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渦流補(bǔ)償?shù)碾p排永磁體向心勵(lì)磁矩形開放磁場(chǎng)式低頻振動(dòng)校準(zhǔn)臺(tái)的制作方法_3

文檔序號(hào):8526646閱讀:來源:國知局
獲得突出的電磁驅(qū)動(dòng)力學(xué)特性和高運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向精度,進(jìn)一步保證了振動(dòng)校準(zhǔn)臺(tái)輸出標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)波形的失真度指標(biāo)。這是本發(fā)明區(qū)別現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)之四。
[0026](5)本發(fā)明中長條形大尺寸永磁體可采用小塊永磁體以先拼接后充磁的方式獲得,可大大降低大尺寸永磁體的燒結(jié)、加工與充磁的難度;解決了現(xiàn)有技術(shù)方案中大尺寸圓柱形、圓筒形永磁體燒結(jié)、加工和充磁困難等問題。這是本發(fā)明區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)之五。
【附圖說明】
[0027]圖1為渦流補(bǔ)償?shù)碾p排永磁體向心勵(lì)磁矩形開放磁場(chǎng)式低頻振動(dòng)校準(zhǔn)臺(tái)的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖;
[0028]圖2為渦流補(bǔ)償?shù)碾p排永磁體向心勵(lì)磁矩形開放磁場(chǎng)式低頻振動(dòng)校準(zhǔn)臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)示意圖;
[0029]圖3為電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的示意圖;
[0030]圖4為圖3的俯視圖;
[0031]圖5為永磁體磁極布置方式和主磁路的示意圖;
[0032]圖6為與氣隙相鄰的中心磁軛表面的深溝槽一個(gè)實(shí)施例的示意圖;
[0033]圖7為與氣隙相鄰的中心磁軛表面的深溝槽另一個(gè)實(shí)施例的示意圖;
[0034]圖8為中心磁軛上深溝槽形式的陣列式微結(jié)構(gòu)示意圖;
[0035]圖9為采用磁軛安裝框?qū)χ行拇跑椷M(jìn)行安裝固定的示意圖;
[0036]圖10為磁軛安裝框的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0037]圖11為線圈骨架一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0038]圖中件號(hào)說明'2中心磁軛、3永磁體、4外磁軛、5端磁軛、6線圈骨架、7氣隙、8工作線圈、10磁軛安裝框、11第一磁路、12第二磁路、13電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、14靜壓氣浮導(dǎo)軌、15工作臺(tái)、16基座、17底板、18下過渡板、19框架、20上蓋板、21導(dǎo)軌支撐件、22矩形開口、23導(dǎo)軌、24滑套、25滑套連接件、26狹縫、27深溝槽。
【具體實(shí)施方式】
[0039]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明,并給出實(shí)施例。
[0040]一種渦流補(bǔ)償?shù)碾p排永磁體向心勵(lì)磁矩形開放磁場(chǎng)式低頻振動(dòng)校準(zhǔn)臺(tái),由基座16、電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13、靜壓氣浮導(dǎo)軌14和工作臺(tái)15構(gòu)成,電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13和靜壓氣浮導(dǎo)軌14以運(yùn)動(dòng)軸線平行的方式安裝在基座16上,工作臺(tái)15安裝在靜壓氣浮導(dǎo)軌14中滑套24的上表面,所述基座16由底板17、下過渡板18、框架19、上蓋板20和導(dǎo)軌支撐件21自下而上層疊安裝構(gòu)成,電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13安裝在下過渡板18的上表面、框架19的內(nèi)部,下過渡板18的中間部位設(shè)有矩形開口 22,矩形開口 22的長度大于電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13中線圈骨架6的運(yùn)動(dòng)范圍,靜壓氣浮導(dǎo)軌14通過兩個(gè)導(dǎo)軌支撐件21以兩端支撐的方式安裝在框架19上;靜壓氣浮導(dǎo)軌14由導(dǎo)軌23、滑套24和滑套連接件25構(gòu)成,滑套24可滑動(dòng)地套裝在導(dǎo)軌23上且與導(dǎo)軌23通過靜壓氣浮作用相互潤滑與支撐,滑套24與電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13中的線圈骨架6通過滑套連接件25剛性連接,滑套連接件25穿過上蓋板20的兩條狹縫26,狹縫26的長度大于線圈骨架6的運(yùn)動(dòng)范圍;電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13由矩形截面的中心磁軛2、永磁體3、外磁軛4和端磁軛5和口字形截面的線圈骨架6構(gòu)成,整體成軸對(duì)稱結(jié)構(gòu),兩個(gè)外磁軛4的兩端分別與兩個(gè)端磁軛5剛性連接、構(gòu)成口字形磁軛結(jié)構(gòu),中心磁軛2安裝在口字形磁軛結(jié)構(gòu)的長軸線上、兩端分別與兩個(gè)端磁軛5剛性連接,永磁體3的長度小于外磁軛4的長度,兩個(gè)長條形永磁體3對(duì)稱粘接裝配在兩個(gè)外磁軛4和中心磁軛2之間的兩個(gè)外磁軛4相對(duì)的兩個(gè)表面上,兩個(gè)永磁體3的同磁極相對(duì)布置,兩個(gè)永磁體3與中心磁軛2之間通過兩條等寬度的氣隙7分隔開,線圈骨架6可滑動(dòng)地套裝在中心磁軛2上,線圈骨架6上繞有工作線圈8,工作線圈8中通以精密可控的驅(qū)動(dòng)電流,與氣隙7相鄰的中心磁軛2的兩個(gè)表面上設(shè)有深溝槽13形式的陣列式微結(jié)構(gòu),深溝槽13沿氣隙7的長度方向周期性布置。
[0041]所述中心磁軛2的安裝方式是采用兩個(gè)口字形截面、不導(dǎo)磁材料的磁軛安裝框10,將兩個(gè)磁軛安裝框10套裝在中心磁軛2的兩端且與中心磁軛2剛性連接,將兩個(gè)磁軛安裝框10穿過下過渡板18上的矩形開口 22固定在底板17的上表面,從而將中心磁軛2以兩端支撐的方式固定。
[0042]所述永磁體3是采用多個(gè)小塊永磁體,以粘接的方式拼接構(gòu)成。
[0043]所述線圈骨架6的材料為陶瓷、花崗巖、玻璃鋼或硬質(zhì)塑料。
[0044]所述磁軛安裝框10的材料為陶瓷、花崗巖、玻璃鋼或鋁合金。
[0045]下面結(jié)合圖1?圖4給出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例。本實(shí)施例中,渦流補(bǔ)償?shù)碾p排永磁體向心勵(lì)磁矩形開放磁場(chǎng)式低頻振動(dòng)校準(zhǔn)臺(tái)用于產(chǎn)生水平方向的標(biāo)準(zhǔn)低頻振動(dòng),最大振幅為1.2mο
[0046]電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13中,永磁體3是NdFeB材料的強(qiáng)磁永磁體,材料的剩磁強(qiáng)度為1.17T,矯頑力為890kA/m,兩個(gè)永磁體3的N極相對(duì)布置,對(duì)稱安裝在兩個(gè)外磁軛4和中心磁軛2之間、兩個(gè)外磁軛4相對(duì)的兩個(gè)表面上,采用粘接方式裝配固定。中心磁軛2、兩個(gè)外磁軛4、兩個(gè)端磁軛5采用高磁導(dǎo)率電工純鐵材料DT4C制成,最大相對(duì)磁導(dǎo)率可達(dá)到12000,飽和磁通量約為2.5T。中心磁軛2、兩個(gè)永磁體3、兩個(gè)外磁軛4、兩個(gè)端磁軛5的截面均為矩形,中心磁軛2和兩個(gè)端磁軛5同軸裝配。中心磁軛2和兩個(gè)永磁體3之間通過兩條長氣隙7分隔開,氣隙7的寬度為15mm,其中形成高均勻度的磁感應(yīng)強(qiáng)度分布。中心磁軛2、兩個(gè)外磁軛4的兩端與兩個(gè)端磁軛5均采用螺釘剛性連接。
[0047]靜壓氣浮導(dǎo)軌14通過兩個(gè)導(dǎo)軌支撐件21以兩端支撐的方式固定在框架19上,導(dǎo)軌23的軸線與電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13的軸線互相平行。導(dǎo)軌23為T型導(dǎo)軌,長度為2米,滑套24可滑動(dòng)地套裝在導(dǎo)軌23上,二者之間通過靜壓氣浮作用互相潤滑與承載。工作臺(tái)15采用螺釘固定在滑套24的上表面,上蓋板20上具有兩條細(xì)長的狹縫26,狹縫26的長度為1.4米,滑套24通過滑套連接件25、穿過狹縫26與線圈骨架6采用螺釘剛性連接。
[0048]基座16的作用是提供一整體安裝基礎(chǔ)和框架。上蓋板20位于靜壓氣浮導(dǎo)軌14和電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13之間。電磁驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)13安裝在框架19的內(nèi)部,兩個(gè)導(dǎo)軌支撐件21采用螺釘固定在框架19兩端上表面,框架19與下過渡板18、底板17采用螺釘剛性連接固定在一起,下過渡板18的中間部位設(shè)有矩形開口 22,磁軛安裝框10穿過矩形開口 22而固定在底板17的上表面,從而將中心磁軛2以兩端支撐的方式固定,因此線圈骨架6及繞于其上的工作線圈8沿中心磁軛2的軸線運(yùn)動(dòng)時(shí),不會(huì)與底板17發(fā)生機(jī)械干涉。
[0049]本實(shí)施例中,永磁體勵(lì)磁所形成主磁路的磁力線所經(jīng)過的路徑如圖5所示。以第一磁路11為例,磁力線從永磁體3的N極出發(fā),依次經(jīng)過中心磁軛2、端磁軛5、與永磁體3同側(cè)的外磁軛4,然后回到永磁體的S極形成閉合磁路。圖中第一磁路11和第二磁路12呈上下對(duì)稱形式。
[0050]線圈骨架6采用99氧化
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