專利名稱：薄膜式溫度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種薄膜式溫度傳感器。


圖1表示了現(xiàn)有薄膜式溫度傳感器的結(jié)構(gòu)。它由傳感器體5、裝在傳感器體上的敏感元件基體4、鍍在敏感元件頭上的薄膜7和裝在敏感元件基體內(nèi)并與薄膜連接的帶有絕緣膜6的熱電偶絲1組成。薄膜和熱電偶絲為同一種原料制成。敏感元件基體作為熱電偶的一極，并與輸出導線3連接。熱電偶絲裝在敏感元件基體上的方法是基體從中心分為兩半，每一半的中心線上帶有一半園槽，在槽內(nèi)放上帶有絕緣層的熱電偶絲，然后把兩半合起來，裝在傳感器體內(nèi)。敏感元件基體頭上為一錐體，傳感器頭上為一錐形孔，壓緊螺母2將敏感元件基體的兩半拉緊牢固在傳感器體上。這種傳感器存在著敏感頭直徑大、影響測溫精度和響應速度的缺點。直徑大造成所測溫度是一個小區(qū)域的平均溫度，而且直徑大破壞了被測體的溫度場。由于敏感頭的直徑大，不能用來測流體溫度。
本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，而提供一種改進的薄膜式溫度傳感器，它具有敏感頭直徑小、測溫精確的特點。
本實用新型的技術(shù)解決方案是薄膜式溫度傳感器由傳感器體，裝在傳感器體上的敏感元件基體、鍍在敏感元件頭上的薄膜和裝在敏感元件基體內(nèi)并與薄膜連結(jié)的帶有絕緣膜的熱電偶絲組成，作為熱電偶一極的敏感元件基體與一根輸出導線連結(jié)，其特殊之處在于，敏感元件壓裝在傳感器體頭上，敏感元件凸出在傳感器體外。
熱電偶絲的絕緣膜可以是陶瓷膜。在敏感元件內(nèi)裝上熱電偶絲的方法可以是，在敏感元件上鉆一微孔，然后把帶有絕緣膜的熱電偶絲放入微孔中固定牢。
本實用新型與現(xiàn)有傳感器相比具有如下優(yōu)點1.傳感器的敏感頭直徑可以制造得很小，最小直徑可達0.3mm。由于直徑很小，這對表面溫度變化梯度較大，且形狀復雜的局部瞬時溫度測量具有很大的實用價值，可保證測出的溫度近似于點溫度。并且由于直徑很小，減少了對被測介質(zhì)的溫度場的干擾，從而可取得準確的實際瞬時溫度值。
2.由于敏感頭小，傳感器不僅可以用來測固體溫度，而且還可以用來測流體溫度。
本實用新型的附圖圖面說明如下圖1是現(xiàn)有傳感器結(jié)構(gòu)圖；圖2是本實用新型傳感器結(jié)構(gòu)圖。
本實用新型將結(jié)合附圖作進一步說明在圖2中，傳感器輸出導線總成16用鎖緊帽15固定在傳感器體14上，敏感元件21壓裝在傳感器體14，敏感元件21凸出在傳感器體14前頭外。敏感元件21上有兩條與傳感器輸出導線總成16連結(jié)的熱電偶絲12、13，敏感元件基體8作為熱電偶的一極，直接與熱電偶絲13連接，在敏感元件基體8的中心裝有作為熱電偶另一極的熱電偶絲12。在熱電偶絲的祼絲9、11上包有一層陶瓷絕緣膜10。在敏感元件基體8的頭上鍍有一層薄膜7，這個薄膜與祼絲9連結(jié)。薄膜7與祼絲9為同一種材料，祼絲11與敏感元件基體8為同一種材料，祼絲9和祼絲11為兩種不同的材料制成。薄膜7與基體8的接觸面構(gòu)成熱結(jié)點。
熱電偶絲12裝在敏感元件基體8上的方法是，在基體8上鉆一微孔，然后把包有絕緣膜的熱電偶絲12放入微孔中固定牢。當把熱電偶絲22裝好后，再在敏感元件基體8的頭上鍍上薄膜7。這種方法保證了可以把敏感元件21做得很好。
權(quán)利要求1.一種薄膜式溫度傳感器，它由傳感器體、裝在傳感器體上的敏感元件基體、鍍在敏感元件頭上的薄膜和裝在敏感元件體內(nèi)并與薄膜連接的帶有絕緣膜的熱電偶絲組成，作為熱電偶一極的敏感元件基體與一根輸出導線聯(lián)結(jié)。其特征在于敏感元件壓裝在傳感器體頭上，敏感元件凸出在傳感器體外。
2.按照權(quán)利要求1所述的薄膜式溫度傳感器，其特征在于熱電偶絲上的絕緣膜為陶瓷膜。
專利摘要本實用新型涉及一種薄膜式溫度傳感器。本實用新型克服了現(xiàn)有傳感器的敏感元件直徑較大而產(chǎn)生的測溫精度較低的不足。本實用新型采用敏感元件壓裝在傳感器體上，敏感元件凸出在傳感器體外的結(jié)構(gòu)，有效地提高了傳感器的測溫精度。本實用新型不僅可以用來測固體的溫度，而且還可以用來測流體的溫度。
文檔編號G01K7/00GK2039018SQ8821602
公開日1989年6月7日 申請日期1988年11月11日 優(yōu)先權(quán)日1988年11月11日
發(fā)明者郭七一 申請人:北京理工大學