本技術(shù)涉及防滑出結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。

2、但是現(xiàn)有設(shè)備中，在對(duì)晶盤進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，需要人工依次取放對(duì)晶盤進(jìn)行固定檢測(cè)，檢測(cè)種類較為單一，無(wú)法根據(jù)不同大小的晶盤進(jìn)行檢測(cè)，為此提出一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，包括操作臺(tái)，所述操作臺(tái)上表面固定設(shè)有立柱，所述立柱上表面固定設(shè)有橫柱，所述橫柱底部固定設(shè)有氣缸，所述氣缸的活塞端固定設(shè)有晶圓測(cè)試探針，所述操作臺(tái)上表面開(kāi)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽，所述轉(zhuǎn)動(dòng)槽上表面開(kāi)設(shè)有出料孔，所述操作臺(tái)上設(shè)有輸送結(jié)構(gòu)，所述操作臺(tái)上表面固定設(shè)有l(wèi)型固定柱，所述l型固定柱一側(cè)開(kāi)設(shè)有內(nèi)套孔，所述l型固定柱上設(shè)有固定結(jié)構(gòu)，所述操作臺(tái)上表面活動(dòng)設(shè)有儲(chǔ)料筒，所述儲(chǔ)料筒一側(cè)固定設(shè)有連接柱，所述連接柱滑動(dòng)連接在內(nèi)套孔內(nèi)，所述連接柱上表面開(kāi)設(shè)有固定孔。

3、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

4、所述輸送結(jié)構(gòu)包括固定連接在操作臺(tái)底部的伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出軸固定設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)盤，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)連接在轉(zhuǎn)動(dòng)槽內(nèi)，所述儲(chǔ)料筒的下表面與轉(zhuǎn)動(dòng)盤上表面相貼合，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤上表面開(kāi)設(shè)有三個(gè)放置槽，每個(gè)所述放置槽內(nèi)均活動(dòng)連接有限位環(huán)，每個(gè)所述限位環(huán)一側(cè)均開(kāi)設(shè)有螺紋孔。

5、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

6、所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤側(cè)面上開(kāi)設(shè)有三個(gè)孔洞，每個(gè)所述孔洞內(nèi)均活動(dòng)設(shè)有沉頭螺栓，每個(gè)所述沉頭螺栓螺紋連接在對(duì)應(yīng)的螺紋孔內(nèi)。

7、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

8、所述固定結(jié)構(gòu)包括固定連接在l型固定柱上表面的固定框，所述固定框上表面滑動(dòng)連接有滑動(dòng)桿，所述滑動(dòng)桿的底部固定設(shè)有銷柱，所述銷柱貫穿l型固定柱上表面并滑動(dòng)連接，所述銷柱與固定孔相適配。

9、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

10、所述滑動(dòng)桿上活動(dòng)設(shè)有彈簧，所述彈簧的一端與銷柱一側(cè)固定連接，另一端與固定框內(nèi)部一側(cè)固定連接。

11、作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步描述：

12、所述操作臺(tái)底部固定設(shè)有出料板，所述出料板位于出料孔下方。

13、本實(shí)用新型具有如下有益效果：

14、1、與現(xiàn)有技術(shù)相比，該用于行李架表面的拋光裝置，通過(guò)設(shè)置伺服電機(jī)、轉(zhuǎn)動(dòng)盤、限位環(huán)和沉頭螺栓等，伺服電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，使轉(zhuǎn)動(dòng)盤一側(cè)的沉頭螺栓露出，取出沉頭螺栓，然后根據(jù)晶盤的大小更換限位環(huán)，把晶盤疊落放入儲(chǔ)料筒內(nèi)，最底下的晶盤落在限位環(huán)內(nèi)，然后伺服電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)盤帶動(dòng)限位環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)，限位環(huán)帶動(dòng)內(nèi)部的晶盤轉(zhuǎn)動(dòng)到晶圓測(cè)試探針底部，然后氣缸帶動(dòng)晶圓測(cè)試探針對(duì)晶盤進(jìn)行檢測(cè)。

15、2、與現(xiàn)有技術(shù)相比，該用于行李架表面的拋光裝置，通過(guò)設(shè)置儲(chǔ)料筒、固定框、滑動(dòng)桿、銷柱和彈簧等，拉動(dòng)滑動(dòng)桿，滑動(dòng)桿帶動(dòng)銷柱向上移動(dòng)，使銷柱脫離l型固定柱，然后再次根據(jù)晶盤的大小更換對(duì)應(yīng)的儲(chǔ)料筒。

技術(shù)特征：

1.一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，包括操作臺(tái)(1)，其特征在于：所述操作臺(tái)(1)上表面固定設(shè)有立柱(2)，所述立柱(2)上表面固定設(shè)有橫柱(3)，所述橫柱(3)底部固定設(shè)有氣缸(9)，所述氣缸(9)的活塞端固定設(shè)有晶圓測(cè)試探針(10)，所述操作臺(tái)(1)上表面開(kāi)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽(12)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)槽(12)上表面開(kāi)設(shè)有出料孔(11)，所述操作臺(tái)(1)上設(shè)有輸送結(jié)構(gòu)(4)，所述操作臺(tái)(1)上表面固定設(shè)有l(wèi)型固定柱(5)，所述l型固定柱(5)一側(cè)開(kāi)設(shè)有內(nèi)套孔，所述l型固定柱(5)上設(shè)有固定結(jié)構(gòu)(7)，所述操作臺(tái)(1)上表面活動(dòng)設(shè)有儲(chǔ)料筒(6)，所述儲(chǔ)料筒(6)一側(cè)固定設(shè)有連接柱，所述連接柱滑動(dòng)連接在內(nèi)套孔內(nèi)，所述連接柱上表面開(kāi)設(shè)有固定孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述輸送結(jié)構(gòu)(4)包括固定連接在操作臺(tái)(1)底部的伺服電機(jī)(401)，所述伺服電機(jī)(401)的輸出軸固定設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)盤(402)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤(402)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在轉(zhuǎn)動(dòng)槽(12)內(nèi)，所述儲(chǔ)料筒(6)的下表面與轉(zhuǎn)動(dòng)盤(402)上表面相貼合，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤(402)上表面開(kāi)設(shè)有三個(gè)放置槽，每個(gè)所述放置槽內(nèi)均活動(dòng)連接有限位環(huán)(403)，每個(gè)所述限位環(huán)(403)一側(cè)均開(kāi)設(shè)有螺紋孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤(402)側(cè)面上開(kāi)設(shè)有三個(gè)孔洞，每個(gè)所述孔洞內(nèi)均活動(dòng)設(shè)有沉頭螺栓(404)，每個(gè)所述沉頭螺栓(404)螺紋連接在對(duì)應(yīng)的螺紋孔內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述固定結(jié)構(gòu)(7)包括固定連接在l型固定柱(5)上表面的固定框(701)，所述固定框(701)上表面滑動(dòng)連接有滑動(dòng)桿(702)，所述滑動(dòng)桿(702)的底部固定設(shè)有銷柱(703)，所述銷柱(703)貫穿l型固定柱(5)上表面并滑動(dòng)連接，所述銷柱(703)與固定孔相適配。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述滑動(dòng)桿(702)上活動(dòng)設(shè)有彈簧(704)，所述彈簧(704)的一端與銷柱(703)一側(cè)固定連接，另一端與固定框(701)內(nèi)部一側(cè)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述操作臺(tái)(1)底部固定設(shè)有出料板(8)，所述出料板(8)位于出料孔(11)下方。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于防滑出結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，包括操作臺(tái)，所述操作臺(tái)上表面固定設(shè)有立柱，所述立柱上表面固定設(shè)有橫柱，所述橫柱底部固定設(shè)有氣缸，所述氣缸的活塞端固定設(shè)有晶圓測(cè)試探針，所述操作臺(tái)上表面開(kāi)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)槽，本技術(shù)通過(guò)設(shè)置伺服電機(jī)、轉(zhuǎn)動(dòng)盤、限位環(huán)和沉頭螺栓等，伺服電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，使轉(zhuǎn)動(dòng)盤一側(cè)的沉頭螺栓露出，取出沉頭螺栓，然后根據(jù)晶盤的大小更換限位環(huán)，把晶盤疊落放入儲(chǔ)料筒內(nèi)，最底下的晶盤落在限位環(huán)內(nèi)，然后伺服電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)盤帶動(dòng)限位環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)，限位環(huán)帶動(dòng)內(nèi)部的晶盤轉(zhuǎn)動(dòng)到晶圓測(cè)試探針底部，然后氣缸帶動(dòng)晶圓測(cè)試探針對(duì)晶盤進(jìn)行檢測(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員：顏烈剛,管范洲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：道格特半導(dǎo)體科技（江蘇）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240328
技術(shù)公布日：2024/12/19