，因此同步檢波電路 456的輸出信號為頻率是fi的小信號，檢測電路450的輸出信號不飽和。
[0143] 如W上說明的那樣，根據(jù)第一實施方式所設(shè)及的物理量檢測裝置400,通過設(shè)置濾 波電路454,即使施加接近振動元件100的失調(diào)頻率Af的頻率的旋轉(zhuǎn)振動或沖擊，也能夠 減少檢測電路450的輸出信號飽和的可能性。因此，由于抑制了檢測電路450的輸出信號 的中屯、電壓（0點電壓）的變動，因此能夠?qū)崿F(xiàn)檢測精度高并且充分抗受振動或沖擊且安裝 位置的自由度較高的牢固的物理量檢測裝置400。
[0144] 特別是，通過將濾波電路454設(shè)置在AC放大電路455之前的部分，能夠減少AC放 大電路455的輸出信號飽和的可能性或減少同步檢波電路456的輸出信號飽和的可能性， 因此與通過平滑電路457除去由旋轉(zhuǎn)振動所產(chǎn)生的頻率的信號的情況相比更有利。
[0145] 1-2.第二實施方式
[0146] 第二實施方式所設(shè)及的物理量檢測裝置400的振動元件100的結(jié)構(gòu)與第一實施方 式不同。此外，第二實施方式所設(shè)及的物理量檢測裝置的功能框圖與圖1相同，因此省略其 圖示W(wǎng)及說明。
[0147] 振動元件的結(jié)構(gòu)
[0148] 接下來，參照附圖對第二實施方式所設(shè)及的振動元件100進行說明。圖9W及圖 10為示意性示出第二實施方式所設(shè)及的振動元件100的俯視圖。
[0149] 此外，圖9為從第一主面2a側(cè)觀察振動元件100的圖，是用于對第一主面2a側(cè)的 結(jié)構(gòu)進行說明的圖。圖10為從第一主面2a側(cè)觀察振動元件100的透視圖，是用于對第二 主面化側(cè)的結(jié)構(gòu)進行說明的圖。
[0150]W下，在第二實施方式所設(shè)及的振動元件100中，對于具有與上述的第一實施方 式所設(shè)及的振動元件100的結(jié)構(gòu)部件相同的功能的部件標注相同的符號，并省略對其的詳 細說明。
[0151] 在上述的第一實施方式所設(shè)及的振動元件100中，如圖2所示，振動片1為H型的 振動片。與此相化在第二實施方式所設(shè)及的振動元件100中，如圖9化及圖10所示，振動 片1為所謂的雙T型的振動片。
[0152] 如圖9W及圖10所示，振動片1具有基部10、連結(jié)臂210、212、驅(qū)動振動臂220、 222、224、226、檢測振動臂230、232、支承部240、242、梁部250、252、254、256、驅(qū)動輸入電極 30、驅(qū)動輸出電極32、第一檢測電極40、第二檢測電極42、第S檢測電極44、第四檢測電極 46、驅(qū)動輸入布線50、驅(qū)動輸出布線52、第一檢測布線60、第二檢測布線62、第S檢測布線 64、第四檢測布線66。
[0153] 基部10、連結(jié)臂210、212、驅(qū)動振動臂220、222、224、226、檢測振動臂230、232、支 承部240、242W及梁部250、252、254、256構(gòu)成振動片1。
[0154] 基部10具有中屯、點G。中屯、點G的位置為振動片1的重屯、的位置?；?0的平 面形狀例如為矩形（大致矩形）。
[0155] 第一連結(jié)臂210W及第二連結(jié)臂212從基部10沿X軸朝互為相反的方向延伸突 出。在圖示的例子中，第一連結(jié)臂210從基部10朝一X軸方向延伸突出，第二連結(jié)臂212 從基部10朝巧軸方向延伸突出。
[0156] 第一驅(qū)動振動臂220W及第二驅(qū)動振動臂222從第一連結(jié)臂210沿Y軸朝互為相 反的方向延伸突出。在圖示的例子中，第一驅(qū)動振動臂220從第一連結(jié)臂210朝巧軸方 向延伸突出，第二驅(qū)動振動臂222從第一連結(jié)臂210朝一Y軸方向延伸突出。驅(qū)動振動臂 220、222經(jīng)由第一連結(jié)臂210連接于基部10。
[0157] 第S驅(qū)動振動臂224W及第四驅(qū)動振動臂226從第二連結(jié)臂212沿Y軸朝互為相 反的方向延伸突出。在圖示的例子中，第S驅(qū)動振動臂224從第二連結(jié)臂212朝巧軸方 向延伸突出，第四驅(qū)動振動臂226從第二連結(jié)臂212朝一Y軸方向延伸突出。驅(qū)動振動臂 224、226經(jīng)由第二連結(jié)臂212連接于基部10。
[015引第一檢測振動臂230W及第二檢測振動臂232從基部10沿Y軸朝互為相反的方 向延伸突出。在圖示的例子中，第一檢測振動臂230從基部10朝巧軸方向延伸突出，第二 檢測振動臂232從基部10朝一Y軸方向延伸突出。檢測振動臂230、232連接于基部10。
[0159] 在振動臂220、222、224、226、230、232的頂端設(shè)置有幅寬部5。幅寬部5與振動臂 220、222、224、226、230、232的其他部分相比，寬度狂軸方向的大?。└?。可^在幅寬部 5上設(shè)置有鍵部，對此未予圖示。通過調(diào)整該鍵部的質(zhì)量，能夠調(diào)整振動臂220、222、224、 226、230、232的振動的頻率。
[0160] 第一支承部240被設(shè)置于與振動臂220、224、230相比靠巧軸方向側(cè)。第二支承 部242被設(shè)置于與振動臂222、226、232相比靠一Y軸方向側(cè)。支承部240、242為在安裝振 動元件100時固定于封裝件上的部分。支承部240、242經(jīng)由梁部250、252、254、256支承基 部10。
[0161] 第一梁部250W及第二梁部252連結(jié)基部10與第一支承部240。在圖示的例子 中，第一梁部250從基部10經(jīng)由第一驅(qū)動振動臂220與第一檢測振動臂230之間延伸突出 至第一支承部240。第二梁部252從基部10經(jīng)由第=驅(qū)動振動臂224與第一檢測振動臂 230之間延伸突出至第一支承部240。
[0162] 第S梁部254W及第四梁部256連結(jié)基部10與第二支承部242。在圖示的例子 中，第S梁部254從基部10經(jīng)由第二驅(qū)動振動臂222與第二檢測振動臂232之間延伸突出 至第二支承部242。第四梁部256從基部10經(jīng)由第四驅(qū)動振動臂226與第二檢測振動臂 232之間延伸突出至第二支承部242。
[0163] 梁部250、252、254、256在俯視觀察下具有大致5字狀的部分。因此，梁部250、252、 254、256能夠具有較高的彈性。由此，支承部240、242不會妨礙振動臂220、222、224、226、 230、232的振動，能夠經(jīng)由梁部250、252、254、256支承基部10。
[0164] 驅(qū)動輸入電極30被設(shè)置于驅(qū)動振動臂220、222、224、226上。在圖示的例子中，驅(qū) 動輸入電極30被設(shè)置于第一驅(qū)動振動臂220的側(cè)面3W及幅寬部5、第二驅(qū)動振動臂222 的側(cè)面3W及幅寬部5、第S驅(qū)動振動臂224的主面（幅寬部5W外的主面）2a、化、第四驅(qū) 動振動臂226的主面（幅寬部5W外的主面）2a、化上。驅(qū)動輸入電極30例如相對于經(jīng)過 中屯、點G并與XZ平面平行的面而呈面對稱配置。驅(qū)動輸入電極30為輸入使驅(qū)動振動臂 220、222、224、226驅(qū)動的信號（驅(qū)動信號）的電極。
[0165] 驅(qū)動輸出電極32被設(shè)置于驅(qū)動振動臂220、222、224、226上。在圖示的例子中，驅(qū) 動輸出電極32被設(shè)置于第一驅(qū)動振動臂220的主面（幅寬部5W外的部分的主面）2a、化、 第二驅(qū)動振動臂222的主面（幅寬部5W外的部分的主面）2a、化、第S驅(qū)動振動臂224的 側(cè)面3W及幅寬部5、第四驅(qū)動振動臂226的側(cè)面3W及幅寬部5上。驅(qū)動輸出電極32例 如相對于經(jīng)過中屯、點G并與XZ平面平行的面而呈面對稱配置。驅(qū)動輸出電極32為用于輸 出基于驅(qū)動振動臂220、222、224、226的彎曲的信號的電極。
[0166] 此外，可W在設(shè)置有驅(qū)動輸入電極30的位置上設(shè)置驅(qū)動輸出電極32,也可W在設(shè) 置有驅(qū)動輸出電極32的位置上設(shè)置驅(qū)動輸入電極30,但對此未予圖示。
[0167] 第一檢測電極40被設(shè)置于第一檢測振動臂230上。在圖示的例子中，第一檢測電 極40被設(shè)置于第一檢測振動臂230的主面（幅寬部5W外的主面）2a、化上。第一檢測電 極40為用于檢測基于由科里奧利力產(chǎn)生的第一檢測振動臂230彎曲的信號（第一檢測信 號）的電極。
[016引第二檢測電極42被設(shè)置于第一檢測振動臂230上。在圖示的例子中，第二檢測電 極42被設(shè)置于第一檢測振動臂230的側(cè)面3W及幅寬部5上。第二檢測電極42為，用于檢 測基于由科里奧利力產(chǎn)生的第一檢測振動臂230的彎曲的信號（第一檢測信號）的電極。 第二檢測電極42例如為相對于第一檢測信號而具有成為基準的電位的電極。
[0169] 第=檢測電極44被設(shè)置于第二檢測振動臂232上。在圖示的例子中，第=檢測電 極44被設(shè)置于第二檢測振動臂232的主面（幅寬部5W外的主面）2a、化上。第=檢測電 極44例如相對于經(jīng)過中屯、點G并與XZ平面平行的面而與第一檢測電極40呈面對稱配置。 第S檢測電極44為，用于檢測基于由科里奧利力產(chǎn)生的第二檢測振動臂232的彎曲的信號 (第二檢測信號）的電極。
[0170] 第四檢測電極46被設(shè)置于第二檢測振動臂232上。在圖示的例子中，第四檢測電 極46被設(shè)置于第二檢測振動臂232的側(cè)面3W及幅寬部5上。第四檢測電極46例如相對 于經(jīng)過中屯、點G并與XZ平面平行的面而與第二檢測電極42呈面對稱配置。第四檢測電極 46為，用于檢測基于由科里奧利力產(chǎn)生的第二檢測振動臂232的彎曲的信號（第二檢測信 號）的電極。第四檢測電極46例如為相對于第二檢測信號而具有成為基準的電位的電極。
[0171] 此外，可W在振動臂220、222、224、226、230、232的主面2a、化上設(shè)置有槽部，還可 W將電極30、32、40、44設(shè)置在該槽部內(nèi)，但對此未予圖示。
[0172] 驅(qū)動輸入布線50被設(shè)置于基部10、連結(jié)臂210、212、第二支承部242、第S梁部 254上。在圖示的例子中，驅(qū)動輸入布線50被設(shè)置于基部10的第一主面2aW及側(cè)面3、第 一連結(jié)臂210的第一主面2a、第二連結(jié)臂212的主面2a、2bW及側(cè)面3、第二支承部242的 主面2a、化W及側(cè)面3、第S梁部254的側(cè)面3上。通過驅(qū)動輸入布線50,將設(shè)置于振動臂 220、222、224、226上的驅(qū)動輸入電極30相互電連接。設(shè)置于第二支承部242上的驅(qū)動輸入 布線50為端子部50a。在圖示的例子中，端子部50a的平面形狀為矩形。端子部50a連接 于外部部件（例如，接合引線），從驅(qū)動電路440輸出的驅(qū)動信號經(jīng)由外部部件W及驅(qū)動輸